JP6432220B2 - 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
堆積開始時と堆積終了時の、前記ガラス微粒子堆積体の非有効部を堆積する際のドーパントの添加量を、少なくとも前記非有効部を堆積する堆積時間の半分以上の間、前記ガラス微粒子堆積体の有効部を堆積する際の添加量よりも少なくする。
本発明の実施形態に係る光ファイバ用ガラス母材の製造方法は、
(1) バーナの火炎による火炎分解反応により生成したガラス微粒子を出発基材の軸方向に堆積させ、少なくとも一部に屈折率調整用ドーパントを含んだガラス微粒子堆積体を形成して光ファイバ用ガラス母材を製造する光ファイバ用ガラス母材の製造方法であって、
堆積開始時と堆積終了時の、前記ガラス微粒子堆積体の非有効部を堆積する際のドーパントの添加量を、少なくとも前記非有効部を堆積する堆積時間の半分以上の間、前記ガラス微粒子堆積体の有効部を堆積する際の添加量よりも少なくする。
ドーパントの添加量を、少なくとも非有効部となる堆積時間の半分以上の間、ガラス微粒子堆積体の有効部の添加量よりも少なくすることにより、従来よりもドーパントの使用量を低減できる。
単純にドーパントの添加量を変化させただけでは、引き上げ速度が意図するように上がらなかったり、変動したりしてしまう場合があるが、バーナから供給されるガスの流量を調整することにより、引き上げ速度を意図したように変化させることができるので、非有効部を短くし、形成されるガラス微粒子堆積体の長手方向の外径変動等を防いで、ガラス母材の特性が長手方向で安定するようにできる。
ドーパントの添加量を下げると引き上げ速度は下がるが、水素ガスの流量を有効部に相当する位置での流量よりも下げることにより堆積面の温度が下がり、嵩密度も下がるのでガラス微粒子堆積体の引き上げ速度を上げることができる。しかし、有効部に相当する位置での流量の絶対値の70%より低くしてしまうと、温度が下がりすぎてしまい、嵩密度が低くなり過ぎてしまうため、ガラス微粒子堆積体が割れる虞がある。一方、有効部に相当する位置での流量の絶対値の98%を超えてしまうと、意図する程度まではガラス微粒子堆積体の引き上げ速度が上がらなくなる。よって、水素ガスの流量を有効部に相当する位置での流量の絶対値の70%以上98%以下に変化させることにより、効率よくガラス微粒子堆積体の引き上げ速度を上げて、非有効部の長さを短くすることができる。
上記したように、ドーパントの添加量を下げると引き上げ速度は下がるが、酸素ガスの流量を有効部に相当する位置での流量よりも上げることにより、堆積面の温度が下がり、嵩密度も下がるのでガラス微粒子堆積体の引き上げ速度を上げることができる。しかし、有効部に相当する位置での流量の絶対値の102%より低いと、意図する程度まではガラス微粒子堆積体の引き上げ速度が上がらない。一方、有効部に相当する位置での流量の絶対値の130%を超えると、温度が下がりすぎてしまい、嵩密度が低くなり過ぎてしまうため、ガラス微粒子堆積体が割れる虞がある。よって、酸素ガスの流量を有効部に相当する位置での流量の絶対値の102%以上130%以下の値に変化させることにより、効率よくガラス微粒子堆積体の引き上げ速度を上げて、非有効部の長さを短くすることができる。
前記堆積開始時には前記有効部の堆積前に最大または最小となるピークが来るように流量を変化させ、
前記堆積終了時には前記有効部における流量から変化させて堆積終了まで当該変化させた流量を保持する。
堆積開始時には有効部の堆積前に最大または最小となるピークが来るように流量を変化させ、堆積終了時には有効部における流量から変化させて堆積終了まで当該変化させた流量を保持することにより、非有効部の長さを短くし、また、形成されるガラス微粒子堆積体の長手方向の外径変動等を防いで、ガラス微粒子堆積体の特性が長手方向で安定するようにできる。
本発明の実施形態に係る光ファイバ用ガラス母材の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。
なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
まず、光ファイバ用ガラス母材を製造する製造装置について説明する。
図1に示すように、製造装置1は、反応容器2を備えており、VAD法によって反応容器2内でガラス微粒子堆積体Gを製造する装置である。反応容器2の上部には、吊り下げ装置3が設けられている。吊り下げ装置3は反応容器2の外側に設けられた駆動装置(図示略)により上下に昇降される。吊り下げ装置3には、例えば、石英ガラスなどから形成された出発基材4が把持されており、この出発基材4は、吊り下げ装置3によって軸回りに回転されながら軸方向に沿って移動可能とされている。
