JP2004095940A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004095940A JP2004095940A JP2002256575A JP2002256575A JP2004095940A JP 2004095940 A JP2004095940 A JP 2004095940A JP 2002256575 A JP2002256575 A JP 2002256575A JP 2002256575 A JP2002256575 A JP 2002256575A JP 2004095940 A JP2004095940 A JP 2004095940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- reaction tube
- film
- silicon nitride
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】保持具2は,反応管1内で複数の基板Wを縦方向に所定ピッチaで棚状に保持する。NH3ガス供給系9は,反応管1内へNH3ガスを流す。DCSガス供給系8は,NH3ガスの流量よりも大きな流量で反応管1内へDCSガスを流す。ヒータ4は,各ガス供給系8,9から反応管1内へ流される各ガスを熱分解して熱CVD法により各基板W上にSiリッチなSi3N4膜を形成する為に反応管1内を750〜900℃に加熱する。保持具2における基板Wの配列ピッチaと,反応管1の内壁から基板Wの端部までの距離bと,の比b/aを5以上とする。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱化学気相成長法により窒化シリコン膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法と、その方法の実施に使用する基板処理装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
ウエハ等の基板上に窒化シリコン膜を形成する技術として熱化学気相成長法(熱CVD法)がある。この方法では、ケイ素とチッ素とを含む原料ガスを熱分解して基板上に窒化シリコンを析出させる。バッチ式のCVD装置を用いる場合は、1バッチ分の基板が収容された反応管内へ原料ガスを流すと共に、該反応管内をヒータにより成膜温度に加熱する。
【0003】
原料ガスとしては、ケイ素を含むSiH2Cl2(ジクロルシラン;DCS)ガスと、チッ素を含むNH3(アンモニア)ガスとの混合ガスを用いる。これらのガス比率(DCS:NH3)は、1:1〜1:10とする。また成膜温度は600〜800℃である。これにより、DCSガスとNH3ガスとが熱分解し、基板上にSi3N4(窒化シリコン)膜が形成される。このときの反応式は次の通りである。
3SiH2Cl2+10NH3→Si3N4+6NH4Cl+6H2…(A)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、発明者らは、バッチ式の装置を用いた熱CVD法には次のような課題があることを見出した。即ち、NH3ガスの流量をDCSガスの流量よりも大きく設定した従来の成膜条件では、窒化シリコン膜の膜応力が大きくなってしまう。従って、厚膜の形成に適しているとは云い難い。一方、DCSガスの流量をNH3ガスの流量よりも大きくして、Nの原子数に対するSiの原子数が1以上の所謂シリコンリッチな窒化シリコン膜を形成するバッチプロセスでは、該窒化シリコン膜の基板間および基板内での均一性が悪化しやすい。
【0005】
本発明の目的は、熱CVD法により複数の基板上に一括して窒化シリコン膜を形成する場合において、膜応力が小さく且つ基板間および基板内で均一な窒化シリコン膜を形成する技術を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、複数の基板が収容された反応管内へ、DCSガスとNH3ガスとを流すにあたり、前記DCSガスの流量を前記NH3ガスの流量よりも大きくして、熱CVD法により前記各基板上に窒化シリコン膜を形成する成膜工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記成膜工程では、前記複数の基板を、隣接する基板どうしが相対面するよう前記反応管の長手方向に所定ピッチで配列し、且つこの配列ピッチaと、前記反応管の内壁と前記基板の端部との間の距離bと、の比b/aを5以上にした状態で前記窒化シリコン膜を形成する半導体装置の製造方法が提供される。
【0007】
前記成膜工程では、膜屈折率2.2乃至2.6の前記窒化シリコン膜を形成するのが好ましい。膜屈折率は、DCSガスとNH3ガスとの流量比、および成膜温度を含む成膜条件で制御できる。具体的には、前記DCSガスの流量を前記NH3ガスの流量の3倍乃至10倍とするのが好ましい。また前記反応管内を750℃乃至900℃の範囲の温度に加熱するのが好ましい。
【0008】
基板としては、半導体基板やガラス基板等が挙げられる。反応管としては、鉛直方向に延びる縦型のものが一般的であるが、水平方向に延びる横型のものであってもよい。
【0009】
