JP2019099828A - 電気めっき装置のアノードユニット、アノードユニットを備えた電気めっき装置およびアノードへの給電位置を調整する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電気めっき装置におけるアノードへの最適な電力供給位置は、種々の条件によって変化し得る。よって、最適なめっき加工を行うためには、アノードへの電力供給位置が調整可能であることが好ましい。【解決手段】電気めっき装置のアノードユニットであって、アノードユニットが、アノードと、アノードに固定され、電源からの電力をアノードに供給するための給電要素と、アノードに設けられた、アノードに給電要素を固定するための給電要素固定部であって、アノードに対する給電要素の固定位置を変更可能に構成されている、給電要素固定部と、を備える、アノードユニットを開示する。【選択図】図２Ｂ

Description

本発明は、電気めっき装置のアノードユニット、アノードユニットを備えた電気めっき装置およびアノードへの給電位置を調整する方法に関する。

近年、半導体回路の配線やバンプ形成方法において、めっき処理を行ってウェハ等の基板上に金属膜や有機質膜を形成する方法が用いられるようになってきている。例えば、半導体回路やそれらを接続する微細配線が形成されたウェハの表面の所定個所に、金、銀、銅、はんだ、ニッケル、あるいはこれらを多層に積層した配線やバンプ（突起状接続電極）を形成し、このバンプを介してパッケージ基板の電極やＴＡＢ(Tape Automated Bonding)電極に接続させることが広く行われている。この配線やバンプの形成方法としては、電気めっき法、無電解めっき法、蒸着法、印刷法といった種々の方法があるが、半導体チップのＩ／Ｏ数の増加、狭ピッチ化に伴い、微細化に対応可能で膜付け速度の速い電気めっき法が多く用いられるようになってきている。現在最も多用されている電気めっきによって得られる金属膜は、高純度で、膜形成速度が速く、膜厚制御方法が簡単であるという特長がある。

一般的な電気めっき装置は、電源の負極に基板を接続し、電源の正極にアノードを接続して、アノードと基板との間に電圧を印加することで基板に金属膜を形成する。ここで、特開２０１５−１６１０２８号公報（特許文献１）に示されるように、アノードの中心点にのみ給電部が設けられている場合、アノードの電気抵抗によってアノードの中心部での電流と外周部での電流との間に差が生じることが知られている。アノード内に生じる電流差は、基板上に形成される金属膜の厚さの均一性に悪影響を及ぼし得る。

特許文献１には、放射状に延び、アノードの外周部に固定される複数のアームを備えるアノードユニットが開示されている。特許文献１には、複数のアームを通じてアノードの外周部に電力を供給することによってアノード全体に均一な電流が流れ、結果として均一な厚さの金属膜を基板上に形成することができる旨が開示されている。

特開２０１５−１６１０２８号公報

出願人の検討によれば、電気めっき装置におけるアノードへの最適な電力供給位置は、種々の条件、たとえば基板上に形成される配線の形状、基板の特性、アノードの特性、めっき液の特性、印加する電圧の値、要求される膜厚の均一性、および／またはアノードと他の部品との位置関係などによって変化し得ることがわかった。よって、最適なめっき加工を行うためには、アノードへの電力供給位置が調整可能であることが好ましい。しかし、特許文献１に記載の電気めっき装置では、アノードに対するアームの固定位置は一定である。したがって、特許文献１に記載の電気めっき装置においては、アームの固定位置、すなわちアノードへの電力供給位置を調整することは困難である。

そこで本願は、上述の課題の少なくとも一部を解決することを一つの目的とする。

本願は、一実施形態として、電気めっき装置のアノードユニットであって、アノードユニットが、アノードと、電源からの電力をアノードに供給するための給電要素と、アノードに設けられた、アノードに給電要素を固定するための給電要素固定部であって、アノードに対する給電要素の固定位置を変更可能に構成されている、給電要素固定部と、を備える、アノードユニットを開示する。

電気めっき装置を示す断面図である。 アノードユニットの側面断面図である。 アノードユニットを裏面側から見た図である。 １つのスリットを用いて２つの給電要素を固定した場合のアノードユニットの側面断面図である。 １つのスリットを用いて２つの給電要素を固定した場合のアノードユニットを裏面側から見た図である。 ３つのスリットが設けられたアノードを裏面側から見た図である。 十字型のスリットを備えるアノードを裏面側から見た図である。 複数の貫通孔を有するアノードユニットの側面断面図である。 複数の貫通孔を有するアノードユニットを裏面側から見た図である。 アノードの裏面に設けられた凹部およびカバープレートを備えるアノードユニットの側面断面図である。 アノードの裏面に設けられた凹部およびカバープレートを備えるアノードユニットを裏面側から見た図である。 ラス状のアノードの網目を給電要素固定部として用いるアノードユニットを表面側から見た図である。 ラス状のアノードの網目を給電要素固定部として用いるアノードユニットの側面断面図である。 図８Ｂに示されたアノードユニットの分解図である。 プラグの斜視図である。 給電要素に枢動軸が設けられたアノードユニットを表面側から見た図である。 給電要素に枢動軸が設けられたアノードユニットを表面側から見た図である。 ボス部が設けられたアノードの側面断面図である。 ボス部が設けられたアノードを裏面側から見た図である。 複数の貫通孔が設けられた給電要素の側面断面図である。 複風の貫通孔が設けられた給電要素を裏面側から見た図である。 図１２のアノードおよび図１３の給電要素から少なくとも一部が構成されるアノードユニットの側面断面図である。 図１２のアノードおよび図１３の給電要素から少なくとも一部が構成されるアノードユニットを裏面側から見た図である。 図１４Ａに示されたアノードユニットの分解図である。 変形例にかかるアノードユニットの分解図である。

＜第１実施形態＞
図１は第１実施形態にかかる電気めっき装置１００を示す断面図である。ただし、図１およびその他の図は模式図であり、図面中の部品の形状、寸法および位置などは、実際の部品の形状、寸法および位置などと必ずしも一致するわけではない。

本実施形態の電気めっき装置１００はめっき槽１１０を備える。めっき槽１１０は、内部にめっき液を保持するために備えられている。好ましくは、めっき槽１１０の側部には、めっき槽１１０からオーバーフローしためっき液を受け止めるためのオーバーフロー槽１２０が設けられている。めっき槽１１０とオーバーフロー槽１２０は循環ライン１２１によって接続されている。オーバーフロー槽１２０に流れ込んだめっき液は、循環ライン１２１を通ってめっき槽１１０の内部へ戻る。

電気めっき装置１００は、基板１３１をめっき液に浸漬して保持するための基板ホルダ１３０を備える。基板ホルダ１３０は基板１３１を着脱自在かつ鉛直に保持するように構成されている。本明細書では基板１３１は角形であるとして説明するが、円形の基板を用いてもよい。

