JP2007234834A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部構造を有する容器体1と、前記容器体1の内部に収容される圧電振動素子2と前記容器体の凹部を被覆する蓋体3とによって構成される圧電デバイスであって、前記容器体1の開口部主面に形成されている封止用導体パターン4幅が封止部材8幅より狭く配置形成されている。
【選択図】図2
Description
前記容器体の開口部主面に形成されている封止用導体パターン幅が封止部材幅より狭く配置形成されていることを特徴とするものである。
また、外周側の封止用導体パターンに対して、封止部材のフィレットが形成されないので、切断時にブレードが、封止部材に接触することがないので、気密封止を維持した状態で生産することが可能となる。
また、封止用導体パターン幅が封止部材幅に対して、80%以下にすることで、封止部材が、前記封止用導体パターンを切断する必要がなく、封止部材に影響を及ぼさないので、気密封止性を維持することが可能となる。
また、封止部材が容器体内の圧電振動素子に被着することによって生じる発振周波数の変動を防止することが可能となる。
図1は本発明の水晶振動子の断面図であり、同図に示す水晶振動子は、大略的に、容器体1と、圧電振動素子としての水晶振動素子2と、蓋体3とで構成されている。
なお、上述した外部端子5は、水晶振動子をマザーボード等の外部電気回路に搭載する際、外部電気回路の回路配線と半田等の導電性接着材を介して電気的に接続されることとなる。
このような水晶振動素子2は、その両主面に被着されている励振電極と容器体上面の対応する搭載パッド6とを導電性接着剤9を介して電気的・機械的に接続することによって容器体上面の所定位置に搭載される。
また、外周側の封止用導体パターンに対して、封止部材8のフィレットが形成されないので、切断時にブレードが、封止部材8に接触することがないので、気密封止を維持した状態で生産することが可能となる。
また、封止部材8が容器体1内の水晶振動素子2に被着することによって生じる発振周波数の変動を防止することが可能となる。
ここで、図2(a)〜(d)は本発明の製造方法を説明するための斜視図である。
(工程A)
前記シート基板10は、図2(a)に示すように、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料からなる矩形状の平板状基板が2層積層され、さらにセラミック材料からなるマトリクス状、即ち、縦m列×横n行の行列状に配置された多数の矩形状の孔を有する基板を積層して形成されており、マトリクス状に配置された前記孔を中心に有する個々の基板領域には、上面側に凹部底面の一対の搭載パッド6と開口周縁を囲む封止用導体パターン4が被着・形成され、下面側には入出力端子やグランド端子等の外部端子5が被着・形成されている。また、マトリクス状に配された基板領域の間に所定の捨代領域が設けられている。
前記封止用導体パターン4は、各基板領域の最外周より間隔を設けた位置に設けられており、そのことにより分割時に前記封止用導体パターン4を切断する必要がなく、封止部材8に影響を及ぼさないので、気密封止性を維持することが可能となる。
前記シート基板10は、矩形状の基板領域を相互に隣接させて複数個ずつ配置させてなり、その一主面側には、水晶振動素子2を搭載する。
水晶振動素子2は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の励振電極を被着・形成してなり、外部からの変動電圧が一対の励振電極を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こす。
また、シート基板10の各基板領域の凹部底面には水晶振動素子2が1個ずつ搭載され、水晶振動素子2の励振電極とシート基板上面の搭載パッド6とが導電性接着剤9を介して電気的・機械的に接続される。
なお、蓋体3は、従来周知の金属加工法を採用し、42アロイ等の金属を所定形状に成形することによって製作される。前記蓋体3の上面には、ニッケル(Ni)層が形成され、更にニッケル(Ni)層の上面に、封止部材8であるクラッド化された金錫(Au−Sn)層が形成される。クラッド化された金錫(Au−Sn)層の厚みは、10μm〜40μmである。例えば、成分比率が、金が80%、錫が20%のものが使用されている。
また、前記シート基板10の各基板領域の外周側に封止部材8のフィレットが形成されないので、切断時にブレードが、封止部材に接触することがないので、気密封止を維持した状態で生産することが可能となる。
次に、図2(c)に示すように、シート基板10に載置した蓋体3を封止装置を用いて接合する。
封止装置は、シート基板を載置・固定する為の台座部、キセノンランプ及びハロゲンランプ等の光ビームを照射する為の照射部によって構成されている。
前記光ビームを前記蓋体3に照射し、前記封止部材8を溶融させることによって、前記蓋体3を前記シート基板10の基板領域に封止を行う。このとき、複数個同時に封止をすることできる。
また、同様にハロゲンランプは、バルブ内にタングステンフィラメントを備え、ハロゲンガスを封入したものである。このタングステンフィラメントが通電加熱されると、ハロゲンガスと反応し、タングステン−ハロゲン化合物が生成される。タングステン−ハロゲン化合物は、バルブ内の対流により、タングステン−ハロゲン化合物がフィラメント付近に運ばれ、高温によりタングステンとハロゲンガスに分解されて、タングステンは、フィラメントに沈殿するというハロゲンサイクルを繰り返し、光ビームを発生するものである。
そして最後に、図2(d)に示す如く、前記シート基板10の各基板領域並びに前記基板領域の外周に沿って切断することにより分割する。
前記シート基板10の切断はダイサーを用いたダイシング等によって行なわれ、かかる切断工程を経てシート基板10が個々の基板領域毎に分割することにより、各圧電デバイスを得ることができる。
上述した実施形態においては、圧電振動素子として水晶振動素子2を用いることにより水晶振動子を構成するようにしたが、それ以外の電子装置、例えば、電子部品素子として発振用集積回路素子や他の圧電素子を用いるようにした電子装置においても本発明は適用可能である。
2・・・水晶振動素子(圧電振動素子)
3・・・蓋体
4・・・封止用導体パターン
5・・・外部端子
6・・・搭載パッド
7・・・凹部
8・・・封止部材
9・・・導電性接着剤
10・・・シート基板
11・・・溝
Claims (4)
- 凹部構造を有する容器体と、前記容器体の内部に収容される圧電振動素子と前記容器体の凹部を被覆する蓋体とによって構成される圧電デバイスであって、
前記容器体の開口部主面に形成されている封止用導体パターン幅が封止部材幅より狭く配置形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記封止用導体パターンと封止部材を接合する際に生じるフィレットが、前記容器体の開口部主面の蓋体と接する内周側及び外周側に向かって形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記封止用導体パターン幅が封止部材幅に対して、50〜80%の幅で配置形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記封止部材の厚みが10μm〜40μmであることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
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