TW201925535A - 電鍍裝置之陽極單元、具備陽極單元之電鍍裝置及調整對陽極之供電位置的方法 - Google Patents

Abstract

對電鍍裝置中的陽極之最適當的電力供給位置，係可依據各種的條件而改變。因此，為了進行最適當的鍍覆加工，較佳為能夠調整對陽極的電力供給位置。本發明揭示陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，其係具備：陽極；供電元件，係被固定於陽極，用以將來自於電源的電力供給至陽極；以及供電元件固定部，係用以對陽極固定要設置於陽極的供電元件，並且構成為能夠變更供電元件之相對於陽極的固定位置。

Description

電鍍裝置之陽極單元、具備陽極單元之電鍍裝置及調整對陽極之供電位置的方法

本發明係有關電鍍裝置之陽極單元、具備陽極單元之電鍍裝置及調整對陽極之供電位置的方法。

近年來，於半導體電路的配線及凸塊(bump)形成方法中，已採用進行鍍覆處理而於晶圓等基板上形成金屬膜或有機質膜的方法。例如，已廣泛進行於形成有半導體電路或連接該等半導體電路之細微配線之晶圓的表面的預定部位，形成將金、銀、銅、焊料、鎳、或將此等金屬以多層方式積層而成的配線或凸塊(突起狀連接電極)，經由且經由該凸塊來與封裝基板之電極或TAB(Tape Automated Bonding；捲帶式自動接合)電極連接的技術。就此配線或凸塊的形成方法而言，會有電鍍法、無電解鍍覆法、蒸鍍法、印刷法等各種的方法，但隨著半導體晶片的I/O數的增加、窄間距化，可大多已採用能夠對應細微 化並上膜速度快的電鍍法。藉由目前最多數採用的電鍍所獲得的金屬膜，係具有高純度、膜形成速度快且膜厚度控制方法簡單等特長。

一般的電鍍裝置係將基板連接電源的負極、將陽極連接電源的正極，並於陽極與基板之間施加電壓，藉此於基板形成金屬膜。如日本特開2015-161028號公報(專利文獻1)所示，若僅在陽極的中心點設置供電部時，因陽極的電阻而會在陽極的中心部的電流與在外周部的電流之間發生差異。於陽極內所產生的電流差會對形成在基板上之金屬膜的厚度的均勻性帶來不良的影響。

於專利文獻1揭示一種陽極單元，該陽極單元具備有：以放射狀延伸，且固定於陽極之外周部的複數根分枝部(arm)。於專利文獻1主要揭示：經由通過複數根分枝部對陽極的外周部供給電力而於陽極整體流通均勻的電流，結果能夠於基板上形成均勻的厚度的金屬膜。

(先前技術文獻)

(專利文獻)

專利文獻1：日本特開2015-161028號公報

依據申請人的檢討，可得知對電鍍裝置中的陽極之最適當的電力供給位置，係可依據各種的條件，例如形成在基板上之配線的形狀、基板的特性、陽極的特 性、鍍覆液的特性，施加之電壓的值、所要求之膜厚的均勻性、及/或陽極與其他零件的位置關係等而改變。因此，為了進行最適當的鍍覆加工，較佳為能夠調整對陽極的電力供給位置。然而，專利文獻1記載之電鍍裝置中，臂部之相對於陽極的固定位置為一定。因此，於專利文獻1記載之電鍍裝置中，難以調整臂部的固定位置，亦即調整對陽極的電力供給位置。

本發明之一目的在於解決上述課題之至少一部分。

本發明之一實施形態，係揭示一種陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，該陽極單元具備：陽極；供電元件，係被固定於陽極，用以將來自於電源的電力供給至陽極；以及供電元件固定部，係設於前述陽極且用以將前述供電元件固定於陽極，並且構成為能夠變更供電元件之相對於陽極的固定位置。

