JP2023038081A - 検査補助装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査の好適な閾値を見つけやすくする技術を提供する。【解決手段】検査補助装置が、検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能な受付手段と、記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送する処理手段とを有する。【選択図】図１

Description

本発明は、製品などの検査を補助する技術に関する。

製品を撮影した画像から検査値（計測値）を取得し、得られた検査値を閾値と比較することで製品における欠陥の有無を判断する検査装置が提案されている。特許文献１には、製品を撮影した画像から計測値を取得する画像処理装置が開示されている。

特開２０２０－１４４６６４号公報

上述した検査装置での検査の精度を高めるためにユーザ（検査装置の管理者など）が閾値を調整することがあるが、好適な閾値を見つけるのは困難である。

本発明は上記実情に鑑みなされたものであって、検査の好適な閾値を見つけやすくする技術を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用する。

本発明の第一側面は、検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能な受付手段と、記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送する処理手段とを有することを特徴とする検査補助装置を提供する。

検査物は検査対象の物体であり、例えば工業製品などの各種製品であってもよい。検査値は、検査物を撮影した検査画像から得られる値であり、例えば検査において閾値と比較される値であってもよい。例えば、シール材の塗布検査を行う場合には、検査値は、塗布部分の最大幅、最小幅、平均幅、途切れ幅などであってもよい。

検査の閾値の調整方法として、検査装置による再検査の結果に基づいて閾値を決定する方法や、検査画像の目視検査の結果に基づいて閾値を決定する方法などが考えられる。検査装置による再検査は、例えば、閾値を変えながら繰り返し行われる。しかしながら、検査画像の数が膨大であると、検査装置による再検査にも、検査画像の目視検査にも長い時間を要してしまう。特に検査画像の目視検査の場合には、人的負荷が大きい。

そこで、上述した構成では、ユーザ（検査システムの管理者など）が検査値の範囲の一部を指定可能としており、指定範囲内の検査値の検査画像が表示または転送されるとしている。こうすることで、ユーザが望んだ検査値の検査画像に制限して、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などを短時間で行うことができるため、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。

前記受付手段は、さらに、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の表示を指示する表示指示操作と、当該検査画像の転送を指示する転送指示操
作とを受け付け可能であるとしてもよい。こうすることで、検査装置による再検査と、検査画像の目視検査とを切り替えながら行うことが可能となる。

前記処理手段は、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた複数の検査画像を表示する場合に、当該複数の検査画像を、前記検査値が小さい順または前記検査値が大きい順に並べて表示するとしてもよい。こうすることで、ユーザは、検査値が小さい順または検査値が大きい順に検査画像の目視検査を行いながら、検査物に欠陥が無いと判断される検査値と、検査物に欠陥が有ると判断される検査値との境界、つまり好適な閾値を容易に見つけることができる。

前記受付手段は、さらに、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の転送先を登録する転送先登録操作を受け付け可能であってもよい。こうすることで、ユーザが望んだ転送先に検査画像を転送することが可能となる。

前記処理手段は、さらに、前記検査値の範囲ごとに前記検査画像の総数を表すヒストグラムを表示可能であってもよい。こうすることで、ユーザは、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲を、ヒストグラムを見ながら決定することが可能となる。

例えば、検査物に欠陥が有ると検査装置が判断する検査値（ＮＧ値）の検査画像が多い部分が検査値の範囲に存在する場合には、検査の閾値が適切でないことがある。具体的には、そのような部分で、検査物に欠陥が無い検査画像の検査値がＮＧ値になっていることがある。このような場合に、ユーザは、ＮＧ値の検査画像の数が多い部分（検査値の範囲の一部）をヒストグラムから容易に把握し、その部分を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、ＮＧ値の検査画像の数が多い部分（検査値の範囲の一部）に存在することがある。そのため、そのような部分を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。

同様に、検査物に欠陥が無いと検査装置が判断する検査値（ＯＫ値）の検査画像が少ない部分が検査値の範囲に存在する場合にも、検査の閾値が適切でないことがある。具体的には、そのような部分で、検査物に欠陥が有る検査画像の検査値がＯＫ値になっていることがある。このような場合に、ユーザは、ＯＫ値の検査画像の数が少ない部分（検査値の範囲の一部）をヒストグラムから容易に把握し、その部分を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、ＯＫ値の検査画像の数が少ない部分（検査値の範囲の一部）に存在することがある。そのため、そのような部分を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。

