JP6394055B2 - セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法及びセラミック−ガラス複合パッケージ - Google Patents
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2…セラミック基板
2a…収納部
2b…壁部
3…ガラス薄板
4…ガラスフリット層
5…水晶振動子
10…セラミック基板母材
20…ガラス薄板母材
30…ガラスフリット
Claims (3)
- 収納部を有するセラミック基板と、前記セラミック基板の前記収納部を覆うガラス薄板と、前記セラミック基板と前記ガラス薄板との間に設けられるガラスフリット層とを備えるセラミック−ガラス複合パッケージを製造する方法であって、
複数の前記収納部が形成されたセラミック基板母材、及び前記セラミック基板母材に形成された前記複数の収納部のうちの少なくとも一部の収納部を覆うことが可能なガラス薄板母材を準備する工程と、
各パターンが複数の前記収納部の周りを囲む複数パターンとなるようにガラスフリット
を前記ガラス薄板母材の上に配置した後、仮焼成して前記ガラスフリット層を形成する工程と、
前記セラミック基板母材と前記ガラス薄板母材との間にガラスフリット層が設けられるように、前記セラミック基板母材の上に前記ガラス薄板母材を配置する工程と、
前記ガラス薄板母材を前記セラミック基板母材の上に配置した状態で、前記ガラスフリット層を焼成し、前記セラミック基板母材及び前記ガラス薄板母材を接着する工程と、
接着した前記セラミック基板母材及び前記ガラス薄板母材を、個別のセラミック−ガラス複合パッケージに分割する工程とを備え、
前記ガラス薄板母材の厚みが、5〜200μmの範囲内であり、
前記分割工程が、
前記ガラス薄板母材の不要部分を除去し、前記ガラス薄板に分割する工程と、
前記ガラス薄板母材の不要部分を除去した後、前記セラミック基板母材を切断して、個別のセラミック−ガラス複合パッケージに分割する工程とを含む、セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法。 - 前記ガラス薄板母材が、ガラスシートまたはガラスリボンである、請求項1に記載のセラミック−ガラス複合パッケージの製造方法。
- 前記ガラス薄板母材をレーザー加工により切断した後、前記セラミック基板母材を機械的に切断する、請求項1または2に記載のセラミック−ガラス複合パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014099729A JP6394055B2 (ja) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法及びセラミック−ガラス複合パッケージ |
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JP2014099729A JP6394055B2 (ja) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法及びセラミック−ガラス複合パッケージ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015216322A JP2015216322A (ja) | 2015-12-03 |
JP6394055B2 true JP6394055B2 (ja) | 2018-09-26 |
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JP2014099729A Active JP6394055B2 (ja) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | セラミック−ガラス複合パッケージの製造方法及びセラミック−ガラス複合パッケージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6394055B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6358293B2 (ja) * | 2016-07-27 | 2018-07-18 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
WO2018003315A1 (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法 |
EP3309826A1 (en) * | 2016-10-13 | 2018-04-18 | MEAS Switzerland S.a.r.l. | Device for supporting a mems component, array of the device for supporting a system comprising the device, method for manufacturing the device for supporting a mems component and use of walls for surrounding a mems component |
JP6702213B2 (ja) | 2017-01-31 | 2020-05-27 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラスリッド用基材及び合成石英ガラスリッド並びにそれらの製造方法 |
JP7401200B2 (ja) | 2019-06-14 | 2023-12-19 | 太陽誘電株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
JP2022055918A (ja) * | 2020-09-29 | 2022-04-08 | 日本電気硝子株式会社 | 接合体の製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5637654A (en) * | 1979-09-04 | 1981-04-11 | Nec Corp | Semiconductor element container |
JPS60250653A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-11 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5923958A (en) * | 1998-05-28 | 1999-07-13 | Pan Pacific Semiconductor Co., Ltd. | Method for semiconductor chip packaging |
JP2006005019A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Seiko Epson Corp | 電子デバイスの製造方法 |
JP4673670B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-04-20 | 京セラキンセキ株式会社 | 圧電デバイスの製造方法 |
JP5070973B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2012-11-14 | 株式会社大真空 | 蓋体集合体および当該蓋体集合体を用いた圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法 |
JP5050080B2 (ja) * | 2010-06-15 | 2012-10-17 | 日本電波工業株式会社 | 表面実装用水晶振動子の製造方法 |
JP5769482B2 (ja) * | 2011-04-18 | 2015-08-26 | セイコーインスツル株式会社 | ガラス封止型パッケージの製造方法、及び光学デバイス |
JP6024199B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品の製造方法 |
TWI476877B (zh) * | 2012-10-15 | 2015-03-11 | Win Semiconductors Corp | 氣腔式封裝結構及方法 |
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2014
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015216322A (ja) | 2015-12-03 |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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