100‧‧‧電鍍裝置

110‧‧‧鍍覆槽

120‧‧‧溢流槽

121‧‧‧循環槽

130‧‧‧基板保持器

131‧‧‧基板

140‧‧‧陽極單元

141‧‧‧陽極

142‧‧‧供電元件

142A‧‧‧第一供電元件

142B‧‧‧第二供電元件

150‧‧‧電源

160‧‧‧攪拌器

170‧‧‧調節板

171‧‧‧開口

200‧‧‧供電元件固定部

201‧‧‧開縫

201A、201D‧‧‧第一開縫

201B、201E‧‧‧第二開縫

201C‧‧‧第三開縫

210‧‧‧固定具

211‧‧‧螺栓

211A‧‧‧第一螺栓

211B‧‧‧第二螺栓

220、220A、200B‧‧‧螺紋孔

600‧‧‧貫穿孔

600A‧‧‧第一貫穿孔

600B‧‧‧第二貫穿孔

600C‧‧‧第三貫穿孔

700‧‧‧凹部

710‧‧‧前端部

711‧‧‧頸部

720‧‧‧蓋板

721‧‧‧臂部

722‧‧‧空隙

730‧‧‧螺栓

800、800A、800B、800C‧‧‧網孔

810、810A、810B、810C‧‧‧栓塞

820、820A、820B、820C‧‧‧插座

830、830A、830B、830C‧‧‧間隔件

900‧‧‧棒狀部

910‧‧‧頭部

1000‧‧‧樞動軸

1100‧‧‧高伸縮性導體

1200‧‧‧凸轂

1201‧‧‧螺紋孔

1300‧‧‧貫穿孔

1400‧‧‧固定具

1401、1401A至1401E‧‧‧螺栓

1410、1410A至1410E、1410A’至1410E’‧‧‧間隔件

1500‧‧‧突出部

1510、1510A至1510E‧‧‧螺帽

第1圖係顯示電鍍裝置的剖面圖。

第2A圖係陽極單元之側面剖面圖。

第2B圖係從背面側觀看到陽極單元的圖。

第3A圖係使用一個開縫固定兩個供電元件時的陽極單元的側面剖面圖。

第3B圖係從背面側觀看到使用一個開縫固定兩個供 電元件時的陽極單元的側面剖面圖。

第4圖係從背面側觀看到設有三個開縫之陽極的圖。

第5圖係從背面側觀看到具備十字型之開縫的陽極的圖。

第6A圖係具有複數個貫穿孔之陽極單元的側面剖面圖。

第6B圖係從背面側觀看到具有複數個貫穿孔之陽極單元的圖。

第7A圖係具有設於陽極之背面的凹部及蓋板之陽極單元的側面剖面圖。

第7B圖係從背面側觀看到具有設於陽極之背面的凹部及蓋板之陽極單元的側面剖面圖。

第8A圖係從表面側觀看到將板網狀的陽極的網孔作為供電元件固定部使用之陽極單元的圖。

第8B圖係將板網狀的陽極的網孔作為供電元件固定部使用的陽極單元的側面剖面圖。

第8C圖係第8B圖所示之陽極單元的分解圖。

第9圖係栓塞的立體圖。

第10圖係從表面側觀看到於供電元件設有樞動軸之陽極單元的圖。

第11圖係從表面側觀看到於供電元件設有樞動軸之陽極單元的圖。

第12A圖係設有凸轂之陽極的側面剖面圖。

第12B圖係從背面側觀看到設有凸轂之陽極的圖。

第13A圖係設有複數個貫穿孔之供電元件的側面剖面圖。

第13B圖係從背面側觀看到設有複數個貫穿孔之供電元件的圖。

第14A圖係由第12圖之陽極及第13圖之供電元件至少一部分所構成之陽極單元的側面剖面圖。

第14B圖係從背面側觀看到由第12圖之陽極及第13圖之供電元件至少一部分所構成之陽極單元的圖。

第14C圖係第14A圖所示之陽極單元的分解圖。

第15圖係有關變形例之陽極單元的分解圖。

第1實施形態

第1圖係顯示第1實施形態之電鍍裝置100的剖面圖。惟，第1圖及其他的圖為示意圖，圖式中的零件形狀、尺寸及位置等不一定與實際零件的形狀、尺寸及位置等一致。

本實施形態之電鍍裝置100具有鍍覆槽110。鍍覆槽110係為了於內部保持鍍覆液而裝設者。較佳為於鍍覆槽110的側部設有用以承接從鍍覆槽110溢流出的鍍覆液的溢流槽120。鍍覆槽110與溢流槽120係藉由循環線121來連接。流入溢流槽120的鍍覆液通過循環線121而返回到鍍覆槽110的內部。

電鍍裝置100具備用以將基板131浸漬並 保持於鍍覆液中的基板保持器130。基板保持器130係以裝卸自如且鉛直地保持基板的方式構成。本說明書中，係將基板131設為方形來說明，惟也可使用圓形的基板。

電鍍裝置100更具備陽極單元140。陽極單元140係具備陽極141、以及用以將來自電源的電力供給至陽極141的供電元件142。供電元件142係使用後述的固定具210(參照第2圖)而固定於陽極141。陽極141係在鍍覆槽110的內部與基板131相對向。此外，也可使用不溶性的陽極作為陽極141，也可使用可溶性的陽極。再者，基板131為方形時，較佳為將陽極141構成為方形的板狀，基板131為圓形時，較佳為將陽極141構成為圓形的板狀。由於本說明書中的基板131為方形，所以也將陽極141設為方形來說明。此外，以下說明中將陽極141之中與基板相對向之面(第1圖之左側圖示之面)稱為「表面」。並且在以下說明中，將陽極141之中與表面相反側之面(第1圖之右側圖示之面)稱為「背面」。再者，陽極單元140也可具備保持陽極141的陽極保持器(未圖示)。

基板131係經由基板保持器130而連接於電源150的負極。陽極141係經由供電元件142而連接於電源150的正極。電源150也可與電鍍裝置100呈一體，亦即作為電鍍裝置100的一部分來構成。在作為追加或代替上，也可使用外部電源作為電源150。

電鍍裝置100更具備任意的攪拌器(paddle)160、以及調節板170。攪拌器160係用以在基板 131的附近攪拌鍍覆液而將鍍覆液均勻化所設置。調節板170係配置於鍍覆槽110內。具體而言，調節板170係配置於基板保持器130與陽極單元140之間。於調節板170設有開口171。藉由開口171來限制鍍覆液中的電場而調整基板131上的電位分布。

第2圖係顯示本實施形態之陽極單元140的圖。第2A圖係顯示陽極單元140之側面剖面圖。第2B圖係從背面側觀看到陽極單元140的圖。開縫201設於陽極141以作為用以將供電元件142固定於陽極141的供電元件固定部200。換言之，開縫201係構成供電元件固定部200之至少一部分。第2圖的例子中，開縫201之長度方向係鉛直方向(第2圖的上下方向)。再者，第2圖之例子中的開縫201係以通過陽極141之中央部分的方式來設置。惟開縫201的形狀及位置為一例。

供電元件142係配置於陽極141的背面側，且藉由固定具210而固定於陽極141。本實施形態中，採用螺栓211作為固定具210。而且，在供電元件142之中與陽極141接觸的部分設有螺紋孔220。螺栓211從陽極141的表面側插入開縫201並鎖入供電元件142的螺紋孔220。然而，也可與第2圖的例子相反地將供電元件142配置於陽極141的表面側而將螺栓211從陽極141的背面側插入。

本實施形態中，於陽極141中形成有開縫201的區域內的任意位置，能夠將供電元件142裝卸自如 地固定於陽極141。亦即，開縫201係構成可變更供電元件142之相對於陽極141的固定位置。供電元件142的固定位置之變更的一例，係藉由以下步驟來執行：(1)將螺栓211予以鬆弛而解除陽極141與供電元件142之間的固定；(2)變更陽極141與供電元件142之相對的位置關係；(3)鎖緊螺栓211而將供電元件142再固定於陽極141。然而，上述(1)的步驟中，不須將螺栓211完全地鬆弛。

第2圖的例子中，由於開縫201之長度方向為鉛直方向，所以能夠將供電元件142之固定位置變更成鉛直方向。其他的例子方面，在將開縫201的長度方向形成為水平方向時，能夠將供電元件142的固定位置變更成水平方向。依據本實施形態的構成，以調整供電元件142的固定位置，亦即以調整對陽極141之電力供給位置的方式，能夠於最適當的位置對陽極141供給電力。

