JP6449087B2

JP6449087B2 - 測定量判定装置

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Publication number: JP6449087B2
Application number: JP2015070746A
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Inventors: 桜井　裕徳; 裕徳桜井; 力山口; 恒夫小川
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Priority date: 2015-03-31
Filing date: 2015-03-31
Publication date: 2019-01-09
Anticipated expiration: 2035-03-31
Also published as: JP2016191578A

Description

本発明は、測定対象に供給される測定信号の物理量（例えば周波数）を変化させたときにこの測定対象で測定される物理量毎の測定量を物理量毎の判定範囲と比較して判定する測定量判定装置に関するものである。

この種の測定量判定装置として、出願人が下記の特許文献１において開示した検査装置が既に知られている。この検査装置は、まず、測定対象（測定試料）に対して、測定信号（測定用信号）の物理量（周波数）を測定範囲内で（測定開始周波数から測定終了周波数まで）変化させつつその測定信号を供給（スイープさせて供給）し、この測定信号の供給時に測定対象に流れる電流と測定対象の両端間に発生する電圧とを物理量毎に測定する。次いで、検査装置は、この物理量毎に測定した電流と電圧とに基づいて、物理量毎の測定量（インピーダンスの絶対値）を算出する。続いて、検査装置は、物理量毎に予め規定された判定範囲（合否範囲）と、この算出した測定量とを比較して、この測定量が判定範囲内にあるか否かを判定する。最後に、検査装置は、判定の結果を装置内に設けられた表示部に表示させる。

この検査装置での判定範囲（合否範囲）の作成は、まず、複数の正常な測定対象を用意して、測定対象のそれぞれに対して物理量（物理量の値）を変化させながら（物理量をスイープさせながら測定信号を供給して、各測定対象についての物理量毎（物理量の値毎）の測定量を算出する。次いで、物理量毎の測定量の平均値を算出することで基準値（検査基準値）を算出する。最後に、算出した物理量毎の基準値に上限幅を足すことで物理量毎の測定量についての上限許容値を算出し、また物理量毎の基準値から下限幅を引くことで物理量毎の測定量についての下限許容値を算出する。このようにして、下限許容値と上限許容値とで構成される測定量についての判定範囲が物理量毎に作成される。

特開２０１０−２４３２０４号公報（第５−８頁、第１−３図）

ところで、この検査装置のように、測定信号の物理量を変化させながら（スイープさせながら）、物理量毎の測定量を算出して検査する構成では、測定量についての合否判定の精度を高めるために、物理量を変化させる間隔をより狭くするのが好ましいことから、物理量の数は一般的に少なくとも数百個以上になる。このため、上記した検査装置のように装置内に配設された表示部などに検査結果を表示させる構成においては課題は生じないが、例えば、装置の外部に配設された他の装置に検査結果を出力させようとする場合には、検査装置と他の装置とを接続するインターフェースコネクタ（以下、コネクタともいう）のピン数には限度があることから、上記のように数百個にも及ぶ物理量毎の検査結果をコネクタを介して他の装置に出力することは困難である。

したがって、上記の特許文献１には記載されていないが、通常の検査装置では測定信号全体としての判定結果、つまり、すべての物理量での測定量が各物理量に規定された判定範囲内に含まれているときには、測定信号は正常であり、それ以外のときには、測定信号を異常であるとする判定結果を、コネクタの１つのピンを介して他の装置に出力する構成を採用している。

ところが、測定信号全体としての判定結果ではなく、所望の複数の物理量（上記のようにして変化させる物理量の一部の物理量。例えば、数個から十数個程度の物理量）での判定結果を他の装置に出力したいという要請があり、またコネクタのピンに、例えば、ある程度（数ピンから十数ピン程度）の割り付け可能なピン（空きピン）がある場合もあることから、これらのピンを利用して所望の複数の物理量での判定結果を他の装置に出力し得るのが望ましい。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、所望の複数の物理量での測定量についての判定結果をコネクタの所望のピンから外部に出力し得る測定量判定装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定量判定装置は、測定対象に供給する際の測定信号についての複数の物理量を指定する第１測定情報、当該測定信号を測定対象に供給した際に測定される当該複数の物理量での測定量と比較する当該複数の物理量毎の判定範囲を規定する第１判定情報、および前記第１測定情報で指定された前記複数の物理量での前記測定量が前記複数の物理量毎の前記判定範囲に含まれているか否かを示す個別判定情報を出力するインターフェースコネクタにおける複数のコネクタピンのピン番号を指定する第１出力情報を設定して出力可能に構成されると共に、第１処理命令を出力可能に構成された操作部と、前記測定信号を生成して前記測定対象に供給しつつ当該測定対象において測定される前記測定量を取得する測定部と、前記操作部から出力された前記第１測定情報で指定される前記複数の物理量で前記測定信号を生成させて前記測定対象に供給させる動作と共に前記測定量を測定させる動作を前記測定部に対して実行させる測定処理、および当該測定処理で測定された前記複数の物理量毎の前記測定量を前記操作部から入力された前記第１判定情報で規定される当該複数の物理量毎の前記判定範囲と比較して当該測定量が対応する当該判定範囲に含まれているか否かを示す当該複数の物理量毎の前記個別判定情報を取得する判定処理を実行すると共に、前記操作部から前記第１処理命令を入力したときには、当該判定処理で取得した前記複数の物理量毎の前記個別判定情報を前記操作部から出力された前記第１出力情報で指定される前記複数のピン番号のうちの対応するピン番号の前記コネクタピンから出力する出力処理を実行する処理部とを備えている。

