JP6392681B2 - アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記第1の電源および前記第2の電源は、互いに独立に前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加するように構成されていることを特徴とする。
2,107 アノードユニット
3,103 アノード
3A 第1のアノード
3B 第2のアノード
6,104 基板ホルダ
7,106 オーバーフロー槽
8 循環ライン
10 第1の給電ベルト
11 第1の給電部
12,16 締結具
13 第2の給電ベルト
14 外周保持部材
14a 第1のアーム
14b 第2のアーム
15 第2の給電部
17 第1の電源
18 第2の電源
22 パドル
24 調整板(レギュレーションプレート)
24a 開口
28 スペーサ
39 アノードホルダ
39a〜39d アーム
105 電源
108 給電部
109 パドル
110 給電ベルト
120 循環ライン
Claims (13)
- アノードと、
前記アノードの中心部に接続された第1の給電部と、
前記アノードの中心軸上に配置され、前記アノードから離間して配置された第2の給電部と、
前記第2の給電部から放射状に延びる複数のアームとを備え、
前記複数のアームは、電気が前記第2の給電部から前記複数のアームを通じて前記アノードの外周部に供給されるように、前記アノードの外周部に接続されていることを特徴とするアノードユニット。 - 前記複数のアームは、前記アノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項1に記載のアノードユニット。
- 第1のアノードと、
前記第1のアノードから離間して、前記第1のアノードと平行に配置された第2のアノードと、
前記第1のアノードの中心部に接続された第1の給電部と、
前記第2のアノードの中心軸上に配置され、前記第1のアノードおよび前記第2のアノードから離間して配置された第2の給電部と、
前記第2の給電部から放射状に延びる複数のアームとを備え、
前記複数のアームは、電気が前記第2の給電部から前記複数のアームを通じて前記第2のアノードの外周部に供給されるように、前記第2のアノードの外周部に接続されていることを特徴とするアノードユニット。 - 前記複数のアームは、前記第2のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項3に記載のアノードユニット。
- 互いに離間して平行に配置された第1のアノードおよび第2のアノードと、
前記第1のアノードおよび前記第2のアノードの中心軸上に配置され、前記第1のアノードおよび前記第2のアノードから離間して配置された給電部と、
前記給電部から放射状に延びる複数の第1のアームと、
前記給電部から放射状に延びる複数の第2のアームとを備え、
前記複数の第1のアームは、電気が前記給電部から前記複数の第1のアームを通じて前記第1のアノードの外周部に供給されるように、前記第1のアノードの外周部に接続されており、
前記複数の第2のアームは、電気が前記給電部から前記複数の第2のアームを通じて前記第2のアノードの外周部に供給されるように、前記第2のアノードの外周部に接続されていることを特徴とするアノードユニット。 - 前記複数の第1のアームは、前記第1のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されており、
前記複数の第2のアームは、前記第2のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項5に記載のアノードユニット。 - めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき液に浸漬されるアノードを有するアノードユニットと、
前記めっき液に浸漬される基板を保持する基板ホルダと、
前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加する第1の電源および第2の電源とを備え、
前記アノードユニットは、
前記アノードの中心部に接続された第1の給電部と、
前記アノードの中心軸上に配置され、前記アノードから離間して配置された第2の給電部と、
前記第2の給電部から放射状に延びる複数のアームとを備え、
前記複数のアームは、電気が前記第2の給電部から前記複数のアームを通じて前記アノードの外周部に供給されるように、前記アノードの外周部に接続されており、
前記第1の給電部は、前記第1の電源に電気的に接続され、
前記第2の給電部は、前記第2の電源に電気的に接続されることを特徴とするめっき装置。 - 前記複数のアームは、前記アノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項7に記載のめっき装置。
- 前記第1の電源および前記第2の電源は、互いに独立に前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加するように構成されていることを特徴とする請求項7または8に記載のめっき装置。
- めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき液に浸漬されるアノードを有するアノードユニットと、
前記めっき液に浸漬される基板を保持する基板ホルダと、
前記基板と前記アノードとの間に電圧を印加する第1の電源および第2の電源とを備え、
前記アノードユニットは、
第1のアノードと、
前記第1のアノードから離間して、前記第1のアノードと平行に配置された第2のアノードと、
前記第1のアノードの中心部に接続された第1の給電部と、
前記第2のアノードの中心軸上に配置され、前記第1のアノードおよび前記第2のアノードから離間して配置された第2の給電部と、
前記第2の給電部から放射状に延びる複数のアームとを備え、
前記複数のアームは、電気が前記第2の給電部から前記複数のアームを通じて前記第2のアノードの外周部に供給されるように、前記第2のアノードの外周部に接続されており、
前記第1の給電部は、前記第1の電源に電気的に接続され、
前記第2の給電部は、前記第2の電源に電気的に接続されることを特徴とするめっき装置。 - 前記複数のアームは、前記第2のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項10に記載のめっき装置。
- めっき液を保持するめっき槽と、
前記めっき液に浸漬され、互いに離間して平行に配置された第1のアノードおよび第2のアノードを有するアノードユニットと、
前記めっき液に浸漬される基板を保持する基板ホルダと、
前記基板と前記第1および第2のアノードとの間に電圧を印加する電源とを備え、
前記アノードユニットは、
前記第1のアノードおよび前記第2のアノードの中心軸上に配置され、アノードから離間して配置された給電部と、
前記給電部から放射状に延びる複数の第1のアームと、
前記給電部から放射状に延びる複数の第2のアームとを備え、
前記複数の第1のアームは、電気が前記給電部から前記複数の第1のアームを通じて前記第1のアノードの外周部に供給されるように、前記第1のアノードの外周部に接続されており、
前記複数の第2のアームは、電気が前記給電部から前記複数の第2のアームを通じて前記第2のアノードの外周部に供給されるように、前記第2のアノードの外周部に接続されていることを特徴とするめっき装置。 - 前記複数の第1のアームは、前記第1のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されており、
前記複数の第2のアームは、前記第2のアノードの周方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項12に記載のめっき装置。
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