JP6426373B2 - 光選択透過フィルター、樹脂シート及び固体撮像素子 - Google Patents
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本発明はまた、上記光選択透過フィルターに用いられる樹脂シートでもある。
本発明は更に、上記光選択透過フィルターを具備する固体撮像素子でもある。
以下に本発明を詳述する。なお、以下に記載される本発明の個々の好ましい形態を2又は3以上組み合わせた形態も本発明の好ましい形態である。
<樹脂シート>
本発明の光選択透過フィルターは、1又は2以上の樹脂シートを含む。
上記樹脂シートは、色素成分及び樹脂成分を含む樹脂層を有するシート(フィルム形状を含む)である。本発明の樹脂シートは、極めて耐光性及び耐熱性に優れるものであるが、例えば反射膜と組み合わせることで、太陽光暴露下でも安定して充分な可視光透過率を維持しつつ、視野角依存性(入射角依存性とも称す)を充分に低減でき、かつシャープな透過吸収特性を発揮することが可能になる。また、反射膜として好適な光学多層膜と組み合わせると、光学多層膜の層数を減らすことができ、該多層膜における応力を緩和できるため、多層膜のクラックや割れを充分に防止することもできる。このような本発明の光選択透過フィルターに用いられる樹脂シートもまた、本発明の1つである。
上記硬化は、空気中、又は、窒素等の不活性ガス雰囲気のいずれの雰囲気下でも行うことができる。
上記樹脂シートにおいて、樹脂層は、色素成分及び樹脂成分を含むが、色素成分が樹脂層中に分散又は溶解されてなることが好ましい。すなわち、色素成分と樹脂成分とを含む樹脂組成物中に、色素成分が分散又は溶解された形態の樹脂組成物(色素含有樹脂組成物とも称す)により、樹脂層が形成されることが好適である。光選択透過フィルターにおいては、このような樹脂層を吸収層(光吸収層又は光吸収膜とも称す)として使用することが好ましい。色素成分及び樹脂成分は、各々、1種又は2種以上を使用することができる。
上記樹脂成分は、溶剤可溶性ポリアリレート樹脂を含む。
ここで、「溶剤可溶性」樹脂とは、有機溶剤に可溶の樹脂を意味し、例えば、有機溶剤に、1質量%以上の濃度で溶解する樹脂であることが好適である。中でも、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジオキソラン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジグライム、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタートからなる群より選択される少なくとも1種の有機溶剤に、1質量%以上の濃度(より好ましくは3質量%以上の濃度、更に好ましくは5質量%以上の濃度、特に好ましくは10質量%以上の濃度)で溶解する樹脂であることが特に好適である。これにより、光選択透過フィルターの耐光性をより一層優れるものとすることができる。
本明細書中、重量平均分子量及び数平均分子量は、後述する実施例に記載の方法により測定することができる。
上記色素成分は、特定波長の光を吸収する物質である色素である限り特に限定されないが、例えば、600〜900nmの波長域に吸収極大を有する色素を含むことが好ましい。このような色素を含むことで、可視光透過率が高く、かつ近赤外領域の遮断性能に優れるという、光学ノイズ低減のために特に好適な性能が得られることになる。より好ましくは、600〜800nmの波長域に吸収極大を有する色素であり、このように上記色素成分が、600〜800nmの波長域に吸収極大を有する色素を含む形態は、本発明の好適な形態の1つである。更に好ましくは、650〜750nmの波長域に吸収極大を有する色素である。
上記シアニン系色素としては、I−塩シアニン、ClO4 −塩シアニン、Br−塩シアニン、−OAc塩シアニン、BF4 −塩シアニン等が好適である。
上記銅イオン系色素としては、アクリル酸、カルボン酸、リン酸等の酸や、ケトン基、エステル基等の極性基が配位及び/又は結合した銅イオンを含む化合物等が好適である。
なお、アルコキシカルボニル基(−COOR)を構成するRは、炭素数1〜4のアルキル基であることが好適であり、アルキル基(−R)を構成するRは、炭素数1〜4のアルキル基であることが好適である。アルコキシカルボニル基として好ましくは、メトキシカルボニル基又はメトキシエトキシカルボニル基であり、アルキル基として好ましくは、メチル基又はジメチル基である。
なお、1個のORi基が2個以上の置換基を有する場合、当該置換基は同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、ORi基における置換基の位置は特に限定されるものではない。
