JP2005147958A - 放射線検出装置及び放射線検出システム - Google Patents
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Abstract
【課題】 撮像のための十分な受光量を確保することができると共に、AECを適切に行うことができる放射線検出装置及び放射線検出システムを提供する。
【解決手段】 絶縁基板1上に撮像用光電変換素子101及びこの駆動のためのスイッチ用TFT103が形成されている。スイッチ用TFT103のゲートにはゲート配線2が接続されている。そして、ゲート配線2の上方に、AECで用いられるモニタ用光電変換素子102が形成されている。撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102は、同一のバイアス線18からバイアスがかけられる。このような構成では、モニタ用光電変換素子102は、撮像用光電変換素子101の開口率に影響を及ぼさないため、十分な受光量が得られる。また、モニタ用光電変換素子102を用いたAECにより適切な放射線照射の制御を行うことができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 絶縁基板1上に撮像用光電変換素子101及びこの駆動のためのスイッチ用TFT103が形成されている。スイッチ用TFT103のゲートにはゲート配線2が接続されている。そして、ゲート配線2の上方に、AECで用いられるモニタ用光電変換素子102が形成されている。撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102は、同一のバイアス線18からバイアスがかけられる。このような構成では、モニタ用光電変換素子102は、撮像用光電変換素子101の開口率に影響を及ぼさないため、十分な受光量が得られる。また、モニタ用光電変換素子102を用いたAECにより適切な放射線照射の制御を行うことができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、X線、γ線等の放射線を検出する放射線検出装置及び放射線検出システムに関し、特に、医療画像診断装置、非破壊検査装置、放射線を用いた分析装置等への応用に好適な放射線検出装置及び放射線検出システムに関する。
従来、X線を用いた医療画像診断では、静止画像を得る一般撮影が多用されている。通常、一般撮影では、蛍光板とフィルムを組み合わせたスクリーンフィルム系(以下、S/Fと略記)を用い、フィルムを露光、現像した後、定着させる方法や、放射線画像を輝尽性蛍光体に潜像として記録した後、輝尽性蛍光体にレーザーを走査し、出力された光出力情報をセンサーで読み取る(コンピューティッドラジオグラフィ、以下、CRと略記)方法が一般的である。
しかしながら、これらの方法には、放射線画像を得るためのワークフローが煩雑であるという欠点があり、且つ、間接的にはデジタル化も可能であるが、即時性に欠け、他の医療画像診断で用いられるCT、MRI等のデジタル化された環境を考慮すると、整合性があるとは言い難い状況である。
このような状況において、近年、X線、γ線等の放射線を検出する放射線検出装置として、放射線を可視光に変換し、その変換光を非晶質シリコン薄膜を用いた光電変換素子により検出する放射線検出装置、所謂間接型の放射線検出装置が開発され製品化されている。このような放射線検出装置が製品化された理由としては、主に、次に2点が挙げられる。第一点は、光導電性を持った非晶質シリコンを核とした液晶技術の進歩により、TFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)及び光センサーの大面積化が可能になったことである。第二点は、従来から使用されているGOS蛍光体又はCsI蛍光体等を組み合わせたフラットパネル検出器(以下、FPDと略記)が開発され、大画面で、且つ、信頼性が高い放射線検出装置を安定して作製できることが可能となったことである。
FPDの最大の特徴は、放射線画像を瞬時に読み取り、瞬時にディスプレイ上に表示できることや、得られた放射線画像画像をデジタル情報として直接取り出すことが可能であるため、データの保管、加工及び転送等の取り扱いが容易であることにある。更に、感度等の諸特性についても、撮影条件に依存するが、従来のS/F系撮影法及びCR撮影法と比較して、同等又はそれ以上であることが確認されている。
従来、このような間接型の放射線検出装置の代表的な例として、MIS型光電変換素子(以下、MIS型PDと略記)及びスイッチTFTを備えたMIS−TFT構造の光センサーアレーと上述の蛍光体とを組み合わせた放射線検出装置がある。MIS−TFT構造の光センサーアレーの特徴は、先述したスイッチTFT及びMIS型PDが同一層に構成され、同一プロセスにより製造が可能であるため、安定して、且つ、低価格で生産できることにある。このような放射線検出装置は、特許文献1(特許第3066944号公報)及び特許文献(米国特許第6075256号明細書)に開示されている。
また、PIN型光電変換素子(以下、PIN型PDと略記)及びスイッチTFTを組み合わせたPIN−TFT構造の光センサーアレーや、スイッチ素子にPIN型ダイオードを用いたPIN−PIN構造の光センサーアレー等の多岐にわたる提案もされている。PIN型PDを用いたFPDとしては、高開口率を実現するため、且つ、縦方向又は横方向のリーク電流を低減できる構造が特許文献3(米国特許6288435号明細書)に開示されている。