また本発明によれば、反応管と、この反応管内で複数の基板を、隣接する基板どうしが相対面するよう該反応管の長手方向に所定ピッチで配列した状態で保持する保持具と、前記反応管内へNH3ガスを流すNH3ガス供給手段と、このNH3ガス供給手段によるNH3ガスの流量よりも大きな流量で前記反応管内へDCSガスを流すDCSガス供給手段と、前記各ガス供給手段によって、前記反応管内へ流される前記各ガスを熱分解して熱CVD法により前記各基板上に窒化シリコン膜を形成するために、前記反応管内を加熱する加熱手段と、を備え、前記保持具における前記基板の配列ピッチaと、前記反応管の内壁と前記基板の端部との間の距離bと、の比b/aが5以上となるよう構成されている基板処理装置も提供される。
【0010】
この基板処理装置においては、前記NH3ガス供給手段及び/又は前記DCSガス供給手段の低温部に塩化アンモニウム(NH4Cl)からなる固形物が付着するのを防止するべく、該低温部を120℃以上の温度に加熱する固形物付着防止手段を更に備えるのが好ましい。
【0011】
また基板処理装置においては、前記NH3ガス供給手段と前記DCSガス供給手段とを別々のガスラインとするのが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、実施の形態による基板処理装置を示す。この基板処理装置は、縦型の反応管1と、この反応管1内で複数のシリコンウエハWを所定ピッチで棚状に保持するボート2と、DCSガスとNH3ガスとを、DCSガスの流量をNH3ガスの流量よりも大きくして反応管内へ流す制御を行うガス制御部3と、このガス制御部による制御によって反応管内へ流される各ガスを熱分解して熱CVD法により各ウエハ上にシリコンリッチな窒化シリコン膜を形成するために反応管内を加熱するヒータ4とを備える。
【0013】
反応管1は、同心状に立設された内管1aと外管1bからなる二重管構造を有する。内管1aの上部は開放されている。その開放部を通じて内管1aと外管1bが連通している。ヒータ4は反応管1の周りを取り囲むように配置されている。ヒータ4は複数のゾーンに分割されている。各ゾーン別に供給電力を制御することにより、反応管1内に温度勾配をつけることができる。反応管1とヒータ4とを含んで縦型の反応炉が構成されている。
【0014】
内管1aの中には、1バッチ分(例えば150枚)のウエハWを所定ピッチで内管1aの長手方向(鉛直方向)に多段に配列した状態で保持する石英ボート2がロードされる。ボート2は、キャップ5の上に搭載されている。図示せぬエレベータによってキャップ5を昇降することにより、ボート2をロード/アンロードできる。内管1aの下端は開口しているが、ボート2がロードされて内管1aの中にウエハWが収容されたときには、底蓋6によってその開口部が気密封止される。
【0015】
図2は、内管1aの中にウエハWが収容されている様子を模式的に示す。図示のように、ボート2におけるウエハWの配列ピッチをaとする。また管状をなす内管1aの内周壁と、平面視円形をなすウエハWの端面と、の間の距離をbとする。そうした場合、この基板処理装置では、aとbの比b/aが5となっている。
【0016】
この事は、従来の基板処理に最小限の設計変更を加えるだけで容易に実現できる。既存のボートを使用する場合は、内管を内径の大きなものに変更すればよい。既存の内管(反応管)を使用する場合は、ボートを配列ピッチの小さなものに変更すればよい。尚、既存の内管としては、内径が260mmのものが一般的である。
【0017】
外管1bの下部には、排気口7が設けられている。排気口7は、排気管を介して真空ポンプに通じている。排気管の途中には排気バルブ等が設けられている。これ等によって、反応管1内の処理済みガス等を排気し、又反応管1内を所定の減圧状態とするガス排気系が構成されている。
【0018】
内管1aの下部には、DCSガス導入口81と、NH3ガス導入口91が設けられている。DCSガス導入口81は、DCSガス管を介してDCSガス源に通じている。DCSガス管の途中にはMFC(マスフローコントローラ)等の流量調節手段82が設けられている。これ等によって、反応管1内にDCSガスを流すDCSガス導入系8が構成されている。
【0019】
一方、NH3ガス導入口91は、NH3ガス管を介してNH3ガス源に通じている。NH3ガス管の途中にはMFC等の流量調節手段92が設けられている。これ等によって、反応管1内にNH3ガスを流すNH3ガス導入系9が構成されている。
またNH3ガス管は、パージ用の不活性ガス(例えばN2やAr)を導入するためのパージガス導入管を兼る。但し、パージガス導入管は独立のものであってもよい。
【0020】
尚、DCSガス導入系8とNH3ガス導入系9とを、同一のガスラインで兼ねてもよい。但し、形成膜中への異物混入を回避する等の観点からは、DCSガス導入系8とNH3ガス導入系9とを別々のガスラインとするのが好ましい。
【0021】
各ガス導入系8,9からのガスは、それぞれのガス導入口81,91から内管1aの中に噴出される。噴出されたガスは、内管1aの中を下部から上部の開放部まで移動し、内管1aと外管1bの間の空間を通って下方に流れ、外管1bの下部に設けられた排気口7から排気される。
【0022】
120℃以下の低温環境下で、DCSガスとNH3ガスとが混合すると、塩化アンモニウム(NH4Cl)からなる固形物が生成する(上記反応式(A)参照)。この固形物は、DCSガス導入系8、NH3ガス導入系9、及び特にガス排気系等を詰まらせる原因となる。従って、ヒータ4によって加熱されにくい排気管、NH3ガス管、及びDCSガス管等の低温部に固形物が付着するのを防止するべく、該低温部を120℃以上、好ましくは150℃以上に加熱する第2のヒータ(図示せず)を設けている。