ここで、ORi基が結合する炭素は、フタロシアニン骨格の4個の芳香環におけるα位炭素(「Cα」と略し、フタロシアニン環の1,4,8,11,15,18,22,25位の炭素を表す)でもよいし、β位炭素(「Cβ」と略し、フタロシアニン環の2,3,9,10,16,17,23,24位の炭素を表す)でもよいが、少なくともα位炭素(Cα)であることが好適である。中でも、α位炭素(Cα)のうち平均2個以上の炭素にORi基が結合した形態が好ましく、より好ましくは、各芳香環に1個以上のα位炭素(Cα)にORi基が結合した形態である。また、β位炭素(Cβ)のうち平均4個以上の炭素に水素原子又はフッ素原子が結合した形態であることも好適である。より好ましくは、β位炭素(Cβ)のうち平均6個以上の炭素に水素原子又はフッ素原子が結合した形態であり、更に好ましくは、β位炭素(Cβ)の全ての炭素に水素原子又はフッ素原子が結合した形態である。このような形態とすることで、上述した一般式(I)で表されるフタロシアニン系色素を用いることによる効果をより一層発揮することが可能となる。
上記樹脂層は更に、必要に応じ、色素成分及び樹脂成分以外の他の成分を含んでもよい。他の成分としては特に限定されないが、金属酸化物等の無機成分(無機物質)を含む場合、その含有量は、可視光に対する透明性の観点から、樹脂組成物100質量%中に50質量%未満であることが好適である。より好ましくは20質量%未満、更に好ましくは5質量%未満、特に好ましくは1質量%未満である。最も好ましくは、上記樹脂層を形成する樹脂組成物が、無機成分を実質的に含まないことである。
透過率は、分光光度計(例えば、Shimadzu UV−3100、島津製作所社製)を用いて測定することができる。透過率の測定に供する樹脂層及び樹脂シートの厚みは、1〜200μmとすることが好ましい。
本発明の樹脂シートは、支持体を更に有することが好適である。支持体としては特に限定されず、例えば、有機材料、無機材料、有機無機複合材料、金属材料等の1種又は2種以上を材料とすることが好ましい。また、支持体の材料は、耐リフロー性を有する材料であることが好適である。
なお、支持体は、フィルム形状のもの(支持体フィルム)であってもよいし、また、支持体は、1又は2以上有してもよい。
上記支持体はまた、透明性を有するものが好ましい。すなわち上記支持体は、透明支持体が好適である。具体的には、例えば、波長550nmでの透過率が80%以上であるものが好ましい。より好ましくは85%以上、更に好ましくは90%以上である。
本発明の光選択透過フィルターは、更に、無機層(無機膜とも称す)を有することが好適である。すなわち、上記樹脂シートの少なくとも一方の表面に、無機層を有することが好ましい。これにより、無機層を更に有する形態であっても充分に安定して透明性を発揮できるという本発明の作用効果をより確認することができる。
上記誘電体層Aを構成する材料としては、屈折率が1.6以下の材料を通常用いることができる。好ましくは、屈折率の範囲が1.2〜1.6の材料である。
上記材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、フッ化ランタン、フッ化マグネシウム、六フッ化アルミニウムナトリウム等が好適である。
上記材料としては、例えば、酸化チタン、酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、五酸化ニオブ、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化亜鉛、硫化亜鉛、酸化インジウムを主成分とし酸化チタン、酸化錫、酸化セリウム等を少量含有させたもの等が好適である。
透過率は、分光光度計(Shimadzu UV−3100、島津製作所社製)を用いて測定することができる。
本発明の固体撮像素子は、上記光選択透過フィルターを1又は2以上含むが、必要に応じて、更に他の部材を1又は2以上有するものであってもよい。通常、固体撮像素子は、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)等の検出素子(センサー)及びレンズを有するが、更に、光学フィルターや、部材を固定させるための接着剤等が挙げられる。
なお、樹脂成分の物性(重量平均分子量及び溶解性)、製膜性及び耐光性は、以下の方法に従って評価した。
(1)重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)
以下の条件でGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)測定により求めた。
測定機器:HLC−8120GPC(商品名、東ソー社製)
分子量カラム:TSK−GEL GMHXL−Lと、TSK−GELG5000HXL(いずれも東ソー社製)とを直列に接続して使用
溶離液:テトラヒドロフラン(THF)
検量線用標準物質:ポリスチレン(東ソー社製)
測定方法:測定対象物を固形分が約0.2質量%となるようにTHFに溶解し、フィルターにてろ過した物を測定サンプルとして分子量を測定する。
ジメチルアセトアミドを溶媒とする溶液に溶解した樹脂成分の濃度に応じて、下記基準により評価した。
