JP6360487B2 - 複数の高調波モードを有するマイクロ機械加工超音波変換器アレイ - Google Patents
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Description
本出願は、2012年10月26日に出願され、出願番号61/718,952を有する「第1及び第2高調波モードを有する圧電変換器アレイ(PIEZOELECTRIC TRANSDUCER ARRAYS WITH 1st AND 2nd HARMONIC MODES)」という名称の米国一般特許仮出願に対する優先権を主張するものであり、その内容全体は、あらゆる目的に対して引用によって本明細書に組み込まれている。
110、120、130、140 電極レール
111A〜116A、111B〜115B、121A 変換器要素
Claims (26)
- 媒体中に圧力波を発生させてそれを感知するための装置であって、
各変換器要素が膜、単一駆動/感知電極、及び基準電極を有する複数の変換器要素を含むマイクロ機械加工超音波変換器(MUT)アレイを含み、
前記複数の変換器要素の各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第1発振モードの個別の第1発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第1発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第1発振モードそれぞれが第1周波数帯域の第1共振周波数の個別の周波数に対応し、
前記複数の変換器要素の各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第2発振モードの個別の第2発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第2発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第2発振モードそれぞれが第2周波数帯域の第2共振周波数の個別の周波数に対応し、前記複数の第1発振モード及び前記複数の第2発振モードが異なる個別の発振モードを含み、前記第2共振周波数の一又は二以上が前記第1共振周波数のいずれより大きく、
前記装置は、
前記MUTアレイに接続された駆動又は感知回路であって、前記複数の第1発振モードを有する第1モードと前記複数の第2発振モードを有する第2モードとを含む前記MUTアレイの少なくとも2つの発振モードを誘起する駆動又は感知回路を含むことを特徴とする装置。 - 前記第2周波数帯域の中心が、前記第1周波数帯域の中心の約2倍であり、
前記第1周波数帯域及び前記第2周波数帯域のうちの1つ又はそれよりも多くが、第3又はより高い前記MUTアレイのモードに対応する共振周波数を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記複数の第1発振モードの一つに対応する共振周波数が、前記複数の第2発振モードの一つに対応する最も低い共振周波数よりも高いことを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記複数の第1発振モード及び前記複数の第2発振モードが、それぞれ、前記MUTアレイの少なくとも120%−6dB比帯域幅であることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 前記MUTアレイは、該アレイの変換器要素が圧電膜サイズの範囲を有する圧電MUT(pMUT)であり、
前記第1共振周波数帯域は、前記圧電膜サイズの範囲の関数である、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記駆動回路は、前記変換器要素のうちの少なくとも一部を少なくとも前記第1周波数帯域を誘起する第1電気信号を用いて駆動するよう、前記MUTアレイに結合された信号発生器を含み、
前記感知回路は、前記第2周波数帯域からの成分を含む第2電気信号を前記変換器要素のうちの少なくとも一部から受信するよう、前記MUTアレイに結合された信号受信機を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記第1電気信号は、前記複数の第1発振モード及び前記複数の第2発振モードの両方を誘起し、
前記第2電気信号は、前記第1周波数帯域及び前記第2周波数帯域の両方からの成分を含む、
ことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記複数の第1発振モードは、前記アレイの第1チャネル上に誘起され、前記複数の第2発振モードは、該アレイの第2チャネル上に誘起され、
前記第1周波数帯域からの成分が、前記第1チャネルから収集され、前記第2周波数帯域からの該成分は、前記第2チャネルから収集される、
ことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記第1電気信号は、前記複数の第2発振モードにわたって前記複数の第1発振モードのパルス幅及び形状を有し、前記複数の第1発振モードのみ誘起し、
前記信号受信機は、前記第2周波数帯域に関連付けられた前記第2電気信号の成分を前記第1周波数帯域に関連付けられた前記第2電気信号の他の成分からフィルタリングする、
ことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 異なるサイズの膜が、同じチャネル内の膜間の破壊的相互作用を回避し、かつ隣接するチャネルの膜間のクロストークを回避するよう、基板上に空間的に配置されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記膜の少なくとも1つの寸法が、最小値と最大値の間で変化し、あらゆる2つの隣接膜間の寸法差よりも大きい範囲におよぶことを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記膜の前記サイズは、少なくとも3つの隣接膜の第1のシリーズにわたって区分的に増大し、かつ少なくとも3つの隣接膜の第2のシリーズにわたって区分的に減少し、
前記第1及び第2のシリーズの両方は、最大寸法の1つの膜と最小寸法の1つの膜を含む、
