JP6461212B2 - 放射線撮像装置及び放射線撮像システム - Google Patents
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Description
放射線撮像装置及び放射線撮像システムに関する。
放射線撮像装置は、放射線発生装置による放射線の照射と同期して撮像動作を行う。特許文献1には、放射線の照射の開始を検知する機能を有する放射線撮像装置が記載されている。特許文献1の放射線撮像装置は、放射線を電荷に変換し蓄積する変換素子を含む複数の画素が配列された画素アレイと、複数の画素の前記変換素子にバイアス電圧を与えるためのバイアス線と、バイアス線を流れる電流を検知する検知回路とを備えている。この放射線撮像装置は、検知回路からの出力に基づいて画素アレイへの放射線の照射の開始を検知し、それに応じて前記複数の画素による電荷の蓄積動作を制御する。
バイアス線を流れるバイアス電流には、放射線の照射以外の要因、例えば衝撃等の力が加わることによってノイズが混入しうる。このノイズが大きい場合、放射線の照射が開始されていないにも拘わらず、放射線の照射が開始されたと誤判定される可能性がある。このような誤判定が発生すると、放射線撮像装置が撮像動作に誤って移行してしまう。放射線撮像装置が撮像動作に移行してしまうと、次の撮像動作を行うための準備が整うまで、撮像動作を行うことができない撮像不能状態となりうる。
一方で、一般的な動向として、放射線撮像装置の可搬性や使い勝手を向上さるために、放射線撮像装置の軽量化が求められている。そのため、筺体の剛性が低下し、内部の回路基板に衝撃が伝わりやすくなる傾向にある。また、回路基板に対しても、小型化、高密度化といった要求がなされうる。例えば、小型で大容量のセラミックコンデンサが採用されたり、複数の回路が少数の基板に集積されたりする傾向にある。これにより、回路基板に衝撃が伝わった場合に、セラミックコンデンサが圧電効果によって電圧ノイズを発生し、そのノイズが回路間の干渉により様々な回路に伝わり誤動作を誘発しやすくなる。
本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、放射線の照射の開始を検出する機能を有する放射線撮像装置において、放射線撮像装置に力が加わったことによって発生しうる誤検出を低減するために有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、放射線をアナログ信号に変換する変換素子を含む複数の画素が配列され、前記複数の画素の前記変換素子にバイアス電圧を与えるためのバイアス線を有する画素アレイを備える放射線撮像装置に係り、前記放射線撮像装置は、前記画素アレイからのアナログ信号を読み出す読出回路と、前記バイアス線にバイアス電圧を供給するバイアス回路であって、前記画素アレイに対する放射線の照射の開始を検出するために前記バイアス線を流れる電流を検出する検出回路を含み、前記検出回路が、前記電流に応じたアナログ信号を出力する増幅回路と、前記増幅回路から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換器と、を含むバイアス回路と、前記読出回路に第1基準電圧を供給するための第1基準電源と、前記増幅回路に第2基準電圧を供給するための第2基準電源と、少なくとも前記第1基準電源、前記第2基準電源、および、前記AD変換器に対して電源電圧線および接地線を介して電源電圧を供給する電源回路と、を備え、前記接地線は、前記第1基準電源および第2基準電源のそれぞれの接地端子を相互に接続する第1接地線と、前記電源回路および前記第1接地線に接続された第2接地線と、を含み、前記第2接地線のインピーダンスは、前記第1基準電源と前記第2基準電源との間における前記第1接地線のインピーダンスより高く、前記AD変換器の接地端子は、前記第1接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている。
本発明によれば、放射線の照射の開始を検出する機能を有する放射線撮像装置において、放射線撮像装置に力が加わったことによって発生しうる誤検出を低減するために有利な技術が提供される。
以下、添付図面を参照しながら本発明のその例示的な実施形態を通して説明する。
図1には、本発明の1つの実施形態の放射線撮像システム1の構成が示されている。放射線撮像システム1は、被検体に放射線を照射し、被検体を透過した放射線を撮像するように構成されている。放射線の概念には、X線の他、γ線、α線、β線も含まれうる。放射線撮像システムは、放射線撮像装置200、コンピュータ300、曝射制御装置310および放射線源320を備えうる。
曝射制御装置310は、放射線源320に対して、曝射(被検体への放射線の照射)を行うように指示する。曝射制御装置310は、例えば、曝射ボタンを有し、曝射ボタンが操作されたことに応じて放射線源320に対して、曝射を行うように指示する。コンピュータ300は、放射線撮像装置200を制御する他、放射線撮像装置200から出力される画像信号ISを処理するように構成されうる。コンピュータ300は、放射線撮像装置200と一体化されてもよいし、コンピュータ300の一部の機能が放射線撮像装置200に組み込まれてもよいし、放射線撮像装置200の一部の機能がコンピュータ300に組み込まれてもよい。