このように、間接型の放射線検出装置では、基本的には、放射線を蛍光体により可視光に変換し、その変換光を光電変換素子により蓄積電荷として保存し、その電荷をスイッチ素子により順次読み出すという共通の駆動方法が一般的に用いられている。
上記の間接型に対して、放射線を直接、電荷に変換する直接型の放射線検出装置もある。例えば、非特許文献1(SPIE Vol.2708 P.511〜P.522)に、アモルファスSe膜を用いた直接型の放射線検出装置が記載されている。この放射線検出装置では、放射線を直接、電気信号に変換するアモルファスSe半導体薄膜がTFT基板に直接形成、接続されている。このような直接型の放射線検出装置では、間接型と比べて光学的損失がなく、また、発生した電荷を電界により引き出すため、十分厚膜化できる。このため、一層、高感度な検出装置を実現できると考えられている。
図18は、従来の放射線検出装置に利用される一般的な光センサーアレーの構成を示す模式的な等価回路図である。なお、図18には、説明の単純化のために、3×3の合計9個の画素から構成された光センサーアレーを例として挙げている。
図18に示すように、従来の光センサーアレーでは、各画素には、1個の光電変換素子Sij(i、j=1〜3)、スイッチTFT Tij(i、j=1〜3)が設けられている。光電変換素子Sijは、上述のMIS型PD又はPIN型PDであり、1つの光センサーアレー内で同一種類のものが用いられている。また、光電変換素子のバイアス配線Vsn(n=1〜3)はバイアス電源に接続されている。TFTゲート配線Vgn(n=1〜3)には、スイッチTFT Tijの駆動信号が伝達され、信号線Sign(n=1〜3)を、光電変換素子Sijに蓄積された電荷に対応する電流が流れる。
このように構成された光センサーアレーでは、夫々の光電変換素子Sijの信号出力は、光電変換素子Sij自身に蓄積される。そして、TFTゲート配線Vgnが接続された駆動用回路の出力信号によって、スイッチTFT Tijが順次オンされ、光電変換素子Sij自身に蓄積された蓄積電荷に対応する電流が信号線Sign(n=1〜3)を流れる。その後、読み出された信号は、信号線Signが接続された信号処理回路に入力され、出力信号として増幅、A/D変換された後、出力される。
次に、放射線撮像装置において重要な制御である自動露出制御(以下、AECと略記)について説明する。自動露出制御は、例えば、放射されたX線を検出し、適正なX線照射量に達した場合にX線照射を停止させる制御である。このような制御を行うことにより、任意部位の撮影において、常に同一の撮影、適切な濃度の画像が得られる。
従来、AECを用いたX線量の検出方法には、電離箱を使用して電離電流を検出する方法(イオンタイマ)と、蛍光体を用いてX線により発生する蛍光を光電管等の光電変換素子を用いて、その出力電流を検出する方法(フォトタイマ)とがある。前者のイオンタイマでは、電離箱の出力が微小なため、増幅器が必要とされるため、現在では、後者のフォトタイマによるAECが主流となっている。
実際のフォトタイマについては、例えば、カセッテを用いた撮影では、X線照射側のカセッテ前面に光電変換素子が配置される場合と、カセッテ後面に光電変換素子が配置される場合とがある。
なお、このような光電変換素子の配置は、FPDを用いた間接型の放射線撮像装置においてAECを行う場合も同様である。例えば、間接型の放射線撮像装置では、FPDの前面に、X線の減衰が5%程度である薄型のAEC用センサーが複数個配置され、これらの出力に基づいてX線の曝射を停止して、画像化に適切なX線照射量を得ている。
このように、FPDを用いた放射線撮像装置においても、常に、適正な放射線画像を得るためには、入力される放射線量を調整することが必要であり、上述のように、AEC用センサーがFPDとは別に設けられている。
しかしながら、FPDを用いた放射線撮像装置により、放射線画像のデジタル化が可能となり、多くの利点が得られるようになっているが、未だ、放射線撮像装置としての完成度は十分とはいえない。特に、個々の被写体の撮影において、常に最適な撮影が可能となっているとはいえない。即ち、適正な画像濃度を得るために、AEC機構が十分に機能しているとは言い難い。
例えば、FPDの前面にAEC用センサーが配置され、入射光量又は放射線量の計測結果に基づいて放射線が制御される場合、AEC用センサーの配置位置が問題となる。つまり、一般的に、AECを行う場合には、AECに必要とされる情報は被写体の中央部分から検出することが望ましく、このため、AEC用センサーはFPDの中央部分に設置することが望ましい。しかし、撮像に支障がまったくないようにAEC用センサーをFPDの中央部分に配置することは原理的に困難である。そして、現状では、高品位画像になるほど、AEC用センサーの設置による影響が大きくなる。これに対し、AEC用センサーの配置位置をFPDの端部にすると、かかる影響は小さくなるが、AECに主に必要とされる撮影部分からの情報が得られなくなり、AEC用の情報の精度が低く、AEC情報としては不十分となる。
また、アクリル板等の導光板を用いると共に、板端部にAEC用センサーを設置し、導光板を介して中央部分のX線量を検出する方法もある。しかし、この方法では、光減衰等の影響があるため、高感度のAEC用センサーが必要とされる。そこで、一般には、光電子増倍管が用いられているが、被写体の吸収の大小や管電圧の大小によって、FPDの感度と光電子増倍管の感度とに差異が現れる場合が多く、完全に整合性を得るのは困難である。