此外，第2圖的例子中，螺栓211的頭部從陽極141的表面突出。也可考量到螺栓211的頭部突出時，受到突出的部分攪亂鍍覆液中的電場。但是，本發明申請人經檢討後得知：基板131及陽極141遠比螺栓211還大，並且，基板131與陽極141之間的距離遠比螺栓211之突出的長度還長時，因螺栓211的頭部突出所造成的影響會可忽視程度的減少。此外，以使用低頭螺栓作為螺栓211的方式能夠減少螺栓211之頭部的突出長度。而且，以於開縫201的周圍設置柱坑部(未圖示)的方式，也能夠減少螺栓211之頭部的突出長度。

再者，可考量在開縫201的開口部及螺栓211的表面，基本上不會發生電極反應。因此，在陽極141與基板131之間的電場會產生偏移。但是，依據本發明申請人的知識與見解瞭解到：基板131及陽極141的表面積遠比螺栓211之頭部的面積還大，且基板131與陽極141之間的距離遠比開縫201之開口寬度及螺栓211之頭部的直徑還長時，開縫201及螺栓211所造成對電流分布的影響為可忽視。再者，陽極141為不溶解性陽極141時，也可對螺栓211的頭部施加用以使之降低與陽極141同樣的氧過電壓的鍍覆。藉由對螺栓211的頭部施加鍍覆，能夠使螺栓211的頭部本身發揮作為陽極的功能。

第2圖中，使用一個開縫201使一個供電元件142固定於陽極141。也可與第2圖不同地使用一個開縫而將複數個供電元件142固定於陽極141。使用第3圖來說明使用一個開縫而將兩個供電元件142(第一供電元件142A及第二供電元件142B)固定於陽極141的例子。第3A圖係陽極單元140的側面剖面圖。第3B圖係從背面側觀看到陽極單元140的圖。此外，第一供電元件142A及第二供電元件142B可連接於相同的電源150，也可各自連接於個別獨立的電源150。

第3圖的例子中，第一螺栓211A及第二螺栓211B插入一個開縫201。第一螺栓211A係鎖入第一供電元件142A的螺紋孔220A。第二螺栓211B係鎖入第二供電元件142B的螺紋孔220B。設置複數個供電元件14， 藉此能夠將流通於陽極141的電流均勻化，進而能夠將基板131上的膜厚均勻化。

也可於陽極141設置複數個開縫201。第4圖係從背面側觀看到設有三個開縫201(第一開縫201A、第二開縫201B及第三開縫201C)之陽極141的圖。此外，在第4圖中僅圖示陽極141而未圖示其他元件。第一開縫201A、第二開縫201B及第三開縫201C之長度方向為鉛直方向。第4圖的例子中，第一開縫201A係以通過陽極141之中央部分的方式來設置。第二開縫201B係以比第一開縫201A更靠面向紙面左側部分的方式來設置。第三開縫201C係以比第一開縫201A更靠面向紙面右側部分的方式來設置。於陽極141設置複數個開縫201，藉此能夠將供電元件142固定於陽極141的各種位置。

此外，於陽極141設置複數個開縫201時，不須將所有的開縫201使用於供電元件142的固定。例如於第4圖的例子中，能夠僅將第一開縫201A使用於供電元件142的固定。僅使用第一開縫201A時，第二開縫201B及第二開縫201C就不使用。

另外其他例子方面，也可將開縫形成為十字型。第5圖係從背面側觀看到具備十字型之開縫的陽極141的圖。此外，第5圖中僅圖示陽極141，其他元件則未圖示。第5圖中的十字型的開縫係由第一開縫201D及第二開縫201E構成。第一開縫201D的長度方向為鉛直方向。第二開縫201E的長度方向為水平方向。第一開縫201D 及第二開縫201E雙方均以通過陽極141之中央部分的方式來形成。藉由具備十字型的開縫201，能夠於鉛直方向與水平方向的兩個方向調整供電位置。

本發明不限定於至此所述的例子，能夠於陽極141之任意的位置設置任意形狀的開縫201。開縫201的形狀係可採用例如X字形狀、T字形狀、L字形狀、C字形狀、U字形狀、H字形狀等各式各樣的形狀。其他的變形例方面，例如也可於一個供電元件142設置複數個螺紋孔220，而藉由複數個螺栓211將一個供電元件142固定於陽極141。

第2實施形態

第2實施形態係說明具有複數個貫穿孔600取代開縫201來作為供電元件固定部200的陽極單元140、以及具備該陽極單元140的電鍍裝置100。

第6圖係顯示第2實施形態之陽極單元140的圖。第6A圖係陽極單元140的側面剖面圖，第6B圖係從背面側觀看到陽極單元140的圖。本實施形態之陽極141係設有複數個貫穿孔600來作為供電元件固定部200。換言之，複數個貫穿孔600係構成供電元件固定部200的一部分。第6圖的例子係設有三個貫穿孔600(第一貫穿孔600A、第二貫穿孔600B及第三貫穿孔600C)。第一貫穿孔600A係設於陽極141的中央。第二貫穿孔600B係設於第一貫穿孔600A的上部。第三貫穿孔600C係設於第一貫 穿孔600A的下部。

本實施形態也與第1實施形態同樣，具有螺紋孔220的供電元件142配置於陽極141的背面側。本實施形態，係藉由將固定具210(螺栓211)從陽極141之表面側插入於至少一個貫穿孔600並鎖入螺紋孔220而於貫穿孔600的位置將供電元件142固定於陽極141。第6圖的例子係於第二貫穿孔600B的位置將供電元件142固定於陽極141。

本實施形態係能夠於任意的貫穿孔600的位置將供電元件142裝卸自如地固定於陽極141。亦即，複數個貫穿孔600係以能夠變更供電元件142之相對於陽極141之固定位置的方式來構成。供電元件142之固定位置的變更的一例如藉由以下步驟來執行：(1)將螺栓211完全地鬆弛而解除陽極141與供電元件142之間的固定；(2)從貫穿孔600(第6圖的例子為貫穿孔600B)拔出螺栓211；(3)以螺紋孔220位於其他貫穿孔600(第6圖的例子為貫穿孔600A或600C)的附近的方式，變更陽極141與供電元件142之相對的位置關係；(4)將螺栓211插入其他的貫穿孔600；(5)鎖緊螺栓211而將供電元件142再固定於陽極141。

採用開縫201的情形下，具有能夠將供電元件142的固定位置微調整的優點。另一方面，採用複數個貫穿孔600的情形下，則具有能夠簡易且迅速地變更供電元件142之固定位置的優點。