また、バーナ5,6は、同心円状に複数のポート(噴出し口)を有する、8重管石英ガラスバーナなどの多重管バーナであり、複数の系統毎に異なる層のポートからガスを噴出する。
この形成されたガラス微粒子堆積体Gにおける中間部分は、光ファイバ化される部分である有効部Gaである。また、ガラス微粒子堆積体Gにおけるガラス微粒子堆積の開始端(図1のガラス微粒子堆積体Gの上部のテーパ部分)、およびガラス微粒子堆積の終了端(図1のガラス微粒子堆積体Gの下部のテーパ部分)は、光ファイバ化されない部分である非有効部Gbである。
ガラス微粒子堆積体Gは、その後、脱水および焼結して透明ガラス化された光ファイバ用ガラス母材とされ、光ファイバ用ガラス母材を線引きすることで光ファイバが製造される。
まず、出発基材4を吊り下げ装置3に吊り下げ、出発基材4を所定位置に配置させる。
次に、出発基材4を軸回りに回転させながら、バーナ5,6からガラス原料ガスと火炎ガスを噴出し、加水分解反応によって生成されるガラス微粒子を出発基材4に吹き付け、ガラス微粒子を堆積させる。
この状態で、吊り下げ装置3によって出発基材4を徐々に引き上げ、少なくとも一部に屈折率調整用ドーパントを含んだ円柱状のガラス微粒子堆積体Gを形成する。
これにより、引き上げ速度を意図したように変化させることができるので、非有効部Gbを短くし、形成されるガラス微粒子堆積体Gの長手方向の外径変動等を防いで、ガラス母材の特性が長手方向で安定するようにできる。
よって、ドーパントの添加量を少なくしている間の少なくとも一部の時間において、水素ガスの流量を有効部Gaに相当する位置での流量の絶対値の70%以上98%以下に変化させることにより、効率よくガラス微粒子堆積体Gの引き上げ速度を上げて、非有効部Gbの長さを短くすることができる。
よって、酸素ガスの流量を有効部Gaに相当する位置での流量の絶対値の102%以上130%以下の値に変化させることにより、効率よくガラス微粒子堆積体Gの引き上げ速度を上げて、非有効部Gbの長さを短くすることができる。
これにより、非有効部Gbの長さを短くし、また、形成されるガラス微粒子堆積体Gの長手方向の外径変動等を防いで、ガラス微粒子堆積体Gの特性が長手方向で安定するようにできる。
また、バーナから供給されるガスの流量を調整することにより、引き上げ速度を意図したように変化させることができるので、非有効部Gbを短くし、形成されるガラス微粒子堆積体Gの長手方向の外径変動等を防いで、ガラス母材の特性が長手方向で安定するようにできる。
また、上記実施形態では、コア用のバーナ6とクラッド用のバーナ5の両方を使用してガラス微粒子の堆積を行っているが、クラッド用のバーナ5にドーパントを使わない場合は、コア用のバーナ6だけでガラス微粒子の堆積をしてもよい。
また、上記実施形態では、火炎形成ガスの流量を調整することにより、引き上げ速度を意図したように変化させているが、不活性ガス(アルゴン等)の流量を調整しても引き上げ速度の制御は可能である。
次に、本発明の実施例および比較例について説明する。
なお、以下の各実施例および各比較例では、ドーパントとしてGeCl4を使用した。以下の実施例1〜3においては、本実施形態に係る光ファイバ用ガラス母材の製造方法によって、比較例においては、本実施形態に係る光ファイバ用ガラス母材の製造方法とは異なる方法によって、光ファイバ用ガラス母材を製造した。
各実施例および各比較例では、堆積開始120分後まで、ガラス微粒子堆積体Gの開始端の非有効部Gbの堆積を行った。そして、堆積開始120分後から500分後まで、有効部Gaの堆積を行い、堆積開始500分後から堆積終了時までガラス微粒子堆積体Gの終了端の非有効部Gbの堆積を行った。
実施例1は、非有効部Gb堆積時のドーパントの添加量を低減した例である。
実施例1では、コア用のバーナ6のガス流量をガラス微粒子の堆積開始時からの時間に応じて、次の表1の通りに設定した。
コア用のバーナ6の1層目のガス供給層から噴出するGeCl4の流量(ドーパントの添加量)を、堆積開始60分後から徐々に増加させ、80分後から110分後の間では有効部Ga堆積時の80%になるように設定した。コア用のバーナ6の各層のガス流量は、堆積開始から徐々に変化させ、120分後以降の有効部Ga堆積中は終了端の非有効部Gb堆積直前の500分後まで一定流量とした。終了端の非有効部Gb堆積時では、GeCl4の流量を有効部Ga堆積時の80%になるように設定した。