電気めっき装置１００はさらにアノードユニット１４０を備える。アノードユニット１４０は、アノード１４１と、電源１５０からの電力をアノード１４１に供給するための給電要素１４２を備える。給電要素１４２は、後述する固定具２１０（図２を参照）を用いてアノード１４１に固定されている。アノード１４１は、めっき槽１１０の内部で基板１３１と対向する。なお、アノード１４１として不溶性のアノードを用いてもよいし、可溶性のアノードを用いてもよい。また、基板１３１が角形ならばアノード１４１を角形の板状に、基板１３１が円形ならばアノード１４１を円形の板状に構成することが好ましい。本明細書における基板１３１は角形であるので、アノード１４１も角形であるとして説明する。なお、以下では、アノード１４１のうち基板と対向する面（図１の左側に図示される面）を「表面」と称する。さらに以下では、アノード１４１のうち表面と逆側の面（図１の右側に図示される面）を「裏面」と称する。また、アノードユニット１４０は、アノード１４１を保持するアノードホルダ（図示せず）を備えていてもよい。

基板１３１は、基板ホルダ１３０を介して電源１５０の負極に接続されている。アノード１４１は、給電要素１４２を介して電源１５０の正極に接続されている。電源１５０は電気めっき装置１００と一体に、すなわち電気めっき装置１００の一部として構成されていてもよい。追加または代替として、電源１５０として外部電源を用いてもよい。

電気めっき装置１００はさらに、パドル１６０と、レギュレーションプレート１７０とを任意で備える。パドル１６０は、基板１３１の近傍でめっき液を撹拌してめっき液を均一化するために設けられている。レギュレーションプレート１７０はめっき槽１１０内に配置される。具体的には、レギュレーションプレート１７０は基板ホルダ１３０とアノードユニット１４０との間に配置される。レギュレーションプレート１７０には開口１７１が設けられている。開口１７１によってめっき液中の電場が制限され、基板１３１上の電位分布が調整される。

図２は、本実施形態にかかるアノードユニット１４０を示す図である。図２Ａはアノードユニット１４０の側面断面図、図２Ｂはアノードユニット１４０を裏面側から見た図である。アノード１４１に給電要素１４２を固定するための給電要素固定部２００として、スリット２０１がアノード１４１に設けられている。換言すれば、スリット２０１は、給電要素固定部２００の少なくとも一部を構成する。図２の例では、スリット２０１の長手方向は鉛直方向（図２の上下方向）である。さらに、図２の例におけるスリット２０１はアノード１４１の中央部分を通るように設けられている。ただし、スリット２０１の形状および位置は一例である。

給電要素１４２はアノード１４１の裏面側に配置され、固定具２１０によりアノード１４１に固定されている。本実施形態では、固定具２１０としてボルト２１１が採用されている。さらに、給電要素１４２のうちアノード１４１と接触する部分にはねじ穴２２０が
設けられている。ボルト２１１はアノード１４１の表面側からスリット２０１に差し込まれ、給電要素１４２のねじ穴２２０にねじ込まれる。ただし、図２の例とは逆に、給電要素１４２をアノード１４１の表面側に配置し、ボルト２１１をアノード１４１の裏面側から差し込んでもよい。

本実施形態では、アノード１４１のうちスリット２０１が形成されている領域内の任意の位置において、アノード１４１に給電要素１４２を着脱自在に固定することができる。すなわち、スリット２０１は、アノード１４１に対する給電要素１４２の固定位置を変更可能に構成されている。給電要素１４２の固定位置の変更は、一例として、（１）ボルト２１１を緩めてアノード１４１と給電要素１４２との間の固定を解除し、（２）アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更し、（３）ボルト２１１を締めてアノード１４１に給電要素１４２を再固定する、というステップによって実行される。ただし、上記（１）のステップにおいて、ボルト２１１を完全に緩める必要はない。

図２の例では、スリット２０１の長手方向が鉛直方向であるので、給電要素１４２の固定位置を鉛直方向に変更することが可能である。他の例として、スリット２０１の長手方向を水平方向となるように形成した場合、給電要素１４２の固定位置を水平方向に変更することが可能である。本実施形態の構成によれば、給電要素１４２の固定位置、すなわちアノード１４１への電力供給位置を調整することで、最適な位置においてアノード１４１に電力を供給することが可能となる。

なお、図２の例では、アノード１４１の表面からボルト２１１の頭部が突出している。ボルト２１１の頭部が突出している場合、突出した部分によってめっき液中の電場が乱されるようにも思える。しかし、出願人が検討したところ、基板１３１およびアノード１４１がボルト２１１に比して十分大きく、かつ、基板１３１とアノード１４１間との距離がボルト２１１の突出した長さに比して十分に長い場合には、ボルト２１１の頭部が突出することによる影響は無視できる程度に小さくなり得ることがわかった。なお、ボルト２１１として低頭ボルトを用いることで、ボルト２１１の頭部の突出長さを低減させることができる。さらに、スリット２０１の周囲に座繰り部（図示せず）を設けることで、ボルト２１１の頭部の突出長さを低減させることもできる。

また、スリット２０１の開口部およびボルト２１１の表面では、基本的に電極反応は起こらないと考えられる。したがって、アノード１４１と基板１３１との間の電場に偏りが生じ得る。しかし、出願人の知見によれば、基板１３１およびアノード１４１の表面積がスリット２０１の開口面積及びボルト２１１頭部の面積に比して十分に大きく、かつ、基板１３１とアノード１４１間との距離がスリット２０１の開口幅およびボルト２１１頭部の直径に比して十分に長い場合には、スリット２０１およびボルト２１１による電流分布への影響が無視できることがわかった。また、アノード１４１が不溶解性アノードである場合には、ボルト２１１頭部に、アノード１４１と同様の酸素過電圧を低減させるためのコーティングを施してもよい。ボルト２１１頭部にコーティングを施すことにより、ボルト２１１頭部自体をアノードとして機能させることができる。

図２では、１つのスリット２０１を用いて１つの給電要素１４２がアノード１４１に固定されている。図２とは異なり、１つのスリット２０１を用いて複数の給電要素１４２をアノード１４１に固定することも可能である。１つのスリット２０１を用いて２つの給電要素１４２（第１の給電要素１４２Ａおよび第２の給電要素１４２Ｂ）をアノード１４１に固定した例を、図３を用いて説明する。図３Ａはアノードユニット１４０の側面断面図、図３Ｂはアノードユニット１４０を裏面側から見た図である。なお、第１の給電要素１４２Ａおよび第２の給電要素１４２Ｂは同一の電源１５０に接続されていてもよく、それぞれ別個独立の電源１５０に接続されていてもよい。

図３の例では、第１のボルト２１１Ａおよび第２のボルト２１１Ｂが、１つのスリット２０１に差し込まれている。第１のボルト２１１Ａは、第１の給電要素１４２Ａのねじ穴２２０Ａにねじ込まれている。第２のボルト２１１Ｂは、第２の給電要素１４２Ｂのねじ穴２２０Ｂにねじ込まれている。給電要素１４２を複数設けることで、アノード１４１に流れる電流を均一化することが可能であり、ひいては基板１３１上の膜厚を均一化することが可能である。