第6圖係例示了具備一個供電元件142的 陽極單元140。然而，也可於陽極單元140具備複數個供電元件142。存在複數個供電元件142時，各自的供電元件142係藉由各自插入其他的貫穿孔600的螺栓211而固定於陽極141。

此外，第6圖所示之貫穿孔600的個數及位置為一例。能夠於陽極141將任意個數的貫穿孔600設於任意的位置。以增加貫穿孔600的個數，而縮小貫穿孔600彼此間的距離的方式，能夠以某程度細微地調整供電元件142的固定位置。

第3實施形態

第3實施形態係說明具有設於陽極141之背面的凹部700及蓋板720作為供電元件固定部200的例子。第7圖係顯示本實施形態之陽極單元140的圖。第7A圖係陽極單元140的側面剖面圖，第7B圖係從背面側觀看到陽極單元140的圖。

本實施形態之陽極141的背面設有凹部700。第7圖的例子中，凹部700係形成為矩形形狀。凹部700的鉛直長度係比後述的供電元件142之前端部710的鉛直長度還長。在此說明所謂「鉛直長度」係指沿著鉛直方向(第7A圖及第7B圖的上下方向)的長度。凹部700的寬度比前端部710的寬度還大。在此說明所謂「寬度」係指沿著與陽極141之面平行的方向且相對於鉛直方向為垂直的方向(第7B圖的左右方向)的長度。凹部700的縱深與 前端部710的縱深相等、或比前端部710的縱深還小。在此說明所謂「縱深」係指沿著相對於鉛直方向及寬度方向之雙方向為垂直的方向(第7A圖的左右方向)的長度。

本實施形態之陽極單元140具備蓋板720。較佳為蓋板720的鉛直方向比凹部700的鉛直方向還長。較佳為蓋板720的寬度比凹部700的寬度還大。在第7圖的例子係於陽極141設有四個螺紋孔(未圖示)。蓋板720係藉由鎖入螺紋孔的螺栓730而以覆蓋凹部700之至少一部分的方式固定於陽極141。本實施形態中的蓋板720係形成為U字形狀。以下將蓋板720之中相當於「U字形的豎棒」的部分稱為「臂部721」。兩個臂部721之間的空隙722的寬度比後述的供電元件142的前端部710的寬度還小。而且，空隙722的寬度比後述的供電元件142的頸部711還大。

在第7圖的例子中，供電元件142具有長方體狀的前端部710。以下將供電元件142之中鄰接於前端部710的部分稱為頸部711。如前所述，頸部711的寬度比臂部721之間的空隙722的寬度還小。因此，頸部711可插入臂部721之間的空隙722。再者，頸部711的寬度比前端部710的寬度還小。

如前所述，凹部700的縱深比前端部710的縱深還小，而且空隙722的寬度比前端部710的寬度還窄。因此，當將頸部711插入空隙722，而以前端部710被夾在凹部700與蓋板720之間的狀態將蓋板720固定於 陽極141時，凹部700與蓋板720就會夾入並推壓前端部710。藉由此推壓力，供電元件142被固定於陽極141。亦即，於本實施形態中，凹部700及蓋板720構成供電元件固定部200之至少一部分。

本實施形態中，若空隙722的鉛直長度充分長，則於凹部700之任意的位置可將供電元件142裝卸自如地固定於陽極141。亦即，凹部700及蓋板720係以供電元件142之相對於陽極141的固定位置為可變更的方式來構成。供電元件142的固定位置之變更的一例，係藉由以下步驟來執行：(1)將螺栓730予以鬆弛而解除陽極141與供電元件142之間的固定；(2)變更陽極141與供電元件142之相對的位置關係；(3)鎖緊螺栓730而將供電元件142再固定於陽極141。

於本實施形態中，不須設置貫穿陽極141的孔。此外，於本實施形態中，不存在從陽極141的表面突出的部分。因此，依據本實施形態的構成，能夠將陽極141的表面保持成平滑，可使鍍覆液中的電場穩定。但是，不應排除於本實施形態之構成再加上於陽極141上設置孔的情形、及/或使用從陽極141突出的零件的情形。此外，蓋板720的形狀不限定於U字形狀。陽極141與蓋板720絕緣或供電元件142與蓋板720絕緣。

第4實施形態

第4實施形態係針對將板網(lath)狀(網狀)的陽極141 的網孔800作為供電元件固定部200使用的陽極單元140進行說明。

使用板網狀的陽極141的情形也能夠於陽極141上設置開縫201或貫穿孔600。然而，因陽極141的網孔800的大小及形狀，也會有開縫201及貫穿孔600的邊緣部分難以形成為所希望的形狀的情形。因此，本實施形態係將板網狀的陽極141的網孔800本身作為供電元件固定部200使用。換言之，陽極141的網孔800構成供電元件固定部200之至少一部分。

第8圖係顯示本實施形態之板網狀的陽極單元140的圖。第8A圖係從表面側觀看到本實施形態之陽極單元140的圖。第8B圖係本實施形態之陽極單元140的側面剖面圖。第8C圖係第8B圖所示之陽極單元140的分解圖。此外，第8圖所示之陽極141的網孔800的大小及形狀係示意者，網孔800的大小及形狀也可為任意。而且，為了便於圖示，於各圖之間會有網孔800的大小等不同的情形。第8圖係說明陽極單元140具備一個供電元件142者。然而，陽極單元140也可具備複數個供電元件142。

本實施形態係使用栓塞810作為固定具210。第9圖中顯示栓塞810的立體圖。栓塞810具有棒狀部900及頭部910而具有剖面T字形狀的形狀。栓塞810的棒狀部900係形成可插入陽極141之網孔800的形狀。此外，棒狀部900的前端設有公螺紋。頭部910係以可藉由工具來旋轉的方式形成六角柱狀。因此，栓塞810也可 表示為螺栓。本實施形態係說明陽極141的網孔800大致均勻地形成，栓塞810的棒狀部900係可插入任意的網孔800者。

本實施形態之供電元件142係至少具有一個插座，較佳為具有複數個插座。第8圖的例子中，供電元件142具備三個插座820(插座820A、插座820B及插座820C)。插座820C係設於供電元件142的最前端部分。插座820A係設於比插座820C更靠近供電元件142的根基側(第8圖的上方)。插座820B係設於比插座820A又更靠近供電元件142的根基側。各個的插座820係構成可與栓塞810連接。第8圖的例子中，插座820各自都設有與栓塞810之頭部910的公螺紋對應的螺紋孔。