前記受付手段は、さらに、表示された検査画像の目視検査の結果として、当該検査画像に写る検査物に欠陥が有ることを登録する欠陥有り登録操作を受け付け可能であってもよい。そして、前記処理手段は、前記ヒストグラムを表示する場合に、前記欠陥有り登録操作が行われた検査画像の数を前記検査値の範囲ごとに識別可能に前記ヒストグラムを表示してもよい。こうすることで、ユーザは、検査値の範囲ごとに、検査装置による検査の結果と、検査画像の目視検査の結果との不一致の度合い（割合）を容易に把握することができる。そして、ユーザは、不一致の度合いが大きい検査値の範囲を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、不一致の度合いが大きい検査値の範囲内に存在すること
がある。そのため、不一致の度合いが大きい検査値の範囲を、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。

前記受付手段は、さらに、表示された検査画像の目視検査の結果として、当該検査画像に写る検査物に欠陥が無いことを登録する欠陥無し登録操作を受け付け可能であってもよい。そして、前記処理手段は、前記ヒストグラムを表示する場合に、前記欠陥無し登録操作が行われた検査画像の数を前記検査値の範囲ごとに識別可能に前記ヒストグラムを表示してもよい。こうすることでも、ユーザは、検査値の範囲ごとに、検査装置による検査の結果と、検査画像の目視検査の結果との不一致の度合い（割合）を容易に把握することができる。

前記受付手段は、さらに、検査装置による検査において前記検査物に欠陥が無いと判断される検査値の範囲を登録する許容範囲登録操作を受け付け可能であってもよい。こうすることで利便性が向上する。例えば、検査装置による再検査を閾値を変えながら繰り返しやすくなり、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。

前記受付手段は、さらに、工程能力指数を指定する工程能力指定操作を受け付け可能であってもよい。そして、前記工程能力指定操作が行われた場合に、前記処理手段は、当該工程能力指定操作により指定された工程能力指数を満たすように、検査装置による検査において前記検査物に欠陥が無いと判断される検査値の推奨範囲を決定してもよい。こうすることで、決定された推奨範囲（検査の推奨閾値）を参考に、より好適な閾値が見つけやすくなる。推奨閾値は、例えば検査装置による検査や再検査のために登録されてもよいし、ユーザに通知されてもよい。工程能力指数は、例えばＣｐｋ、Ｃｐ、Ｃｐｌ（Ｃｐ，ｌｏｗｅｒ）、Ｃｐｕ（Ｃｐ，ｕｐｐｅｒ）などであってもよい。

本発明の第二側面は、検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付けるステップと、記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送するステップとを有することを特徴とする検査補助方法を提供する。

なお、本発明は、上記構成ないし機能の少なくとも一部を有する検査補助装置、検査装置、検査補助システム、検査システムなどとして捉えることができる。また、本発明は、上記処理の少なくとも一部を含む、検査補助方法、検査方法、検査補助システムの制御方法、又は検査システムの制御方法や、これらの方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、又は、そのようなプログラムを非一時的に記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。上記構成及び処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。

本発明によれば、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。

図１は、本発明が適用された検査補助装置の構成例を示すブロック図である。 図２は、本発明の実施形態に係る検査システムの構成例を示すブロック図である。 図３は、本発明の実施形態に係るヒストグラム画面処理の一例を示すフローチャートである。 図４は、本発明の実施形態に係る範囲指定画面処理の一例を示すフローチャートである。 図５は、本発明の実施形態に係るヒストグラム画面の一例を示す模式図である。 図６は、本発明の実施形態に係る範囲指定画面の一例を示す模式図である。 図７は、本発明の実施形態に係る画像確認画面の一例を示す模式図である。 図８は、本発明の実施形態に係るヒストグラム画面の一例を示す模式図である。

＜適用例＞
本発明の適用例について説明する。

製品を撮影した画像から検査値（計測値）を取得し、得られた検査値を閾値と比較することで製品における欠陥の有無を判断する検査装置が提案されている。このような検査装置での検査の精度を高めるためにユーザ（検査装置の管理者など）が閾値を調整することがあるが、好適な閾値を見つけるのは困難である。

図１は、本発明が適用された検査補助装置１００の構成例を示すブロック図である。検査補助装置１００は、受付部１０１、処理部１０２、及び、記憶部１０３を有する。記憶部１０３は、検査補助装置１００とは別体の記憶装置であってもよい。受付部１０１は、検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能である。処理部１０２は、記憶部１０３に格納された複数の検査画像のうち、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送する。受付部１０１は本発明の受付手段の一例であり、処理部１０２は本発明の処理手段の一例である。