放射線撮像装置200は、放射線源320から被検体に照射され、被検体を透過した放射線によって形成される放射線像を撮像するように構成されている。放射線撮像装置200は、例えば、撮像部100と、電源回路210と、制御部220とを含みうる。撮像部100は、例えば、画素アレイ112、バイアス回路103、読出回路113、駆動回路114、第1基準電源111、第2基準電源117、ゲート電源116を含みうる。
画素アレイ112は、放射線を電気信号に変換する変換素子を含む複数の画素が配列され、複数の画素の変換素子にバイアス電圧を与えるためのバイアス線BLを有する。複数の画素は、複数の行および複数の列を構成するように2次元状に配置される。バイアス回路103は、画素アレイ112のバイアス線BLに対してバイアス電圧Vsを与える。バイアス回路103は、画素アレイ112に対する放射線の照射の開始を検出するために、バイアス線BLを流れる電流を検出する検出回路を含む。読出回路113は、画素アレイ112の複数の画素のうち駆動回路114によって選択された行の画素から信号を読み出す。駆動回路114は、画素アレイ112の複数の画素によって構成される複数の行のうち駆動対象の行を選択する。
電源回路210は、例えば、バッテリ、および、DCDCコンバータ等を含み、第1基準電源111、第2基準電源117およびゲート電源116(電圧発生回路)に対して電源電圧Vpを供給する。また、電源回路210は、撮像部100を構成する各素子に対して電源電圧Vpを供給する。第1基準電源111は、電源電圧Vpを受けて、第1基準電圧線Lvrefを介して読出回路113に供給される第1基準電圧Vrefを発生する。第2基準電源117は、第2基準電圧線Lvs’を介してバイアス回路103に供給される第2基準電圧Vs’を発生する。ゲート電源116(電圧発生回路)は、駆動回路114に供給されるゲート電圧Vonを発生する。駆動回路114は、選択する行の画素のトランジスタに対してゲート電圧Vonを印加する。
制御部220は、バイアス回路103の検出回路から供給される電流情報CIに基づいて、画素アレイ112に対する放射線の照射の開始を検出する。また、制御部220は、撮像部100の動作を制御する。制御部220は、例えば、画素アレイ112に対する放射線の照射の開始を検出したら、撮像部100をリセット動作から蓄積動作に移行させ、蓄積動作が終了したら、撮像部100を読出動作に移行させる。制御部220の機能の全部または一部は撮像部100に組み込まれてもよい。制御部220は、例えば、FPGA(Field Programmable Gate Arrayの略。)などのPLD(Programmable Logic Deviceの略。)、又は、ASIC(Application Specific Integrated Circuitの略。)、又は、プログラムが組み込まれた汎用コンピュータ、又は、これらの全部または一部の組み合わせによって構成されうる。
図2には、撮像部100の構成が例示されている。撮像部100は、前述のように、画素アレイ112、バイアス回路103、読出回路113、駆動回路114、第1基準電源111、第2基準電源117、ゲート電源116を含みうる。
画素アレイ112は、複数の行および複数の列を構成するように二次元状に配列された複数の画素PIXを有する。なお、図2では、説明の簡単化のために、画素PIXが3行3列を構成するように配列されているが、実際には、より多くの行および列を構成するように、より多くの画素PIXが配列される。各画素PIXは、放射線または光を電荷に変換する変換素子CVと、その電荷に応じた電気信号を信号線Sigに出力するスイッチ素子Tとを含みうる。各画素PIXは、その他、増幅回路および/またはサンプリング回路等を含んでもよい。
変換素子CVは、例えば、光を電荷に変換する光電変換素子と、放射線を光電変換素子が検知可能な波長の光に変換する波長変換体(シンチレータ)とを含む間接型の変換素子でありうる。あるいは、変換素子CVは、放射線を直接電荷に変換する直接型の変換素子でありうる。光電変換素子は、例えば、ガラス基板等の絶縁性基板の上に配置されたアモルファスシリコンを主材料とするPIN型フォトダイオードでありうる。変換素子CVの光電変換素子がPIN型フォトダイオードである場合、変換素子CVは、容量を有しうる。
スイッチ素子Tは、1つの制御端子と2つの主端子とを有するトランジスタ、例えば薄膜トランジスタ(TFT)でありうる。変換素子CVの一方の電極はスイッチ素子Tの2つの主端子のうちの一方に電気的に接続され、変換素子CVの他方の電極は共通のバイアス線BLに電気的に接続される。スイッチ素子Tの2つの主端子のうちの他方は、信号線Sigに接続されうる。バイアス線BLには、バイアス回路103によってバイアス電圧Vsが供給される。
スイッチ素子Tのゲートは、駆動回路114によって駆動される駆動信号線Gに接続されている。駆動回路114は、画素アレイ112における選択すべき行の駆動信号線Gをアクティブレベル(ゲート電圧Von)に駆動する。駆動信号線Gを通してアクティブレベルの信号がスイッチ素子Tのゲートに供給されると、そのスイッチ素子Tが導通状態となる。これによって、選択された行の画素PIXの変換素子CVに蓄積されていた電荷に応じた信号が複数の信号線Sigに並列に出力される。