請求項２記載の測定量判定装置は、請求項１記載の測定量判定装置において、前記操作部は、前記測定対象に供給する際の前記測定信号についての任意の１つの物理量を指定する第２測定情報、前記判定範囲内に予め規定された前記任意の１つの物理量での前記測定量についての基準値に対する当該測定量の近接度合いをランク分けするために当該判定範囲を複数に細分化して得られる複数の副判定範囲を規定する第２判定情報、および前記第２測定情報で指定された前記物理量での前記測定量が複数の副判定範囲のいずれに含まれるかを示す当該測定量についてのランク分け情報を出力する前記インターフェースコネクタにおける複数のコネクタピンのピン番号を指定する第２出力情報を設定して出力可能に構成されると共に、第２処理命令を出力可能に構成され、前記処理部は、前記操作部から出力された前記第２測定情報で指定される前記物理量で前記測定信号を生成させて前記測定対象に供給させる動作と共に前記測定量を測定させる動作を前記測定部に対して実行させる測定処理、および当該測定処理で測定された前記物理量での前記測定量を前記操作部から入力された前記第２判定情報で規定される前記複数の副判定範囲と比較して当該測定量が含まれる当該副判定範囲を示す前記ランク分け情報を取得する判定処理を実行すると共に、前記操作部から前記第２処理命令を入力したときには、当該判定処理で取得した前記ランク分け情報を前記操作部から出力された前記第２出力情報で指定される前記複数のピン番号の前記コネクタピンから出力する出力処理を実行する。

請求項１記載の測定量判定装置によれば、操作者は、操作部を操作して、操作部から第１測定情報（測定部から測定対象に供給される測定信号の所望の複数の物理量）、第１判定情報（各物理量での判定範囲）、および第１出力情報（各物理量での個別判定情報を出力するインターフェスコネクタの各コネクタピンを示すピン番号）を処理部に出力するだけで、所望の物理量での測定量についての判定範囲との比較の結果（個別判定情報）を、所望のコネクタピンから外部に出力することができる。

請求項２記載の測定量判定装置によれば、操作者は、操作部を操作して、操作部から第２測定情報（測定部から測定対象に供給される測定信号の所望の任意の１つの物理量）、第２判定情報（この１つの物理量での測定量の基準値に対する近接度合いを示すランク分けのための複数の副判定範囲）、および第２出力情報（ランク分け情報を出力するインターフェースコネクタの各コネクタピンを示すピン番号）を処理部に出力するだけで、上記の個別判定情報に代えて、所望の任意の１つの物理量での測定量についてのランク分け情報を、所望のコネクタピンから外部に出力することができる。

測定量判定装置１の構成図である。測定量判定装置１の動作を説明するための説明図である。測定量判定装置１の動作を説明するためのフローチャートである。

以下、測定量判定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、測定量判定装置の構成について、図面を参照して説明する。

まず、図１に示す測定量判定装置としての測定量判定装置１は、一例として、測定部２、処理部３、操作部４、記憶部５、表示部６および外部ＩＯ部７（外部入出力部７）を備えて、測定対象９において測定される測定量に対する判定処理（測定量判定処理）を実行可能に構成されている。本例では一例として、測定量判定装置１では、測定部２が測定対象９のインピーダンスＺ（具体的には、インピーダンスの絶対値）を測定対象９についての測定量として測定し、処理部３がこのインピーダンスＺに対する判定処理を実行する例を挙げて説明する。