一方、FPDの背面にAEC用センサーを設置する方法もあるが、FPDの背面での光吸収及び反射等による減衰により、高感度な光電子増倍管が上述と同様に必要とされる。このため、導光板を用いた場合と同様の問題がある。更に、放射線撮像装置のコストの上昇、大型化及び重量化等の問題もある。
本発明は、撮像のための十分な受光量を確保することができると共に、AECを適切に行うことができる放射線検出装置及び放射線検出システムを提供することを目的とする。
本願発明者は、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
本発明に係る放射線検出装置は、複数の第1の光電変換素子と、前記第1の光電変換素子に接続された複数のスイッチ素子と、前記複数のスイッチ素子のオン/オフを切り替える信号が伝達される駆動配線と、前記駆動配線の上方に形成された第2の光電変換素子と、前記第1の光電変換素子及び前記第2の光電変換素子に接続されたバイアス線と、を有し、前記第1の光電変換素子及び前記第2の光電変換素子は、同一の基板に形成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る放射線検出システムは、上記の放射線検出装置と、前記放射線検出装置に向かって放射線を照射する放射線照射源と、前記第2の光電変換素子からの出力を演算し、予め設定されている設定値と比較し、前記放射線照射源による放射線の照射を停止させるか否かの判定を行う判定手段と、前記判定手段による判定の結果に基づいて前記放射線照射源に放射線の照射を停止させる放射線遮断手段と、前記放射線照射源が放射線の照射を停止した後に前記第1の光電変換素子からの出力を画像情報として読み出す読み出し手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、第2の光電変換素子が駆動配線の上方に形成されているため、第1の光電変換素子の開口率は、第2の光電変換素子の影響をほとんど受けない。従って、第1の光電変換素子を撮像に用い、第2の光電変換素子をAECに用いれば、撮像に際して十分な受光量を確保することができる。また、第1の光電変換素子の開口率は全体にわたって実質的に均一にすることが可能である。このため、開口率に変動がある場合に必要とされる出力補正が不必要となる。また、第1の光電変換素子と第2の光電変換素子とが同一の基板に形成されているため、コストの削減、精度の向上、撮像に必要とされる以上の放射線曝射の低減を実現することも可能である。
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。
(第1の実施形態)
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る放射線検出装置の回路構成を示す等価回路図である。図1には、4行4列(16個)の画素が設けられている例を示すが、画素の数はこれに限定されるものではない。また、本明細書では、便宜上、バイアス線が延びる方向に並ぶ画素の配列を列、それに直交する方向(ゲート配線が延びる方向)に並ぶ画素の配列を行という。
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る放射線検出装置の回路構成を示す等価回路図である。図1には、4行4列(16個)の画素が設けられている例を示すが、画素の数はこれに限定されるものではない。また、本明細書では、便宜上、バイアス線が延びる方向に並ぶ画素の配列を列、それに直交する方向(ゲート配線が延びる方向)に並ぶ画素の配列を行という。
本実施形態においては、画素毎に、MIS型の撮像用光電変換素子(第1の光電変換素子)101及びスイッチング用薄膜トランジスタ(TFT:スイッチ素子)103が基板111に設けられている。また、列方向で隣り合う2個の撮像用光電変換素子101間に、AEC制御用のMIS型のモニタ用光電変換素子(第2の光電変換素子)102が選択的に設けられている。具体的には、図1中の上から第2行目で左から第2列目及び第3列目の2個の画素に設けられた撮像用光電変換素子101と、第3行目で第2列目及び第3列目の2個の画素に設けられた撮像用光電変換素子101との間に、1個ずつモニタ用光電変換素子102が設けられ、更に、第3行目で第2列目及び第3列目の2個の画素に設けられた撮像用光電変換素子101と、第4行目で第2列目及び第3列目の2個の画素に設けられた撮像用光電変換素子101との間に、1個ずつモニタ用光電変換素子102が設けられている。つまり、総計で4個のモニタ用光電変換素子102が設けられている。従って、4個のモニタ用光電変換素子102は、撮像用光電変換素子101に取り囲まれるようにして配置されている。
撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102にはバイアス線Vsが接続されている。バイアス線Vsはバイアス回路108に接続されており、画素の列毎に分岐している。