実施例1では、GeCl4の流量(ドーパントの添加量)をガラス微粒子堆積体Gの両端の非有効部Gb堆積時に80%にしても、引き上げ速度(及び傾斜)に大きな変化は生じず、良好な形状のガラス微粒子堆積体Gを形成することができた。
実施例2は、非有効部Gb堆積時のドーパントの添加量を低減しつつ、水素ガス(H2)により引き上げ速度を保持した例である。
コア用のバーナ6のガス流量をガラス微粒子の堆積開始時からの時間に応じて次の表2の通りに設定した。
実施例2では、GeCl4の流量(ドーパントの添加量)をガラス微粒子堆積体Gの両端の非有効部Gb堆積時に有効部Ga堆積時より少量にしても引き上げ速度(及び傾斜)に大きな変化は生じず、良好な形状のガラス微粒子堆積体Gを形成することができた。
非有効部Gb堆積時のドーパントの添加量を低減しつつ、酸素ガス(O2)により引き上げ速度を保持した例である。
コア用のバーナ6のガス流量をガラス微粒子の堆積開始時からの時間に応じて表3の通りに設定した。
実施例3では、GeCl4の流量(ドーパントの添加量)をガラス微粒子堆積体Gの両端の非有効部Gb堆積時に有効部Ga堆積時より少量にしても、引き上げ速度(及び傾斜)に大きな変化は生じず、良好な形状のガラス微粒子堆積体Gを形成することができた。
比較例1は、非有効部Gb堆積時のドーパントの添加量を低減せずに、コア用のバーナ6のガス流量を従来通りの流量としてガラス微粒子の堆積を行った例である。
実施例1と同様の形態でガラス微粒子堆積体Gを形成した。その際に、コア用のバーナ6の各層のガス流量設定値を表4の通りとした。
比較例1では、ドーパントの使用量は低減できないが、引き上げ速度(及び傾斜)に大きな変化は生じず、良好な形状のガラス微粒子堆積体Gを形成することができた。
非有効部Gb堆積時のドーパントの添加量を50%以上低減し、バーナから供給されるガスの流量を調整せずに、ガラス微粒子を堆積した例である。
実施例1と同様の形態でガラス微粒子堆積体Gを形成した。その際に、コア用のバーナ6の各層のガス流量設定値を表5の通りとした。
比較例2では、GeCl4の添加開始を遅らせたため、引き上げ速度が定常となる時間がその分遅くなってしまった。このため、ガラス微粒子堆積体Gの外径が、有効部Gaの外径が150mmであるのに対し、非有効部Gbの一部の外径が180mmに肥大化してしまい、安定してガラス微粒子堆積体Gを形成することができなかった。
2 反応容器
3 吊り下げ装置
4 出発基材
5 バーナ(クラッド用のバーナ)
6 バーナ(コア用のバーナ)
7 ガス供給部
8 投光器
9 受光器
10 レーザ装置
G ガラス微粒子堆積体
Ga 有効部
Gb 非有効部
Claims (4)
- バーナの火炎による火炎分解反応により生成したガラス微粒子を出発基材の軸方向に堆積させ、少なくとも一部に屈折率調整用ドーパントを含んだガラス微粒子堆積体を形成して光ファイバ用ガラス母材を製造する光ファイバ用ガラス母材の製造方法であって、
堆積開始時と堆積終了時の、前記ガラス微粒子堆積体の非有効部を堆積する際のドーパントの添加量を、少なくとも前記非有効部を堆積する堆積時間の半分以上の間、前記ガラス微粒子堆積体の有効部を堆積する際の添加量よりも少なくし、
前記ドーパントの添加量を少なくしている間、前記バーナから供給されるガスのうち、少なくとも1系統以上のガスの流量を変化させ、前記ガラス微粒子堆積体を引き上げる、引き上げ速度を調整する、光ファイバ用ガラス母材の製造方法。 - 前記ドーパントの添加量を少なくしている間の少なくとも一部の時間において、前記ガスの一つである水素ガスの流量を前記有効部に相当する位置での流量の絶対値の70%以上98%以下の値に変化させる、請求項1に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記ドーパントの添加量を少なくしている間の少なくとも一部の時間において、前記ガスの一つである酸素ガスの流量を前記有効部に相当する位置での流量の絶対値の102%以上130%以下の値に変化させる、請求項1または請求項2に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
- 前記ドーパントの添加量を少なくしている間の前記ガスの流量は、
前記堆積開始時には前記有効部の堆積前に最大または最小となるピークが来るように流量を変化させ、
前記堆積終了時には前記有効部における流量から変化させて堆積終了まで当該変化させた流量を保持する、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光ファイバ用ガラス母材の製造方法。
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