測定部２は、一例として、測定信号としての交流信号Ｓ１をその物理量としての周波数ｆ（物理量の値としての周波数値ｆ）を予め設定された測定範囲内（本例では、図２に示すように、下限周波数ｆ_Ｌから上限周波数ｆ_Ｈまでの測定範囲内（周波数範囲内））で段階的に変化（Δｆステップでスイープ）させながら（つまり、測定ポイントを変化させながら）測定対象９に出力する信号発生器と、交流信号Ｓ１の各周波数ｆ（各測定ポイント）において測定対象９に流れる電流Ｉ１を測定する電流測定器と、交流信号Ｓ１の各周波数ｆ（各測定ポイント）において測定対象９の両端間に発生する電圧Ｖ１を測定する電圧測定器と、電流測定器で測定された電流Ｉ１および電圧測定器で測定された電圧Ｖ１を共通のサンプリングクロックでそれぞれデジタルデータに変換すると共に各デジタルデータに基づいて測定対象９のインピーダンスＺを交流信号Ｓ１の各周波数ｆ（各測定ポイント）において演算する信号処理器（いずれも図示せず）とを備えている。また、測定部２は、交流信号Ｓ１の各周波数ｆ（各測定ポイント）において演算したインピーダンスＺを、このインピーダンスＺの演算時の交流信号Ｓ１の周波数ｆ（測定ポイントの周波数ｆ）と共に処理部３に出力する。

処理部３は、一例としてコンピュータで構成されて、測定部２および表示部６に対する制御処理、並びに図３に示す測定量判定処理５０を実行する。操作部４は、例えばキーボードや操作パネルなどを備えて構成されて、処理部３に対する種々の情報（データ）や種々の処理命令の設定が可能に構成されると共に、設定されたこれらデータや処理命令を処理部３に出力可能に構成されている。

記憶部５は、一例として、ＲＡＭなどの半導体メモリで構成されて、操作部４から処理部３に出力される種々のデータを記憶する。表示部６は、例えば液晶ディスプレイなどのディスプレイ装置で構成されて、処理部３から出力される種々のデータを表示することが可能に構成されている。

外部ＩＯ部７は、予め規定されたピン数のインターフェースコネクタ（以下、単にコネクタともいう）を備え、予め規定されたインターフェース規格に準じた仕様の信号をコネクタの各ピンを介して入出力可能に構成されている。測定量判定装置１は、この外部ＩＯ部７に接続された接続ケーブル（不図示）を介して測定量判定装置１の外部に配設された不図示の装置（以下、外部装置ともいう）と接続されて、処理部３から出力された判定結果を外部ＩＯ部７を介して外部装置に出力したり、外部装置から出力された信号を外部ＩＯ部７を介して処理部３に入力したりする。

次に、測定量判定装置１の動作について図２，３を参照して説明する。

測定量判定装置１では、処理部３は、図３に示す測定量判定処理５０を実行する。この測定量判定処理５０では、処理部３は、まず、測定ポイントの設定を実行する（ステップ５１）。

具体的には、処理部３は、このステップ５１では、測定部２から測定対象９に供給させる交流信号Ｓ１の複数の物理量としての各周波数ｆを測定ポイントとして設定する。この場合、設定方法としては、操作部４から処理部３に対して、周波数ｆの下限周波数ｆ_Ｌおよび上限周波数ｆ_Ｈと、各周波数ｆの間隔Δｆとを出力して、下限周波数ｆ_Ｌおよび上限周波数ｆ_Ｈで規定される測定範囲を間隔Δｆ毎に分割させて各周波数ｆを算出させ、この算出された各周波数ｆを測定ポイントとして記憶部５に記憶させる構成（各周波数ｆを自動的に記憶させる構成）を採用することもできるし、オペレータが操作部４を操作することで、処理部３に対して各周波数ｆを個別に手動で出力して記憶部５に記憶させる構成を採用することもできる。このステップ５１において設定する測定ポイント（周波数ｆ）の数は、背景技術で説明したスイープでの物理量の数（例えば、数百個）と同程度である。

次いで、処理部３は、所望の複数の測定ポイントでの判定範囲（後述する第１処理命令の入力時に実行する判定処理で使用される判定範囲）、および所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲（後述する第２処理命令の入力時に実行するランク分け処理で使用される副判定範囲）の設定を実行する（ステップ５２）。

具体的には、処理部３は、複数の測定ポイントでの判定範囲の設定では、操作部４から出力される第１測定情報で指定される所望の複数の測定ポイント（複数の物理量）としての複数の周波数ｆ（上記のステップ５１において測定ポイントとして設定されたいずれかの周波数ｆであり、本例では一例として３つの周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋ）と、操作部４から出力される第１判定情報で規定される測定ポイント毎の判定範囲（周波数ｆ毎の判定範囲ＤＲ。本例では一例として、周波数ｆｉについての判定範囲ＤＲｉ，周波数ｆｊについての判定範囲ＤＲｊ，周波数ｆｋについての判定範囲ＤＲｋ）と、操作部４から出力される第１出力情報で指定される各周波数ｆ毎の外部ＩＯ部７の各ピンのピン番号Ｐｘ（本例では一例として、周波数ｆｉについてのピン番号Ｐｉ，周波数ｆｊについてのピン番号Ｐｊ，周波数ｆｋについてのピン番号Ｐｋ）とを入力して記憶部５に記憶させる。