信号線Sigに出力された信号は、読出回路113によって読み出される。読出回路113は、複数の増幅回路137と、マルチプレクサ138とを含む。複数の増幅回路137は、1つの増幅回路137が1つの信号線Sigに対応するように設けられている。複数の信号線Sigに並列に出力されてくる選択された行の画素PIXの信号は、複数の増幅回路137によって並列に増幅される。
各増幅回路137は、例えば、増幅器133(積分増幅器)と、増幅器133からの信号を増幅する可変増幅器134と、可変増幅器134からの信号をサンプルしホールドするサンプルホールド回路135と、バッファアンプ136とを含みうる。増幅器133は、図3に例示されるように、差動増幅器170と、フィードバックインピーダンス(積分容量)175と、リセットスイッチ176とを含みうる。差動増幅器170は、第1入力端子171(反転入力端子)、第2入力端子172(非反転入力端子)および第1出力端子173を有する、第2入力端子172と第1出力端子173とを接続するフィードバックインピーダンス175(積分容量)とを有しうる。増幅器133は、フィードバックインピーダンス175(積分容量)の容量値を変えることで増幅率を変更することができるように構成されてもよい。第1入力端子171には、第1基準電源111から第1基準電圧Vrefが供給され、第2入力端子172には、信号線Sigに出力された信号が供給され、第1出力端子173は、可変増幅器134の入力端子に接続されている。フィードバックインピーダンス175およびリセットスイッチ176は、差動増幅器170の第2入力端子172と第1出力端子173との間に並列に接続されている。サンプルホールド回路135は、例えば、サンプリングスイッチと、サンプリング容量とによって構成されうる。
マルチプレクサ138は、複数の信号線Sigにそれぞれ対応する複数の増幅回路137から並列に読み出された信号を順次に選択して出力する。読出回路113は、マルチプレクサ138からの信号をバッファリングするバッファ増幅器139を含みうる。バッファ増幅器139は、インピーダンス変換器として機能しうる。読出回路113は、AD変換器140を有しうる。AD変換器140は、例えば、バッファ増幅器139から出力されたアナログの信号を画像信号ISとしてのデジタル信号に変換するように配置されうる。読出回路113から出力された画像信号ISは、コンピュータ300に提供されうる。コンピュータ300は、読出回路113から出力された画像信号ISを処理する。
バイアス回路103は、電源回路210から電源電圧Vpおよび第2基準電源117から供給される第2基準電圧Vs’を受けて、バイアス線BLに供給するバイアス電圧Vsを発生する。ここで、バイアス電圧Vsは、第2基準電圧Vs’を基準として生成される電圧であって、第2基準電圧Vs’と等しい電圧である。バイアス回路103は、画素アレイ112に対する放射線の照射の開始を検出するために、バイアス線BLを流れる電流を検出するための検出回路を含む。ここで、バイアス線BLには、各画素PIXの変換素子CVに放射線が照射されて起こる光電変換によってバイアス電流が流れる。したがって、バイアス電流に基づいて放射線の照射開始などの照射状態を検出することができる。
バイアス回路103は、電源電圧Vpの供給を受けて動作する増幅回路180を含みうる。増幅回路180は、差動増幅器184と、フィードバックインピーダンス185とを含みうる。差動増幅器184は、第3入力端子181(非反転入力端子)、第4入力端子182(反転入力端子)および第2出力端子183を有する。フィードバックインピーダンス185は、第4入力端子182と第2出力端子183とを接続する。第3入力端子181には、第2基準電源117から第2基準電圧Vs’が供給される。第4入力端子182には、バイアス線BLが接続されている、増幅回路180は、イマジナリーショットによって、第2基準電圧Vs’と等しいバイアス電圧Vsをバイアス線BLに供給する。
増幅回路180の第2出力端子からは、バイアス線BLを流れるバイアス電流に応じた電圧が、バイアス線BLを流れるバイアス電流を示す情報として出力される。バイアス回路103あるいは検出回路は、増幅回路180から出力される電圧をAD変換するAD変換器189を有しうる。AD変換器189は、増幅回路180から出力される電圧(信号を)をAD変換した結果を、バイアス線BLを流れるバイアス電流を示す電流情報CIとして出力する。
この例では、バイアス線BLに供給されるバイアス電圧Vsを発生する機能およびバイアス線BLを流れる電流を検出する機能が増幅回路180によって提供される。しかしながら、バイアス線BLに供給されるバイアス電圧Vsを発生する機能およびバイアス線BLを流れる電流を検出する機能は、分離された2つの回路によってそれぞれ提供されてよい。
前述の制御部220は、駆動回路114を制御する制御信号、および、読出回路113を制御する制御信号などを発生する。駆動回路114は、制御部220からの制御信号に応じて、信号を読み出すべき行の画素PIXのスイッチ素子Tを導通状態にする。読出回路113を制御する制御信号は、例えば、リセット信号RC、サンプルホールド信号SH、クロック信号CLKを含みうる。リセット信号RCは、増幅器133のリセットスイッチを制御する信号、サンプルホールド信号SHは、サンプルホールド回路135を制御する信号、クロック信号CLKは、マルチプレクサ138を制御する信号である。