検査物は検査対象の物体であり、例えば工業製品などの各種製品であってもよい。検査値は、検査物を撮影した検査画像から得られる値であり、例えば検査において閾値と比較される値であってもよい。例えば、シール材の塗布検査を行う場合には、検査値は、塗布部分の最大幅、最小幅、平均幅、途切れ幅などであってもよい。

検査の閾値の調整方法として、検査装置による再検査の結果に基づいて閾値を決定する方法や、検査画像の目視検査の結果に基づいて閾値を決定する方法などが考えられる。検査装置による再検査は、例えば、閾値を変えながら繰り返し行われる。しかしながら、検査画像の数が膨大であると、検査装置による再検査にも、検査画像の目視検査にも長い時間を要してしまう。特に検査画像の目視検査の場合には、人的負荷が大きい。

そこで、上述した構成では、ユーザが検査値の範囲の一部を指定可能としており、指定範囲内の検査値の検査画像が表示または転送されるとしている。こうすることで、ユーザが望んだ検査値の検査画像に制限して、検査装置による再検査や、検査画像の目視検査などを短時間で行うことができるため、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。

＜実施形態＞
本発明の実施形態について説明する。

図２は、本実施形態に係る検査システムの構成例を示すブロック図である。図２の検査システムは、ＰＣ２００（パーソナルコンピュータ；検査補助装置）、検査装置３００、及び、記憶装置４００を有する。ＰＣ２００、検査装置３００、及び、記憶装置４００は、有線または無線で互い接続されている。

検査装置３００は、検査画像から検査値を取得し、得られた検査値を閾値と比較するこ
とで検査物における欠陥の有無を判断する。検査装置３００は、検査画像、検査値、検査結果などを、記憶装置４００に格納する。記憶装置４００は、例えばハードディスクドライブやソリッドステートドライブなどであってもよく、ＮＡＳ（Ｎｅｔｗｏｒｋ Ａｔｔａｃｈｅｄ Ｓｔｏｒａｇｅ）であってもよい。

ＰＣ２００は、操作部２１０、制御部２２０、記憶部２３０、及び、表示部２４０を有する。操作部２１０は、ユーザがＰＣ２００に対して操作を行う際に使用する入力装置であり、例えばキーボード、マウス、タッチパッド、タッチパネルなどであってもよい。表示部２４０は、各種画面を表示可能な表示装置（表示パネル）であり、例えば液晶表示装置（液晶表示パネル）や、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置（有機ＥＬ表示パネル）などであってもよい。

制御部２２０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などを含み、各構成要素の制御や、各種情報処理などを行う。

記憶部２３０は、制御部２２０で実行されるプログラムや、制御部２２０で使用される各種データなどを記憶する補助記憶装置である。例えば、記憶部２３０は、ハードディスクドライブやソリッドステートドライブなどであってもよい。制御部２２０の制御により、記憶装置４００に格納されたデータが記憶部２３０に転送されてもよい。検査装置３００は、検査画像、検査値、検査結果などを、記憶部２３０に格納してもよい。

制御部２２０について、より詳細に説明する。制御部２２０は、受付部２２１と処理部２２２を有する。制御部２２０が必要なプログラムを実行することによって、受付部２２１と処理部２２２の処理を実行してもよい。当該プログラムは、記憶部２３０に格納されていてもい。制御部２２０が必要なプログラムを実行する際は、記憶部２３０に格納された対象となるプログラムをＲＡＭに展開する。そして、制御部２２０は、ＲＡＭに展開された当該プログラムをＣＰＵにより解釈及び実行して、各構成要素を制御する。

受付部２２１は、後述する様々なユーザ操作を受け付け可能である。例えば、受付部２２１は、検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能である。受付部２２１は本発明の受付手段の一例である。

処理部２２２は、受付部２２１で受け付けられたユーザ操作に応じた処理を行う。例えば、処理部２２２は、記憶装置４００または記憶部２３０に格納された複数の検査画像のうち、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示部２４０に表示することができる。処理部２２２は、記憶装置４００または記憶部２３０に格納された複数の検査画像のうち、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を転送することもできる。転送先は、例えば検査装置３００、記憶装置４００、記憶部２３０などであってもよい。処理部２２２は、記憶装置４００から読み出した検査画像を検査装置３００または記憶部２３０に転送してもよいし、記憶部２３０から読み出した検査画像を検査装置３００または記憶装置４００に転送してもよい。処理部２２２は、読み出した検査画像を検査装置３００に転送するとともに、当該検査画像の再検査を行うよう検査装置３００に指示してもよい。処理部２２２は、記憶装置４００の特定のフォルダから読み出した検査画像を、記憶装置４００の別のフォルダに転送（格納）してもよい。同様に、処理部２２２は、記憶部２３０の特定のフォルダから読み出した検査画像を、記憶部２３０の別のフォルダに転送（格納）してもよい。処理部２２２は本発明の処理手段の一例である。