また、図1の左から第b列目(b=1、2、3、4)の画素に設けられた4個のスイッチング用TFTのソース・ドレイン電極の一方は、信号線(第1の信号線)Sbに接続されている。信号線S1〜S4は信号処理回路107に接続されている。更に、第2列目の画素間に設けられた2個のモニタ用光電変換素子102には、スイッチング素子を介することなく信号線(第2の信号線)M1が接続され、第3列目の画素間に設けられた2個のモニタ用光電変換素子102には、スイッチング素子を介することなく信号線(第2の信号線)M2が接続されている。信号線M1及びM2も信号処理回路107に接続されている。信号処理回路107には、例えば増幅器、マルチプレクサ及びA/D変換器等が設けられている。
また、図1の上から第a行目(a=1、2、3、4)の画素に設けられた4個のスイッチング用TFT103のゲート電極(駆動電極)は、ゲート配線(駆動配線)Gaに接続されている。ゲート配線G1〜G4は駆動回路106に接続されている。駆動回路106には、例えばシフトレジスタが設けられている。
次に、画素の平面構成及び断面構成について説明する。図2は、第1の実施形態における図1中の領域104のレイアウトを示す平面図であり、図3は、第1の実施形態における図1中の領域105のレイアウトを示す平面図である。また、図4は、図2中のI−I線に沿った断面図であり、図5は、図2中のII−II線に沿った断面図であり、図6は、図3中のIII−III線に沿った断面図である。
撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102を含む領域104においては、図2、図4及び図5に示すように、絶縁基板1上に行方向に延びるゲート配線2が形成され、ゲート配線2を覆うようにしてゲート絶縁膜4が形成されている。ゲート配線2は図1中のゲート配線G1〜G4に相当する。ゲート配線2の一部は、図2の下方向に延出しており、この部分がスイッチング用TFT103のゲート電極3となっている。ゲート絶縁膜4上には、ゲート電極3と整合するようにして半導体層5(スイッチング用TFT103のチャネル)が形成されている。半導体層5上には、ソース・ドレイン用のオーミックコンタクト層6が形成されている。また、ゲート絶縁膜4上には、列方向に延びる信号線8及び9が形成されており、信号線8の一部は、図2の左方向に一方のオーミックコンタクト層6上まで延出しており、この部分がスイッチング用TFT103のソース・ドレイン電極7の一方となっている。信号線8は図1中の信号線S1〜S4に相当し、信号線9は信号線M1及びM2に相当する。ゲート絶縁膜4上には、更に、他方のオーミックコンタクト層6まで延出するソース・ドレイン電極7の他方が形成されている。そして、これらの電極等を覆う層間絶縁膜10が形成されている。
層間絶縁膜10には、図4に示すように、信号線9まで到達するコンタクトホール、及び、図5に示すように、信号線8とは一体化していない方のソース・ドレイン電極7まで到達するコンタクトホールが形成されている。信号線9まで到達するコンタクトホールは、ゲート配線2の上方に位置する。そして、層間絶縁膜10上に、画素内に拡がる撮像用光電変換素子101の下電極11、及びゲート配線2の上方に拡がるモニタ用光電変換素子102の下電極12が形成されている。下電極11はコンタクトホールを介してソース・ドレイン電極7に接続され、下電極12はコンタクトホールを介して信号線9に接続されている。そして、これらの下電極11及び12を覆う絶縁層13が層間絶縁膜10上に形成されている。
絶縁層13上には、下電極11と整合するようにして撮像用光電変換素子101の半導体層14が形成され、下電極12と整合するようにしてモニタ用光電変換素子102の半導体層15が形成されている。更に、半導体層14及び15上には、夫々撮像用光電変換素子101のオーミックコンタクト層16、モニタ用光電変換素子102のオーミックコンタクト層17が形成されている。オーミックコンタクト層16及び17上には、図2に示すように、平面視で信号線8及び9の間で列方向に延びるバイアス線18が形成されている。バイアス線18は図1中のバイアスVsに相当する。そして、全面に保護層19が形成され、この保護層19上に、接着剤を用いて、GOS又はCsI等からなる蛍光体層(図示せず)が貼り付けられている。
一方、撮像用光電変換素子101を含むが、モニタ用光電変換素子102を含まない領域105においては、図3及び図6に示すように、ゲート配線2の上方の構成が領域104のものと相違している。なお、撮像用光電変換素子101を含むが、モニタ用光電変換素子102を含まない領域には、図3及び図6とは異なり、信号線9を含むものもある。つまり、モニタ用光電変換素子102と信号処理回路107との間の領域では、モニタ用光電変換素子102が含まれていなくても信号線9は存在する。
ここで、上述のように構成された第1の実施形態に係る放射線検出装置の動作について説明する。
本実施形態に係る放射線検出装置は間接型のX線検出装置であり、照射されたX線は蛍光体層により、可視光に変換される。そして、可視光がFPD内の各画素に入射し、撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102によって、入射光量に応じた量の電荷に変換される。
そして、モニタ用光電変換素子102による光電変換で生成された電荷は、そのまま信号線9(信号線M1及びM2)を介して信号処理回路107に流れ込む。信号処理回路107は、各信号線9の出力値を演算して、予め設定されている設定値と比較し、この設定値に達した時にX線曝射を停止させる。なお、各信号線9からの読み出しが終了した後には、増幅器側からリセット動作が行われる。