図4および図5を参照しながら放射線撮像システム1(放射線撮像装置200)の動作を説明する。この動作は、制御部220によって制御される。ここで、画素アレイ112は、第0行〜第(Y−1)行を有するものとする。駆動回路114によって第0行〜第(Y−1)行の画素PIXのトランジスタTのゲートに対して駆動信号線Gを介して与えられる信号をVg(0)〜Vg(Y−1)とする。第0行〜第(Y−1)行のアクティブレベルは、ゲート電圧Vonである。
工程S401では、制御部220は、バイアス回路103の検出回路から提供される電流情報CIに基づいて、放射線源320からの放射線の照射が開始されたかどうかを判定する。そして、制御部220は、放射線の照射が開始されたと判定するまでは、工程S402においてリセット駆動を続ける。そして、制御部220は、放射線の照射が開始されたと判定すると、工程S403に進む。
リセット駆動は、画素アレイ112は、第0行〜第(Y−1)行の画素PIXのトランジスタTに対して駆動信号線Gを介してアクティブレベル(ゲート電圧Von)の信号を与える動作を繰り返す動作である。ある行の画素PIXにアクティブレベル(ゲート電圧Von)の信号を与える動作は、当該行を選択する動作であるとも理解することができる。画素PIXの変換素子CVは、それに接続されたトランジスタTのゲートにアクティブレベルの信号が与えられることによって、信号線Sigの電圧(第1基準電圧Vref)に応じたレベルにリセットされる。
図5に示された例では、第ys行の画素PIXがリセット(選択)された時点で、制御部220は、放射線源320からの放射線の照射が開始されたかどうかを判定して、工程S401から工程S403に進む。工程S401から工程S403に進むことは、リセット駆動を終了して蓄積状態に移行することを意味する。
蓄積状態に移行すると、工程S403において、制御部220は、放射線の照射が終了したかどうかを判定する。そして、制御部220は、放射線の照射が終了したと判定するまでは、工程S404の蓄積状態を維持し、放射線の照射が終了したと判定したら、工程S405に進む。ここで、制御部220は、放射線の照射の開始を検出してからの経過時間に基づいて放射線の照射の終了を判定することができる。あるいは、制御部220は、電流情報CIが示す値が所定値を下回ったことに基づいて放射線の照射の終了を判定することができる。あるいは、制御部220は、電流情報CIの積算値が所定値を上回ったことに基づいて放射線の照射の終了を判定することができる。
工程S403から工程S405に進むことは、蓄積状態を終了して読出駆動に移行することを意味する。工程S405では、制御部220は、画素アレイ112の複数の画素PIXから信号が読み出されるように撮像部100を制御する。読出駆動では、駆動回路114は、例えば、画素アレイ112の複数の行を少なくとも1つの行を単位として所定の順で選択し、読出回路113は、画素アレイ112の選択された行の画素PIXの信号を読み出す。読み出された信号は、画素信号ISとして読出回路113(撮像部100、放射線撮像装置200)からコンピュータ300に出力される。
図6には、放射線の照射の開始判定がより詳しく示されている。図6に示された例において、第(ys−1)行の選択と第(y−1)行の選択との間の時刻において放射線の照射が開始され、それに応じた電流情報CIが生成されている。制御部220は、電流情報CIで示される値が判定閾値を越えたことに基づいて放射線の照射が開始されたと判定(即ち、放射線の照射が開始されたことを検出)し、撮像部100をリセット駆動から蓄積状態に移行させる。
図7には、衝撃(力)の印加による誤判定(誤検出)が示されている。図7に示された例において、第(ys−1)行の選択と第(y−1)行の選択との間の時刻において、放射線撮像装置200に衝撃(力)が印加され、電流情報CIで示される値が判定閾値を越え、誤判定が起こっている。ここで、誤判定とは、放射線の照射が開始されていないにも拘わらず、放射線の照射が開始されたと判定することをいう。
本発明者は、本発明に係る対策を施していない放射線撮像装置を使って実験を行ったところ、誤判定の原因は、衝撃を受けた電源回路210が発生する電流であるとの結論に至った。この原因について図8を参照しながら説明する。図8には、放射線撮像装置の構成を簡略化した等価回路が示されている。
図8には、画素アレイ112の複数の画素PIXを代表して1つの画素PIXが示されている。画素PIXのスイッチ素子Tのゲートには、駆動信号線Gを介して駆動回路114が接続され、変換素子CVの1つの端子には、バイアス線BLを介してバイアス回路103が接続されている。スイッチ素子Tの1つの主端子には、信号線Sigを介して読出回路113が接続されている。
駆動回路114には、ゲート電源116が接続されている。読出回路113には、第1基準電源111およびAD変換器140が接続されている。バイアス回路103には、第2基準電源117が接続され、第2基準電源117には、AD変換器189が接続されている。