【0023】
ガス制御部3は、MFC82やMFC92等を制御することにより、DCSガスの流量をNH3ガスの流量よりも大きくして反応管1内へ流す制御を行う。ガス制御部5は、例えばソフトウエアで実現できる。
【0024】
基板処理装置の作用は次の通りである。
まずヒータ4によって所定の成膜温度に加熱された反応管1の中に、1バッチ分のウエハWを積載したボート2をロードする(保持具挿入工程)。成膜温度は、750℃乃至900℃の範囲内である。
【0025】
次いで、ガス排気系により反応管1内を真空引きする(プレ真空引き工程)。
尚、このプレ真空引き工程の後に、NH3ガス導入系9からのNH3ガスで反応管1内をパージするプレNH3パージ工程を設けてもよい。
【0026】
次いで、NH3ガス導入系9からNH3ガスを流すと共に、DCSガス導入系8からDCSガスを流す。尚、NH3ガスを先行して流してもよい。これにより、DCSガスとNH3ガスの混合ガスが熱分解する。但し、ガス制御手段は、DCSガスの流量をNH3ガスの流量の3倍から10として反応管1内へ流す制御を行う。従って、各ウエハW上にはシリコンリッチな窒化シリコン膜が形成される(成膜工程)。
尚、窒化シリコン膜が形成される間、図示せぬボート回転装置によって、ボート5が回転される。これにより、窒化シリコン膜のウエハ内均一性を向上できる。
【0027】
この成膜工程は、窒化シリコン膜の厚みが所望の値に達するまで継続する。即ち、窒化シリコン膜の厚みは、膜の成長時間で制御できる。所望厚みの窒化シリコン膜を形成した後、DCSガスおよびNH3ガスの供給を停止する。尚、DCSガスの供給を先行して停止してもよい。
【0028】
次いで、不活性ガスをNH3ガス導入系9から流すことで、反応管1内の残留ガスをパージする(パージ工程)。次いで、不活性ガスの供給を止めて、反応管1内を真空引きする(真空引き工程)。これらパージ工程と真空引き工程とは数回セットで繰り返す(サイクルパージ)。残留ガスの除去と、反応管1内の真空引きを確実に行うためである。
【0029】
次いで、反応管1内を真空状態から大気状態に戻す(リーク工程)。次いで、処理済みウエハWを搭載したボート2を反応管1からアンロードする(基板搬出工程)。
【0030】
基板処理装置によれば、次のような効果が得られる。
(1)ボート2におけるウエハWの配列ピッチaと、反応管1の内周壁とウエハWの端面との間の距離bと、の比b/aを5以上としたから、窒化シリコン膜のウエハ間およびウエハ内均一性が改善される。その具体的なメカニズムは必ずしも定かでないが、反応管1内における原料ガスの流速が増したことによるものと考えられる。
【0031】
(2)成膜工程においては、DCSガスの流量をNH3ガスの流量よりも大きくしたから、NH3ガスの流量をDCSガスの流量以上とする場合に比べて、窒化シリコン膜の膜応力を低減できる。特に、DCSガスの流量をNH3ガスの流量の3倍から10とすることにより、膜応力の小さな窒化シリコン膜が得られる。
【0032】
以上において、成膜工程では反応管1内に空間的な温度勾配を設けてもよい。温度勾配は、原料ガスが導入される導入部分と、該導入部分から最も遠い奥部分との間で、導入部分から奥部分にゆくに従って次第に高温となるように設定する。具体的には、反応管1の下方(ボトム)を750℃とし、トップを900℃とする。これにより、各ウエハにおける原料ガスの消費量を略等しくできるから、特に窒化シリコン膜のウエハ間均一性を一層向上できる。
【0033】
〔実験例1〕
図3は、NH3ガスの流量に対するDCSガスの流量(DCS/NH3 Ratio)を横軸にとり、そのガス流量比において形成された窒化シリコン膜の膜応力(Residual Stress)を縦軸にとった図である。成膜温度を780℃に設定した場合を×印、800℃に設定した場合を△印、850℃に設定した場合を○印でそれぞれプロットした。
図示のように、NH3ガスの流量に対するDCSガスの流量(DCS/NH3 Ratio)が大きい程、また成膜温度が高い程、窒化シリコン膜の膜応力を小さくできる。特に、ガス流量比(DCS/NH3)が4以上の場合には、膜応力を略400以下に抑制できる。
【0034】
図4は、NH3ガスの流量に対するDCSガスの流量(DCS/NH3 Ratio)を横軸にとり、その流量比において形成された窒化シリコン膜の膜屈折率(Refractive Index)を縦軸にとった図である。図示のように、ガス流量比(DCS/NH3)が略4以上の場合には、所定以上の成膜温度の下で膜屈折率2.2〜2.6の窒化シリコン膜を得た。
【0035】
図5は、形成された窒化シリコン膜の膜屈折率(Relractive Index)を横軸にとり、その膜屈折率を有する窒化シリコン膜のエッチレート(Etch Rate)[Å/min]を縦軸にとった図である。図示のように、膜屈折率2.2〜2.6の範囲では、窒化シリコン膜のエッチングレートが安定する。従って、この範囲の膜屈折率を有する窒化シリコン膜であれば、エッチングの際に膜厚の制御を正確に行える。
尚、膜屈折率2.1以下の範囲では、エッチングレートが大きく変動する。
【0036】
