JP6418060B2 - 金属吸収層の製造方法と積層体フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
スパッタリングターゲットが装着されるマグネトロンスパッタリングカソードを真空チャンバー内に備えたスパッタリング装置を用い、かつ、反応性ガスが含まれるプロセスガスを真空チャンバー内に導入して金属酸化物若しくは金属窒化物から成る金属吸収層の成膜を行う金属吸収層の製造方法において、
上記反応性ガスが酸素ガスおよび窒素ガスの少なくとも一方で構成され、かつ、反応性ガスに水が含まれていると共に、上記真空チャンバー内に導入されるプロセスガス中の水の配合割合が、0.25体積%以上12.5体積%以下であること、および、
上記スパッタリングターゲットが、Ni単体、または、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Ag、Mo、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたNi系合金で構成されていることを特徴とする。
第1の発明に記載の金属吸収層の製造方法において、
上記水の配合割合が、1.25体積%以上12.5体積%以下であることを特徴とする。
樹脂フィルムから成る透明基板と該透明基板の少なくとも一方の面に設けられた積層膜とで構成され、該積層膜が透明基板側から数えて第1層目の金属吸収層と第2層目の金属層を有する積層体フィルムの製造方法において、
第1の発明または第2の発明に記載の金属吸収層の製造方法を用いて上記金属吸収層を成膜し、
Cu単体若しくはTi、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Agより選ばれる1種以上の元素が添加されたCu系合金、または、Ag単体若しくはTi、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたAg系合金で構成されるスパッタリングターゲットが装着されるマグネトロンスパッタリングカソードを真空チャンバー内に備えたスパッタリング装置を用い、かつ、反応性ガスを含まないプロセスガスを真空チャンバー内に導入して上記金属層を成膜することを特徴とし、
第4の発明は、
第3の発明に記載の積層体フィルムの製造方法において、
上記積層膜が透明基板側から数えて第3層目の第2金属吸収層を有し、かつ、第1の発明または第2の発明に記載の金属吸収層の製造方法を用いて上記第2金属吸収層を成膜することを特徴とするものである。
上記反応性ガスに水が含まれており、上述したパーティクル堆積物やノジュール表面に上記水分がイオン化された状態で若しくは水分子の状態で吸着されている。
(1-1)スパッタリング装置(スパッタリングウェブコータ)
ロールツーロール方式で搬送される長尺樹脂フィルムに対して連続成膜するスパッタリング装置はスパッタリングウェブコータと称され、図1に示すように真空チャンバー10内に設けられており、巻き出しロール11から巻き出された長尺樹脂フィルム12に対して所定の成膜処理を行った後、巻き取りロール24で巻き取るようになっている。これ等巻き出しロール11から巻き取りロール24までの搬送経路の途中に、モータで回転駆動されるキャンロール16が配置されている。このキャンロール16の内部には、真空チャンバー10の外部で温調された冷媒が循環している。
金属酸化物若しくは金属窒化物から成る金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層と称する場合がある)を成膜する目的で酸化物若しくは窒化物ターゲットを適用した場合、成膜速度が遅く量産に適さない。このため、高速成膜が可能なNi系のスパッタリングターゲットを用い、かつ、酸素若しくは窒素等を含む反応性ガスを制御しながら導入する反応性スパッタリング法が採られている。
(1-2-1)一定流量の反応性ガスを放出する方法。
(1-2-2)一定圧力を保つように反応性ガスを放出する方法。
(1-2-3)スパッタリングカソードのインピーダンスが一定になるように反応性ガスを放出する(インピーダンス制御)方法。
(1-2-4)スパッタリングのプラズマ強度が一定になるように反応性ガスを放出する(プラズマエミッション制御)方法。
(2-1)マグネトロンスパッタリングカソードの構造
図3は、スパッタリングターゲットが装着されたマグネトロンスパッタリングカソードの概略断面説明図である。すなわち、マグネトロンスパッタリングカソードは、図3に示すように、ハウジング100とハウジングカバー101で形成された筐体内に、磁気回路(磁気発生機構)100Cを備える構造になっている。
反応性スパッタリングによる成膜がなされる際にスパッタリングターゲット109の非エロージョン領域100Aにパーティクル堆積物が生じる過程は次の通りである。
また、スパッタリングの成膜中にパーティクル堆積物とは別にエロージョン100Bの部分(ターゲットがスパッタリングさている部分)にノジュールと呼ばれる異物が生じることがある。ノジュールは、スパッタリングターゲット109のエロージョン100B発生部分における端の箇所に発生しやすい。ノジュールが発生しやすい箇所はArイオンによるスパッタが弱いため、部分的にスパッタが進行し、スパッタが進行しなかった部分は、酸化物や窒化物が残留することとなる。ノジュールが発生した箇所の酸化物や窒化物は突起状になっていることと、このような酸化物や窒化物は電気絶縁性のために帯電し、最終的には放電すると共に突起が飛散して被成膜体(被成膜物)表面に付着する。