栓塞810係從與供電元件142相對向之側(第8圖中為陽極141的表面側)插入陽極141的網孔800而連接於插座820。連接於插座820的栓塞810的頭部910會將陽極141往供電元件142之側推壓。藉由此推壓力，供電元件142被固定於陽極141。第8圖的例子係使用三個栓塞(栓塞810A、栓塞810B及栓塞810C)，分別插入至個別的網孔800(網孔800A、網孔800B及網孔800C)的狀態下連接於各自對應的插座820。第8圖的例子中，栓塞810A插入位於陽極141之中央的網孔800A而連接於插座820A。栓塞810B從陽極141之中央插入位於上部的網孔800B而連接於插座820B。栓塞810C從陽極141之中央插入位於下部的網孔800C而連接於插座820C。

也可於栓塞810與插座820連接時，使用墊圈(washer)或間隔件(spacer)。第8圖的例子中，陽極141與各個插座820之間設有三個間隔件830(間隔件830A、間隔件830B及間隔件830C)。間隔件830各自係安裝於各個栓塞810。

本實施形態中，於陽極141之任意的網孔800的位置能夠將供電元件142裝卸自如地固定於陽極141。亦即，網孔800係構成可變更供電元件142之相對於陽極141的固定位置。供電元件142之固定位置的變更的一例如藉由以下步驟來執行：(1)從插座820及網孔800拔出栓塞810；(2)以使插座820位於其他的網孔800的附近的方式，變更陽極141與供電元件142的相對的位置關係；(3)將栓塞810插入網孔800及插座820。

依據本實施形態，即使不依賴開縫201及/或貫穿孔600也能夠於最適當的位置對陽極141供給電力。然而，不應排除於陽極141設置開縫201及/或貫穿孔600。

栓塞810與插座820的連接方法不限定於藉由螺紋來連接。若可固定陽極141，且能夠使栓塞810與插座820之拆卸及再連接，栓塞810與插座820也能夠以任意的方法來連接。作為連接方法的一例者，可考量使用彈簧、爪、柱塞、銷或箝位器等的方法、或嵌入的方法等。

本實施形態中，也可使用絕緣性的栓塞作 為栓塞810。在此說明所謂「絕緣性的栓塞」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分絕緣的栓塞。亦即，絕緣性的栓塞之中，與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分，除非介設有其他的導電性零件，否則不會電性連接。可以使用整體由絕緣體構成的栓塞作為絕緣性的栓塞，也可以使用一部分由絕緣體構成的栓塞作為絕緣性的栓塞。也可以使用整體或一部分經鍍覆絕緣體而成的栓塞作為絕緣性的栓塞。相對於此，所謂「導電性的栓塞」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分為電性連接的栓塞。

同樣地，所謂「絕緣性的間隔件」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分絕緣的間隔件。所謂「導電性的間隔件」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分為電性連接的間隔件。

例如於第8圖所示的例子中，希望僅對陽極141的中心供電時，也可從網孔800B拔出栓塞810B且從網孔800C拔出栓塞810C。換言之，於第8圖所示的例子中，也可僅使用栓塞810A。然而，因使用的栓塞數量減少而會有陽極141與供電元件142之間的固定強度降低的可能性。因此，藉由將栓塞810B及栓塞810C以及間隔件830B及間隔件830C設成絕緣，且將栓塞810A及/或間隔件830A設成導電性，能夠僅對陽極141的中心，亦即希望供電的位置供電，且維持固定強度。再者，藉由切換栓 塞810A及/或間隔件830A之導電性/絕緣性，則即使不變更陽極141與供電元件142之相對的位置關係，也能夠變更對陽極141的供電位置。

第5實施形態

第5實施形態係針對於供電元件142設有樞動軸1000的陽極單元140進行說明。第10圖係從表面側觀看到第5實施形態之陽極單元140的圖。此外，第10圖的例子係顯示具有四個供電元件142的陽極單元140。然而，供電元件142的數量不限於四個，可比四個多也可比四個少。本實施形態之供電元件142之各者設有樞動軸1000。比供電元件142之樞動軸1000更靠近前端側的部分係能夠以樞動軸1000為中心而依沿著陽極141之面的方向樞動。

本實施形態之陽極單元140係除了供電元件142之數量及樞動軸1000的有無以外，與第4實施形態的陽極單元140同等地構成。亦即，本實施形態的陽極141係形成板網狀，藉由栓塞810及插座820而使供電元件142固定於陽極141。為了便於圖示，本實施形態之設於一個供電元件142的插座820的個數(兩個)係與第4實施形態之設於一個供電元件142的插座820的個數(三個)不同。

依據本實施形態的構成，以拔出栓塞810並使供電元件142的前端樞動之後插入栓塞810的方式，能夠容易地變更供電元件142之相對於陽極141的供電位置。再者，陽極141為方形時，較佳者如第10圖所示，設 置四個供電元件142，並將各自的供電元件142的樞動軸1000設於陽極141的異個角落附近。此外，較佳為比各個供電元件142的樞動軸1000更靠近前端側的部分係以在不會干擾到其他的零件(其他的供電元件142等)的限度內儘可能地伸長的構成。如第10圖的方式構成陽極單元140，藉此能夠從除了陽極141之中央部分以外的大致全區域來選擇供電元件142的固定位置。

第11圖顯示本實施形態的變形例。第11圖係從表面側觀看到陽極單元140的圖。第11圖所示之四個供電元件142的前端設有樞動軸1000。各個的樞動軸1000係配置於陽極141的中心附近。再者，樞動軸1000係固定於其他的零件(例如未圖示的陽極保持器等)。如第11圖所示地構成陽極單元140也能夠從除了陽極141之中央部分以外的大致全區域來選擇供電元件142的固定位置。

此外，第11圖之供電元件142的至少一部分較佳為具有高伸縮性的導電體(以下稱「高伸縮性導電體1100」)。可舉出伸縮囊或導電性橡膠作為高伸縮性導電體1100的例子。藉由高伸縮性導電體1100的伸縮，在供電元件142之中使比高伸縮性導電體1100更靠近根基的部分保持靜止的狀態，能夠使供電元件142樞動。

第10圖及第11圖係說明使用板網狀的陽極141之網孔800的例子。然而，藉由將開縫形成弧狀、或將複數個貫穿孔配置成弧狀的方式等，也能夠將本實施 形態所揭示的思想適用於具備開縫及/或貫穿孔的陽極141。此情形下，陽極141可為板網狀也可非為板網狀。