図３は、ＰＣ２００で行われるヒストグラム画面処理の一例を示すフローチャートであ
る。例えば、ＰＣ２００で特定のアプリケーションが実行されると、ヒストグラム画面処理が開始される。

まず、処理部２２２は、ヒストグラム画面を表示部２４０に表示する（ステップＳ３０１）。図５は、ヒストグラム画面５００の一例を示す模式図である。ヒストグラム画面５００には、ヒストグラムタブ５０１、範囲指定タブ５０２、ヒストグラム５０３、入力欄５０４～５０６，５０９，５１０、出力欄５０７，５０８、登録ボタン５１１、及び、終了ボタン５１４が表示される。

ユーザは、入力欄５０４に検査値の種別を入力することができる。例えば、シール材の塗布検査を行う場合には、ユーザは、検査値の種別として、塗布部分の最大幅、最小幅、平均幅、途切れ幅などを入力してもよい。図５の例では、最小幅が指定されている。ヒストグラム５０３は、ユーザによって指定された種別の検査値の範囲ごとに検査画像の総数を表す。なお、検査値の種別は固定（１種類）であってもよい。ヒストグラム５０３が表示されることで、ユーザは、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲を、ヒストグラム５０３を見ながら決定することが可能となる。

例えば、検査物に欠陥が有ると検査装置３００が判断する検査値（ＮＧ値）の検査画像が多い部分が検査値の範囲に存在する場合には、検査の閾値が適切でないことがある。具体的には、そのような部分で、検査物に欠陥が無い検査画像の検査値がＮＧ値になっていることがある。このような場合に、ユーザは、ＮＧ値の検査画像の数が多い部分（検査値の範囲の一部）をヒストグラム５０３から容易に把握し、その部分を、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、ＮＧ値の検査画像の数が多い部分（検査値の範囲の一部）に存在することがある。そのため、そのような部分を、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。

図５の例では、２．８未満の最小幅と３．６以上の最小幅とがＮＧ値である。この場合に、ユーザは、３．６以上かつ３．８未満の最小幅の範囲を、ＮＧ値の検査画像の数が多い部分として容易に把握することができる。

同様に、検査物に欠陥が無いと検査装置３００が判断する検査値（ＯＫ値）の検査画像が少ない部分が検査値の範囲に存在する場合にも、検査の閾値が適切でないことがある。具体的には、そのような部分で、検査物に欠陥が有る検査画像の検査値がＯＫ値になっていることがある。このような場合に、ユーザは、ＯＫ値の検査画像の数が少ない部分（検査値の範囲の一部）をヒストグラム５０３から容易に把握し、その部分を、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象とする検査値の範囲として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、ＯＫ値の検査画像の数が少ない部分（検査値の範囲の一部）に存在することがある。そのため、そのような部分を、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。

図５の例では、２．８以上かつ３．６未満の最小幅がＯＫ値である。この場合に、ユーザは、３．４以上かつ３．６未満の最小幅の範囲を、ＯＫ値の検査画像の数が少ない部分として容易に把握することができる。

図３の説明に戻る。ステップＳ３０１の次に、受付部２２１は、検査値の範囲の指定を開始する範囲指定開始操作が行われたか否かを判定する（ステップＳ３０２）。本実施形態では、範囲指定開始操作は、図５の範囲指定タブ５０２を指定するユーザ操作であると
する。範囲指定開始操作が行われたと判定された場合（ステップＳ３０２：ＹＥＳ）にはステップＳ３０３へ処理が進められ、範囲指定開始操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ３０２：ＮＯ）にはステップＳ３０４へ処理が進められる。

ステップＳ３０３では、範囲指定画面処理が行われる。その後、ステップＳ３０４へ処理が進められる。範囲指定画面処理については、図４を用いて後述する。

ステップＳ３０４では、受付部２２１は、工程能力指数（工程能力の評価値）を指定する工程能力指定操作が行われたか否かを判定する。工程能力指定操作が行われたと判定された場合（ステップＳ３０４：ＹＥＳ）にはステップＳ３０５へ処理が進められ、工程能力指定操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ３０４：ＮＯ）にはステップＳ３０６へ処理が進められる。