アノード１４１に複数のスリット２０１を設けることも可能である。図４は、３つのスリット２０１（第１のスリット２０１Ａ、第２のスリット２０１Ｂおよび第３のスリット２０１Ｃ）が設けられたアノード１４１を裏面側から見た図である。なお、図４ではアノード１４１のみが図示されており、他の要素は図示されていない。第１のスリット２０１Ａ、第２のスリット２０１Ｂおよび第３のスリット２０１Ｃの長手方向は鉛直方向である。図４の例では、第１のスリット２０１Ａはアノード１４１の中央部分を通るように設けられている。第２のスリット２０１Ｂは第１のスリット２０１よりも紙面に向かって左側部分に設けられている。第３のスリット２０１Ｃは第１のスリット２０１よりも紙面に向かって右側部分に設けられている。アノード１４１に複数のスリット２０１を設けることで、給電要素１４２をアノード１４１の様々な位置に固定することが可能になる。

なお、アノード１４１にスリット２０１を複数設けた場合、すべてのスリット２０１を給電要素１４２の固定に用いる必要はない。たとえば図４の例において、第１のスリット２０１Ａのみを給電要素１４２の固定のために用いることができる。第１のスリット２０１Ａのみを用いる場合、第２のスリット２０１Ｂおよび第３のスリット２０１Ｃは使用されない。

さらなる他の例として、スリットを十字型に形成することも可能である。図５は、十字型のスリットを備えるアノード１４１を裏面側から見た図である。なお、図５ではアノード１４１のみが図示されており、他の要素は図示されていない。図５における十字型のスリットは、第１のスリット２０１Ｄおよび第２のスリット２０１Ｅから構成されている。第１のスリット２０１Ｄの長手方向は鉛直方向である。第２のスリット２０１Ｅの長手方向は水平方向である。第１のスリット２０１Ｄおよび第２のスリット２０１Ｅは、双方とも、アノード１４１の中央部分を通るように形成されている。十字型のスリット２０１を備えることにより、鉛直方向と水平方向の２方向において給電位置を調整することが可能となる。

これまで述べた例に限定されず、アノード１４１の任意の位置に、任意の形状のスリット２０１を設けることが可能である。スリット２０１の形状として、例えばＸ字状、Ｔ字状、Ｌ字状、Ｃ字状、Ｕ字状、Ｈ字状など、様々な形状を採用することが可能である。その他の変形例として、たとえば１つの給電要素１４２に複数のねじ穴２２０を設け、１つの給電要素１４２を複数のボルト２１１によってアノード１４１に固定してもよい。

＜第２実施形態＞
第２実施形態では、給電要素固定部２００として、スリット２０１に代えて複数の貫通孔６００を有するアノードユニット１４０およびそのアノードユニット１４０を備える電気めっき装置１００を説明する。

図６は、第２実施形態にかかるアノードユニット１４０を示す図である。図６Ａはアノードユニット１４０の側面断面図、図６Ｂはアノードユニット１４０を裏面側から見た図である。本実施形態のアノード１４１には、給電要素固定部２００として複数の貫通孔６００が設けられている。換言すれば、複数の貫通孔６００は、給電要素固定部２００の少
なくとも一部を構成する。図６の例では、３つの貫通孔６００（第１の貫通孔６００Ａ、第２の貫通孔６００Ｂおよび第３の貫通孔６００Ｃ）が設けられている。第１の貫通孔６００Ａはアノード１４１の中央に設けられている。第２の貫通孔６００Ｂは第１の貫通孔６００Ａの上部に設けられている。第３の貫通孔６００Ｃは第１の貫通孔６００Ａの下部に設けられている。

本実施形態でも、第１実施形態と同様に、ねじ穴２２０を有する給電要素１４２がアノード１４１の裏面側に配置されている。本実施形態では、少なくとも１つの貫通孔６００に固定具２１０（ボルト２１１）をアノード１４１の表面側から差し込んで、ねじ穴２２０にねじ込むことにより、貫通孔６００の位置において給電要素１４２がアノード１４１に固定される。図６の例では、第２の貫通孔６００Ｂの位置において、給電要素１４２がアノード１４１に固定されている。

本実施形態では、任意の貫通孔６００の位置において、給電要素１４２をアノード１４１に着脱自在に固定することができる。すなわち、複数の貫通孔６００は、アノード１４１に対する給電要素１４２の固定位置を変更可能に構成されている。給電要素１４２の固定位置の変更は、一例として、（１）ボルト２１１を完全に緩めてアノード１４１と給電要素１４２との間の固定を解除し、（２）貫通孔６００（図６の例では貫通孔６００Ｂ）からボルト２１１を引き抜き、（３）他の貫通孔６００（図６の例では貫通孔６００Ａまたは６００Ｃ）の近傍にねじ穴２２０が位置するよう、アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更し、（４）他の貫通孔６００にボルト２１１を差し込み、（５）ボルト２１１を締めてアノード１４１に給電要素１４２を再固定する、というステップによって実行される。

スリット２０１を採用する場合、給電要素１４２の固定位置を微調整することが可能という利点がある。一方で、複数の貫通孔６００を採用する場合、給電要素１４２の固定位置を簡易かつ迅速に変更できるという利点がある。

図６では、１つの給電要素１４２を備えるアノードユニット１４０を例示した。しかし、アノードユニット１４０に複数の給電要素１４２が備えられていてもよい。給電要素１４２が複数存在する場合、それぞれの給電要素１４２は、それぞれ別の貫通孔６００に差し込まれたボルト２１１により、アノード１４１に固定される。

なお、図６で示した貫通孔６００の個数および位置は一例である。アノード１４１には任意の個数の貫通孔６００を任意の位置に設けることが可能である。貫通孔６００の個数を増加させ、貫通孔６００同士の間の距離を小さくすることで、給電要素１４２の固定位置をある程度細かく調整することが可能となる。

＜第３実施形態＞
第３実施形態では、給電要素固定部２００として、アノード１４１の裏面に設けられた凹部７００およびカバープレート７２０を備える例を説明する。図７は本実施形態にかかるアノードユニット１４０を示す図である。図７Ａはアノードユニット１４０の側面断面図、図７Ｂはアノードユニット１４０を裏面側から見た図である。

本実施形態のアノード１４１の裏面には凹部７００が設けられている。図７の例では、凹部７００は矩形状に形成されている。凹部７００の鉛直長さは、後述する給電要素１４２の先端部７１０の鉛直長さより長い。ここで、「鉛直長さ」とは鉛直方向（図７Ａおよび図７Ｂの上下方向）に沿った長さを指す。凹部７００の幅は先端部７１０の幅より大きい。ここで、「幅」とは、アノード１４１の面に平行な方向であって、かつ、鉛直長さ方向に対して垂直である方向（図７Ｂの左右方向）に沿った長さを指す。凹部７００の奥行
は先端部７１０の奥行と等しいか、または、先端部７１０の奥行より小さい。ここで、「奥行」とは、鉛直長さ方向および幅方向の双方向に対して垂直である方向（図７Ａの左右方向）に沿った長さを指す。

本実施形態のアノードユニット１４０はカバープレート７２０を備える。好ましくは、カバープレート７２０の鉛直長さは、凹部７００の鉛直長さより長い。好ましくは、カバープレート７２０の幅は、凹部７００の幅より大きい。アノード１４１には、図７の例では４つのねじ穴（図示なし）が設けられている。カバープレート７２０は、ねじ穴にねじ込まれるボルト７３０によって、凹部７００の少なくとも一部を覆うようにアノード１４１に固定される。本実施形態におけるカバープレート７２０はＵ字形状に形成されている。以下では、カバープレート７２０のうち「Ｕ字の縦棒」に相当する部分を「アーム部７２１」と称する。２つのアーム部７２１間の空隙７２２の幅は、後述する給電要素１４２の先端部７１０の幅より小さい。かつ、空隙７２２の幅は、後述する給電要素１４２のネック部７１１より大きい。