ことを特徴とする請求項11に記載の装置。 - 前記要素サイズ変動は、前記アレイの少なくとも1つの寸法の循環関数であり、前記チャネル集団の反復単位内にn個の異なる膜タイプのうちの2つを与えることを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 楕円体膜の第1半軸長のみが、チャネル内で基板の第1寸法にわたって変更され、該楕円体膜の第2半軸長のみが、チャネル内で該基板の第2寸法にわたって変更されることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- マイクロ機械加工超音波変換器(MUT)アレイであって、
基板の区域にわたって配列され、第1変換器要素及び第2変換器要素を含む複数の変換器要素と、
前記複数の変換器要素の各々に結合された基準電極と、
前記複数の変換器要素のサブセットに互いに並列に結合されて前記アレイのチャネルを形成する駆動/感知電極であって、前記チャネルが前記第1変換器要素及び前記第2変換器要素を備えた第1チャネルを含み、前記第2変換器要素の膜に第2発振モードを誘起する電気信号によって駆動されたときに前記第1変換器要素が第1発振モードに入るように寸法決定された膜を有し、前記第1発振モードが前記第2発振モード以外であり、前記第1発振モード及び前記第2発振モードが、それぞれ、個別のベッセル関数の解に対応し、前記第1変換器要素及び第2変換器要素間の前記膜の寸法が、前記第1チャネル内のあらゆる2つの隣接要素の膜間の寸法差よりも大きい範囲におよぶ、前記駆動/感知電極と、
を含むことを特徴とするアレイ。 - 前記第1チャネル内の変換器要素の個別のサイズが、第1寸法にわたって循環的に変化し、前記第1チャネルの各変換器要素について、前記変換器要素が、第2寸法に沿って、前記第1チャネルの個別の他の変換器要素に近接し、前記変換器要素のサイズに対して、前記他の変換器要素が、前記第1チャネルの複数の要素サイズの2番目に最小である、又は、前記複数の要素サイズの2番目に最大であることを特徴とする請求項15に記載のMUTアレイ。
- 前記第1チャネル内の変換器要素の個別のサイズが、前記アレイの少なくとも1つの寸法の循環関数によって変動し、前記第1チャネルが、少なくとも3つの膜の第1のシリーズを有する複数の反復単位を含み、前記第1のシリーズの連続する膜が、第1寸法に沿ったサイズで区分的に増大し、少なくとも3つの膜の第2のシリーズが、前記第2のシリーズの他の個別の膜に近接し、前記第2のシリーズの連続する膜が、前記第1寸法に沿って区分的に減少する、
ことを特徴とする請求項16に記載の装置。 - 媒体中に圧力波を発生させてそれを感知する方法であって、
マイクロ機械加工超音波変換器(MUT)アレイの少なくとも一部の変換器要素の電極を第1電気信号を用いて駆動する段階を含み、
前記MUTアレイの各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記MUTアレイの複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第1発振モードの個別の第1発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第1発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第1発振モードそれぞれが第1周波数帯域の第1共振周波数の個別の周波数に対応し、前記MUTアレイの各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第2発振モードの個別の第2発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第2発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第2発振モードそれぞれが第2周波数帯域の第2共振周波数の個別の周波数に対応し、前記複数の第1発振モード及び前記複数の第2発振モードが異なる個別の発振モードを含み、前記第2共振周波数の一又は二以上が前記第1共振周波数のいずれより大きく、前記第1電気信号が前記第1共振周波数帯域に関連する少なくとも第1発振モードを誘起し、
方法は、
前記第2共振周波数帯域に関連付けられた第2発振モードに対応する少なくとも1成分を含む第2電気信号を前記電極から受信する段階
を含むことを特徴とする方法。 - 前記駆動する段階は、前記第1周波数帯域及び前記第2周波数帯域の両方を誘起し、
前記第2電気信号は、前記第1及び第2周波数帯域の両方からの成分を含む、
ことを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記第1周波数帯域は、前記アレイの第1チャネル上に誘起され、前記第2周波数帯域は、該アレイの第2チャネル上に誘起され、
前記第1周波数帯域からの成分が、前記第1チャネルから収集され、前記第2周波数帯域からの該成分は、前記第2チャネルから収集される、
ことを特徴とする請求項19に記載の方法。 - 前記第1電気信号は、前記第2周波数帯域よりも前記第1周波数帯域を誘起するパルス幅及び形状を有し、
信号受信機が、前記第2周波数帯域に関連付けられた前記第2電気信号の成分を前記第1周波数帯域に関連付けられたものからフィルタリングする、
ことを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 圧電マイクロ機械加工超音波変換器(pMUT)アレイの周波数応答を最適化する方法であって、
1つ又はそれよりも多くの公称周波数応答を達成するよう複数のpMUT要素パターン化マスクレベル内の特徴部を公称寸法決定する段階と、
電極と変換器膜の圧電材料との間の接触面積を定める1つ又はそれよりも多くのマスクレベル内の特徴部の寸法を前記アレイの区域にわたって変更する段階と、
前記変更された寸法に関連付けられた測定応答から感度マトリックスを発生させる段階と、
複数の公称寸法決定されたpMUT要素パターン化マスク層を用いて前記アレイからターゲット応答を達成するように必要とされる電極と前記変換器膜の圧電材料との間の前記接触面積を決定する段階と、
を含み、