本実施形態では、範囲指定開始操作は、図５の入力欄５０５に工程能力指数の種別を入力し、入力欄５０６に工程能力指数の値を入力するユーザ操作であるとする。ユーザは、工程能力指数の種別として、例えばＣｐｋ、Ｃｐ、Ｃｐｌ（Ｃｐ，ｌｏｗｅｒ）、Ｃｐｕ（Ｃｐ，ｕｐｐｅｒ）などを入力してもよい。図５の例では、Ｃｐｋが指定されている。Ｃｐｋは、検査値の平均値の偏りを考慮した工程能力指数であり、Ｃｐは、検査値の平均値の偏りを考慮しない工程能力指数である。Ｃｐｌは、ＯＫ値の下限値のみを考慮した工程能力指数（ＯＫ値の上限値を考慮しない工程能力指数）である。Ｃｐｕは、ＯＫ値（検査物に欠陥が無いと検査装置３００が判断する検査値）の上限値のみを考慮した工程能力指数（ＯＫ値の下限値を考慮しない工程能力指数）である。Ｃｐｋ、Ｃｐ、Ｃｐｌ、及び、Ｃｐｕの算出式はよく知られているため、その説明は省略する。

ステップＳ３０５では、処理部２２２は、工程能力指定操作により指定された工程能力指数を満たすように、ＯＫ値の推奨範囲（ＯＫ値の推奨下限値と推奨上限値；検査の推奨閾値）を決定する。そして、処理部２２２は、推奨閾値をユーザに通知する。具体的には、処理部２２２は、ＯＫ値の推奨下限値を図５の出力欄５０７に表示し、ＯＫ値の推奨上限値を出力欄５０８に表示する。こうすることで、推奨閾値を参考に、より好適な閾値が見つけやすくなる。推奨閾値がユーザに通知される例を説明したが、推奨閾値を用いた処理はこれに限られない。例えば、推奨閾値は、検査装置３００による検査や再検査のために登録されてもよい。その後、ステップＳ３０６へ処理が進められる。

ステップＳ３０６では、受付部２２１は、検査の閾値（ＯＫ値の下限値と上限値）を登録する閾値登録操作が行われたか否かを判定する。閾値登録操作は、ＯＫ値の範囲を登録する許容範囲登録操作とも言える。本実施形態では、閾値登録操作は、図５の入力欄５０９にＯＫ値の下限値を入力し、入力欄５１０にＯＫ値の上限値を入力し、登録ボタン５１１を指定するユーザ操作であるとする。閾値登録操作が行われたと判定された場合（ステップＳ３０６：ＹＥＳ）にはステップＳ３０７へ処理が進められ、閾値登録操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ３０６：ＮＯ）にはステップＳ３０８へ処理が進められる。

ステップＳ３０７では、処理部２２２は、閾値登録操作により指定された閾値（ＯＫ値の下限値と上限値）を登録する。閾値は、ＰＣ２００に登録（格納）されてもよいし、検査装置３００に登録されてもよい。また、処理部２２２は、登録した閾値が識別可能となるように図５のヒストグラム５０３の表示を更新する。図５の例では、ＯＫ値の下限値を示す指標５１２と、ＯＫ値の上限値を示す指標５１３とがヒストグラム５０３に表示されている。閾値登録操作を受け付け可能にすることで、利便性が向上する。例えば、検査装置３００による再検査を閾値を変えながら繰り返しやすくなり、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。その後、ステップＳ３０８へ処理が進められる。

ステップＳ３０８では、受付部２２１は、その他の操作（後述する終了操作を除く）が行われたか否かを判定する。その他の操作が行われたと判定された場合（ステップＳ３０８：ＹＥＳ）にはステップＳ３０９へ処理が進められ、その他の操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ３０８：ＮＯ）にはステップＳ３１０へ処理が進められる。

ステップＳ３０９では、処理部２２２は、その他の処理（その他の操作に応じた処理）処理を行う。その他の処理は、例えば、検査の閾値に基づいて歩留まりを計算し、表示する処理であってもよい。その後、ステップＳ３１０へ処理が進められる。

ステップＳ３１０では、受付部２２１は、終了操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、終了操作は、図５の終了ボタン５１４を指定するユーザ操作であるとする。終了操作が行われたと判定された場合（ステップＳ３１０：ＹＥＳ）にはヒストグラム画面処理が終了され、終了操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ３１０：ＮＯ）にはステップＳ３０２へ処理が戻される。