給電要素１４２は、図７の例では直方体状の先端部７１０を有する。以下では、給電要素１４２のうち先端部７１０に隣接する部分をネック部７１１と称する。前述のとおり、ネック部７１１の幅はアーム部７２１間の空隙７２２の幅より小さい。したがって、ネック部７１１は、アーム部７２１間の空隙７２２に差し込まれることが可能である。さらに、ネック部７１１の幅は、先端部７１０の幅より小さい。

前述のとおり、凹部７００の奥行は先端部７１０の奥行より小さく、かつ、空隙７２２の幅は先端部７１０の幅より狭い。したがって、ネック部７１１を空隙７２２に差し込み、先端部７１０が凹部７００とカバープレート７２０との間に挟まれた状態でカバープレート７２０をアノード１４１に固定すると、凹部７００およびカバープレート７２０が先端部７１０を挟み込んで押圧する。この押圧力により、アノード１４１に給電要素１４２が固定されて、アノード１４１に給電要素１４２が固定される。すなわち、本実施形態においては、凹部７００およびカバープレート７２０が給電要素固定部２００の少なくとも一部を構成する。

本実施形態では、空隙７２２の鉛直長さが十分長ければ、凹部７００の任意の位置において、給電要素１４２をアノード１４１に着脱自在に固定することができる。すなわち、凹部７００およびカバープレート７２０は、アノード１４１に対する給電要素１４２の固定位置を変更可能に構成されている。給電要素１４２の固定位置の変更は、一例として、（１）ボルト７３０を緩めてアノード１４１と給電要素１４２との間の固定を解除し、（２）アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更し、（３）ボルト７３０を締めてアノード１４１に給電要素１４２を再固定する、というステップによって実行される。

本実施形態の構成においては、アノード１４１を貫通する穴を設ける必要がない。また、本実施形態の構成においては、アノード１４１の表面から突出する部品が存在しない。したがって、本実施形態の構成によれば、アノード１４１の表面を平滑に保つことができ、めっき液中の電場を安定させ得る。ただし、本実施形態の構成に加え、アノード１４１上に穴を設けること、および／または、アノード１４１から突出する部品を用いることが排除されるわけではない。また、カバープレート７２０の形状はＵ字状に限られない。アノード１４１とカバープレート７２０とは絶縁されているか、もしくは給電要素１４２とカバープレート７２０とは絶縁されている。

＜第４実施形態＞
第４実施形態では、ラス状（網状）のアノード１４１の網目８００を給電要素固定部２
００として用いるアノードユニット１４０について説明する。

ラス状のアノード１４１を用いる場合であっても、アノード１４１上にスリット２０１または貫通孔６００を設けることは可能である。しかし、アノード１４１の網目８００の大きさおよび形状によっては、スリット２０１および貫通孔６００のエッジ部分を所望の形状に形成することが困難な場合がある。そこで本実施形態では、ラス状のアノード１４１の網目８００それ自身を給電要素固定部２００として用いる。換言すれば、アノード１４１の網目８００が、給電要素固定部２００の少なくとも一部を構成する。

図８は本実施形態にかかるラス状のアノードユニット１４０を示す図である。図８Ａは本実施形態にかかるアノードユニット１４０を表面側から見た図であり、図８Ｂは本実施形態にかかるアノードユニット１４０の側面断面図である。図８Ｃは、図８Ｂに示されたアノードユニット１４０の分解図である。なお、図８に示されるアノード１４１の網目８００の大きさおよび形状は模式的なものであり、網目８００の大きさおよび形状は任意であってよい。さらに、図示の便宜上、各図の間において網目８００の大きさ等が異なる場合がある。図８では、アノードユニット１４０は１つの給電要素１４２を備えるものとして説明する。しかし、アノードユニット１４０が複数の給電要素１４２を備えてもよい。

本実施形態では、固定具２１０としてプラグ８１０が用いられる。図９にプラグ８１０の斜視図を示す。プラグ８１０は、棒状部９００および頭部９１０を有し、断面Ｔ字状の形状を有する。プラグ８１０の棒状部９００は、アノード１４１の網目８００に差し込み可能な形状に形成されている。また、棒状部９００の先端にはねじ山が設けられている。頭部９１０は、工具により回転することができるよう、六角柱状に形成されている。したがって、プラグ８１０はボルトであるとも表現できる。本実施形態では、アノード１４１の網目８００がおおよそ均一に形成されており、プラグ８１０の棒状部９００は任意の網目８００に差し込まれ得るものとして説明する。

本実施形態の給電要素１４２は、少なくとも１つ、好ましくは複数のソケット８２０を備える。図８の例では、給電要素１４２は３つのソケット８２０（ソケット８２０Ａ、ソケット８２０Ｂおよびソケット８２０Ｃ）を備える。ソケット８２０Ｃは、給電要素１４２の最先端部分に備えられている。ソケット８２０Ａはソケット８２０Ｃより給電要素１４２の根元側（図８の上方）に備えられている。ソケット８２０Ｂは、ソケット８２０Ａより給電要素１４２のさらに根元側に備えられている。それぞれのソケット８２０はプラグ８１０と接続可能に構成されている。図８の例では、ソケット８２０のそれぞれに、プラグ８１０の頭部９１０のねじ山に対応するねじ穴が設けられている。

プラグ８１０は、給電要素１４２に対向する側（図８ではアノード１４１の表面側）からアノード１４１の網目８００に差し込まれてソケット８２０に接続される。ソケット８２０に接続されたプラグ８１０の頭部９１０は、アノード１４１を給電要素１４２の側へ押す。この押圧力により、アノード１４１に給電要素１４２が固定される。図８の例では、３つのプラグ（プラグ８１０Ａ、プラグ８１０Ｂおよびプラグ８１０Ｃ）が用いられており、それぞれ個別の網目８００（網目８００Ａ、網目８００Ｂおよび網目８００Ｃ）に差し込まれたうえで、それぞれ対応するソケット８２０に接続されている。図８の例では、プラグ８１０Ａがアノード１４１の中央に位置する網目８００Ａに差し込まれており、ソケット８２０Ａに接続されている。プラグ８１０Ｂは、アノード１４１の中央から上部に位置する網目８００Ｂに差し込まれており、ソケット８２０Ｂに接続されている。プラグ８１０Ｃは、アノード１４１の中央から下部に位置する網目８００Ｃに差し込まれており、ソケット８２０Ｃに接続されている。

プラグ８１０とソケット８２０の接続の際に、ワッシャまたはスペーサを用いてもよい
。図８の例では、アノード１４１とソケット８２０のそれぞれの間に、３つのスペーサ８３０（スペーサ８３０Ａ、スペーサ８３０Ｂおよびスペーサ８３０Ｃ）が設けられている。スペーサ８３０のそれぞれは、プラグ８１０のそれぞれに取り付けられている。