読出回路113は、電源回路210の電源端子TV、接地端子TGから電源電圧Vpが供給される他、第1基準電源111から第1基準電圧Vrefが供給される。読出回路113は、信号線Sigに第1基準電圧Vrefを供給する。読出回路113には、第1基準電源111から第1基準電圧Vrefが供給される。第1基準電源111は、電源端子AV2および接地端子AG2を有し、第1基準電源111には、電源端子AV2および接地端子AG2を介して、電源回路210から電源電圧Vpが供給される。
バイアス回路103には、電源回路210の電源端子TV、接地端子TGから電源電圧Vpが供給される他、第2基準電源117からバイアス電圧Vs(第2基準電圧)が供給される。バイアス回路103は、バイアス線BLにバイアス電圧Vsを供給する。バイアス回路103には、第2基準電源117から第2基準電圧Vs’が供給される。第2基準電源117は、電源端子AV1および接地端子AG1を有し、第2基準電源117には、電源端子AV1および接地端子AG1を介して、電源回路210から電源電圧Vpが供給される。
駆動回路114には、電源回路210の電源端子TV、接地端子TGから電源電圧Vpが供給される他、ゲート電源116からゲート電圧Vonが供給される。ゲート電源116は、電源端子AV3および接地端子AG3を有し、ゲート電源116には、電源端子AV3および接地端子AG3を介して、電源回路210から電源電圧Vpが供給される。AD変換器140、189には、電源回路210の電源端子TV、接地端子TGから電源電圧Vpが供給される。AD変換器140、189は、接地端子DG2、DG1を有する。
電源回路210は、例えば、不図示のバッテリの他、DCDCコンバータDDCを有する。DCDCコンバータは、例えば、インダクタL、キャパシタCおよびスイッチング回路SWCを有するスイッチング方式のDCDCコンバータでありうる。キャパシタCは、圧電効果を有するキャパシタでありうる。電源端子AV1、AV2、AV3等は、電源線PLの接続端子PV1を介して電源回路210の電源端子TVに接続されている。接地端子AG1、AG2、AG3、DG1、DG2等は、接地線GLの接続端子PG1を介して電源回路210の接地端子TGに接続されている。
放射線撮像装置200に衝撃(力)が加わったことに起因して電源回路210は、通常時の電流に追加して、付加的な電流を発生しうる。電源回路210が発生する付加的な電流は、電源端子TV、接続端子PV1、接地線PL、電源端子AV2を介して第1基準電源111に供給されうる。そして、第1基準電源111に供給された付加的な電流は、接地端子AG2、接地線GL、接続端子PG1、接地端子TGを介して電源回路210に帰還されうる。第1基準電源111に供給される電流の変化は、第1基準電源111が発生する第1基準電圧Vrefを変化させうる。第1基準電源111が発生する第1基準電圧Vrefの変化は、画素アレイ112の信号線Sigの電圧を変化させうる。信号線Sigの電圧および電流の変化は、バイアス線BLを流れるバイアス電流を変化させうる。バイアス線BLを流れるバイアス電流の変化は、バイアス回路103によって、あたかも放射線の照射が開始されたかのように検出される。
また、放射線撮像装置200に衝撃(力)が加わったことに起因して電源回路210が発生する付加的な電流は、電源端子TV、接続端子PV1、接地線PL、電源端子AV1を介して第2基準電源117に供給されうる。そして、第2基準電源117に供給された付加的な電流は、接地端子AG1、接地線GL、接続端子PG1、接地端子TGを介して電源回路210に帰還されうる。第2基準電源117に供給される電流の変化は、第2基準電源117が発生する第2基準電圧Vs’を変化させうる。第2基準電源117が発生する第2基準電圧Vs’の変化は、バイアス線BLを流れるバイアス電流を変化させる。バイアス線BLを流れるバイアス電流の変化は、バイアス回路103によって、あたかも放射線の照射が開始されたかのように検出される。
また、放射線撮像装置200に衝撃(力)が加わったことに起因して電源回路210が発生する付加的な電流は、電源端子TV、接続端子PV1、接地線PL、電源端子AV3を介してゲート電源116に供給されうる。そして、ゲート電源116に供給された付加的な電流は、接地端子AG3、接地線GL、接続端子PG1、接地端子TGを介して電源回路210に帰還されうる。ゲート電源116に供給される電流の変化は、ゲート電源116が発生するゲート電圧Vonを変化させうる。ゲート電源116が発生するゲート電圧Vonの変化は、駆動回路114によって選択される行の画素PIXのスイッチ素子Tの導通状態を変化させる。スイッチ素子Tの導通状態の変化は、バイアス線BLを流れるバイアス電流を変化させる。バイアス線BLを流れるバイアス電流の変化は、バイアス回路103によって、あたかも放射線の照射が開始されたかのように検出される。
つまり、放射線撮像装置200に衝撃が加わったことに起因して電源回路210が発生する付加的な電流が第1基準電源111、第2基準電源117およびゲート電源116の少なくとも1つを介して電源回路210に帰還されることが誤判定の原因である。