○:当該溶液に溶解した樹脂成分の濃度が10質量%以上であった。
△:当該溶液に溶解した樹脂成分の濃度が5質量%以上、10質量%未満であった。
×:当該溶液に溶解した樹脂成分の濃度が5質量%未満であった。
色素含有ポリマー溶液を塗布して乾燥及び/又は硬化した際の塗膜の状態に応じて、目視試験で下記基準により評価した。
○:ひび、しわ、気泡、析出物の発生がない、均一透明な状態であった。
×:ひび、しわ、気泡のいずれかが発生している状態であった。
スガ試験機のメタリングウェザーメーターM6Tを使用し、ブラックパネル温度63℃、照射強度1kW/m2にて試験片を置き、2時間光照射した。照射前後の透過率を評価し、透過率の変化を調べた。具体的には、500nmにおける透過率の変化の程度で、下記基準により評価した。
○:透過率の変化が2%以内である。
△:透過率の変化が2%を超え、5%以内である。
×:透過率の変化が5%を超える。
合成例1(脂環式ポリイミドの合成)
1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸(アルドリッチ社製、純度95%)5部と無水酢酸(和光純薬社製)44部とを、フラスコに仕込み、攪拌しながら反応器内を窒素ガスで置換した。窒素ガス雰囲気下で溶剤の還流温度まで昇温し、10分間溶剤を還流させた。攪拌しながら室温まで冷却し、結晶を析出させた。析出した結晶を固液分離し、乾燥して目的物(1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物)の結晶を得た。温度計、撹拌器、窒素導入管、側管付き滴下ロート、ディーンスターク、冷却管を備えたフラスコに、窒素気流下、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(和光純薬社製)0.89部と、溶剤としてN−メチル−2−ピロリドン 7.6部を仕込んで溶解させた後、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物1部を室温にて固体のまま1時間かけて分割投入し、室温下2時間撹拌した。共沸脱水剤としてキシレンを2.6部添加して180℃で3時間反応を行い、ディーンスタークで還流して共沸する生成水を分離した。190℃に昇温しながらキシレンを留去した後、冷却しポリイミドのN−メチル−2−ピロリドン溶液(「ポリイミド樹脂溶液」とも称す)を得た。
撹拌翼を備えた容量2リットルの反応容器Aを用いて、2,2’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン10.01g(0.044モル)、及び、水酸化ナトリウム3.59g(0.090モル)をイオン交換水300gに溶解させた後、トリエチルアミン0.89g(0.009モル)を溶解させた。また、これとは別の1リットル容器を用いて、テレフタル酸ジクロリド3.57g(0.021モル)とイソフタル酸ジクロリド3.57g(0.021モル)を500グラムの塩化メチレンに溶解させ、滴下漏斗に移した。
反応容器Aの溶液を撹拌しながら20℃に保ち、そこに滴下漏斗の塩化メチレン溶液を60分間かけて滴下した。ここに、塩化ベンゾイル0.71g(0.005モル)を10gの塩化メチレンに溶解させたものを添加し、60分間撹拌を行った。
反応液に酢酸水溶液を加えて中和して、水相のpHを7にしてから分液漏斗で油相と水相を分離した。撹拌下、油相をメタノールに滴下してポリマーを再沈し、沈殿をろ過回収し、80℃オーブンで乾燥して白色固体を得た。収量は11.5gであった。
2,2’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン10.01gを、4,4’−スルホニルビフェノール(以下、ビスフェノールSとも記載する。)11.00g(0.044モル)としたこと以外は合成例2と同様にして、白色固体3.6gを得た。
撹拌翼を備えた容量2リットルの反応容器Aを用いて、2,2’−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン10.01g(0.044モル)及び、水酸化ナトリウム3.59g(0.090モル)をイオン交換水300gに溶解させた後、トリエチルアミン0.89g(0.009モル)と塩化メチレン140gを加えた。また、これとは別の1リットル容器を用いて、テレフタル酸ジクロリド2.92g(0.018モル)とイソフタル酸ジクロリド2.92g(0.018モル)と塩化ベンゾイル3.10g(0.022モル)を400グラムの塩化メチレンに溶解させ、滴下漏斗に移した。
反応容器Aの溶液を撹拌しながら20℃に保ち、そこに滴下漏斗の塩化メチレン溶液を60分間かけて滴下し、さらに60分間撹拌を行った。
反応液に塩酸水溶液を加えて中和して、水相のpHを7にしてから分液漏斗で油相と水相を分離した。撹拌下、油相をメタノールに滴下してポリマーを再沈し、沈殿をろ過回収し、80℃オーブンで乾燥して白色固体を得た。収量は1.5gであった。