本実施形態では、アノード１４１の任意の網目８００の位置において、給電要素１４２をアノード１４１に着脱自在に固定することができる。すなわち、網目８００は、アノード１４１に対する給電要素１４２の固定位置を変更可能に構成されている。給電要素１４２の固定位置の変更は、一例として、（１）プラグ８１０をソケット８２０および網目８００から引き抜き、（２）他の網目８００の近傍にソケット８２０が位置するよう、アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更し、（３）網目８００およびソケット８２０にプラグ８１０を差し込む、というステップによって実行される。

本実施形態の構成によれば、スリット２０１および／または貫通孔６００によらずとも、最適な位置においてラス状のアノード１４１に電力を供給することが可能となる。ただし、ラス状のアノード１４１にスリット２０１および／または貫通孔６００を設けることが排除されるわけではない。

プラグ８１０とソケット８２０との接続方法は、ねじによる接続に限定されない。アノード１４１を固定可能であり、かつ、プラグ８１０とソケット８２０の取り外しおよび再接続が可能であるならば、プラグ８１０とソケット８２０は任意の方法で接続されてよい。接続方法の一例としては、バネ、ツメ、プランジャ、ピンもしくはクランパなどを用いた方法、または、はめ込みによる方法などが考えられる。

本実施形態において、プラグ８１０として絶縁性のプラグを用いることも可能である。ここで、「絶縁性のプラグ」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが絶縁されているプラグを指す。すなわち、絶縁性のプラグのうち、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とは、他の導電性部品が介在しない限り電気的に接続されない。絶縁性のプラグとして、全体が絶縁体からなるプラグを用いてもよいし、一部が絶縁体からなるプラグを用いてもよい。絶縁性のプラグとして、絶縁体が全体または一部にコーティングされたプラグを用いることもできる。一方で、「導電性のプラグ」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが電気的に接続されているプラグを指す。

同様に、「絶縁性のスペーサ」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが絶縁されているスペーサを指す。「導電性のスペーサ」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが電気的に接続されているスペーサを指す。

例えば図８に示した例において、アノード１４１の中心にのみ給電することが望まれる場合、プラグ８１０Ｂを網目８００Ｂから引き抜き、かつ、プラグ８１０Ｃを網目８００Ｃから引き抜くことも可能である。換言すれば、図８に示した例において、プラグ８１０Ａのみを用いることも可能である。しかし、用いるプラグ数が減ることによって、アノード１４１と給電要素１４２との間の固定強度が低下する可能性がある。そこで、プラグ８１０Ｂおよびプラグ８１０Ｃならびにスペーサ８３０Ｂおよびスペーサ８３０Ｃを絶縁性とし、かつ、プラグ８１０Ａおよび／またはスペーサ８３０Ａを導電性とすることによって、アノード１４１の中心、すなわち給電が所望される位置にのみ給電し、かつ、固定強度を維持することが可能になる。また、プラグ８１０および／またはスペーサ８３０の導電性／絶縁性を切り換えることによって、アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更せずとも、アノード１４１への給電位置を変更することが可能である。

＜第５実施形態＞
第５実施形態では、給電要素１４２に枢動軸１０００が設けられたアノードユニット１４０について説明する。図１０は、第５実施形態にかかるアノードユニット１４０を表面側から見た図である。なお、図１０の例では、給電要素１４２を４つ備えるアノードユニット１４０を示している。しかし、給電要素１４２の数は４つに限られず、４つより多くても少なくてもよい。本実施形態の給電要素１４２のそれぞれには枢動軸１０００が設けられている。給電要素１４２の枢動軸１０００より先端側の部分は、枢動軸１０００を中心として、アノード１４１の面に沿った方向に枢動することが可能である。

本実施形態のアノードユニット１４０は、給電要素１４２の数および枢動軸１０００の有無を除き、第４実施形態のアノードユニット１４０と同等に構成されている。すなわち、本実施形態のアノード１４１はラス状に形成されており、プラグ８１０およびソケット８２０によって給電要素１４２がアノード１４１に固定される。ただし、図示の便宜上、本実施形態における１つの給電要素１４２に設けられたソケット８２０の個数（２つ）は、第４実施形態における１つの給電要素１４２に設けられたソケット８２０の個数（３つ）とは異なる。

本実施形態の構成によれば、プラグ８１０を引き抜き、給電要素１４２の先端を枢動させてからプラグ８１０を差し込むことで、アノード１４１に対する給電要素１４２の固定位置を容易に変更することができる。また、アノード１４１が角形である場合、図１０に示すように給電要素１４２を４つ設け、それぞれの給電要素１４２の枢動軸１０００をアノード１４１の四隅付近に設けることが好ましい。また、それぞれの給電要素１４２の枢動軸１０００より先端側の部分は、他の部品（他の給電要素１４２など）と干渉しない限度において可能な限り長く構成することが好ましい。図１０のようにアノードユニット１４０を構成することで、アノード１４１の中央部分を除くほぼ全域から、給電要素１４２の固定位置を選択することが可能となる。

本実施形態の変形例を図１１に示す。図１１は、アノードユニット１４０を表面側から見た図である。図１１に示される４つの給電要素１４２の先端には枢動軸１０００が設けられている。それぞれの枢動軸１０００はアノード１４１の中心付近に配置されている。さらに、枢動軸１０００は他の部品（たとえば図示しないアノードホルダなど）に固定されている。さらに、４つの枢動軸１０００はそれぞれアノード１４１の中心付近に設けられている。図１１のようにアノードユニット１４０を構成することによっても、アノード１４１の中央部分を除くほぼ全域から、給電要素１４２の固定位置を選択することが可能となる。

また、図１１の給電要素１４２の少なくとも一部は、高い伸縮性を有する導電体（以下では「高伸縮性導体１１００」と称する）であることが好ましい。高伸縮性導体１１００の例として、ベローズまたは導電性ラバーが挙げられる。高伸縮性導体１１００が伸縮することにより、給電要素１４２のうち高伸縮性導体１１００より根元の部分を静止させたまま、給電要素１４２を枢動させることができる。

図１０および図１１では、ラス状のアノード１４１の網目８００を用いる例を説明した。しかし、スリットを弧状に形成すること、または、複数の貫通孔を弧状に配置することなどによって、本実施形態で開示される思想を、スリットおよび／または貫通孔を備えるアノード１４１に適用することも可能である。この場合、アノード１４１は、ラス状であってもよく、ラス状でなくともよい。

また、図１０および図１１に示されるように、アノードユニット１４０が複数の給電要素１４２を有する場合、それぞれの給電要素１４２による給電を独立に制御可能であるよ
うにアノードユニット１４０を構成してもよい。給電を独立に制御可能な構成として、たとえば、給電要素１４２のそれぞれと電源１５０との間にスイッチ等を設けることができる。他の例として、給電要素１４２のそれぞれに独立の電源１５０を接続してもよい。

たとえば図１０においては、４つの給電要素１４２のそれぞれと電源１５０との間にスイッチを設けることができる。スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り換えることによって、アノード１４１への給電を実行する給電要素１４２が選択される。すなわち、スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り換えることによって、アノード１４１への給電位置を変更することが可能である。スイッチのＯＮ／ＯＦＦを切り換えることによる給電位置の変更にあたっては、プラグ８１０の引き抜きは不要である。