以上にように、ガス流量比(DCS/NH3)が略4以上の場合、少なくとも780℃以上の成膜温度下において、膜応力を略400以下に抑制できる。しかも、当該成膜条件下では、量産する場合であっても窒化シリコン膜間におけるエッチングレートのバラツキを最小限に抑制できると云う相乗効果を得る。
【0037】
〔実験例2〕
図6は、ボート2におけるウエハWの配列ピッチaと、反応管1の内周壁とウエハWの端面との間の距離bと、の比b/aを横軸にとり、その比において形成された窒化シリコン膜の膜均一性(Uniformity)[%]を縦軸にとった図である。図中、WIWとあるは窒化シリコン膜の面内均一性を、WTWとあるは窒化シリコン膜の面間均一性を示す。比b/aを大きくするに従って、窒化シリコン膜の面間均一性が大幅に改善されてゆく。比b/aが4.5以上の領域では、面内均一性および面間均一性の双方を10%以下にできる。
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、熱CVD法により複数の基板上に一括して窒化シリコン膜を形成するにあたり、膜応力が小さく且つ基板内および基板間で均一な窒化シリコン膜を形成できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態による基板処理装置の構成を模式的に示した図。
【図2】実施の形態による炉体構成を模式的に示した図。
【図3】実験結果を説明するための図。
【図4】実験結果を説明するための別の図。
【図5】実験結果を説明するためのさらに別の図。
【図6】別の実験結果を説明するための図。
【符号の説明】
1…反応管、2…ボート(保持具)、3…ガス制御部(ガス制御手段)、4…ヒータ(加熱手段)、8…DCSガス供給系(DCSガス供給手段)、9…NH3ガス供給系(NH3ガス供給手段)、W…ウエハ(基板)。
Claims (1)
- 複数の基板が収容された反応管内へ、ジクロルシランガスとアンモニアガスとを流すにあたり、前記ジクロルシランガスの流量を前記アンモニアガスの流量よりも大きくして、熱化学気相成長法により前記各基板上に窒化シリコン膜を形成する成膜工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記成膜工程では、前記複数の基板を、隣接する基板どうしが相対面するよう前記反応管の長手方向に所定ピッチで配列し、且つこの配列ピッチaと、前記反応管の内壁と前記基板の端部との間の距離bと、の比b/aを5以上にした状態で前記窒化シリコン膜を形成する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002256575A JP2004095940A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002256575A JP2004095940A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004095940A true JP2004095940A (ja) | 2004-03-25 |
Family
ID=32061760
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002256575A Pending JP2004095940A (ja) | 2002-09-02 | 2002-09-02 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004095940A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7884034B2 (en) | 2008-09-02 | 2011-02-08 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Method of manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus |
US7943528B2 (en) | 2009-08-31 | 2011-05-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and semiconductor devices manufacturing method |
US8304328B2 (en) | 2006-03-20 | 2012-11-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Manufacturing method of semiconductor device and substrate processing apparatus |
-
2002
- 2002-09-02 JP JP2002256575A patent/JP2004095940A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8304328B2 (en) | 2006-03-20 | 2012-11-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Manufacturing method of semiconductor device and substrate processing apparatus |