スパッタリング雰囲気に酸素ガスや窒素ガス等の反応性ガスに加えて水を添加した場合、上述したようにアーク放電の発生が抑制され、かつ、スパッタリングターゲットからのパーティクル堆積物の剥離を抑制できる。スパッタリング雰囲気に水を添加すると、水分の一部はプラズマ中でイオンに分解され、残りの一部は水分子の状態でパーティクル堆積物やノジュール表面に吸着される。更に、プラズマ中で分解された水分子のイオンの一部もパーティクル堆積物やノジュールに吸着される。
スパッタリング雰囲気に反応性ガスを供給させるガス放出パイプの取り付け位置等について大規模な改変をすることなく、パーティクル堆積物やノジュールの帯電が抑制されてアーク放電等を回避でき、更に、被成膜体である金属吸収層(被成膜物)表面に異物が付着し難くなるため高品質な金属吸収層を簡便に製造できる顕著な効果を有している。
本発明に係る反応性スパッタリング法が適用されて製造された第一の積層体フィルムは、樹脂フィルムから成る透明基板と該透明基板の少なくとも一方の面に設けられた積層膜とで構成され、該積層膜が、透明基板側から数えて第1層目の金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)と第2層目の金属層を有しており、上記金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)が、Ni単体、または、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Ag、Mo、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたNi系合金で構成されたスパッタリングターゲットを用いかつ反応性ガス(酸素ガスおよび窒素ガスの少なくとも一方で構成される反応性ガス)に水が含まれた反応性スパッタリング法により成膜されて成るものである。また、第二の積層体フィルムは、第一の積層体フィルムを前提とし、上記積層膜が透明基板側から数えて第3層目の第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)を有し、かつ、第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)が、Ni単体、または、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Ag、Mo、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたNi系合金で構成されたスパッタリングターゲットを用いかつ反応性ガス(酸素ガスおよび窒素ガスの少なくとも一方で構成される反応性ガス)に水が含まれた反応性スパッタリング法により成膜されて成るものである。
第一の積層体フィルムとしては、図4に示すように樹脂フィルムから成る透明基板40と、該透明基板40の両面に乾式成膜法(乾式めっき法)により形成された金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)41、43と、金属層42、44とで構成されている構造体が例示される。
次に、第二の積層体フィルムは、図5に示した第一の積層体フィルムを前提とし、該積層体フィルムの金属層上に第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)を形成して成るものである。
「タッチパネル」用電極基板フィルムに加工される本発明に係る積層体フィルムにおいて、金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)および第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)用のスパッタリングターゲットとしては、Ni単体またはTi、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Ag、Mo、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたNi系合金で構成されたターゲット材が用いられ、上記Ni系合金としてNi−Cu合金が好ましい。
本発明に係る積層体フィルムにおける金属層の構成材料としては、電気抵抗値が低い金属であれば特に限定されず、例えば、Cu単体、若しくは、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Agより選ばれる1種以上の元素が添加されたCu系合金、または、Ag単体、若しくは、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたAg系合金が挙げられ、特に、回路パターンの加工性や抵抗値の観点からCu単体の適用が望ましい。