なお、各判定範囲ＤＲについては、各測定ポイントでの測定量（本例ではインピーダンスＺ）の下限値と上限値とを規定することで設定される。この下限値と上限値については、一例として、背景技術で説明した判定範囲（合否範囲）の作成のときと同様にして、図２に示すように、各物理量での測定量の平均値を算出して、これを基準値とし、この基準値から下限幅を引くことで下限値（下限許容値）を算出し、この基準値に上限幅を足すことで上限値（上限許容値）を算出する。なお、各判定範囲ＤＲについては、操作部４を操作して手動で個別に設定する構成を採用することもできる。

また、処理部３は、所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲の設定では、操作部４から出力される第２測定情報で指定される所望の任意の１つの測定ポイント（１つの物理量）としての１つの周波数ｆ（上記のステップ５１において測定ポイントとして設定されたいずれかの周波数ｆであり、本例では一例として周波数ｆｍ。なお、上記した周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋのいずれかと同じであってもよい）と、操作部４から出力される第２判定情報で規定される複数の副判定範囲ＢＩＮ（周波数ｆｍでの測定量についてのランク分けのための範囲）と、操作部４から出力される第２出力情報で指定されるランク分けの結果を出力するための外部ＩＯ部７の各ピンのピン番号Ｐｙとを入力して記憶部５に記憶させる。

本例では一例として、第２判定情報で規定される複数の副判定範囲ＢＩＮとして、図２に示すように、４つの副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４が規定され、これに合わせて、ランク分けの結果を出力するための外部ＩＯ部７の４つのピンのピン番号Ｐ（副判定範囲ＢＩＮ１についての結果を出力するピンのピン番号Ｐｉ，副判定範囲ＢＩＮ２についての結果を出力するピンのピン番号Ｐｊ，副判定範囲ＢＩＮ３についての結果を出力するピンのピン番号Ｐｋ，副判定範囲ＢＩＮ４についての結果を出力するピンのピン番号Ｐｍ）が規定される。

なお、本例では一例として、図２に示すように、複数の副判定範囲のうちの基準値に対する測定量の近接度合いが最も高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ１については、上記した基準値に上限幅ａを足して得られる上限値と、この基準値から下限幅ａを引いて得られる下限値とで規定される範囲（同図中において△のマークで挟まれた範囲）として規定されている。また、近接度合いが２番目に高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ２については、上記した基準値に上限幅ｂ（＞ａ）を足して得られる上限値と、この基準値から下限幅ｂを引いて得られる下限値とで規定される範囲であって、副判定範囲ＢＩＮ１を除く範囲（△のマークと◇のマークとで挟まれた２つの範囲）として規定されている。また、近接度合いが３番目に高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ３については、上記した基準値に上限幅ｃ（＞ｂ）を足して得られる上限値と、この基準値から下限幅ｃを引いて得られる下限値とで規定される範囲であって、副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２を除く範囲（◇のマークと□のマークとで挟まれた２つの範囲）として規定されている。また、複数の副判定範囲のうちの基準値に対する測定量の近接度合いが最も低いことを示す副判定範囲ＢＩＮ４については、上記した基準値に上限幅ｄ（＞ｃ）を足して得られる上限値（本例では上記した判定範囲の上限値と同じ）と、この基準値から下限幅ｄを引いて得られる下限値（本例では上記した判定範囲の下限値と同じ）とで規定される範囲であって、副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３を除く範囲（□のマークと○のマークとで挟まれた２つの範囲）として規定されている。

また、本例では、所望の複数の測定ポイントでの判定範囲を用いた判定結果を出力するための外部ＩＯ部７の各ピンの一部（全部であってもよい）を、所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲を用いたランク分けの結果を出力するための外部ＩＯ部７の各ピンとしても利用する構成（ピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋの各ピンが共通となる構成）を採用しているが、これは、前者の判定結果と後者の判定結果とは同時に出力されないという条件下において、外部ＩＯ部７のピン数には上限（具体的には、これらの判定結果の出力に割り振れるピン数に上限）があるという制限の下でも、所望の複数の測定ポイントでの判定範囲を用いた判定結果について、より多くの測定ポイントでの判定結果を出力させつつ、所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲を用いたランク分けの結果について、より多くの副判定範囲を用いたランク分けの結果を出力させることを可能とするためである。したがって、所望の複数の測定ポイントでの判定範囲を用いた判定結果の数と、所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲を用いたランク分けの結果の数の合計が、外部ＩＯ部７のピンのうちのこれらの判定結果の出力に割り振れる範囲内のときには、所望の複数の測定ポイントでの判定範囲を用いた判定結果を出力するための外部ＩＯ部７の各ピンと、所望の任意の１つの測定ポイントでの複数の副判定範囲を用いたランク分けの結果を出力するための外部ＩＯ部７の各ピンとを別のピンにすることも可能である。