一方、撮像用光電変換素子101による光電変換で生成された電荷は、一旦撮像用光電変換素子101に蓄積される。そして、X線の曝射が停止された後、シフトレジスタ等の駆動回路106により、ゲート配線2(ゲート配線G1〜G4)が順次駆動されると、スイッチング用TFT103が順次オンになり、撮像用光電変換素子101に蓄積されていた電荷は、各信号線8(信号線S1〜S4)を介して信号処理回路107に流れ込む。そして、信号処理回路107による処理が行われ、画像情報が得られる。この画像情報は、必要に応じて他の回路等に転送される。
このように構成された本実施形態では、撮像用光電変換素子101とAECに用いるモニタ用光電変換素子102とが同一基板上に形成されているため、AEC用センサーを別体で設置する必要がなくなり、放射線検出装置を小型化することができ、また回路構成も簡易化することも可能である。
また、モニタ用光電変換素子102はスイッチング用TFT103のゲート配線2の上方に位置しているため、図2乃至図6に示すように、領域104に含まれる撮像用光電変換素子101の開口率(図2参照)が、領域105に含まれる撮像用光電変換素子101の開口率(図3参照)よりも小さくなることはなく、十分な受光量が得られる。従って、放射線検出装置の全面にわたって撮像用光電変換素子101の開口率を高く維持しながら、AECで用いるモニタ用光電変換素子102を任意の位置に配置することができる。
なお、モニタ用光電変換素子102とゲート配線2との間の寄生容量については、層間絶縁膜10が存在しているため、影響のない程度まで引き下げることができる。
更に、撮像用光電変換素子101とモニタ用光電変換素子102とが絶縁基板1を基準として同一の高さに形成されており、それらのMIS構造も同一である。即ち、AECに用いるモニタ用光電変換素子102の積層構造と画像情報の取得に用いる撮像用光電変換素子101の積層構造とが同一である。具体的には、撮像用光電変換素子101は、層間絶縁膜10上に形成された、下電極11、絶縁層13、半導体層14及びオーミックコンタクト層16を備えており、モニタ用光電変換素子102は、層間絶縁膜10上に形成された、下電極12、絶縁層13、半導体層15及びオーミックコンタクト層17を備えている。そして、下電極11と下電極12とが同一の材料から形成され、半導体層14と半導体層15とが同一の材料から形成され、オーミックコンタクト層16とオーミックコンタクト層17とが同一の材料から形成されている。
このため、モニタ用光電変換素子102の感度と撮像用光電変換素子101の感度とを面積比で比較することが可能であり、AECが容易になり、画質が安定する。この結果、被写体の吸収の差異や撮影条件の差異に拠らず、最適濃度の画像の取得が可能となる。即ち、AEC用の信号線9を直結して、撮像用光電変換素子101と略同一面積の出力を得ることも可能である。なお、光電変換素子101及び102の構造はMIS型に限定されるものではなく、PIN型であってもよい。
本実施形態では、スイッチング用TFT103は撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102よりも絶縁基板1側に形成されており、そのMIS構造は撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102のものとは相違している。
次に、図1乃至図6に示す第1の実施形態を応用した大面積のFPDについて説明する。図7は、第1の実施形態を応用した大面積のFPDの平面構成を示すレイアウト図である。
図7に示すFPDでは、FPDパネル300内に、行方向及び列方向に2560個ずつ160μmのピッチで配列した総計で6553600個の画素から構成された画素アレイ301が設けられている。画素アレイ301は、256×256画素からなる10×10個の画素領域に区画されており、このうちの3個がAEC用画素領域302〜304となっている。AEC用画素領域302〜304には、撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102が混在しているのに対し、その他の画素領域には、撮像用光電変換素子101だけが設けられ、モニタ用光電変換素子102は設けられていない。
FPDパネル300の一端部には、10列の画素領域に対し、列毎に画像読み取り用AmpIC312が接続され、他の一端部には、10行の画素領域に対し、行毎にドライバIC314が接続されている。そして、10個の画像読み取り用AmpIC312が単一の画像信号処理回路311に接続され、10個のドライバIC314が単一の駆動回路313に接続されている。また、画像読み取り用AmpIC312が接続された端部と対向する端部には、AEC用画素領域302〜304が存在する3列の画素領域に対し、列毎にAEC用AmpIC316が接続され、3個のAEC用AmpIC316が単一のAEC信号処理回路315に接続されている。本例では、画像信号処理回路311及びAEC信号処理回路315が図1中の信号処理回路107に相当し、駆動回路313が図1中の駆動回路106に相当する。
即ち、本例のFPDでは、アンプ側及びドライバ側のいずれにおいても256ビット処理ICが用いられている。また、画像読み取り用AmpIC312及びAEC用AmpIC316は負荷容量Cfと光電変換素子の容量Cとの比により増幅される電荷読出し型である。