本発明に係る積層体フィルムにおける透明基板の構成材料としては、特に限定されることはなく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルスルフォン(PES)、ポリアリレート(PAR)、ポリカーボネート(PC)、ポリオレフィン(PO)、トリアセチルセルロース(TAC)およびノルボルネンの樹脂材料から選択された樹脂フィルムの単体、あるいは、上記樹脂材料から選択された樹脂フィルム単体とこの単体の片面または両面を覆うアクリル系有機膜との複合体が挙げられる。特に、ノルボルネン樹脂材料については、代表的なものとして、日本ゼオン社のゼオノア(商品名)やJSR社のアートン(商品名)等が挙げられる。
(4-1)上記積層体フィルム(例えば、第二の積層体フィルム)から、特許文献2に開示された金属製のメッシュとした「センサパネル」を製造するには、第二の積層体フィルムにおける積層膜、すなわち、金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)と金属層および第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)から成る積層膜を線幅が20μm以下の積層細線に配線加工すればよい。尚、特許文献2に開示された金属製のメッシュとした「センサパネル」を電極基板フィルムと呼ぶことにする。具体的には、図6に示す第二の積層体フィルムの積層膜をエッチング処理して、図7に示すような電極基板フィルムを得ることができる。
仕切り板35で真空チャンバー10内が成膜室33、34に区分けされた図1に示すスパッタリング装置(スパッタリングウェブコータ)を用い、反応性ガスには酸素ガスを用いると共に、キャンロール16は、直径600mm、幅750mmのステンレス製で、ロール本体表面にハードクロムめっきが施されている。前フィードロール15と後フィードロール21は直径150mm、幅750mmのステンレス製で、ロール本体表面にハードクロムめっきが施されている。また、各マグネトロンスパッタリングカソード17、18、19、20の上流側と下流側にガス放出パイプ25、26、27、28、29、30、31、32を設置し、かつ、マグネトロンスパッタリングカソード17、18には金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)用のNi−Cuターゲット、マグネトロンスパッタリングカソード19と20には金属層用のCuターゲットを取り付けた。
反応性ガスに水がほとんど含まれていない(水の配合割合が0.1体積%以下)点を除き実施例1と略同一に行った。
(1)実施例1〜5と参考例6および比較例1に係る積層体フィルム(透明基板側から数えて第1層目の反応性スパッタリング成膜層と第2層目のCu層から成る積層膜を具備する積層体フィルム)の各々について、成膜を開始してから100mの位置と500mの位置でそれぞれサンプリングし、各積層体フィルムの外観確認(フィルム1m2当たりに存在する20μm以上の大きさを有する異物の個数)と、40μmピッチの配線加工(配線幅20μm、配線間隔20μm)後における通電試験を行った。
(2)上記積層体フィルムの配線加工は、エッチング液として塩化第二鉄水溶液を用い、上記積層膜(反応性スパッタリング成膜層とCu層)を化学エッチングした。
(3)評価結果を以下の表1に示す。
(1)スパッタリング雰囲気中に0.25体積%の水が含まれる実施例3(水の配合割合が実施例1〜5と参考例6中最少)とスパッタリング雰囲気中にほとんど水を含まない(水の配合割合が0.1体積%以下)比較例1の外観確認(フィルム1m2当たりに存在する20μm以上の大きさを有する異物の個数)から、水の配合割合が実施例1〜5と参考例6中最少である実施例3(100mと500m位置の積層体フィルムにおいて異物の個数がそれぞれ23個/m2と25個/m2)においても、比較例1(100mと500m位置の積層体フィルムにおいて異物の個数がそれぞれ68個/m2と125個/m2)より異物の個数が著しく減少していることが確認された。
11 巻き出しロール
12 長尺樹脂フィルム
13 フリーロール
14 張力センサロール
15 前フィードロール
16 キャンロール
17 マグネトロンスパッタリングカソード
18 マグネトロンスパッタリングカソード
19 マグネトロンスパッタリングカソード
20 マグネトロンスパッタリングカソード
21 後フィードロール
22 張力センサロール
23 フリーロール
24 巻き取りロール
25 ガス放出パイプ
26 ガス放出パイプ
27 ガス放出パイプ
28 ガス放出パイプ
29 ガス放出パイプ
30 ガス放出パイプ
31 ガス放出パイプ
32 ガス放出パイプ
33 成膜室
34 成膜室
35 仕切り板
40 樹脂フィルム(透明基板)
41 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
42 金属層(銅層)
43 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
44 金属層(銅層)
50 樹脂フィルム(透明基板)
51 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
52 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
53 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
54 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
