JP7441033B2 - 放射線撮像装置および放射線撮像システム - Google Patents
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Description
成分I1:変換素子202で放射線から変換されて発生した電荷が、バイアス線Bsを介してバイアス電源104に流れ込む電流。
成分I2:駆動線Vgとバイアス線Bsとの容量性結合に起因し、Cvg-bs×(Von-Voff)に比例する電流。
成分I1は、放射線撮像装置100に放射線が照射されているときのみ発生する。成分I2は、放射線の照射有無にかかわらず、駆動線Vgの電位をVoffからVon(またはVonからVoff)に切り替える際に発生する。放射線撮像装置100において、放射線の照射の有無を感度よく検出するためには、バイアス線Bsに流れる電流のSN比(成分I2に対する成分I1の比)を高める必要がある。つまり、配線間容量Cvg-bsを低減することが有効である。
Claims (24)
- 放射線を電荷に変換する変換素子およびスイッチ素子をそれぞれ含む複数の画素が行列状に配された画素部と、行方向に延在する複数の駆動線を介して前記スイッチ素子を制御する駆動回路と、バイアス線を介して前記変換素子にバイアス電位を与えるバイアス電源と、前記複数の画素から前記スイッチ素子を介して信号が出力される複数の列信号線と、検出部と、を含む放射線撮像装置であって、
前記複数の画素は、行方向に互いに隣り合う第1画素および第2画素であって、前記複数の列信号線のうち共通の列信号線に接続された第1画素および第2画素を含み、
前記第1画素の前記スイッチ素子および前記第2画素の前記スイッチ素子は、前記複数の駆動線のうち互いに異なる駆動線にそれぞれ接続され、
前記画素部に対する正射影において、前記複数の駆動線および前記バイアス線の幅のうちの少なくとも一方は、前記複数の駆動線と前記バイアス線とが交差する部分における幅が他の部分の幅よりも細くなっており、
前記検出部は、前記バイアス線を流れる電流に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記画素部に対する正射影において、前記第1画素の前記変換素子と前記第2画素の前記変換素子とが、前記共通の列信号線を挟んで線対称または点対称の位置に配されることを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。
- 前記画素部に対する正射影において、前記第1画素の前記スイッチ素子と前記第2画素の前記スイッチ素子とが、前記共通の列信号線を挟んで線対称または点対称の位置に配されることを特徴とする請求項1または2に記載の放射線撮像装置。
- 基板に配された前記変換素子および前記スイッチ素子によって形成される段差を抑制するための平坦化層が、前記変換素子および前記スイッチ素子を覆うように配され、
前記複数の駆動線は、前記平坦化層よりも前記基板の側に配され、
前記バイアス線は、前記平坦化層よりも前記基板から離れた側に配されることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の放射線撮像装置。 - 基板に配された前記スイッチ素子によって形成される段差を抑制するための平坦化層が、前記スイッチ素子を覆うように配され、
前記複数の駆動線は、前記平坦化層よりも前記基板の側に配され、
前記変換素子および前記バイアス線は、前記平坦化層よりも前記基板から離れた側に配されることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記画素部に対する正射影において、前記複数の画素のそれぞれの画素において、前記変換素子と前記スイッチ素子との少なくとも一部が、互いに重なって配されることを特徴とする請求項5に記載の放射線撮像装置。
- 前記画素部に対する正射影において、前記バイアス線が、前記複数の画素のそれぞれの画素の前記変換素子と重なるように配されることを特徴とする請求項5または6に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部が、前記駆動回路が前記複数の画素のうち何れかの画素の前記スイッチ素子を導通状態にしたときに前記バイアス線を流れる電流を表す第1信号値に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部が、前記第1信号値と、前記駆動回路が前記複数の画素の前記スイッチ素子を非導通状態にしたときに前記バイアス線を流れる電流を表す第2信号値と、に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項8に記載の放射線撮像装置。
- 前記バイアス電源は、第1バイアス電源と第2バイアス電源とを含み、
前記バイアス線は、前記第1バイアス電源に接続された第1バイアス線と、前記第2バイアス電源に接続され、前記第1バイアス線とは電気的に独立した第2バイアス線と、を含み、
前記第1画素の前記変換素子は、前記第1バイアス線を介して前記第1バイアス電源に接続され、