前記pMUTアレイの各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記pMUTアレイの前記複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第1発振モードの個別の第1発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第1発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第1発振モードそれぞれが第1周波数帯域の第1共振周波数の個別の周波数に対応し、前記pMUTアレイの各変換器要素について、前記変換器要素の膜は、前記複数の変換器要素の個別の膜によって、それぞれ、複数の第2発振モードの個別の第2発振モードに入るように寸法決定され、前記複数の第2発振モードそれぞれが個別のベッセル関数の解に対応し、前記複数の第2発振モードそれぞれが第2周波数帯域の第2共振周波数の個別の周波数に対応し、前記複数の第1発振モード及び前記複数の第2発振モードが異なる個別の発振モードを含み、前記第2共振周波数の一又は二以上が前記第1共振周波数のいずれより大きいことを特徴とする方法。 - 前記特徴部は、前記圧電材料と前記電極の間に配置された誘電体層内の窓であり、
前記1つ又はそれよりも多くのマスクレベルは、前記窓の臨界寸法(CD)を定める単一マスクレベルである、
ことを特徴とする請求項22に記載の方法。 - 前記窓CDは、前記pMUTアレイの異なるチャネルにわたって変更されることを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 各チャネルが、複数の公称膜寸法を含み、
1つの公称膜サイズのみの前記窓CDが、チャネル内で変更される、
ことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 複数の窓サイズを定める前記複数の公称寸法決定されたpMUT要素パターン化マスクレベルと前記単一マスクレベルとを用いて第1pMUTアレイを製作する段階を更に含むことを特徴とする請求項22に記載の方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9173047B2 (en) | 2008-09-18 | 2015-10-27 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
US9184369B2 (en) | 2008-09-18 | 2015-11-10 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Methods for manufacturing ultrasound transducers and other components |
WO2012112540A2 (en) | 2011-02-15 | 2012-08-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducers using micro-dome arrays |
US9454954B2 (en) * | 2012-05-01 | 2016-09-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ultra wide bandwidth transducer with dual electrode |
US8767512B2 (en) * | 2012-05-01 | 2014-07-01 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-frequency ultra wide bandwidth transducer |
US9660170B2 (en) | 2012-10-26 | 2017-05-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Micromachined ultrasonic transducer arrays with multiple harmonic modes |
JP5836537B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2015-12-24 | 富士フイルム株式会社 | ユニモルフ型超音波探触子 |
KR102077741B1 (ko) * | 2013-10-23 | 2020-02-14 | 삼성전자주식회사 | 초음파 변환기 및 이를 채용한 초음파 진단장치 |
US10107645B2 (en) | 2014-05-30 | 2018-10-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducer device with flexible substrate |
US10022751B2 (en) | 2014-05-30 | 2018-07-17 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducer device for configuring a sequence of operational modes |
US9789515B2 (en) | 2014-05-30 | 2017-10-17 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducer device with lens structures |
JP6424507B2 (ja) * | 2014-07-28 | 2018-11-21 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
EP3109650B1 (en) * | 2015-06-25 | 2020-04-01 | ABB Schweiz AG | Signal handling for inaccessibly located power equipment |
WO2017079435A1 (en) * | 2015-11-03 | 2017-05-11 | Nrg Systems, Inc. | Techniques for providing a broad-band ultrasonic transducer device using a plurality of narrow-band transducer arrays and a method of wildlife deterrence using same |
US10618079B2 (en) | 2016-02-29 | 2020-04-14 | Qualcomm Incorporated | Piezoelectric micromechanical ultrasonic transducers and transducer arrays |
US10109784B2 (en) * | 2016-03-01 | 2018-10-23 | Qualcomm Incorporated | Sensor device |