以下、上記の考察に基づいて改良された構成を有する放射線撮像装置200について説明する。図9には、改良された放射線撮像装置200の構成が示されている。放射線撮像装置200は、読出回路113、バイアス回路103、第1基準電源111、第2基準電源117および電源回路210を備えうる。電源回路210は、少なくとも第1基準電源111および第2基準電源117に対して電源電圧線PLおよび接地線GLを介して電源電圧Vpを供給する。
接地線GLは、第1基準電源111および第2基準電源117のそれぞれの接地端子AG2、AG1を相互に接続する第1接地線AGと、電源回路210に接続された第2接地線DGと、第1接地線AGと第2接地線DGとを接続する第3接地線CGとを含みうる。バイアス回路103は、画素アレイ112に対する放射線の照射の開始を検出するために、バイアス線BLを流れるバイアス電流を検出する検出回路を含む。接地線GLは、第2接地線CGのインピーダンスZCGが第1基準電源111と第2基準電源117との間における第1接地線AGのインピーダンスZAGより高いように構成されうる。
上記のような接地線GLの構成によれば、電源回路210の電源端子TVから第1基準電源111および第2基準電源117を経由して電源回路210の接地端子TGに帰還する電流を低減することができる。これは、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流が第1基準電源111および第2基準電源117を流れることを制限する。これにより、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流によって第1基準電圧Vref、第2基準電圧Vs’が変化することを制限し、バイアス線BLを流れる電流が変化することを制限することができる。したがって、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流による誤判定を低減することができる。
放射線撮像装置200は、更に、画素アレイ112を駆動する駆動回路114と、駆動回路114に供給されるゲート電圧Vonを発生するゲート電源116(電圧発生回路)を備えうる。電源回路210は、ゲート電源116に対して電源電圧線PLおよび接地線GLを介して電源電圧Vpを供給する。第1接地線AGは、第1基準電源111、第2基準電源117およびゲート電源116のそれぞれの接地端子AG2、AG1、AG3を相互に接続しうる。接地線GLは、第2接地線CGのインピーダンスZCGが接地端子AG2、接地端子AG1および接地端子AG3のうち少なくとも2つの間における第1接地線AGのインピーダンスZAGより高いように構成されてもよい。
上記のような接地線GLの構成によれば、電源回路210の電源端子TVから第1基準電源111、第2基準電源117およびゲート電極116を経由して接地端子TGに帰還する電流を低減することができる。これは、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流が第1基準電源111、第2基準電源117およびゲート電源116を流れることを制限する。これにより、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流によって第1基準電圧Vref、第2基準電圧Vs’、ゲート電圧Vonが変化することを制限し、バイアス線BLを流れる電流が変化することを制限することができる。したがって、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流による誤判定を低減することができる。
衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流は、それが流れ易い経路、即ち、AD変換器140、189および第2接地線DGを通して流れうる。接地線GLは、第2接地線DGのインピーダンスZDQが第3接地線CGのインピーダンスZCGより小さいように構成されうる。
読出回路113およびバイアス回路103の接地端子は、第1接地線AGおよび第3接地線CGを介することなく、第2接地線DGに接続されうる。これにより、読出回路113およびバイアス回路103の能力が第3接地線CGのインピーダンスZCGによって制限されることによって発生しうるアーチファクトを低減することができる。また、ADD変換器140、189の接地端子は、第1接地線AGおよび第3接地線CGを介することなく、第2接地線DGに接続されうる。これにより、AD変換器140の能力が第3接地線CGのインピーダンスZCGによって制限されることによる発生しうるアーチファクトを低減することができる。また、AD変換器140の能力が第3接地線CGのインピーダンスZCGによって制限されることによるバイアス電流の検出精度(AD変換の精度)の低下を防止することができる。
第3接地線CGのインピーダンスZCGを(第1接地線AGのインピーダンスZAQよりも)高くする方法としては、例えば、第3接地線CGにACフィルタを挿入する、あるいは、第3接地線CGの幅(断面積)を小さく方法が有利である。あるいは、第3接地線CGでコイルを形成し、これによってACフィルタを構成してもよい。
第1接地線AGのインピーダンスZAGを(第3接地線CGのインピーダンスZCGよりも)小さくする方法としては、例えば、プリント配線基板上に専用の大きなグランドプレーンを設ける方法や、金属板に接続する方法が有利である。