再者，如第10圖及第11圖所示，陽極單元140具有複數個供電元件142時，也能夠以可獨立地控制由各個的供電元件142所進行的供電的方式來構成陽極單元140。在作為能夠獨立地控制供電的構成方面，例如可於供電元件142之各個與電源150之間設置開關等。至於其他的例子，也可於供電元件142之各個與獨立的電源150連接。

例如於第10圖中，可於供電元件142之各者與電源150之間設置開關等。藉由切換開關的導通(ON)/關斷(OFF)而選擇要執行對陽極141供電的供電元件142。亦即，藉由切換開關的導通(ON)/關斷(OFF)而能夠變更對陽極141的供電位置。於藉由切換開關的導通(ON)/關斷(OFF)來變更對陽極141的供電位置時，不須拔出栓塞810。

如以上所述，陽極單元140具有複數個供電元件142時，藉由以能夠獨立地控制由各個供電元件142所進行的供電的方式來構成，並選擇要進行供電的供電元件142，能夠變更對陽極141的供電位置。由供電元件142的選擇所致的供電位置的變更，係可適用於至此所說明的所有的實施形態。再者，由供電元件142的選擇所致的供電位置的變更，也可適用於無法變更供電元件142之固定位置的陽極單元(以往形式的陽極單元)。

第6實施形態

第6實施形態係針對於供電元件142設有複數個貫穿孔的陽極單元進行說明。第12圖係顯示本實施形態之陽極141的圖。第12A圖係陽極141的側面剖面圖。第12B圖係從背面側觀看到陽極141的圖。第13圖係顯示本實施形態之供電元件142的圖。第13A圖係供電元件142的側面剖面圖。第13B圖係從背面側觀看到供電元件142的圖。第14圖係顯示本實施形態之陽極單元140的圖。第14A圖係陽極單元140的側面剖面圖。第14B圖係從背面側觀看到陽極單元140的圖。第14C圖係第14A圖所示之陽極單元140的分解圖。

如第12圖所示，本實施形態之陽極141設有複數個凸轂(boss)1200。本實施形態之一例係設有排列成五行五列共二十五個的凸轂1200。此外，在第12圖中，僅對一個凸轂1200賦予符號。凸轂1200為圓柱狀以外，可為三角柱、五角柱、六角柱等任意的形狀。凸轂1200也可藉由例如刮削或鑄造等而與陽極141形成一體。另一方面，凸轂1200也可作為與陽極141個別獨立的零件來形成，例如藉由熔接、接著或機械性的固定具等來固定於陽極141。凸轂1200各自係設有螺紋孔1201。另一變形例係於陽極141直接設置螺紋孔1201來取代設置凸轂1200。

如第13圖所示，本實施形態之供電元件142能夠實質地形成板狀。此外，供電元件142的大小及形狀係能夠因應設置在陽極141的凸轂1200的配置與數量來適 切地選擇。第13圖的供電元件142僅比第12圖的供電元件142形成得稍微小一些。於供電元件142之與陽極141之凸轂1200對應的位置設有複數個貫穿孔1300。此外，在第13圖中，僅對一個貫穿孔1300賦予符號。

藉由組合第12圖的陽極141及第13圖的供電元件142而構成本實施形態的陽極單元140。第14圖的例子中，藉由從供電元件142的背面側插入貫穿孔1300的固定具1400而將供電元件142固定於陽極141。第14圖的例子係使用二十五根的螺栓1401作為固定具1400。螺栓1401各自鎖入螺紋孔1201。此外，在第14圖中，僅對五根螺栓1401(從第14A圖的上方起為螺栓1401A、螺栓1401B、螺栓1401C、螺栓1401D及螺栓1401E)賦予符號。

較佳為陽極141與供電元件142之間設置間隔件1410。第14圖的例子係使用二十五個間隔件1410。此外，僅對五個間隔件(從第14A圖或第14C圖的上方起為間隔件1410A、間隔件1410B、間隔件1410C、間隔件1410D及間隔件1410E)賦予符號。

第14圖的構成中，螺栓1401及間隔件1410雙方由絕緣體形成時，於該螺栓1401的附近，電流不會流通於陽極141與供電元件142之間。相對於此，螺栓1401及間隔件1410之至少一方由導電體形成時，於該螺栓1401的附近，電流會流通於陽極141與供電元件142之間。因此，以變更螺栓1401及間隔件1410的導電性/絕緣性的方 式，能夠調整對陽極141的電力供給位置。此外，也可去除不欲供給電力之位置的螺栓1401及間隔件1410來取代使用絕緣性的螺栓1401及間隔件1410。

例如在第14圖中，於與從上方起第二行及第四行的凸轂1200連接的螺栓1401(螺栓1401B及螺栓1401D)使用絕緣性的螺栓。在此說明，所謂「絕緣性的固定具」或「絕緣性的螺栓」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分絕緣的固定具或螺栓。所謂「導電性的固定具」或「導電性的螺栓」係指與陽極141接觸的部分、和與供電元件142接觸的部分電性連接的固定具或螺栓。

第14圖係藉由與附加於其他的零件的影線不同的影線來圖示絕緣性的螺栓。使用絕緣性的間隔件作為安裝在絕緣性的螺栓的間隔件1410(間隔件1410B及間隔件1410D)。第14圖係藉由與附加於其他的零件的影線不同的影線來圖示絕緣性的間隔件。依據以上的構成，能夠於從上方起第一行、第三行及第五行的凸轂1200的位置對陽極141供給電力。

依據本實施形態的構成，能夠將陽極141的表面保持成平滑，使鍍覆液中的電場穩定。然而，不應排除於本實施形態之構成更加上在陽極141上設置孔，及/或使用從陽極141突出的零件。此外，依據本實施形態的構成，具有於變更供電位置的前後，不須變更陽極141與供電元件142之相對的位置關係的優點。於使用絕緣性的 間隔件1410時，也能夠將間隔件1410預先固定於凸轂1200或供電元件142之其中任一者而使之一體化。此情形下，以僅變更螺栓1401的導電性/絕緣性的方式就能夠調整對陽極141的電力供給位置。概括而言，若能夠變更螺栓1401及間隔件1410之任何一方的導電性/絕緣性，則另一方的構件可為絕緣性。此外，間隔件1410被固定於凸轂1200或供電元件142之一方時，能夠防止在調整電力供給位置之際間隔件1410脫落。此外，也可對凸轂1200之中與供電元件142接觸的面施加絕緣性的鍍覆作為間隔件1410來發揮功能。在追加或代替方面，也可對供電元件142之中與凸轂1200接觸的面施加絕緣性的鍍覆作為間隔件1410來發揮功能。