続いて、処理部３は、各測定ポイントでの測定対象９についての物理量の測定処理を実行する（ステップ５３）。この測定処理では、処理部３は、上記のステップ５１で設定した周波数ｆを、記憶部５から、例えば、下限周波数ｆ_Ｌ側から上限周波数ｆ_Ｈに向けて順次読み出しつつ測定部２に出力することで、測定部２に対して、測定対象９に供給されている交流信号Ｓ１の周波数ｆを測定範囲内で（つまり、下限周波数ｆ_Ｌから上限周波数ｆ_Ｈまで）変化させる（スイープさせる）。また、処理部３は、測定部２に対して、交流信号Ｓ１の各周波数ｆ（各測定ポイント）において測定対象９に流れる電流Ｉ１と測定対象９の両端間に発生する電圧Ｖ１とを測定させると共に、測定された電流Ｉ１および電圧Ｖ１（具体的には、電流Ｉ１、電圧Ｖ１、および両者の位相差）に基づいて測定対象９のインピーダンスＺを算出させて、インピーダンスＺの演算時の交流信号Ｓ１の周波数ｆ（測定ポイントの周波数ｆ）と共に処理部３に出力させる。また、処理部３は、測定部２から出力されるインピーダンスＺを、この演算時の交流信号Ｓ１の周波数ｆに対応させて記憶部５に記憶させる。これにより、各測定ポイントでの物理量（各周波数ｆでのインピーダンスＺ）の測定処理が完了する。

次いで、処理部３は、設定された判定範囲ＤＲおよび副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理を実行する（ステップ５４）。この判定処理では、処理部３は、判定範囲ＤＲに基づく判定処理として、記憶部５に記憶されている各判定範囲ＤＲ（本例では、判定範囲ＤＲｉ，ＤＲｊ，ＤＲｋ）と、各判定範囲ＤＲに対応する測定ポイント（周波数ｆｉ，ｆｊ．ｆｋ）での測定量としてのインピーダンスＺ（本例では、インピーダンスＺｉ，Ｚｊ，Ｚｋと表記する）とを比較する。

この比較の結果、処理部３は、周波数ｆｉでのインピーダンスＺｉが、周波数ｆｉでの判定範囲ＤＲｉに含まれているときには、含まれていることを示す情報（例えば、数値の「１」）を、一方、周波数ｆｉでの判定範囲ＤＲｉに含まれていないときには、含まれていないことを示す情報（例えば、数値の「０」）を測定ポイント（周波数ｆｉ）に対応させて、判定範囲ＤＲに基づく判定処理での判定結果ＲＥ１の一部として記憶部５に記憶させる。同様にして、処理部３は、周波数ｆｊでのインピーダンスＺｊについても周波数ｆｊでの判定範囲ＤＲｊと比較することで、その判定結果を判定結果ＲＥ１の一部として記憶部５に記憶させると共に、周波数ｆｋでのインピーダンスＺｋについても周波数ｆｋでの判定範囲ＤＲｋと比較することで、その判定結果を判定結果ＲＥ１の一部として記憶部５に記憶させる。本例では一例として、図２に示すように、いずれのインピーダンスＺｉ，Ｚｊ，Ｚｋも、対応する判定範囲ＤＲｉ，ＤＲｊ，ＤＲｋに含まれている。このため、処理部３は、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋでの判定範囲ＤＲに基づく判定結果（数値「１］）を、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋに対応させて判定結果ＲＥ１（個別判定情報）として記憶部５に記憶させる。これにより、判定範囲ＤＲに基づく判定処理が完了する。

また、処理部は、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理として、記憶部５に記憶されている複数の副判定範囲ＢＩＮ（本例では、４つの副判定範囲ＢＩＮ１〜ＢＩＮ４）と、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定を行う測定ポイント（本例では、周波数ｆｍ）での測定量としてのインピーダンスＺ（本例では、インピーダンスＺｍと表記する）とを比較する。

具体的には、処理部３は、まず、各副判定範囲ＢＩＮのうちの基準値に対する測定量（インピーダンスＺｍ）の近接度合いが最も高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ１と測定量（インピーダンスＺｍ）との比較を実行する。処理部３は、この比較の結果、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ１に含まれているときには、含まれていることを示す情報（例えば、数値の「１」）を、副判定範囲ＢＩＮ１に対応させて、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理での判定結果ＲＥ２（ランク分け情報）の一部として記憶部５に記憶させる。