第1基準電源111と第2基準電源117との間における第1接地線AGのインピーダンスZAGと第3接地線CGのインピーダンスZCGとの比は、バイアス回路103(検出回路)の増幅回路180の増幅率以上であることが好ましい。これは、誤判定の可能性が増幅回路180の増幅率に依存しうるからである。
放射線撮像装置200は、上記の改良に加えて、電磁結合を考慮して次のように改良されてもよい。図10には、電磁結合を考慮して改良された放射線撮像装置200の構成が示されている。電源線PLと接地線GLとの間には、種々の回路、例えば、読出回路113、バイアス回路103、制御部220が配置され、これらの回路には、電源端子VD3、接地端子DG3を介して電源電圧Vpが供給されうる。
第2基準電圧線Lvs’と第1接地線AGとの間には、電磁結合MAGが存在しうる。また、接地線GLのうち第1接地線AGを除く部分と第1接地線AGとの間には、電磁結合MGが存在しうる。電磁結合とは、容量性および/または誘導性の結合を意味する。ここで、接地線GLおよび第2基準電圧線Lvs’は、電磁結合AGmが電磁結合Gmより強いように構成されうる。これにより、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流が、接地線GLのうち第1接地線AGを除く部分、および、第2基準電源117および第2基準電圧線Lvs’を介して流れることを抑制することができる。
一例において、電磁結合MAGの強さと電磁結合MGの強さとの比は、バイアス回路103(検出回路)の増幅回路180の増幅率以上であることが好ましい。これは、誤判定の可能性が増幅回路180の増幅率に依存しうるからである。
以上のように、本発明の実施形態によれば、衝撃によって電源回路210において付加的に発生しうる電流による誤判定を低減するために有利な技術が提供される。
1:放射線撮像システム、100:撮像部、103:バイアス回路、111:第1基準電源、112:画素アレイ、113:読出回路、116:ゲート電源、117:第2基準電源、200:放射線撮像装置、210:主電源、GL:接地線、AG:第1接地線、PL:電源線、DG:第2接地線、CG:第3接地線、TV:電源端子、TG接地端子、PV1:接続端子、PG1:接続端子、Vref:第1基準電圧、Vs’:第2基準電圧、Vs:バイアス電圧、BL:バイアス線
Claims (17)
- 放射線をアナログ信号に変換する変換素子を含む複数の画素が配列され、前記複数の画素の前記変換素子にバイアス電圧を与えるためのバイアス線を有する画素アレイを備える放射線撮像装置であって、
前記画素アレイからのアナログ信号を読み出す読出回路と、
前記バイアス線にバイアス電圧を供給するバイアス回路であって、前記画素アレイに対する放射線の照射の開始を検出するために前記バイアス線を流れる電流を検出する検出回路を含み、前記検出回路が、前記電流に応じたアナログ信号を出力する増幅回路と、前記増幅回路から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換器と、を含むバイアス回路と、
前記読出回路に第1基準電圧を供給するための第1基準電源と、
前記増幅回路に第2基準電圧を供給するための第2基準電源と、
少なくとも前記第1基準電源、前記第2基準電源、および、前記AD変換器に対して電源電圧線および接地線を介して電源電圧を供給する電源回路と、を備え、
前記接地線は、前記第1基準電源および第2基準電源のそれぞれの接地端子を相互に接続する第1接地線と、前記電源回路および前記第1接地線に接続された第2接地線と、を含み、
前記第2接地線のインピーダンスは、前記第1基準電源と前記第2基準電源との間における前記第1接地線のインピーダンスより高く、
前記AD変換器の接地端子は、前記第1接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている、
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記接地線は、前記第1接地線と前記第2接地線とを接続する第3接地線を更に含み、
前記第3接地線のインピーダンスは、前記第2接地線のインピーダンスより高く、
前記AD変換器の接地端子は、前記第1接地線及び前記第3接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。 - 前記読出回路の接地端子は、前記第1接地線および前記第3接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている、
ことを特徴とする請求項2に記載の放射線撮像装置。 - 前記バイアス回路の接地端子は、前記第1接地線および前記第3接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている、
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1基準電源と前記第2基準電源との間における前記第1接地線のインピーダンスと、前記第3接地線のインピーダンスとの比は、前記増幅回路の増幅率以上である、