このように構成されたFPDでは、上述のように、画像読み取り用AmpIC312並びにドライバIC314が256画素毎に設けられ、AEC用画素領域302〜304の基本単位が256×256画素である。このため、画像読み取り用AmpIC312の基本単位とAEC用AmpIC316の基本単位が統一されている。
次に、FPDを備えた放射線検出システムの動作について説明する。この放射線検出システムの動作は、第1の実施形態に係る放射線検出装置の動作と同様である。図10は、放射線検出システムの動作を示すフローチャートである。
先ず、X線照射源(放射線照射源)がX線の照射を開始し(ステップS1)、撮像用光電変換素子101に画像情報が蓄積される。同時に、モニタ用光電変換素子102にも同様に電荷が蓄積される。
そして、モニタ用光電変換素子102の電荷の読み込みまでの時間を一定時間(Tmsec)としておき、この時間が経過すると、その出力信号(電荷)について、増幅及びA/D変換の処理を行う。更に、読み込んだ出力信号を加算した後、平均化する(ステップS2)。
その後、予め設定された設計値Bを平均出力Aで除算し(ステップS3)、この商Cに基づいてX線曝射時間を推定及び算出して、X線照射を停止する信号をX線照射源に出力する(ステップS4)。このとき、モニタ用光電変換素子102の読み込み時間(Tmsec)は、実際のX線曝射時間に比較して、1/10程度以下の時間に設定することが駆動上好ましい。
そして、X線の照射が終了した後、撮像用光電変換素子101から画像情報として出力信号(電荷)を読み出す。信号線9のリセットは、撮像用光電変換素子101への影響を最小限とするため、撮像用光電変換素子101の出力後に行われることが望ましい。
ここで、AEC用画素領域におけるモニタ用光電変換素子102の配置の例について説明する。図8は、AEC用画素領域の第1の例を示す模式図であり、図9−1及び図9−2は、AEC用画素領域の第2の例を示す模式図である。いずれの例も、行方向及び列方向に256個の画素が配列してAEC用画素領域が構成されている。
第1の例では、AEC用画素領域の1本の対角線に沿って、撮像用光電変換素子101及びモニタ用光電変換素子102を含む256個の領域104が配列しており、その他の領域は撮像用光電変換素子101のみを含む領域105となっている。第1の例では、寄生容量の増加を回避するために当該AEC用画素領域内において1本のゲート配線2の上方に形成されるモニタ用光電変換素子102の数を1個にしつつ、可能な限り大きな領域で放射線量を計測するために、領域104が対角線に沿って配置されているが、寄生容量の多少の増加を許容して領域104がAEC用画素領域に含まれる全ての画素に対応して配置してもよい。
第2の例は、ゲート配線2を共有する2個のAEC用画素領域(例えば図7中のAEC用画素領域302及び303)に組み合わせて用いられる。一方のAEC用画素領域では、図9−1に示すように、1本の対角線に沿って、領域104と領域105とが交互に配列している。従って、この対角線上には、128個の領域104及び128個の領域105が存在している。そして、他方のAEC用画素領域では、図9−2に示すように、前記一方のAEC用画素領域において領域104が存在する領域に領域105が存在し、前記一方のAEC用画素領域において領域105が存在する領域に領域104が存在している。即ち、2個のAEC用画素領域間で、領域104の位置と領域105の位置とが入れ替わっている。
上述のように、ゲート配線2とモニタ用光電変換素子102との間には層間絶縁膜10が形成されているため、それらの間の寄生容量は極めて低いが、1本のゲート配線2に寄生するモニタ用光電変換素子102との間の寄生容量は、当該ゲート配線2と平面視で重なり合うモニタ用光電変換素子102の数が多いほど大きくなる。これに対し、第2の例によれば、1本のゲート配線2の上方に位置するモニタ用光電変換素子102の数は1個となるので、最低限のレベルに抑えることができる。また、第2の例では、1本の信号線9に接続されるモニタ用光電変換素子102の数は1個である。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、画素の平面構成及び断面構成が第1の実施形態と相違している。以下、主にこの相違点について説明する。図11は、第2の実施形態における図1中の領域104のレイアウトを示す平面図であり、図12は、第2の実施形態における図1中の領域105のレイアウトを示す平面図である。また、図13は、図11中のI−I線に沿った断面図であり、図14は、図11中のII−II線に沿った断面図である。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、画素の平面構成及び断面構成が第1の実施形態と相違している。以下、主にこの相違点について説明する。図11は、第2の実施形態における図1中の領域104のレイアウトを示す平面図であり、図12は、第2の実施形態における図1中の領域105のレイアウトを示す平面図である。また、図13は、図11中のI−I線に沿った断面図であり、図14は、図11中のII−II線に沿った断面図である。
