JP6456301B2 - 画像処理方法、画像処理装置、画像処理プログラム、及び画像処理プログラムを記憶した記憶媒体 - Google Patents
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Claims (10)
- 半導体デバイスを対象に測定された測定画像を取得する第1ステップと、
前記半導体デバイス或いは前記半導体デバイスとは異なる半導体デバイスである参照用半導体デバイスを対象に測定された参照用測定画像を取得する第2ステップと、
前記測定画像から第1の形状情報を抽出し、前記参照用測定画像から第2の形状情報を抽出し、前記第1の形状情報と前記第2の形状情報とに基づいて、前記測定画像と前記参照用測定画像との相対関係を示すマッチング情報を取得する第3ステップと、
前記マッチング情報を基に、前記測定画像と前記参照用測定画像との差分を求めることにより比較画像を取得する第4ステップと、
を備えることを特徴とする画像処理方法。 - 前記比較画像は、差分により得られた値の絶対値を含む画像である、
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理方法。 - 前記比較画像は、差分により得られた値を含む画像である、
ことを特徴とする請求項1に記載の画像処理方法。 - 前記第3ステップでは、前記測定画像及び前記参照用測定画像のコントラストに基づいて、前記第1の形状情報及び前記第2の形状情報を抽出する、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の画像処理方法。 - 前記第3ステップでは、前記測定画像の前記半導体デバイス上の範囲を示す第1の視野サイズと、前記参照用測定画像の前記参照用半導体デバイス上の範囲を示す第2の視野サイズとの比に基づいて、前記測定画像及び前記参照用測定画像の少なくともいずれか一方の画像サイズを調整する、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の画像処理方法。 - 前記マッチング情報は、前記測定画像と前記参照用測定画像との相対関係を示す位置情報、回転情報、及び倍率情報の少なくとも1つである、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の画像処理方法。 - 前記測定画像及び前記参照用測定画像は、前記半導体デバイスの発熱画像、発光画像、電気量変化画像、光起電流画像、正誤情報画像、位相画像、振幅画像、及びI/Q画像のうちの少なくとも1つである、
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の画像処理方法。 - 半導体デバイスを対象に測定された測定画像と、前記半導体デバイス或いは前記半導体デバイスとは異なる半導体デバイスである参照用半導体デバイスを対象に測定された参照用測定画像とを記憶する記憶部と、
前記測定画像から第1の形状情報を抽出し、前記参照用測定画像から第2の形状情報を抽出し、前記第1の形状情報と前記第2の形状情報とに基づいて、前記測定画像と前記参照用測定画像との相対関係を示すマッチング情報を取得する画像解析部と、
前記マッチング情報を基に、前記測定画像と前記参照用測定画像との差分を求めることにより比較画像を取得する画像処理部と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - コンピュータを、
半導体デバイスを対象に測定された測定画像から第1の形状情報を抽出し、前記半導体デバイス或いは前記半導体デバイスとは異なる半導体デバイスである参照用半導体デバイスを対象に測定された参照用測定画像から第2の形状情報を抽出し、前記第1の形状情報と前記第2の形状情報とに基づいて、前記測定画像と前記参照用測定画像との相対関係を示すマッチング情報を取得する画像解析部、及び
前記マッチング情報を基に、前記測定画像と前記参照用測定画像との差分を求めることにより比較画像を取得する画像処理部、
として機能させることを特徴とする画像処理プログラム。 - 請求項9記載の画像処理プログラムを記憶した記憶媒体。
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