図４は、ＰＣ２００で行われる範囲指定画面処理（図３のステップＳ３０３）の一例を示すフローチャートである。

まず、処理部２２２は、範囲指定画面を表示部２４０に表示する（ステップＳ４０１）。図６は、範囲指定画面６００の一例を示す模式図である。範囲指定画面６００には、ヒストグラムタブ５０１、範囲指定タブ５０２、入力欄６０１，６０２，６０６、ラジオボタン６０３，６０４、画像確認ボタン６０５、画像転送ボタン６０７、及び、終了ボタン６０８が表示される。図５のヒストグラム画面５００で範囲指定タブ５０２が指定されると、表示画面がヒストグラム画面５００から範囲指定画面６００に遷移する。そして、範囲指定画面６００でヒストグラムタブ５０１が指定されると、表示画面が範囲指定画面６００からヒストグラム画面５００に遷移する。

次に、受付部２２１は、検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作が行われたか否かを判定する（ステップＳ４０２）。本実施形態では、範囲指定操作は、図６の入力欄６０１，６０２に検査値を入力するユーザ操作であるとする。範囲指定操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４０２：ＹＥＳ）にはステップＳ４０３へ処理が進められ、範囲指定操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４０２：ＮＯ）にはステップＳ４０４へ処理が進められる。

ステップＳ４０３では、処理部２２２は、範囲指定操作により指定された検査値の範囲を設定する。図６の入力欄６０１に入力された検査値以上かつ入力欄６０２に入力された検査値未満の範囲が設定されるとする。その後、ステップＳ４０４へ処理が進められる。

ステップＳ４０４では、受付部２２１は、検査画像の並び順を指定する並び順指定操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、並び順指定操作は、図６のラジオボタン６０３またはラジオボタン６０４を指定するユーザ操作であるとする。並び順指定操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４０４：ＹＥＳ）にはステップＳ４０５へ処理が進められ、並び順指定操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４０４：ＮＯ）にはステップＳ４０６へ処理が進められる。

ステップＳ４０５では、処理部２２２は、並び順指定操作により指定された並び順を設定する。図６のラジオボタン６０３が指定された場合には、検査画像の並び順が昇順（検査値が小さい順）に設定され、ラジオボタン６０４が指定された場合には、検査画像の並び順を降順（検査値が大きい順）に設定されるとする。その後、ステップＳ４０４へ処理
が進められる。

ステップＳ４０６では、受付部２２１は、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の転送先を登録する転送先登録操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、転送先登録操作は、図６の入力欄６０６に転送先（ファイルパス）を入力するユーザ操作であるとする。転送先登録操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４０６：ＹＥＳ）にはステップＳ４０７へ処理が進められ、転送先登録操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４０６：ＮＯ）にはステップＳ４０８へ処理が進められる。

ステップＳ４０７では、処理部２２２は、転送先登録操作により指定された転送先を登録する。転送先登録操作を受け付け可能にすることで、ユーザが望んだ転送先に検査画像を転送することが可能となる。その後、ステップＳ４０８へ処理が進められる。

ステップＳ４０８では、受付部２２１は、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の表示を指示する表示指示操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、表示指示操作は、図６の画像確認ボタン６０５を指定するユーザ操作であるとする。表示指示操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４０８：ＹＥＳ）にはステップＳ４０９へ処理が進められ、転送指示操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４０８：ＮＯ）にはステップＳ４１２へ処理が進められる。

ステップＳ４０９では、処理部２２２は、画像確認画面を表示部２４０に表示する。図７は、画像確認画面７００の一例を示す模式図である。本実施形態では、画像確認画面７００は、範囲指定画面とは別に表示されるとする。画像確認画面７００には、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた複数の検査画像７０３が並べて表示される。複数の検査画像７０３のそれぞれには、検査装置３００による検査の際に得られた情報７０１と、目視検査の結果をラベルとして付与するラベル付与ボタン７０２とが関連付けて表示されている。

並び順指定操作が行われている場合には、複数の検査画像７０３は、並び順指定操作により指定された並び順で表示される。こうすることで、ユーザは、検査値が大きい順または検査値が小さい順に検査画像７０３の目視検査を行いながら、検査物に欠陥が無いと判断される検査値と、検査物に欠陥が有ると判断される検査値との境界、つまり好適な閾値を容易に見つけることができる。図７の例では、検査値が小さい順に複数の検査画像７０３が並べられており、検査値３．６４８まで、検査物に欠陥が無いという目視検査の結果（目視結果ＯＫ）が得られている。そして、検査値３．６５４から、検査物に欠陥が有るという目視検査の結果（目視結果ＮＧ）が得られている。このため、検査値３．６４８と検査値３．６５４の間に好適な閾値（好適な上限値）が存在すると期待できる。なお、並び順指定操作が行われない場合でも、検査値が大きい順または検査値が小さい順に複数の検査画像７０３が表示されてよい。