本実施形態では、図11乃至図14に示すように、スイッチング用TFT103とモニタ用光電変換素子102とが同一のMIS構造で構成されている。即ち、スイッチング用TFT103は、層間絶縁膜20上に順次形成された、ゲート電極3、ゲート絶縁膜4、半導体層5、オーミックコンタクト層6及びソース・ドレイン電極7を備えており、モニタ用光電変換素子102は、層間絶縁膜20上に形成された、下電極30、ゲート絶縁膜4、半導体層21、オーミックコンタクト層22及び導電材26を備えている。そして、ゲート電極3と下電極30とが同一の材料から形成され、半導体層5と半導体層21とが同一の材料から形成され、オーミックコンタクト層6とオーミックコンタクト層22とが同一の材料から形成され、ソース・ドレイン電極7と導電材26とが同一の材料から形成されている。一方、撮像用光電変換素子101のMIS構造は、これらとは相違している。
なお、本実施形態では、ゲート電極3は、ゲート配線2の上にゲート配線2とは独立した別の層として形成されている。また、導電材26とバイアス線18との間には、薄い導電膜27が形成されている。
このように構成された第2の実施形態では、ゲート配線2の厚さについては、ゲート電極3の厚さを考慮する必要がなく、ゲート配線2を厚膜化することが可能である。逆に、ゲート電極3の厚さについては、ゲート配線2の抵抗を考慮する必要がなく、ゲート電極3を薄膜化することが可能である。このため、ゲート配線2の低抵抗化を実現することができると共に、ゲート絶縁膜4を薄膜化できるため、スイッチ用TFT103の駆動能力が向上する。
また、本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、モニタ用光電変換素子102はスイッチ用TFT103のゲート配線2の上方に配置されているため、画像情報を取得するための撮像用光電変換素子101の開口率が、領域104と領域105との間で、実質的に等しい。従って、モニタ用光電変換素子102の存在により開口率が低下することはない。
更に、本実施形態において、撮像用光電変換素子101がPIN型PDから構成されていてもよい。図15は、PIN型PDから構成された撮像用光電変換素子101の構造を示す断面図である。この撮像用光電変換素子101では、層間絶縁膜10上に、下電極11、n型半導体層23、半導体層24及びp型半導体層25が順次形成されている。
このように、第2の実施形態では、モニタ用光電変換素子102と撮像用光電変換素子101とで積層構造が相違していることを利用して、撮像用光電変換素子101の構造をPIN型PD等に自由に選択することができる。
次に、モニタ用光電変換素子102により得られた電荷(出力信号)の読み込み方法の例について説明する。図16は、AEC用の3読み出しラインの構成を示す等価回路図である。また、図17は、各端子の信号の概略を示すタイミングチャートである。
図16に示す例では、FPD基板100上に、複数個の光電変換素子102が形成され、3個の光電変換素子102毎にAmpTFT202及びリセットTFT205が接続されている。リセットTFT205の他端には、端子Vrbが接続され、リセットTFT205のゲートには端子Vraが接続されている。また、各AmpTFT202の一端には転送TFT201が接続されている。転送TFT201のゲートには端子Vtaが接続され、他端には端子Vtbが接続されている。更に、AmpTFT202の他端には、夫々負荷抵抗203及び電圧読み出し増幅器204が接続されている。ここでは、3ラインが、A領域、B領域、C領域のモニタ用光電変換素子102を領域毎に共通接続されて読み出しが行われる。なお、各領域は、撮像用光電変換素子101とモニタ用光電変換素子102とが混在する1個のAEC用画素領域が3分割されたときの分割後の3個の領域に相当していてもよく、また、AEC用画素領域が3個存在するときの3個のAEC用画素領域に相当していてもよい。
読み出しの際には、端子Vtbに一定電位が与えられ、モニタ用光電変換素子102に蓄積された電荷は、端子Vtaがオンになると、端子Voに出力が現れる。そして、端子Voの出力値を一定のサンプリング時間で読み出して演算した後、設定値と比較し、X線照射を停止する信号を出力する。その後、端子Vraからリセット電圧を供給すると、リセットTFT205がオンとなり、モニタ用光電変換素子102がリセットされる。その後、順次画像の読み出しを行う。なお、モニタ用光電変換素子102のリセットは、画素読出し後に実施されることが望ましい。
この例は、適正なX線曝射量を得るためのフォトタイマに関するものであるが、X線モニタとして使用することも可能である。通常、X線モニタは、X線の照射が終了したことを検出するものであり、従来、フォトタイマと同様に別体で設置されており、機能的には、その信号に基づいてFPDの画像読み出し動作が開始される。本例では、端子Voに現れる出力値の変化、例えば、増加率ΔVを算出し、ΔV=0でX線照射終了の信号とすることも可能である。
本発明の実施形態は、例えばコンピュータがプログラムを実行することによって実現することができる。また、プログラムをコンピュータに供給するための手段、例えばかかるプログラムを記録したCD−ROM等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体又はかかるプログラムを伝送するインターネット等の伝送媒体も本発明の実施形態として適用することができる。また、上記のプログラムも本発明の実施形態として適用することができる。上記のプログラム、記録媒体、伝送媒体及びプログラムプロダクトは、本発明の範疇に含まれる。
1:絶縁基板
2:ゲート配線
3:ゲート電極
4:ゲート絶縁膜
5:TFTの半導体層
6:TFTのオーミックコンタクト層
7:ソース・ドレイン電極
8:第1の信号線
9:第2の信号線