前記第2画素の前記変換素子は、前記第2バイアス線を介して前記第2バイアス電源に接続されることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1バイアス電源が供給するバイアス電位と、前記第2バイアス電源が供給するバイアス電位と、が互いに異なる電位であることを特徴とする請求項10に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部は、前記複数の画素のうち前記第1バイアス電源に前記変換素子が接続された画素のうち何れかの画素の前記スイッチ素子が導通状態のときに前記第1バイアス線を流れる電流を表す第1信号値と、前記複数の画素のうち前記第2バイアス電源に前記変換素子が接続された画素の前記スイッチ素子が非導通状態のときに前記第2バイアス線を流れる電流を表す第2信号値と、を、サンプリングするタイミングの少なくとも一部が重なるように取得し、前記第1信号値および前記第2信号値に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項10または11に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部は、前記第1信号値と前記第2信号値との差分に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項9または12に記載の放射線撮像装置。
- 請求項1乃至13の何れか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置に放射線を照射する放射線発生装置と、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。 - 放射線を電荷に変換する変換素子およびスイッチ素子をそれぞれ含む複数の画素が基板上に行列状に配された画素部と、行方向に延在する複数の駆動線を介して前記スイッチ素子を制御する駆動回路と、バイアス線を介して前記変換素子にバイアス電位を与えるバイアス電源と、前記複数の画素から前記スイッチ素子を介して信号が出力される複数の列信号線と、検出部と、を含む放射線撮像装置であって、
前記複数の画素は、行方向に互いに隣り合う第1画素および第2画素であって、前記複数の列信号線のうち共通の列信号線に接続された第1画素および第2画素を含み、
前記第1画素の前記スイッチ素子および前記第2画素の前記スイッチ素子は、前記複数の駆動線のうち互いに異なる駆動線にそれぞれ接続され、
前記基板上には、前記変換素子および前記スイッチ素子を覆うように平坦化層が形成され、
前記複数の駆動線は、前記平坦化層よりも前記基板の側に配され、
前記バイアス線は、前記平坦化層よりも前記基板から離れた側に配され、
前記検出部は、前記バイアス線を流れる電流に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記画素部に対する正射影において、前記第1画素の前記変換素子と前記第2画素の前記変換素子とが、前記共通の列信号線を挟んで線対称または点対称の位置に配されることを特徴とする請求項15に記載の放射線撮像装置。
- 前記画素部に対する正射影において、前記第1画素の前記スイッチ素子と前記第2画素の前記スイッチ素子とが、前記共通の列信号線を挟んで線対称または点対称の位置に配されることを特徴とする請求項15または16に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部が、前記駆動回路が前記複数の画素のうち何れかの画素の前記スイッチ素子を導通状態にしたときに前記バイアス線を流れる電流を表す第1信号値に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項15乃至17の何れか1項に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部が、前記第1信号値と、前記駆動回路が前記複数の画素の前記スイッチ素子を非導通状態にしたときに前記バイアス線を流れる電流を表す第2信号値と、に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項18に記載の放射線撮像装置。
- 前記バイアス電源は、第1バイアス電源と第2バイアス電源とを含み、
前記バイアス線は、前記第1バイアス電源に接続された第1バイアス線と、前記第2バイアス電源に接続され、前記第1バイアス線とは電気的に独立した第2バイアス線と、を含み、
前記第1画素の前記変換素子は、前記第1バイアス線を介して前記第1バイアス電源に接続され、
前記第2画素の前記変換素子は、前記第2バイアス線を介して前記第2バイアス電源に接続されることを特徴とする請求項15乃至19の何れか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1バイアス電源が供給するバイアス電位と、前記第2バイアス電源が供給するバイアス電位と、が互いに異なる電位であることを特徴とする請求項20に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部は、前記複数の画素のうち前記第1バイアス電源に前記変換素子が接続された画素のうち何れかの画素の前記スイッチ素子が導通状態のときに前記第1バイアス線を流れる電流を表す第1信号値と、前記複数の画素のうち前記第2バイアス電源に前記変換素子が接続された画素の前記スイッチ素子が非導通状態のときに前記第2バイアス線を流れる電流を表す第2信号値と、を、サンプリングするタイミングの少なくとも一部が重なるように取得し、前記第1信号値および前記第2信号値に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項20または21に記載の放射線撮像装置。
- 前記検出部は、前記第1信号値と前記第2信号値との差分に基づいて、放射線の照射の有無を判定することを特徴とする請求項19または22に記載の放射線撮像装置。
- 請求項15乃至23の何れか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置に放射線を照射する放射線発生装置と、
を備えることを特徴とする放射線撮像システム。
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