また、処理部３は、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ１に含まれていないときには、近接度合いが次に高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ２と測定量（インピーダンスＺｍ）との比較を実行する。処理部３は、この比較の結果、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ２に含まれているときには、含まれていることを示す情報（例えば、数値の「１」）を、副判定範囲ＢＩＮ２に対応させて、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理での判定結果ＲＥ２（ランク分け情報）の一部として記憶部５に記憶させる。

また、処理部３は、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２に含まれていないときには、近接度合いがその次に高いことを示す副判定範囲ＢＩＮ３と測定量（インピーダンスＺｍ）との比較を実行する。処理部３は、この比較の結果、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ３に含まれているときには、含まれていることを示す情報（例えば、数値の「１」）を、副判定範囲ＢＩＮ３に対応させて、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理での判定結果ＲＥ２（ランク分け情報）の一部として記憶部５に記憶させる。

また、処理部３は、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３に含まれていないときには、近接度合いがその次に高い（本例では、近接度合いが最も低い）ことを示す副判定範囲ＢＩＮ４と測定量（インピーダンスＺｍ）との比較を実行する。処理部３は、この比較の結果、インピーダンスＺｍが副判定範囲ＢＩＮ４に含まれているときには、含まれていることを示す情報（例えば、数値の「１」）を、副判定範囲ＢＩＮ４に対応させて、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理での判定結果ＲＥ２（ランク分け情報）の一部として記憶部５に記憶させる。これにより、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定処理が完了する。なお、本例では一例として、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果については、その初期値として、副判定範囲ＢＩＮに含まれていないことを示す情報（例えば、数値の「０」）が記憶されている。

したがって、例えば、図２に示すように、測定ポイント（周波数ｆｍ）でのインピーダンスＺｍが、副判定範囲ＢＩＮ１に含まれているときには、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果ＲＥ２（ランク分け情報）として、数値「１」，「０」，「０」，「０」が記憶部５に記憶される。なお、図示はしないが、仮に、インピーダンスＺｍが、副判定範囲ＢＩＮ３に含まれているときには、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果ＲＥ２として、数値「０」，「０」，「１」，「０」が記憶部５に記憶され、インピーダンスＺｍが、いずれの副判定範囲ＢＩＮにも含まれていないときには、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果ＲＥ２として、数値「０」，「０」，「０」，「０」が記憶部５に記憶される。

続いて、処理部３は、上記したステップ５４での各判定処理での判定結果ＲＥ１，ＲＥ２を記憶部５から読み出して、表示部６に予め決められた態様で表示（出力）させる（ステップ５５）。これにより、この測定量判定装置１では、表示部６に表示されている各判定処理での判定結果ＲＥ１，ＲＥ２に基づいて、測定対象９についての判定の結果を確認することが可能になっている。なお、表示部６への表示の態様としては、例えば、図２に示すように、各測定ポイント（周波数ｆ）での測定対象９についての物理量としてのインピーダンスＺの実測値（インピーダンスＺｉ，Ｚｊ，Ｚｋ，Ｚｍを含むすべての周波数ｆでのインピーダンスＺ）を、その基準値、上限値および下限値と共に、測定範囲全体に亘って（下限周波数ｆ_Ｌから上限周波数ｆ_Ｈまで）表示させると共に、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋでの判定範囲ＤＲｉ，ＤＲｊ，ＤＲｋ、および周波数ｆｍでの各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４についても併せて表示する態様が可能である。

この後、処理部３は、操作部４からの処理命令の出力待ちの状態に移行する（ステップ５６）。

このステップ５６において、操作者による操作部４に対する操作が行われて、操作部４から処理部３に第１処理命令が出力されたときには、処理部３は、判定範囲ＤＲに基づく判定結果ＲＥ１の外部ＩＯ部７からの出力処理を実行する（ステップ５７）。この出力処理では、処理部３は、まず、判定結果ＲＥ１（つまり、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋでの判定結果を示す数値）を記憶部５から読み出すと共に、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋについてのピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋを記憶部５から読み出す。

次いで、処理部３は、外部ＩＯ部７を構成するコネクタの複数のピンのうちの、読み出したピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋに対応するピンから、各ピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋに対応する周波数ｆでの判別結果ＲＥ１を出力する。一例として、図２に示すように、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋでのインピーダンスＺｉ，Ｚｊ，Ｚｋが対応する判定範囲ＤＲｉ，ＤＲｊ，ＤＲｋに含まれているときには、各周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋでの判別結果を示す数値がすべて「１」となるため、処理部３は、この「１」を表すレベルの信号をコネクタのピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋに対応するピンから同時に出力する。

これにより、操作者は、この測定量判定装置１を使用することで、所望の複数の物理量（本例では周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋ）での測定量（本例ではインピーダンスＺｉ，Ｚｊ，Ｚｋ）についての判定結果ＲＥ１を、外部ＩＯ部７のコネクタ（インターフェースコネクタ）から外部に出力することが可能になっている。