以上に述べたとおり、アノードユニット１４０が複数の給電要素１４２を有する場合、それぞれの給電要素１４２による給電を独立に制御できるよう構成し、給電を行う給電要素１４２を選択することによって、アノード１４１への給電位置を変更することができる。給電要素１４２の選択による給電位置の変更は、これまで説明した実施形態のすべてに適用することが可能である。さらに、給電要素１４２の選択による給電位置の変更は、給電要素１４２の固定位置を変更することができないアノードユニット（従来の形式のアノードユニット）に適用することも可能である。

＜第６実施形態＞
第６実施形態では、給電要素１４２に複数の貫通孔が設けられたアノードユニットについて説明する。図１２は本実施形態にかかるアノード１４１を示す図である。図１２Ａはアノード１４１の側面断面図である。図１２Ｂはアノード１４１を裏面側から見た図である。図１３は本実施形態にかかる給電要素１４２を示す図である。図１３Ａは給電要素１４２の側面断面図である。図１３Ｂは給電要素１４２を裏面側から見た図である。図１４は本実施形態にかかるアノードユニット１４０を示す図である。図１４Ａはアノードユニット１４０の側面断面図である。図１４Ｂはアノードユニット１４０を裏面側から見た図である。図１４Ｃは、図１４Ａに示されたアノードユニット１４０の分解図である。

図１２に示されるように、本実施形態のアノード１４１には複数のボス部１２００が設けられている。本実施形態では、一例として、５行５列に並んだ２５個のボス部１２００が設けられている。なお、図１２では、１つのボス部１２００にのみ符号が付されている。ボス部１２００は、円柱状の他、三角柱、五角柱、六角柱など、任意の柱形状であってよい。ボス部１２００は、たとえば削り出しまたは鋳造などにより、アノード１４１と一体に形成されていてもよい。他方で、ボス部１２００は、アノード１４１と別個独立した部品として形成されており、たとえば溶接、接着または機械的な固定具などにより、アノード１４１に固定されていてもよい。ボス部１２００のそれぞれにはねじ穴１２０１が設けられている。さらなる変形例として、ボス部１２００を設ける代わりに、アノード１４１に直接ねじ穴１２０１を設けてもよい。

図１３に示されるように、本実施形態の給電要素１４２は実質的に板状に形成されることができる。また、給電要素１４２の大きさと形状は、アノード１４１に設けたボス部１２００の配置と数に応じて適宜選択することができる。図１３の給電要素１４２は、図１２のアノード１４１よりわずかに小さく形成されている。給電要素１４２の、アノード１４１のボス部１２００に対応する位置には、複数の貫通孔１３００が設けられている。なお、図１３では、１つの貫通孔１３００にのみ符号が付されている。

図１２のアノード１４１および図１３の給電要素１４２を組み合わせることにより、本実施形態にかかるアノードユニット１４０が構成される。図１４の例では、給電要素１４２の裏面側から貫通孔１３００に差し込まれた固定具１４００により、給電要素１４２がアノード１４１に固定されている。図１４の例では、固定具１４００として、２５本のボ
ルト１４０１が用いられている。ボルト１４０１のそれぞれは、ねじ穴１２０１にねじ込まれる。なお、図１４では、５つのボルト１４０１（図１４Ａの上方からボルト１４０１Ａ、ボルト１４０１Ｂ、ボルト１４０１Ｃ、ボルト１４０１Ｄおよびボルト１４０１Ｅ）にのみ符号が付されている。

好ましくは、アノード１４１と給電要素１４２との間にはスペーサ１４１０が設けられる。図１４の例では、２５個のスペーサ１４１０が用いられている。なお、図１４では、５つのスペーサ（図１４Ａまたは図１４Ｃの上方からスペーサ１４１０Ａ、スペーサ１４１０Ｂ、スペーサ１４１０Ｃ、スペーサ１４１０Ｄおよびスペーサ１４１０Ｅ）にのみ符号が付されている。

図１４の構成では、ボルト１４０１およびスペーサ１４１０の双方が絶縁体から形成されている場合、そのボルト１４０１の近傍においてはアノード１４１と給電要素１４２との間に電流は流れない。一方、ボルト１４０１およびスペーサ１４１０の少なくとも一方が導電体から形成されている場合、そのボルト１４０１の近傍においてアノード１４１と給電要素１４２との間に電流が流れる。したがって、ボルト１４０１およびスペーサ１４１０の導電性／絶縁性を変更することで、アノード１４１への電力供給位置を調整することが可能になる。なお、絶縁性のボルト１４０１およびスペーサ１４１０を用いることに代え、電力を供給すべきでない位置のボルト１４０１およびスペーサ１４１０を取り除くことも可能である。

たとえば図１４では、上方から２行目および４行目のボス部１２００に接続されるボルト１４０１（ボルト１４０１Ｂおよびボルト１４０１Ｄ）には絶縁性のボルトが用いられている。ここで、「絶縁性の固定具」または「絶縁性のボルト」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが絶縁されている固定具またはボルトを指す。「導電性の固定具」または「導電性のボルト」とは、アノード１４１と接触する部分と、給電要素１４２と接触する部分とが電気的に接続されている固定具またはボルトを指す。

図１４では、他の部品に付されたハッチングと異なるハッチングにより、絶縁性のボルトが図示されている。絶縁性のボルトに取り付けられるスペーサ１４１０（スペーサ１４１０Ｂおよびスペーサ１４１０Ｄ）には絶縁性のスペーサが用いられている。図１４では、他の部品に付されたハッチングと異なるハッチングにより、絶縁性のスペーサが図示されている。以上の構成によれば、上方から１行目、３行目および５行目のボス部１２００の位置においてアノード１４１に電力を供給することができる。

本実施形態の構成によれば、アノード１４１の表面を平滑に保つことができ、めっき液中の電場を安定させ得る。ただし、本実施形態の構成に加え、アノード１４１上に穴を設けること、および／または、アノード１４１から突出する部品を用いることが排除されるわけではない。また、本実施形態の構成によれば、給電位置を変更する前後において、アノード１４１と給電要素１４２との相対的な位置関係を変更する必要がないという利点がある。絶縁性のスペーサ１４１０を用いる場合には、スペーサ１４１０を予めボス部１２００あるいは給電要素１４２のいずれかに固定し、一体化させることもできる。この場合には、ボルト１４０１の導電性／絶縁性のみを変更することで、アノード１４１への電力供給位置を調整することができる。概括すると、ボルト１４０１およびスペーサ１４１０のどちらか一方の導電性／絶縁性を変更できるのであれば、他方の部材は絶縁性でよい。また、スペーサ１４１０がボス部１２００または給電要素１４２の一方に固定されている場合には、電力供給位置を調整する際に、スペーサ１４１０が脱落してしまうことを防止することができる。また、ボス部１２００のうち、給電要素１４２と接触する面に、スペーサ１４１０として機能する絶縁性のコーティングを施すこともできる。追加または代替
として、給電要素１４２のうちボス部１２００と接触する面に、スペーサ１４１０として機能する絶縁性のコーティングを施してもよい。