55 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
56 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
60 樹脂フィルム(透明基板)
61 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
62 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
63 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
64 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
65 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
66 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
67 第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)
68 第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)
70 樹脂フィルム(透明基板)
71 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
72 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
73 金属吸収層(反応性スパッタリング成膜層)
74 乾式成膜法で形成された金属層(銅層)
75 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
76 湿式成膜法で形成された金属層(銅層)
77 第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)
78 第2金属吸収層(第2反応性スパッタリング成膜層)
100 ハウジング
101 ハウジングカバー
102 外周磁極
103 中心磁極
104 磁気ヨーク
105 絶縁板
106 アースシールド
107 冷却板
108 クランプ
109 スパッタリングターゲット
110 冷却水路
116 キャンロール
117 マグネトロンスパッタリングカソード
118 マグネトロンスパッタリングカソード
125 ガス放出パイプ
126 ガス放出パイプ
127 ガス放出パイプ
128 ガス放出パイプ
161 ガス雰囲気
162 ガス雰囲気
163 ガス雰囲気
164 ガス雰囲気
100A 非エロージョン領域
100B エロージョン(浸食)
100C 磁気発生機構(磁気回路)
Claims (4)
- スパッタリングターゲットが装着されるマグネトロンスパッタリングカソードを真空チャンバー内に備えたスパッタリング装置を用い、かつ、反応性ガスが含まれるプロセスガスを真空チャンバー内に導入して金属酸化物若しくは金属窒化物から成る金属吸収層の成膜を行う金属吸収層の製造方法において、
上記反応性ガスが酸素ガスおよび窒素ガスの少なくとも一方で構成され、かつ、反応性ガスに水が含まれていると共に、上記真空チャンバー内に導入されるプロセスガス中の水の配合割合が、0.25体積%以上12.5体積%以下であること、および、
上記スパッタリングターゲットが、Ni単体、または、Ti、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Ag、Mo、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたNi系合金で構成されていることを特徴とする金属吸収層の製造方法。 - 上記水の配合割合が、1.25体積%以上12.5体積%以下であることを特徴とする請求項1に記載の金属吸収層の製造方法。
- 樹脂フィルムから成る透明基板と該透明基板の少なくとも一方の面に設けられた積層膜とで構成され、該積層膜が透明基板側から数えて第1層目の金属吸収層と第2層目の金属層を有する積層体フィルムの製造方法において、
請求項1または2に記載の金属吸収層の製造方法を用いて上記金属吸収層を成膜し、
Cu単体若しくはTi、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Agより選ばれる1種以上の元素が添加されたCu系合金、または、Ag単体若しくはTi、Al、V、W、Ta、Si、Cr、Cuより選ばれる1種以上の元素が添加されたAg系合金で構成されるスパッタリングターゲットが装着されるマグネトロンスパッタリングカソードを真空チャンバー内に備えたスパッタリング装置を用い、かつ、反応性ガスを含まないプロセスガスを真空チャンバー内に導入して上記金属層を成膜することを特徴とする積層体フィルムの製造方法。 - 上記積層膜が透明基板側から数えて第3層目の第2金属吸収層を有し、かつ、請求項1または2に記載の金属吸収層の製造方法を用いて上記第2金属吸収層を成膜することを特徴とする請求項3に記載の積層体フィルムの製造方法。
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