CN113714073B (zh) * | 2016-04-24 | 2023-03-28 | 弗洛设计声能学公司 | 用于产生声驻波的电子构型和控制 |
US11813639B2 (en) | 2016-05-03 | 2023-11-14 | Vanguard International Semiconductor Singapore Pte. Ltd. | Electrode arrangement for a pMUT and pMUT transducer array |
US10325915B2 (en) | 2016-05-04 | 2019-06-18 | Invensense, Inc. | Two-dimensional array of CMOS control elements |
US10670716B2 (en) | 2016-05-04 | 2020-06-02 | Invensense, Inc. | Operating a two-dimensional array of ultrasonic transducers |
US10445547B2 (en) | 2016-05-04 | 2019-10-15 | Invensense, Inc. | Device mountable packaging of ultrasonic transducers |
US10656255B2 (en) | 2016-05-04 | 2020-05-19 | Invensense, Inc. | Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) |
US10315222B2 (en) | 2016-05-04 | 2019-06-11 | Invensense, Inc. | Two-dimensional array of CMOS control elements |
US10539539B2 (en) | 2016-05-10 | 2020-01-21 | Invensense, Inc. | Operation of an ultrasonic sensor |
US10600403B2 (en) | 2016-05-10 | 2020-03-24 | Invensense, Inc. | Transmit operation of an ultrasonic sensor |
US10706835B2 (en) | 2016-05-10 | 2020-07-07 | Invensense, Inc. | Transmit beamforming of a two-dimensional array of ultrasonic transducers |
US10452887B2 (en) | 2016-05-10 | 2019-10-22 | Invensense, Inc. | Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers |
US11673165B2 (en) | 2016-05-10 | 2023-06-13 | Invensense, Inc. | Ultrasonic transducer operable in a surface acoustic wave (SAW) mode |
US10408797B2 (en) | 2016-05-10 | 2019-09-10 | Invensense, Inc. | Sensing device with a temperature sensor |
US10441975B2 (en) | 2016-05-10 | 2019-10-15 | Invensense, Inc. | Supplemental sensor modes and systems for ultrasonic transducers |
US10562070B2 (en) * | 2016-05-10 | 2020-02-18 | Invensense, Inc. | Receive operation of an ultrasonic sensor |
US10632500B2 (en) | 2016-05-10 | 2020-04-28 | Invensense, Inc. | Ultrasonic transducer with a non-uniform membrane |
WO2017200490A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Agency For Science, Technology And Research | Window with noise management and related methods |
US11712221B2 (en) | 2016-06-20 | 2023-08-01 | Bfly Operations, Inc. | Universal ultrasound device and related apparatus and methods |
US10856840B2 (en) | 2016-06-20 | 2020-12-08 | Butterfly Network, Inc. | Universal ultrasound device and related apparatus and methods |
US10618078B2 (en) * | 2016-07-18 | 2020-04-14 | Kolo Medical, Ltd. | Bias control for capacitive micromachined ultrasonic transducers |
GB2557367A (en) * | 2016-11-29 | 2018-06-20 | Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd | Mems device |
US9900707B1 (en) | 2016-11-29 | 2018-02-20 | Cirrus Logic, Inc. | Biasing of electromechanical systems microphone with alternating-current voltage waveform |
US11039814B2 (en) * | 2016-12-04 | 2021-06-22 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transducers |