一方、上記のステップ５６において、操作者による操作部４に対する操作が行われて、操作部４から処理部３に第２処理命令が出力されたときには、処理部３は、副判定範囲ＢＩＮに基づく判定結果ＲＥ２の外部ＩＯ部７からの出力処理を実行する（ステップ５８）。この出力処理では、処理部３は、まず、判定結果ＲＥ２（つまり、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果を示す数値。ランク分け情報）を記憶部５から読み出すと共に、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４についての結果を出力するピンのピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋ，Ｐｍを記憶部５から読み出す。

次いで、処理部３は、外部ＩＯ部７を構成するコネクタの複数のピンのうちの、読み出したピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋ，Ｐｍに対応するピンから、各ピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋ，Ｐｍに対応する副判定範囲ＢＩＮについての判定結果ＲＥ２を出力する。一例として、図２に示すように、測定ポイント（周波数ｆｍ）でのインピーダンスＺｍが、副判定範囲ＢＩＮ１に含まれているときには、各副判定範囲ＢＩＮ１，ＢＩＮ２，ＢＩＮ３，ＢＩＮ４に対応する判定結果ＲＥ２を示す数値は「１」，「０」，「０」，「０」であるため、処理部３は、これらの数値を表すレベルの信号をコネクタのピン番号Ｐｉ，Ｐｊ，Ｐｋ，Ｐｍに対応するピンから同時に出力する。

これにより、操作者は、この測定量判定装置１を使用することで、所望の任意の１つの物理量（本例では周波数ｆｍ）での測定量（本例ではインピーダンスＺｍ）についてのランク分けの結果（判定結果ＲＥ２）を、外部ＩＯ部７のコネクタ（インターフェースコネクタ）から外部に出力することが可能になっている。

なお、図３に示す測定量判定処理５０では、ステップ５７やステップ５８の処理を実行した後に、本処理５０を終了させる構成を採用しているが、例えば、ステップ５７およびステップ５８のいずれか一方を終了した後に、再度、ステップ５６に移行する構成を採用することもできる。この構成によれば、ステップ５７およびステップ５８のいずれか一方を実行した後に、残った他方を実行することが可能となる。このため、外部ＩＯ部７のコネクタから、判定結果ＲＥ１，ＲＥ２を連続して出力することが可能となる。

このように、この測定量判定装置１によれば、操作者は、操作部４を操作して、操作部４から第１測定情報（測定部２から測定対象９に供給される交流信号Ｓ１の所望の複数の測定ポイントとしての複数の周波数ｆ）、第１判定情報（各周波数ｆでの判定範囲ＤＲ）、および第１出力情報（各周波数ｆでの判定結果ＲＥ１を出力する外部ＩＯ部７のコネクタの各ピンを示すピン番号Ｐｘ）を処理部３に出力するだけで、所望の周波数ｆでの測定量（本例ではインピーダンスＺ）についての判定範囲ＤＲとの比較の結果（判定結果ＲＥ１：個別判定情報）を、外部ＩＯ部７におけるコネクタの所望のピンから外部に出力することができる。

また、この測定量判定装置１によれば、操作者は、操作部４を操作して、操作部４から第２測定情報（測定部２から測定対象９に供給される交流信号Ｓ１の所望の任意の１つの測定ポイントとしての周波数ｆ）、第２判定情報（この１つの周波数ｆでの測定量の基準値に対する近接度合いを示すランク分けのための複数の副判定範囲ＢＩＮ）、および第２出力情報（各副判定範囲ＢＩＮに対応する判定結果ＲＥ２を出力する外部ＩＯ部７のコネクタの各ピンを示すピン番号Ｐｙ）を処理部３に出力するだけで、上記の判定結果ＲＥ１に代えて、所望の任意の１つの周波数ｆでの測定量（本例ではインピーダンスＺ）についてのランク分けの結果（判定結果ＲＥ２：ランク分け情報）を、外部ＩＯ部７のコネクタの所望のピンから外部に出力することができる。

なお、上記の例では、処理部３が、判定結果ＲＥ１と共に判定結果ＲＥ２についても判定して、外部ＩＯ部７のコネクタを介して外部に出力し得る好ましい構成を採用しているが、処理部３が、判定結果ＲＥ１だけを判定して、外部ＩＯ部７のコネクタを介して外部に出力する構成を採用することもできる。