特公平6−31239号公報に記載の処方に従い、色素1を合成した。
具体的には、500mlの四つ口セパラブルフラスコに、テトラフルオロフタロニトリル50g(0.25mol)、フッ化カリウム34.8g(0.60mol)及びアセトン50gを仕込み、更に滴下ロートに2,5−ジクロロフェノール82.3g(0.50mol)及びアセトン82.3gを仕込んだ。−1℃で攪拌しながら、滴下ロートより2,5−ジクロロフェノールのアセトン溶液を約2時間かけて滴下した後、更に2時間攪拌を続けた。その後、反応温度を室温までゆっくりと上昇させながら一晩攪拌した。反応液をろ過し、ロータリーエバポレーターでろ液からアセトンを留去し、メタノールを加えて再結晶を行った。得られた結晶をろ過し、真空乾燥により、4,5−ビス(2,5−ジクロロフェノキシ)−3,6−ジフルオロフタロニトリル88.8g(収率72.7%)を得た。
次に、200mlの四つ口フラスコに、上記製法で得た4,5−ビス(2,5−ジクロロフェノキシ)−3,6−ジフルオロフタロニトリル8.26g(0.0170mol)、ヨウ化亜鉛(II)1.42g(0.0045mol)、ベンゾニトリル33.05gを仕込み、160℃で撹拌しながら24時間反応させた。反応終了後、合成例B−10と全く同様の操作を行い、目的物(色素1)7.17gを得た(収率84.0%)。
(1)支持体の作製
合成例1で取得したポリイミド樹脂溶液を用いて、溶媒キャスト法で厚みが50μmの支持体フィルム1を作製した。
(2)色素含有ポリマー溶液の塗工
合成例2で取得したビスフェノールA型ポリアリレート1:5部、及び、色素合成例で取得した色素1:0.25部を、テトラヒドロフラン100部に加え、均一に溶解させた。この色素含有ポリマー溶液(色素含有樹脂組成物とも称す)を支持体フィルム1にスピンコート法で塗工し、送風オーブンで140℃、3分間乾燥した。逆面にも同様に塗工・乾燥した。更にイナートオーブンにて140℃で3時間焼成して、色素含有フィルム1(厚み53μm)を得た。なお、この色素含有フィルム1を得る際に用いた色素含有ポリマー溶液について、上記の試験方法に従って製膜性を評価した。結果を表2に示す。
(3)無機膜の積層
色素含有フィルム1にスパッタリング装置を用いて、両面に厚み10nmの酸化チタン層を積層した。このようにして得られた積層フィルム1(両面積層フィルム)について、上記の試験方法に従って耐光性を評価した。結果を表2に示す。
樹脂成分及び溶媒を表2のように変更したこと以外は、実施例1と同様にして色素含有フィルム及び積層フィルムをそれぞれ作製し、同様に製膜性及び耐光性を評価した。結果を表2に示す。
Claims (10)
- 樹脂シートを有する光選択透過フィルターであって、
該樹脂シートは、色素成分及び樹脂成分を含む樹脂層を有し、
該色素成分は、650〜750nmの波長域に吸収極大を有する色素を含み、
該樹脂成分は、ビスフェノールA成分と二塩基酸成分とを縮合させて得られる溶剤可溶性ポリアリレート樹脂を含み、
該溶剤可溶性ポリアリレート樹脂は、シクロヘキサノンに3質量%以上の濃度で溶解する樹脂である
ことを特徴とする光選択透過フィルター。 - 前記溶剤可溶性ポリアリレート樹脂の重量平均分子量は、3000以上であることを特徴とする請求項1に記載の光選択透過フィルター。
- 前記樹脂層の厚みが3μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光選択透過フィルター。
- 前記樹脂シートは、更に、支持体を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光選択透過フィルター。
- 前記支持体に前記樹脂層が直接接していることを特徴とする請求項4に記載の光選択透過フィルター。
- 前記樹脂成分における前記溶剤可溶性ポリアリレート樹脂以外の他の樹脂成分の含有量は、樹脂成分の総含有量100質量%に対し、0〜10質量%であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の光選択透過フィルター。
- 前記光選択透過フィルターは、更に、無機層を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の光選択透過フィルター。
- 前記無機層は、反射層であることを特徴とする請求項7に記載の光選択透過フィルター。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の光選択透過フィルターに用いられることを特徴とする樹脂シート。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の光選択透過フィルターを具備することを特徴とする固体撮像素子。
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