本実施形態の変形例を図１５に示す。図１５はアノードユニット１４０の分解図である。変形例にかかるアノード１４１のボス部１２００には、先端がねじ切られた突出部１５００が設けられている。突出部１５００は、たとえば削り出しまたは鋳造などにより、ボス部１２００と一体に形成されていてもよい。他方で、突出部１５００は、ボス部１２００と別個独立した部品として形成されており、たとえば溶接、接着または機械的な固定具などによりボス部１２００に固定されていてもよい。さらなる変形例として、突出部１５００を設ける代わりに、ボス部１２００の先端にねじ山を設けてもよい。ボス部１２００の先端にねじ山を設ける場合、ボス部１２００は突出部１５００とみなされてもよい。

突出部１５００は、給電要素１４２の表面側から貫通孔１３００に差し込まれる。貫通孔１３００に差し込まれた後、突出部１５００にはナット１５１０がねじ込まれる。図１５ではナット１５１０Ａ、ナット１５１０Ｂ、ナット１５１０Ｃ、ナット１５１０Ｄおよびナット１５１０Ｅの５つが図示されている。突出部１５００およびナット１５１０が協働することで、給電要素１４２はアノード１４１に固定される。換言すれば、突出部１５００およびナット１５１０が固定具１４００の少なくとも一部を構成する。

好ましくは、アノード１４１と給電要素１４２の間にスペーサ１４１０’が設けられる。さらに好ましくは、スペーサ１４１０’として、断面Ｔ字状の段付きスペーサなど、スペーサの一部を貫通孔１３００に挿入可能であるスペーサを用いることが好ましい。段付きスペーサなどを用いることにより、所望していない場所において、突出部１５００が給電要素１４２と接触してしまうことを防ぐことができる。

図１４に示した例同様、図１５に示した例においても、各部品の導電性／絶縁性を選択することにより、アノード１４１への給電位置を選択することが可能である。図１５では、スペーサ１４１０Ｂ’およびスペーサ１４１０Ｄ’ならびにナット１５１０Ｂおよびナット１５１０Ｄが絶縁体により形成されている。なお、突出部１５００は導電体から形成されていてもよく、絶縁体から形成されていてもよい。図１５の例では、突出部１５００が導電体であっても、ナット１５１０が絶縁体ならば、突出部１５００およびナット１５１０から構成される固定具１４００は絶縁性であると表現できる。

図１２から図１５に示した本実施形態の構成は一例である。たとえば、ボス部１２００および貫通孔１３００の大きさ、個数および配列などは、図示した大きさ、個数および配列などに限られない。アノード１４１と給電要素１４２との間の固定方法は、ねじによる固定に限られない。

以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。たとえば、スリット２０１と貫通孔６００の双方を有するアノード１４１を用いることなどが可能である。一部がラス状に形成され、他の部分は非ラス状に形成されたアノード１４１を用いることも可能である。

本願は、一実施形態として、電気めっき装置のアノードユニットであって、アノードユニットが、アノードと、アノードに固定され、電源からの電力をアノードに供給するため
の給電要素と、アノードに設けられた、アノードに給電要素を固定するための給電要素固定部であって、アノードに対する給電要素の固定位置を変更可能に構成されている、給電要素固定部と、を備える、アノードユニットを開示する。

このアノードユニットは、給電要素の固定位置、すなわちアノードへの電力供給位置を調整することで、最適な位置においてアノードに電力を供給することが可能となるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、給電要素固定部の少なくとも一部がスリットであり、給電要素は、スリットに差し込まれる固定具によってアノードに固定される、アノードユニットを開示する。

このアノードユニットは、給電要素の固定位置を微調整できるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、給電要素固定部の少なくとも一部が複数の貫通孔であり、給電要素は、貫通孔に差し込まれる固定具によってアノードに固定される、アノードユニットを開示する。

このアノードユニットは、簡易かつ迅速に給電要素の固定位置を変更することができるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、給電要素固定部の少なくとも一部が、アノードの裏面に設けられた凹部および凹部の少なくとも一部を覆うようにアノードに固定されるカバープレートであり、給電要素は、給電要素の少なくとも一部が凹部とカバープレートとの間に挟まれた状態でカバープレートをアノードに固定することにより、アノードに固定される、アノードユニットを開示する。

このアノードユニットは、アノード１４１の表面を平滑に保つことができ、めっき液中の電場を安定させ得るという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、アノードがラス状に形成され、給電要素固定部の少なくとも一部が、アノードの網目であり、給電要素は、網目に差し込まれる固定具によってアノードに固定される、アノードユニットを開示する。

このアノードユニットは、スリットまたは貫通孔によらずとも、最適な位置においてラス状のアノード１４１に電力を供給することが可能となるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、給電要素がソケットを備え、網目に差し込まれる固定具が、ソケットに接続可能であるプラグである、アノードユニットを開示する。

この開示内容により、ラス状のアノードを用いる場合の固定具の詳細が説明される。

さらに本願は、一実施形態として、アノードユニットは、複数のプラグと、アノードと給電要素との間に設けられ、プラグのそれぞれに取り付けられる、複数のスペーサと、を備え、プラグのうち少なくとも１つは絶縁性であり、絶縁性のプラグに取り付けられるスペーサの少なくとも１つは絶縁性である、アノードユニットを開示する。さらに本願は、一実施形態として、アノードユニットにおける、アノードへの給電位置を調整する方法であって、給電を所望しない位置にあるプラグおよび給電を所望しない位置にあるプラグに
取り付けられるスペーサを絶縁性とする段階と、給電を所望する位置にあるプラグおよび／または給電を所望しない位置にあるプラグに取り付けられるスペーサを導電性とする段階と、を含む、アノードへの給電位置を調整する方法を開示する。

このアノードユニットおよび方法は、固定強度を維持したまま、給電が所望される位置にのみ給電することが可能であるという効果を一例として奏する。さらに、このアノードユニットおよび方法は、プラグおよび／またはスペーサの導電性／絶縁性を切り換えることによって、アノードへの給電位置を変更することが可能であるという効果を一例として奏する。

さらに本願は、一実施形態として、めっき液を保持するためのめっき槽と、基板をめっき液に浸漬して保持するための基板ホルダと、アノードユニットであって、アノードがめっき槽の内部で基板と対向するように配置される、アノードユニットと、を備える電気めっき装置を開示する。

この開示内容により、電気めっき装置の詳細が説明される。

さらに本願は、一実施形態として、アノードユニットにおける、アノードへの給電位置を調整する方法であって、アノードと給電要素との間の固定を解除する段階と、アノードと給電要素との相対的な位置関係を変更する段階と、アノードに給電要素を再固定する段階と、を含む、アノードへの給電位置を調整する方法を開示する。