また、上記の例では、上記の判定結果ＲＥ１の外部ＩＯ部７のコネクタの各ピンからの出力に際して、各周波数ｆ（上記の例では、周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋ）での判定結果ＲＥ１だけを出力する構成を採用しているが、すべての周波数ｆ（上記の例では周波数ｆｉ，ｆｊ，ｆｋ）での判定結果ＲＥ１が、各判定範囲ＤＲに含まれているものであるときには、この全体の結果を示す判定結果についても、外部ＩＯ部７のコネクタの所定のピンから出力させる構成を採用することもできる。

また、上記の例では、測定対象９についての測定量の一例としてインピーダンスＺを測定する構成を採用しているため、測定信号として交流信号Ｓ１を測定部２から供給させると共に、この交流信号Ｓ１の物理量の一例としての周波数ｆを変更する構成を採用しているが、例えば、測定対象９についての測定量の他の例として抵抗値（純抵抗）を測定する構成のときには、測定信号として直流信号を測定部２から供給させると共に、この直流信号の物理量の一例としての例えばレベル（電圧値や電流値）を変更する構成を採用することもできるなど、測定対象９の種類や、測定量の種類に応じて、測定信号の物理量として種々の物理量を変化させる構成を採用することができる。

また、上記の例では、操作者による操作部４に対する操作（操作部４から処理部３に第１処理命令または第２処理命令を出力する操作）をステップ５６において行う構成を採用しているが、この構成に限定されず、ステップ５１での測定ポイントの設定のための操作部４に対する操作や、ステップ５２での判定範囲および副判定範囲の設定のための操作部４に対する操作のときに、第１処理命令または第２処理命令を出力する操作についても行う構成を採用することもできる。

１測定量判定装置
２測定部
３処理部
４操作部
７外部ＩＯ部
９測定対象
ｆ周波数
Ｐｘ，Ｐｙピン番号
Ｓ１交流信号
Ｚインピーダンス

Claims

測定対象に供給する際の測定信号についての複数の物理量を指定する第１測定情報、当該測定信号を測定対象に供給した際に測定される当該複数の物理量での測定量と比較する当該複数の物理量毎の判定範囲を規定する第１判定情報、および前記第１測定情報で指定された前記複数の物理量での前記測定量が前記複数の物理量毎の前記判定範囲に含まれているか否かを示す個別判定情報を出力するインターフェースコネクタにおける複数のコネクタピンのピン番号を指定する第１出力情報を設定して出力可能に構成されると共に、第１処理命令を出力可能に構成された操作部と、
前記測定信号を生成して前記測定対象に供給しつつ当該測定対象において測定される前記測定量を取得する測定部と、
前記操作部から出力された前記第１測定情報で指定される前記複数の物理量で前記測定信号を生成させて前記測定対象に供給させる動作と共に前記測定量を測定させる動作を前記測定部に対して実行させる測定処理、および当該測定処理で測定された前記複数の物理量毎の前記測定量を前記操作部から入力された前記第１判定情報で規定される当該複数の物理量毎の前記判定範囲と比較して当該測定量が対応する当該判定範囲に含まれているか否かを示す当該複数の物理量毎の前記個別判定情報を取得する判定処理を実行すると共に、前記操作部から前記第１処理命令を入力したときには、当該判定処理で取得した前記複数の物理量毎の前記個別判定情報を前記操作部から出力された前記第１出力情報で指定される前記複数のピン番号のうちの対応するピン番号の前記コネクタピンから出力する出力処理を実行する処理部とを備えている測定量判定装置。
前記操作部は、前記測定対象に供給する際の前記測定信号についての任意の１つの物理量を指定する第２測定情報、前記判定範囲内に予め規定された前記任意の１つの物理量での前記測定量についての基準値に対する当該測定量の近接度合いをランク分けするために当該判定範囲を複数に細分化して得られる複数の副判定範囲を規定する第２判定情報、および前記第２測定情報で指定された前記物理量での前記測定量が複数の副判定範囲のいずれに含まれるかを示す当該測定量についてのランク分け情報を出力する前記インターフェースコネクタにおける複数のコネクタピンのピン番号を指定する第２出力情報を設定して出力可能に構成されると共に、第２処理命令を出力可能に構成され、
前記処理部は、前記操作部から出力された前記第２測定情報で指定される前記物理量で前記測定信号を生成させて前記測定対象に供給させる動作と共に前記測定量を測定させる動作を前記測定部に対して実行させる測定処理、および当該測定処理で測定された前記物理量での前記測定量を前記操作部から入力された前記第２判定情報で規定される前記複数の副判定範囲と比較して当該測定量が含まれる当該副判定範囲を示す前記ランク分け情報を取得する判定処理を実行すると共に、前記操作部から前記第２処理命令を入力したときには、当該判定処理で取得した前記ランク分け情報を前記操作部から出力された前記第２出力情報で指定される前記複数のピン番号の前記コネクタピンから出力する出力処理を実行する請求項１記載の測定量判定装置。