10:層間絶縁層
11:撮像用光電変換素子の下電極
12:モニタ用光電変換素子の下電極
13:絶縁層
14:撮像用光電変換素子の半導体層
15:モニタ用光電変換素子の半導体層
16:撮像用光電変換素子のオーミックコンタクト層
17:モニタ用光電変換素子のオーミックコンタクト層
18:バイアス線
19:保護層
20:層間絶縁膜
21:モニタ用光電変換素子の半導体層
22:モニタ用光電変換素子のオーミックコンタクト層
23:撮像用光電変換素子のn型半導体層
24:撮像用光電変換素子の半導体層
25:撮像用光電変換素子のp型半導体層
26:導電材
27:導電膜
30:モニタ用光電変換素子の下電極
100:FPD基板
101:撮像用光電変換素子
102:モニタ用光電変換素子
103:スイッチ用TFT
104、105:領域
106:駆動回路
107:信号処理回路
108:バイアス回路
111:基板
201:転送TFT
202:Amp TFT
203:負荷抵抗
204:電圧読み出し増幅器
205:リセットTFT
300:FPDパネル
301:画素アレイ
302〜304:AEC用領域
311:画像信号処理回路
312:画像読み取り用AmpIC
313:駆動回路
314:ドライバIC
315:AEC信号処理回路
316:AEC用AmpIC
Vs1〜Vs3:バイアス線
G1〜G4:TFT駆動用ゲート配線
S1〜S4:第1の信号線
M1〜M2:第2の信号線
2:ゲート配線
3:ゲート電極
4:ゲート絶縁膜
5:TFTの半導体層
6:TFTのオーミックコンタクト層
7:ソース・ドレイン電極
8:第1の信号線
9:第2の信号線
10:層間絶縁層
11:撮像用光電変換素子の下電極
12:モニタ用光電変換素子の下電極
13:絶縁層
14:撮像用光電変換素子の半導体層
15:モニタ用光電変換素子の半導体層
16:撮像用光電変換素子のオーミックコンタクト層
17:モニタ用光電変換素子のオーミックコンタクト層
18:バイアス線
19:保護層
20:層間絶縁膜
21:モニタ用光電変換素子の半導体層
22:モニタ用光電変換素子のオーミックコンタクト層
23:撮像用光電変換素子のn型半導体層
24:撮像用光電変換素子の半導体層
25:撮像用光電変換素子のp型半導体層
26:導電材
27:導電膜
30:モニタ用光電変換素子の下電極
100:FPD基板
101:撮像用光電変換素子
102:モニタ用光電変換素子
103:スイッチ用TFT
104、105:領域
106:駆動回路
107:信号処理回路
108:バイアス回路
111:基板
201:転送TFT
202:Amp TFT
203:負荷抵抗
204:電圧読み出し増幅器
205:リセットTFT
300:FPDパネル
301:画素アレイ
302〜304:AEC用領域
311:画像信号処理回路
312:画像読み取り用AmpIC
313:駆動回路
314:ドライバIC
315:AEC信号処理回路
316:AEC用AmpIC
Vs1〜Vs3:バイアス線
G1〜G4:TFT駆動用ゲート配線
S1〜S4:第1の信号線
M1〜M2:第2の信号線
Claims (5)
- 複数の第1の光電変換素子と、
前記第1の光電変換素子に接続された複数のスイッチ素子と、
前記複数のスイッチ素子のオン/オフを切り替える信号が伝達される駆動配線と、
前記駆動配線の上方に形成された第2の光電変換素子と、
前記第1の光電変換素子及び前記第2の光電変換素子に接続されたバイアス線と、
を有し、
前記第1の光電変換素子及び前記第2の光電変換素子は、同一の基板に形成されていることを特徴とする放射線検出装置。 - 前記複数の第1の光電変換素子はアレイ状に配列しており、
前記駆動配線は、前記第1の光電変換素子の行又は列毎に1本ずつ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。 - 前記第1の光電変換素子の集合を複数の画素領域に分割したとき、
前記複数の画素領域には、前記第2の光電変換素子を含む画素領域と、前記第2の画素領域を含まない画素領域が含まれていることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置。 - 前記スイッチ素子の前記第1の光電変換素子とは反対側の端子に接続された第1の信号線と、
前記第2の光電変換素子の前記バイアス線とは反対側の端子に接続された第2の信号線と、
を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線検出装置と、
前記放射線検出装置に向かって放射線を照射する放射線照射源と、
前記第2の光電変換素子からの出力を演算し、予め設定されている設定値と比較し、前記放射線照射源による放射線の照射を停止させるか否かの判定を行う判定手段と、
前記判定手段による判定の結果に基づいて前記放射線照射源に放射線の照射を停止させる放射線遮断手段と、
前記放射線照射源が放射線の照射を停止した後に前記第1の光電変換素子からの出力を画像情報として読み出す読み出し手段と、
を有することを特徴とする放射線検出システム。
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- 2003-11-18 JP JP2003388378A patent/JP2005147958A/ja active Pending
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