この開示内容により、給電位置を調整する方法の詳細が説明される。

さらに本願は、一実施形態として、電気めっき装置のアノードユニットであって、アノードユニットが、アノードと、アノードに固定され、電源からの電力をアノードに供給するための給電要素であって、複数の貫通孔が設けられた、給電要素と、給電要素の貫通孔に差し込まれ、給電要素をアノードに固定する、複数の固定具と、アノードと給電要素との間に設けられ、固定具のそれぞれに取り付けられる、複数のスペーサと、を備え、固定具のうち少なくとも１つは絶縁性であり、絶縁性の固定具に取り付けられるスペーサの少なくとも１つは絶縁性である、アノードユニットを開示する。さらに本願は、一実施形態として、給電を所望しない位置にある固定具および給電を所望しない位置にある固定具に取り付けられるスペーサは絶縁性であり、給電を所望する位置にある固定具および／または給電を所望しない位置にある固定具に取り付けられるスペーサは導電性である、アノードユニットを開示する。さらに本願は、一実施形態として、複数の貫通孔を備える給電要素によるアノードへの給電位置を調整する方法であって、給電要素は、貫通孔に差し込まれる固定具、および、アノードと給電要素との間に設けられ、固定具に取り付けられるスペーサ、を用いてアノードに固定され、方法は、給電を所望しない位置にある固定具および給電を所望しない位置にある固定具に取り付けられるスペーサを絶縁性とする段階と、給電を所望する位置にある固定具および／または給電を所望しない位置にある固定具に取り付けられるスペーサを導電性とする段階と、を含む、アノードへの給電位置を調整する方法を開示する。

このアノードユニットおよび方法は、アノードの表面を平滑に保つことができ、めっき液中の電場を安定させ得るという効果を一例として奏する。さらに、このアノードユニットおよび方法は、固定具およびスペーサの導電性／絶縁性を変更することで、アノードへの電力供給位置を調整することが可能になるという効果を一例として奏する。

１００…電気めっき装置
１１０…めっき槽
１２０…オーバーフロー槽
１２１…循環ライン
１３０…基板ホルダ
１３１…基板
１４０…アノードユニット
１４１…アノード
１４２…給電要素
１５０…電源
１６０…パドル
１７０…レギュレーションプレート
１７１…開口
２００…給電要素固定部
２０１…スリット
２１０…固定具
２１１…ボルト
２２０…ねじ穴
６００…貫通孔
７００…凹部
７１０…先端部
７１１…ネック部
７２０…カバープレート
７２１…アーム部
７２２…空隙
７３０…ボルト
８００…網目
８１０…プラグ
８２０…ソケット
９００…棒状部
９１０…頭部
１０００…枢動軸
１１００…高伸縮性導体
１２００…ボス部
１２０１…ねじ穴
１３００…貫通孔
１４００…固定具
１４０１…ボルト
１４１０…スペーサ
１５００…突出部
１５１０…ナット

Claims (13)

1. 電気めっき装置のアノードユニットであって、前記アノードユニットが、
   アノードと、
   前記アノードに固定され、電源からの電力を前記アノードに供給するための給電要素と、
   前記アノードに設けられた、前記アノードに前記給電要素を固定するための給電要素固定部であって、前記アノードに対する前記給電要素の固定位置を変更可能に構成されている、給電要素固定部と、
   を備える、アノードユニット。
2. 前記給電要素固定部の少なくとも一部がスリットであり、
   前記給電要素は、前記スリットに差し込まれる固定具によって前記アノードに固定される、
   請求項１に記載のアノードユニット。
3. 前記給電要素固定部の少なくとも一部が複数の貫通孔であり、
   前記給電要素は、前記貫通孔に差し込まれる固定具によって前記アノードに固定される、
   請求項１または２に記載のアノードユニット。
4. 前記給電要素固定部の少なくとも一部が、
   前記アノードの裏面に設けられた凹部および
   前記凹部の少なくとも一部を覆うように前記アノードに固定されるカバープレート
   であり、
   前記給電要素は、前記給電要素の少なくとも一部が前記凹部と前記カバープレートとの間に挟まれた状態で前記カバープレートを前記アノードに固定することにより、前記アノードに固定される、
   請求項１から３のいずれか一項に記載のアノードユニット。
5. 前記アノードがラス状に形成され、
   前記給電要素固定部の少なくとも一部が、前記アノードの網目であり、
   前記給電要素は、前記網目に差し込まれる固定具によって前記アノードに固定される、
   請求項１から４のいずれか一項に記載のアノードユニット。
6. 前記給電要素がソケットを備え、
   前記網目に差し込まれる固定具が、前記ソケットに接続可能であるプラグである、
   請求項５に記載のアノードユニット。
7. 前記アノードユニットは、
   複数の前記プラグと、
   前記アノードと前記給電要素との間に設けられ、前記プラグのそれぞれに取り付けられる、複数のスペーサと、
   を備え、
   前記プラグのうち少なくとも１つは絶縁性であり、
   絶縁性の前記プラグに取り付けられる前記スペーサの少なくとも１つは絶縁性である、
   請求項６に記載のアノードユニット。
8. 請求項７に記載のアノードユニットにおける、前記アノードへの給電位置を調整する方法であって、
   給電を所望しない位置にある前記プラグおよび給電を所望しない位置にある前記プラグに取り付けられる前記スペーサを絶縁性とする段階と、
   給電を所望する位置にある前記プラグおよび／または給電を所望しない位置にある前記プラグに取り付けられる前記スペーサを導電性とする段階と、を含む、
   前記アノードへの給電位置を調整する方法。
9. めっき液を保持するためのめっき槽と、
   基板を前記めっき液に浸漬して保持するための基板ホルダと、
   請求項１から７のいずれか一項に記載のアノードユニットであって、前記アノードが前記めっき槽の内部で前記基板と対向するように配置される、アノードユニットと、
   を備える電気めっき装置。
10. 請求項１から７のいずれか一項に記載のアノードユニットにおける、前記アノードへの給電位置を調整する方法であって、
    前記アノードと前記給電要素との間の固定を解除する段階と、
    前記アノードと前記給電要素との相対的な位置関係を変更する段階と、
    前記アノードに前記給電要素を再固定する段階と、を含む、前記アノードへの給電位置を調整する方法。
11. 電気めっき装置のアノードユニットであって、前記アノードユニットが、
    アノードと、
    前記アノードに固定され、電源からの電力を前記アノードに供給するための給電要素であって、複数の貫通孔が設けられた、給電要素と、
    前記給電要素の前記貫通孔に差し込まれ、前記給電要素を前記アノードに固定する、複数の固定具と、
    前記アノードと前記給電要素との間に設けられ、前記固定具のそれぞれに取り付けられる、複数のスペーサと、
    を備え、
    前記固定具のうち少なくとも１つは絶縁性であり、
    絶縁性の前記固定具に取り付けられる前記スペーサの少なくとも１つは絶縁性である、
    アノードユニット。
12. 給電を所望しない位置にある前記固定具および給電を所望しない位置にある前記固定具に取り付けられる前記スペーサは絶縁性であり、
    給電を所望する位置にある前記固定具および／または給電を所望しない位置にある前記固定具に取り付けられる前記スペーサは導電性である、
    請求項１１に記載のアノードユニット。
13. 複数の貫通孔を備える給電要素によるアノードへの給電位置を調整する方法であって、
    前記給電要素は、
    前記貫通孔に差し込まれる固定具、および、
    前記アノードと前記給電要素との間に設けられ、前記固定具に取り付けられるスペーサ、
    を用いて前記アノードに固定され、
    方法は、
    給電を所望しない位置にある前記固定具および給電を所望しない位置にある前記固定具に取り付けられる前記スペーサを絶縁性とする段階と、
    給電を所望する位置にある前記固定具および／または給電を所望しない位置にある前記固定具に取り付けられる前記スペーサを導電性とする段階と、を含む、
    アノードへの給電位置を調整する方法。

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