JP5050080B2 - 表面実装用水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
水晶振動子は共振先鋭度を示すQ値が格段に高いことから、各種電子機器の発振器やフィルタ等に発振子や共振子として適用される。この中でも、表面実装振動子は小型・軽量であることから、特に携帯機器に採用される。このようなものの一つに、例えばガラス封止による表面実装振動子がある。この場合、ガラス封止は例えば共晶合金による封止とした場合に比較して安価となる。
第8図は一従来例を説明する図で、同図(a)は表面実装振動子の断面図、同図(b)は同底面図、同図(c)はカバーを除く同平面図である。
しかしながら、上記構成の表面実装振動子では、低融点ガラス3によるベース基板1とカバー2との接合強度が小さくなるとともに不均一になる問題があった。すなわち、ベース基板1の開口端面に対する低融点ガラス3はガラスペーストの印刷及び焼成によって形成される。この場合、例えば第9図に示したように、ガラスペースト3Aは液状なので、特に表面張力によって中央部が突出したかまぼこ状に印刷され、周回する方向で凹凸を有するうねりを生ずる。そして、そのままの状態で焼成されてカバー2の外周に低融点ガラス3が仮固着される。
本実施例は低融点ガラスによる接合強度を高めて均一にし、生産性を高めた表面実装振動子の製造方法を提供することを目的とする。
少なくとも水晶片を密閉封入する平面視矩形状とした一組の容器部材を有し、前記一組の容器部材は対向する表面外周が低融点ガラスによって接合した表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記一組の容器部材のそれぞれに相当した矩形状領域を有して集合化した一組のシート状容器部材を形成するとともに、前記一組のシート状容器部材の矩形状領域の対向する少なくともいずれか一方の表面外周に、前記表面外周を周回する溝を形成する第1工程と、
前記溝を含む表面外周にガラスペーストを塗布して焼成し、前記表面外周に低融点ガラスを仮固着する第2工程と、
前記一組の容器部材内に前記水晶片を収容するとともに、前記一組の容器部材を対向して前記矩形状領域の表面外周を位置決めし、前記一組のシート状容器部材の他方の表面外周を、前記一組のシート状容器部材の一方の表面外周に仮固着された低融点ガラスに当接する第3工程と、
前記一組のシート状容器部材の各表面外周間の低融点ガラスを焼成し、前記一組の容器部材の表面外周を接合してシート状容器を形成する第4工程と、
前記シート状容器を縦横に分割して前記水晶片の密閉封入された個々の容器を得る第5工程とからなる構成とする。
本発明の請求項2では、前記表面外周の溝は隣接する表面外周間では独立した凹状溝とし、前記凹状溝間を分割してなる。同請求項3では、前記表面外周の溝は隣接する表面外周間では連続した凹状溝とし、前記凹状溝内を分割してなる。同請求項4では前記一組の容器部材は、凹状としたベース基板と平板状としたカバーとから、又は、前記一組の容器部材は平板状としたベース基板と凹状としたカバーとからなる。
以下、本発明の第1実施形態の製造方法を第1図(表面実装振動子の断面図及び一部拡大断面図)、第2図(ベース基板ウェハの平面図及び断面図)及び第3図(接合時の断面図)によって説明する。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
以下、第4図及び第5図によって本発明の第2実施形態の製造例を説明する。但し、第4図(a)は第2図(a)の点線枠で示すシート状ベース基板の一部拡大図、同図(b)はシート状ベース基板の断面図、第5図はベース基板に対するカバー接合時の断面図である。
第1及び第2実施形態では、ベース基板1は積層セラミックとし、カバー2はセラミックとしたが、これに限らず、いずれもガラスや水晶としても構成できる。また、カバー2は金属であってもよい。これらの場合、例えば第6図(断面図)に示したように、ベース基板1の凹状溝9はウェットやドライのエッチング等によって形成される。そして、一対の水晶保持端子5は内壁に設けた貫通電極(スルーホール)10によって外部端子6に接続し、例えば金属体の溶融等によって封止される。
第7図は本発明の第3実施形態を説明する図で、同図(a)は表面実装振動子の断面図、同図(b)は枠付水晶片の平面図である。なお、第1実施形態と同一部分の説明は簡略又は省略する。
Claims (5)
- 少なくとも水晶片を密閉封入する平面視矩形状とした一組の容器部材を有し、前記一組の容器部材は対向する表面外周が低融点ガラスによって接合した表面実装用水晶振動子の製造方法において、
前記一組の容器部材のそれぞれに相当した矩形状領域を有して集合化した一組のシート状容器部材を形成するとともに、前記一組のシート状容器部材の矩形状領域の対向する少なくともいずれか一方の表面外周に、前記表面外周を周回する溝を形成する第1工程と、
前記溝を含む表面外周にガラスペーストを塗布して焼成し、前記表面外周に低融点ガラスを仮固着する第2工程と、
前記一組の容器部材内に前記水晶片を収容するとともに、前記一組の容器部材を対向して前記矩形状領域の表面外周を位置決めし、前記一組のシート状容器部材の他方の表面外周を、前記一組のシート状容器部材の一方の表面外周に仮固着された低融点ガラスに当接する第3工程と、
前記一組のシート状容器部材の各表面外周間の低融点ガラスを焼成し、前記一組の容器部材の表面外周を接合してシート状容器を形成する第4工程と、
前記シート状容器を縦横に分割して前記水晶片の密閉封入された個々の容器を得る第5工程とからなることを特徴とする表面実装用水晶振動子の製造方法。 - 請求項1において、前記表面外周の溝は隣接する表面外周間では独立した凹状溝とし、前記凹状溝間を分割してなる表面実装用水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記表面外周の溝は隣接する表面外周間では連続した凹状溝とし、前記凹状溝内を分割してなる表面実装用水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記一組の容器部材は、凹状としたベース基板と平板状としたカバーとから、又は、前記一組の容器部材は平板状としたベース基板と凹状としたカバーとからなる表面実装用水晶振動子の製造方法。
- 請求項1において、前記一組の容器部材は、前記水晶片を取り囲んで連結部によって結合した枠部と、前記枠部の両主面と表面外周が接合して前記水晶片とは離間したベース基板及びカバーとからなる表面実装用水晶振動子の製造方法。
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