CN106865483A (zh) * | 2017-01-06 | 2017-06-20 | 中北大学 | 医用微电容超声换能器面阵探头及其制备方法 |
CN106862045A (zh) * | 2017-01-06 | 2017-06-20 | 中北大学 | 收发性能平衡的微机电超声换能器面阵探头及其制备方法 |
CN106744642A (zh) * | 2017-01-06 | 2017-05-31 | 中北大学 | 收发平衡的宽频带混合式超声换能器面阵探头及制备方法 |
JP6801469B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2020-12-16 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波診断装置 |
US10891461B2 (en) | 2017-05-22 | 2021-01-12 | Invensense, Inc. | Live fingerprint detection utilizing an integrated ultrasound and infrared sensor |
US10474862B2 (en) | 2017-06-01 | 2019-11-12 | Invensense, Inc. | Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers |
US10643052B2 (en) | 2017-06-28 | 2020-05-05 | Invensense, Inc. | Image generation in an electronic device using ultrasonic transducers |
EP3424602A1 (en) * | 2017-07-04 | 2019-01-09 | Koninklijke Philips N.V. | Ultrasound interface element and method |
JP2019016912A (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-31 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波トランスデューサーアレイ、超音波探触子および超音波診断装置 |
GB2565375A (en) * | 2017-08-11 | 2019-02-13 | Cirrus Logic Int Semiconductor Ltd | MEMS devices and processes |
KR102475893B1 (ko) * | 2017-09-19 | 2022-12-08 | 삼성전자주식회사 | 음향/진동 스펙트럼 분석 소자 및 주파수 정보 획득 및 분석 방법 |
JP6685982B2 (ja) * | 2017-09-20 | 2020-04-22 | 株式会社東芝 | トランスデューサおよび検査装置 |
JP6933082B2 (ja) * | 2017-10-19 | 2021-09-08 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波トランスデューサーおよび超音波診断装置 |
WO2019109010A1 (en) | 2017-12-01 | 2019-06-06 | Invensense, Inc. | Darkfield tracking |
US10984209B2 (en) | 2017-12-01 | 2021-04-20 | Invensense, Inc. | Darkfield modeling |
US10997388B2 (en) | 2017-12-01 | 2021-05-04 | Invensense, Inc. | Darkfield contamination detection |
US11938515B2 (en) | 2017-12-22 | 2024-03-26 | Invensense, Inc. | Method for tuning the resonant frequency of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer |
US11151355B2 (en) | 2018-01-24 | 2021-10-19 | Invensense, Inc. | Generation of an estimated fingerprint |
US11444556B1 (en) * | 2018-03-01 | 2022-09-13 | John M. Leslie | Piezoelectric electric energy generating device |
US10755067B2 (en) | 2018-03-22 | 2020-08-25 | Invensense, Inc. | Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers |
US10656007B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-19 | Exo Imaging Inc. | Asymmetrical ultrasound transducer array |
US10648852B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-12 | Exo Imaging Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers |
SE541717C2 (en) * | 2018-04-27 | 2019-12-03 | Myvox Ab | A device, system and method for generating an acoustic-potential field of ultrasonic waves |
CN108955736B (zh) * | 2018-05-30 | 2020-03-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种超声波传感器及其制作方法、显示装置 |
CN109088601B (zh) * | 2018-07-10 | 2020-05-26 | 复旦大学 | 基于超材料的单向声学混频器 |
WO2020060664A1 (en) * | 2018-09-17 | 2020-03-26 | Rutgers, The State University Of New Jersey | Electroosmotic high fidelity acoustic transducer |