次に、受付部２２１は、表示された検査画像の目視検査の結果をラベルとして付与するラベル付与操作が行われたか否かを判定する（ステップＳ４１０）。ラベル付与操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４１０：ＹＥＳ）にはステップＳ４１１へ処理が進められ、ラベル付与操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４１０：ＮＯ）にはステップＳ４１２へ処理が進められる。

ステップＳ４１１では、処理部２２２は、ラベル付与操作に応じて、検査画像にラベルを付与する。

ラベル付与操作として、検査画像に写る検査物に欠陥が有るという目視検査の結果を登録する欠陥有り登録操作が行われてもよい。ラベル付与操作として、検査画像に写る検査物に欠陥が無いという目視検査の結果を登録する欠陥無し登録操作が行われてもよい。本実施形態では、ラベル付与操作は、図６のラベル付与ボタン７０２を指定するユーザ操作であるとする。また、ラベル付与ボタン７０２が指定される前は、当該ラベル付与ボタン７０２が関連付けられた検査画像に、目視検査が未登録であることの「目視結果未登録」というラベルが付与されているとする。そして、ラベル付与ボタン７０２が指定されると、ラベルが、検査物に欠陥が有ることの「目視結果ＮＧ」または検査物に欠陥が無いことの「目視結果ＯＫ」に変更されるとする。ラベル付与ボタン７０２が指定される度に、ラベルは、「目視結果ＮＧ」と「目視結果ＯＫ」の間で切り替えられるとする。

ステップＳ４１２では、受付部２２１は、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の転送を指示する転送指示操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、転送指示操作は、図６の画像転送ボタン６０７を指定するユーザ操作であるとする。転送指示操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４１２：ＹＥＳ）にはステップＳ４１３へ処理が進められ、転送指示操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４１２：ＮＯ）にはステップＳ４１４へ処理が進められる。

ステップＳ４１３では、処理部２２２は、範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を、転送先登録操作により指定された転送先に転送する。

表示指示操作と転送指示操作を受け付け可能にすることで、検査装置３００による再検査と、検査画像の目視検査とを切り替えながら行うことが可能となる。

ステップＳ４１４では、受付部２２１は、終了操作が行われたか否かを判定する。本実施形態では、終了操作は、図６のヒストグラムタブ５０１を指定するユーザ操作であるとする。終了操作が行われたと判定された場合（ステップＳ４１４：ＹＥＳ）には、範囲指定画面処理が終了され、ヒストグラム画面処理が再開される（図３のステップＳ３０４に処理が進められる）。終了操作が行われていないと判定された場合（ステップＳ４１４：ＮＯ）には、ステップＳ４０２へ処理が戻される。図６の終了ボタン６０８を指定するユーザ操作が、終了操作として行われてもよい。その場合には、範囲指定画面処理が終了され、ヒストグラム画面処理も再開されずに終了される。

ヒストグラム画面処理を行う際に、ラベル付与操作により検査画像に「目視結果ＮＧ」のラベルが付与されている場合には、処理部２２２は、「目視結果ＮＧ」の検査画像の数を検査値の範囲ごとに識別可能にヒストグラムを表示してもよい。同様に、ヒストグラム画面処理を行う際に、ラベル付与操作により検査画像に「目視結果ＯＫ」のラベルが付与されている場合には、処理部２２２は、「目視結果ＯＫ」の検査画像の数を検査値の範囲ごとに識別可能にヒストグラムを表示してもよい。図８は、ヒストグラム画面８００の一例を示す模式図である。ヒストグラム画面８００のヒストグラム８０１では、図５のヒストグラム５０３とは異なり、検査値の範囲ごとに、「目視結果ＮＧ」の検査画像の数と、「目視結果ＯＫ」の検査画像の数とを識別可能とするための色付け（模様付け）がされている。

こうすることで、ユーザは、検査値の範囲ごとに、検査装置３００による検査の結果と、検査画像の目視検査の結果との不一致の度合い（割合）を容易に把握することができる。そして、ユーザは、不一致の度合いが大きい検査値の範囲を、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することができる。検査物に欠陥が有るか否かを判断する好適な閾値は、不一致の度合いが大きい検査値の範囲内に存在することがある。そのため、不一致の度合いが大きい検査値の範囲を、検査装置３００による再
検査や、検査画像の目視検査などの対象として指定することで、好適な閾値が見つけやすくなる。なお、検査値の範囲ごとに、「目視結果ＮＧ」の検査画像の数と、「目視結果ＯＫ」の検査画像の数との一方が識別可能とされてもよいし、両方が識別可能とされてもよい。