第15圖顯示本實施形態的變形例。第15圖係陽極單元140的分解圖。於變形例之陽極141的凸轂1200設有前端有螺紋的突出部1500。突出部1500係也可藉由例如刮削或鑄造等而與凸轂1200形成一體。另一方面，突出部1500也可作為與凸轂1200個別獨立的零件來形成，例如藉由熔接、接著或機械性的固定具等來固定於凸轂1200。另外的變形例方面也可於凸轂1200的前端設螺紋來取代設置突出部1500。凸轂1200的前端設有螺紋時，凸轂1200可視為突出部1500。

突出部1500係從供電元件142的表面側插入貫穿孔1300。插入貫穿孔1300之後，螺帽1510鎖入突出部1500。第15圖中圖示螺帽1510A、螺帽1510B、螺 帽1510C、螺帽1510D及螺帽1510E等五個螺帽。以突出部1500及螺帽1510協同合作的方式使供電元件142固定於陽極141。換言之，突出部1500及螺帽1510構成固定具1400的至少一部分。

較佳為在陽極141與供電元件142之間設置間隔件1410’。更佳為使用剖面T字形狀之具有高低差的間隔件等可將間隔件的一部分插入貫穿孔1300的間隔件作為間隔件1410’。藉由使用具有高低差的間隔件等，能夠防止突出部1500於不希望的部位與供電元件142接觸。

與第14圖的例子同樣，第15圖所示的例子也藉由選擇各零件的導電性/絕緣性而能夠選擇對陽極141的供電位置。第15圖中，間隔件1410B’及間隔件1410D’以及螺帽1510B及螺帽1510D由絕緣體來形成。此外，突出部1500也可由導電體來形成，也可由絕緣體來形成。第15圖的例子中，即使突出部1500為導電體，若螺帽1510為絕緣體，也可由突出部1500及螺帽1510所構成的固定具1400顯現出絕緣性。

第12圖至第15圖所示之本實施形態的構成為一例。例如凸轂1200及貫穿孔1300的大小、個數及排列等並不限於圖示的大小、個數及排列。陽極141與供電元件142之間的固定方法不限於藉由螺紋來固定。

以上說明了本發明的若干個實施形態，惟上述發明的實施形態係用以容易理解本發明而說明的實施 形態，並非用以限定本發明的實施形態。本發明當然在不脫離其主旨的情形下可作變更、改良，並且本發明包含其同等物。再者，在能夠解決上述課題之至少一部分的範圍內、或在達成效果之至少一部分的範圍內，能夠作申請專利範圍及說明書所記載之各構成元件之任意的組合或省略。例如，能夠使用具有開縫201與貫穿孔600雙方的陽極141。也能夠使用一部分形成板網狀而另一部分形成非板網狀的陽極141。

本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，該陽極單元具備：陽極；供電元件，係被固定於陽極，用以將來自於電源的電力供給至陽極；以及供電元件固定部，係用以對陽極固定要設置於陽極的供電元件，並構成為能夠變更供電元件之相對於陽極的固定位置。

此陽極單元達到的效果之一例為：調整供電元件的固定位置，亦即調整對陽極的電力供給位置，藉此能夠於最適當的位置對陽極供給電力。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，供電元件固定部之至少一部分為開縫，供電元件係藉由被插入開縫的固定具而被固定於陽極。

此陽極單元達到的效果之一例為：能夠微調整供電元件的固定位置。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，供電元件固定部之至少一部分為複數個貫穿孔， 供電元件係藉由被插入貫穿孔的固定具而被固定於陽極。

此陽極單元達到的效果之一例為：能夠簡易且迅速地變更供電元件的固定位置。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，供電元件固定部之至少一部分為：設於陽極之背面的凹部、及以覆蓋凹部之至少一部分的方式固定於陽極的蓋板；其中，供電元件係藉由供電元件之至少一部分被夾在凹部與蓋板之間的狀態將蓋板固定於陽極而被固定於陽極。

此陽極單元達到的效果之一例為：能夠將陽極141的表面保持成平滑，能夠使鍍覆液中的電場穩定。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，陽極形成為板網狀，供電元件固定部之至少一部分為陽極的網孔，供電元件藉由被插入網孔的固定具而被固定於陽極。

此陽極單元達到的效果之一例為：即使不依賴開縫或貫穿孔也能夠於最適當的位置對板網狀的陽極141供給電力。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，供電元件具備插座，被插入網孔的固定具為可連接於插座的栓塞。

藉由此揭示內容，說明了使用板網狀的陽極時的固定具的詳細。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽 極單元，該陽極單元具備：複數個栓塞、及設於陽極與供電元件之間並安裝於各個栓塞的複數個間隔件；其中，栓塞之中之至少一個栓塞為絕緣性，安裝於絕緣性的栓塞之間隔件的至少一個間隔件為絕緣性。再者，本案發明之一實施形態揭示一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整對陽極單元中的陽極的供電位置的方法，該方法包含：將位於不希望供電之位置的栓塞及安裝於位於不希望供電之位置的栓塞的間隔件設成絕緣性的步驟；以及將位於希望供電之位置的栓塞及/或安裝於位於不希望供電之位置的栓塞的間隔件設成導電性的步驟。

此陽極單元及方法達到的效果之一例為：能夠在維持固定強度的狀態下，僅對希望供電的位置供電。再者，此陽極單元及方法達到的效果之一例為：能夠藉由切換栓塞及/或間隔件的導電性/絕緣性而變更對陽極的供電位置。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種電鍍裝置，係具備：鍍覆槽，係用以保持鍍覆液；基板保持器，係用以將基板浸漬於鍍覆液並予以保持；以及陽極單元，係以陽極單元中之陽極在鍍覆槽的內部與基板相對向的方式配置。

藉由此揭示內容，說明了電鍍裝置的詳細。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整對陽極單元中的陽極的供電位置的方法，該方法包含：解除陽極與供電元件之 間的固定的步驟；變更陽極與供電元件之相對的位置關係的步驟；以及將供電元件再固定於陽極的步驟。

