JP6390728B2 - 磁気センサとその製造方法 - Google Patents
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Description
21 第1の磁界検出素子
22 第2の磁界検出素子
23 第1のヨーク
23a 第1のヨークの第1の部分
23b 第1のヨークの第2の部分
24 第2のヨーク
25 第3のヨーク
31 第1の磁界検出素子の下部リード
33 磁化固定層
34 スペーサ層
35 磁化自由層
37 第1の磁界検出素子の上部リード
38 第1の感磁膜
40 第2の磁界検出素子の下部リード
41 第2の磁界検出素子の上部リード
42 第2の感磁膜
X 第1の方向
Z 第2の方向
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、第1の方向の磁界を検出する第1の感磁膜を有する第1の磁界検出素子と、
前記基板上に設けられ、前記第1の方向の磁界を検出する第2の感磁膜を備え、前記第1の方向に前記第1の磁界検出素子と間隔をあけて配置された第2の磁界検出素子と、
前記基板上に設けられた第1のヨークと、を有し、
前記第1のヨークは、前記第1の方向に関し前記第1の感磁膜及び前記第2の感磁膜の側方、且つ前記第1の感磁膜と前記第2の感磁膜の概ね中間に位置する第1の部分と、前記第1の方向と直交する方向において前記第1の部分に隣接する第2の部分と、を備え、前記第2の部分は前記第1の部分との境界から前記基板から離れる方向に延び、前記第2の部分の前記第1の方向の平均寸法が前記第1の部分の前記第1の方向の平均寸法より大きく、
前記第1の磁界検出素子と前記第2の磁界検出素子は前記直交する方向にみて前記第1の方向において前記第1のヨークと重なっている磁気センサ。 - 前記第1の部分の一部は、前記第2の部分から前記直交する方向にみて前記第1の感磁膜の先まで延びている、請求項1に記載の磁気センサ。
- 前記第1の感磁膜に関し前記第1のヨークの反対側に位置し、前記第1のヨークの中心と前記第1の感磁膜の中心とを結ぶ直線の延長線上を通る第2のヨークを有する、請求項1または2に記載の磁気センサ。
- 前記第2の感磁膜に関し前記第1のヨークの反対側に位置し、前記第1のヨークの中心と前記第2の感磁膜の中心とを結ぶ直線の延長線上を通る第3のヨークを有し、前記第1の部分の前記第2の部分と反対側の端部は、前記第1の方向において前記第2及び第3のヨークと対向している、請求項3に記載の磁気センサ。
- 前記第1の部分の前記第1の感磁膜と対向する対向面は、前記第1の感磁膜から後退する方向に凹んだ曲面を有している、請求項1から4のいずれか1項に記載の磁気センサ。
- 前記第1の感磁膜は、外部磁界に対する磁化方向が前記第1の方向を含む平面内で回転可能な磁化自由層と、磁化方向が外部磁界に対し固定された磁化固定層と、前記磁化自由層と前記磁化固定層とに挟まれ、磁気抵抗効果を有するスペーサ層と、を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の磁気センサ。
- 第1の方向の磁界を検出する第1の感磁膜を有する第1の磁界検出素子と、前記第1の方向の磁界を検出する第2の感磁膜を備え、前記第1の方向に前記第1の磁界検出素子と間隔をあけて配置された第2の磁界検出素子と、前記第1の方向に関し前記第1の磁界検出素子と前記第2の磁界検出素子との間に位置する絶縁層と、を基板に設けられた支持層に形成する工程と、
前記絶縁層に第1の穴を形成する工程と、
前記絶縁層の上方に、前記第1の穴と連通し前記第1の穴より前記第1の方向の寸法が大きい第2の穴を備えるレジストを形成する工程と、
前記第1及び第2の穴にメッキによって第1のヨークを形成し、前記レジストを除去する工程と、を有し、
前記第1のヨークは、前記第1の穴によって形成される第1の部分と、前記第2の穴によって形成される第2の部分と、を有し、第1の部分は前記第1の方向に関し前記第1の感磁膜及び前記第2の感磁膜の側方、且つ前記第1の感磁膜と前記第2の感磁膜の概ね中間に位置し、前記第2の部分は前記第1の方向と直交する方向において前記第1の部分に隣接し、前記第2の部分は前記第1の部分との境界から前記基板から離れる方向に延び、前記第2の部分の前記第1の方向の平均寸法が前記第1の部分の前記第1の方向の平均寸法より大きく、前記第1の磁界検出素子と前記第2の磁界検出素子は前記直交する方向にみて前記第1の方向において前記第1のヨークと重なっている磁気センサの製造方法。
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