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記読出回路は、第1入力端子、第2入力端子および第1出力端子を有する差動増幅器と、前記第2入力端子と前記第1出力端子とを接続するフィードバックインピーダンスとを含み、前記第1入力端子に前記第1基準電圧が供給され、前記第2入力端子に前記画素アレイから信号が供給される、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記増幅回路は、第3入力端子、第4入力端子および第2出力端子を有する差動増幅器と、前記第4入力端子と前記第2出力端子とを接続するフィードバックインピーダンスとを含み、前記第3入力端子に前記第2基準電圧が供給され、前記バイアス線が前記第4入力端子に接続されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記検出回路は、前記第2出力端子に現れる情報を出力する、
ことを特徴とする請求項7に記載の放射線撮像装置。 - 前記AD変換器は、前記第2出力端子に現れる電圧をデジタル信号に変換する、
ことを特徴とする請求項8に記載の放射線撮像装置。 - 前記電源電圧線と前記接地線とを通して前記電源回路から前記電源電圧が供給される回路を更に備え、
前記第2基準電源は、第2基準電圧線を介して前記第2基準電圧を前記バイアス回路に供給し、
前記第2基準電圧線と前記第1接地線との電磁結合が、前記接地線のうち前記第1接地線を除く部分と前記第1接地線との電磁結合より強い、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記電源電圧線と前記接地線とを通して前記電源回路から前記電源電圧が供給され回路を更に備え、
前記第2基準電源は、第2基準電圧線を介して前記第2基準電圧を前記バイアス回路に供給し、
前記第2基準電圧線と前記第1接地線との電磁結合の強さと前記接地線のうち前記第1接地線を除く部分と前記第1接地線との電磁結合の強さとの比は、前記増幅回路の増幅率以上である、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記画素アレイを駆動する駆動回路と、
前記駆動回路に供給される電圧を発生する電圧発生回路と、を更に含み、
前記第1接地線は、前記第1基準電源、前記第2基準電源および前記電圧発生回路のそれぞれの接地端子を相互に接続する、
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記複数の画素の各々は、前記変換素子のアナログ信号を出力するトランジスタを含み、
前記駆動回路は、前記トランジスタのゲートを駆動するように構成されている、
ことを特徴とする請求項12に記載の放射線撮像装置。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの画像信号を処理するコンピュータと、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。 - 放射線を電気信号に変換する変換素子を含む複数の画素が配列され、前記複数の画素の前記変換素子の一方の電極にバイアス電圧を与えるためのバイアス線を有する画素アレイを備える放射線撮像装置であって、
前記画素アレイからの信号を読み出し、且つ、前記複数の画素の前記変換素子の他方の電極に第1基準電圧に基づく電圧を与えるための読出回路と、
前記バイアス線に第2基準電圧に基づく前記バイアス電圧を供給し、且つ、前記画素アレイに対する放射線の照射の開始を検出するために前記バイアス線を流れる電流に応じた信号を出力する第1回路と、
前記第1回路から出力された信号を処理する第2回路と、
前記読出回路に前記第1基準電圧を供給するための第1基準電源と、
前記第1回路に前記第2基準電圧を供給するための第2基準電源と、
少なくとも前記第1基準電源、前記第2基準電源、および、前記第2回路に対して電源電圧線および接地線を介して電源電圧を供給する電源回路と、を備え、
前記接地線は、前記第1基準電源および第2基準電源のそれぞれの接地端子を相互に接続する第1接地線と、前記電源回路及び前記第1接地線に接続された第2接地線と、を含み、
前記第2接地線のインピーダンスは、前記第1基準電源と前記第2基準電源との間における前記第1接地線のインピーダンスより高く、
前記第2回路の接地端子は、前記第1接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記接地線は、前記第1接地線と前記第2接地線とを接続する第3接地線を更に含み、
前記第3接地線のインピーダンスは、前記第2接地線のインピーダンスより高く、
前記第2回路の接地端子は、前記第1接地線及び前記第3接地線を介することなく前記第2接地線に接続されている
ことを特徴とする請求項15に記載の放射線撮像装置。 - 請求項15又は16に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの画像信号を処理するコンピュータと、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。
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