藉由此揭示內容，說明了調整供電位置的方法的詳細。

再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，陽極單元具備：陽極；供電元件，係被固定於陽極，用以將來自於電源的電力供給至陽極，並且該供電元件設有複數個貫穿孔；複數個固定具，係被插入於供電元件的貫穿孔，將供電元件固定於陽極；以及複數個間隔件，係設於陽極與供電元件之間，安裝於前述固定具之各者；其中，固定具之中之至少一個固定具為絕緣性，安裝於絕緣性的固定具的間隔件之至少一個間隔件為絕緣性。再者，本案發明之一實施形態揭示一種陽極單元，係位於不希望供電之位置的固定具及安裝於位於不希望供電之位置的固定具的間隔件為絕緣性，位於希望供電之位置的固定具及/或安裝於位於不希望供電之位置的固定具的間隔件為導電性。再者，本案發明之一實施形態揭示一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整由具有複數個貫穿孔之供電元件所致之對陽極之供電位置的方法，供電元件係使用被插入貫穿孔的固定具及設於陽極與供電元件之間且安裝於固定具的間隔件而被固定於陽極；方法係：包含：將位於不希望供電之位置的固定具及安裝於位於不希望供電之位置的固定具的間隔件設成絕緣性的步驟；以及將位於希望供電之位置的固定具及/或安裝 於位於不希望供電之位置的固定具的間隔件設成導電性的步驟。

此陽極單元及方法達到的效果之一例為：能夠將陽極的表面保持成平滑，能夠使鍍覆液中的電場穩定。再者，此陽極單元及方法達到的效果之一例為：能夠藉由切換固定具及間隔件的導電性/絕緣性而變更對陽極的供電位置。

Claims (13)

1. 一種陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，前述陽極單元具備：陽極；供電元件，係被固定於前述陽極，用以將來自於電源的電力供給至前述陽極；以及供電元件固定部，係設於前述陽極且用以將前述供電元件固定於前述陽極，並構成為能夠變更前述供電元件之相對於前述陽極的固定位置。
2. 如申請專利範圍第1項所述之陽極單元，其中前述供電元件固定部之至少一部分為開縫，前述供電元件係藉由被插入前述開縫的固定具而被固定於前述陽極。
3. 如申請專利範圍第1項所述之陽極單元，其中前述供電元件固定部之至少一部分為複數個貫穿孔，前述供電元件係藉由被插入前述貫穿孔的固定具而被固定於前述陽極。
4. 如申請專利範圍第1項所述之陽極單元，其中前述供電元件固定部之至少一部分為：設於前述陽極之背面的凹部；及以覆蓋前述凹部之至少一部分的方式固定於前述陽極的蓋板，其中，前述供電元件係藉由在前述供電元件之至少一部 分被夾在前述凹部與前述蓋板之間的狀態將前述蓋板固定於前述陽極而被固定於前述陽極。
5. 如申請專利範圍第1項所述之陽極單元，其中前述陽極形成為板網狀，前述供電元件固定部之至少一部分為前述陽極的網孔，前述供電元件藉由被插入前述網孔的固定具而被固定於前述陽極。
6. 如申請專利範圍第5項所述之陽極單元，其中前述供電元件具備插座，被插入前述網孔的固定具為可連接於前述插座的栓塞。
7. 如申請專利範圍第6項所述之陽極單元，其中前述陽極單元具備：複數個前述栓塞；及設於前述陽極與前述供電元件之間並分別安裝於各個前述栓塞的複數個間隔件；其中，前述栓塞之中之至少一個栓塞為絕緣性，安裝於絕緣性的前述栓塞之前述間隔件的至少一個間隔件為絕緣性。
8. 一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整對申請專利範圍第7項所述之陽極單元中的陽極的供電位置的方法，該方法包含：將位於不希望供電之位置的前述栓塞及安裝於位 於不希望供電之位置的前述栓塞的前述間隔件設成絕緣性的步驟；以及將位於希望供電之位置的前述栓塞及/或安裝於位於不希望供電之位置的前述栓塞的前述間隔件設成導電性的步驟。
9. 一種電鍍裝置，係具備：鍍覆槽，係用以保持鍍覆液；基板保持器，係用以將基板浸漬於前述鍍覆液並予以保持；以及陽極單元，係以申請專利範圍第1項所述之陽極單元中之前述陽極在前述鍍覆槽的內部與前述基板相對向的方式配置。
10. 一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整對申請專利範圍第1項所述之陽極單元中的前述陽極的供電位置的方法，該方法係包含：解除前述陽極與前述供電元件之間的固定的步驟；變更前述陽極與前述供電元件之相對的位置關係的步驟；以及將前述供電元件再固定於前述陽極的步驟。
11. 一種陽極單元，係電鍍裝置的陽極單元，前述陽極單元具備：陽極；供電元件，係被固定於前述陽極，用以將來自於 前述電源的電力供給至前述陽極，並且該供電元件係設有複數個貫穿孔；複數個固定具，係被插入於前述供電元件的前述貫穿孔，將前述供電元件固定於前述陽極；以及複數個間隔件，係設於前述陽極與前述供電元件之間，安裝於前述固定具之各者；其中前述固定具之中之至少一個固定具為絕緣性，安裝於絕緣性的前述固定具的前述間隔件之至少一個間隔件為絕緣性。
12. 如申請專利範圍第11項所述之陽極單元，其中位於不希望供電之位置的前述固定具及安裝於位於不希望供電之位置的前述固定具的前述間隔件為絕緣性，位於希望供電之位置的前述固定具及/或安裝於位於不希望供電之位置的前述固定具的前述間隔件為導電性。
13. 一種調整對陽極之供電位置的方法，係調整由具有複數個貫穿孔之供電元件所致之對陽極之供電位置的方法，前述供電元件係使用被插入前述貫穿孔的固定具及設於前述陽極與前述供電元件之間且安裝於前述固定具的間隔件而被固定於前述陽極；該方法係包含：將位於不希望供電之位置的前述固定具及安裝於位於不希望供電之位置的前述固定具的前述間隔件設 成絕緣性的步驟；以及將位於希望供電之位置的前述固定具及/或安裝於位於不希望供電之位置的前述固定具的前述間隔件設成導電性的步驟。