US7884034B2 (en) | 2008-09-02 | 2011-02-08 | Hitachi Kokusai Electric, Inc. | Method of manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus |
US7943528B2 (en) | 2009-08-31 | 2011-05-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and semiconductor devices manufacturing method |
US8222161B2 (en) | 2009-08-31 | 2012-07-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and semiconductor devices manufacturing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4733738B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 | |
KR100674467B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20160376699A1 (en) | Substrate processing apparatus, and storage medium | |
US10224185B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP2009044023A (ja) | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 | |
US20100151682A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus | |
TW201900919A (zh) | 矽氮化膜之成膜方法及成膜裝置 | |
CN109671611B (zh) | 半导体器件的制造方法、衬底处理装置及记录介质 | |
JP2009239289A (ja) | 基板支持体、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
JP3913723B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 | |
CN110931386B (zh) | 半导体装置的制造方法、基板处理装置以及存储介质 | |
WO2016125626A1 (ja) | 基板処理装置および反応管 | |
KR102297247B1 (ko) | 처리 용기 내의 부재를 클리닝하는 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치, 및 프로그램 | |
US20180171467A1 (en) | Method of Manufacturing Semiconductor Device, Substrate Processing Apparatus and Non-Transitory Computer-Readable Recording Medium | |
KR101398949B1 (ko) | 기판처리장치 | |
US20230220546A1 (en) | Method of cleaning, method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium | |
JP6475135B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、ガス供給方法及び基板処理装置並びに基板保持具 | |
JP2004095940A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007027425A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4897159B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2012136743A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004288903A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP2006186015A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4415005B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH06302566A (ja) | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050329 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061020 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20061219 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090106 |