以上述べたように、本実施形態によれば、ユーザが検査値の範囲の一部を指定可能であり、指定範囲内の検査値の検査画像が表示または転送される。こうすることで、ユーザが望んだ検査値の検査画像に制限して、検査装置３００による再検査や、検査画像の目視検査などを短時間で行うことができるため、検査の好適な閾値が見つけやすくなる。

＜その他＞
上記実施形態は、本発明の構成例を例示的に説明するものに過ぎない。本発明は上記の具体的な形態には限定されることはなく、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。

＜付記１＞
検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能な受付手段（１０１，２２１）と、
記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送する処理手段（１０２，２２２）と
を有することを特徴とする検査補助装置（１００，２００）。

＜付記２＞
検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付けるステップ（Ｓ４０２）と、
記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送するステップ（Ｓ４０９，Ｓ４１３）と
を有することを特徴とする検査補助方法。

１００：検査補助装置 １０１：受付部 １０２：処理部 １０３：記憶部
２００：ＰＣ（検査補助装置）
２１０：操作部 ２２０：制御部 ２３０：記憶部 ２４０：表示部
２２１：受付部 ２２２：処理部
３００：検査装置 ４００：記憶装置
５００：ヒストグラム画面
５０１：ヒストグラムタブ ５０２：範囲指定タブ ５０３：ヒストグラム
５０４～５０６，５０９，５１０：入力欄 ５０７，５０８：出力欄
５１１：登録ボタン ５１２，５１３：指標 ５１４：終了ボタン
６００：範囲指定画面
６０１，６０２，６０６：入力欄 ６０３，６０４：ラジオボタン
６０５：画像確認ボタン ６０７：画像転送ボタン ６０８：終了ボタン
７００：画像確認画面
７０１：情報 ７０２：ラベル付与ボタン ７０３：検査画像
８００：ヒストグラム画面 ８０１：ヒストグラム

Claims (11)

1. 検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を受け付け可能な受付手段と、
   記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送する処理手段と
   を有することを特徴とする検査補助装置。
2. 前記受付手段は、さらに、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の表示を指示する表示指示操作と、当該検査画像の転送を指示する転送指示操作とを受け付け可能である
   ことを特徴とする請求項１に記載の検査補助装置。
3. 前記処理手段は、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた複数の検査画像を表示する場合に、当該複数の検査画像を、前記検査値が小さい順または前記検査値が大きい順に並べて表示する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の検査補助装置。
4. 前記受付手段は、さらに、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像の転送先を登録する転送先登録操作を受け付け可能である
   ことを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の検査補助装置。
5. 前記処理手段は、さらに、前記検査値の範囲ごとに前記検査画像の総数を表すヒストグラムを表示可能である
   ことを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載の検査補助装置。
6. 前記受付手段は、さらに、表示された検査画像の目視検査の結果として、当該検査画像に写る検査物に欠陥が有ることを登録する欠陥有り登録操作を受け付け可能であり、
   前記処理手段は、前記ヒストグラムを表示する場合に、前記欠陥有り登録操作が行われた検査画像の数を前記検査値の範囲ごとに識別可能に前記ヒストグラムを表示する
   ことを特徴とする請求項５に記載の検査補助装置。
7. 前記受付手段は、さらに、表示された検査画像の目視検査の結果として、当該検査画像に写る検査物に欠陥が無いことを登録する欠陥無し登録操作を受け付け可能であり、
   前記処理手段は、前記ヒストグラムを表示する場合に、前記欠陥無し登録操作が行われた検査画像の数を前記検査値の範囲ごとに識別可能に前記ヒストグラムを表示する
   ことを特徴とする請求項５または６に記載の検査補助装置。
8. 前記受付手段は、さらに、検査装置による検査において前記検査物に欠陥が無いと判断される検査値の範囲を登録する許容範囲登録操作を受け付け可能である
   ことを特徴とする請求項１～７のいずれか１項に記載の検査補助装置。
9. 前記受付手段は、さらに、工程能力指数を指定する工程能力指定操作を受け付け可能であり、
   前記工程能力指定操作が行われた場合に、前記処理手段は、当該工程能力指定操作により指定された工程能力指数を満たすように、検査装置による検査において前記検査物に欠陥が無いと判断される検査値の推奨範囲を決定する
   ことを特徴とする請求項１～８のいずれか１項に記載の検査補助装置。
10. 検査物を撮影した検査画像から得られる検査値の範囲の一部を指定する範囲指定操作を
    受け付けるステップと、
    記憶部に格納された複数の検査画像のうち、前記範囲指定操作により指定された範囲内の検査値が得られた検査画像を表示または転送するステップと
    を有することを特徴とする検査補助方法。
11. 請求項１０に記載の検査補助方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。

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