WO2020068473A1 (en) | 2018-09-25 | 2020-04-02 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices with selectively alterable characteristics |
DE102018126387A1 (de) | 2018-10-23 | 2020-04-23 | Tdk Electronics Ag | Schallwandler und Verfahren zum Betrieb des Schallwandlers |
CN109490415A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-03-19 | 南京江淳机电装备科技有限公司 | 一种多频率切换的多通道并行激励与采集的管道检测系统 |
KR102135125B1 (ko) * | 2018-12-03 | 2020-07-17 | 재단법인 대구경북과학기술원 | 세포 자극 장치, 초음파 및 전기 자극 장치 |
US10936843B2 (en) | 2018-12-28 | 2021-03-02 | Invensense, Inc. | Segmented image acquisition |
CN109752464A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-14 | 中国计量大学 | 一种高次谐波收发分置式超声波探头 |
KR102357266B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2022-02-03 | (주)무티 | 마이크로머시닝된 초음파 트랜스듀서 어레이를 포함하는 초음파 테라피 장치 |
JP6961638B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2021-11-05 | 株式会社東芝 | センサモジュール |
US20200357849A1 (en) * | 2019-05-07 | 2020-11-12 | Fox Enterprises, Inc. | Monolithic composite resonator devices with intrinsic mode control |
US11188735B2 (en) | 2019-06-24 | 2021-11-30 | Invensense, Inc. | Fake finger detection using ridge features |
WO2020264046A1 (en) | 2019-06-25 | 2020-12-30 | Invensense, Inc. | Fake finger detection based on transient features |
US11216632B2 (en) | 2019-07-17 | 2022-01-04 | Invensense, Inc. | Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness |
US11176345B2 (en) | 2019-07-17 | 2021-11-16 | Invensense, Inc. | Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness |
CN110560352B (zh) * | 2019-08-15 | 2021-04-02 | 武汉大学 | 基于Helmholtz共振腔的可调频超声传感器阵列 |
US11232549B2 (en) | 2019-08-23 | 2022-01-25 | Invensense, Inc. | Adapting a quality threshold for a fingerprint image |
EP4029068A4 (en) | 2019-09-12 | 2023-12-13 | Exo Imaging Inc. | IMPROVING MUT'S COUPLING EFFICIENCY AND BANDWIDTH VIA AN EDGE GROOVE, VIRTUAL PIVOTS AND FREE BOUNDARIES |
CN110743769B (zh) * | 2019-09-29 | 2021-06-08 | 杭州电子科技大学 | 基于三角形网格布局的多频带mems超声换能器阵列 |
US11392789B2 (en) | 2019-10-21 | 2022-07-19 | Invensense, Inc. | Fingerprint authentication using a synthetic enrollment image |
KR102241711B1 (ko) * | 2019-11-11 | 2021-04-20 | 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 | 초음파 트랜스듀서의 커버 유닛 |
CN110944274B (zh) * | 2019-11-20 | 2020-12-18 | 武汉大学 | 一种基于Piston-mode的带质量负载可调谐MEMS压电声换能器 |
US11701688B2 (en) * | 2019-12-02 | 2023-07-18 | GE Precision Healthcare LLC | Methods and systems for multi-frequency transducer array fabrication |
US11819880B2 (en) * | 2019-12-02 | 2023-11-21 | GE Precision Healthcare LLC | Methods and systems for a multi-frequency transducer array |
CA3135281C (en) | 2020-03-05 | 2022-03-01 | Exo Imaging, Inc. | Ultrasonic imaging device with programmable anatomy and flow imaging |
WO2021183457A1 (en) | 2020-03-09 | 2021-09-16 | Invensense, Inc. | Ultrasonic fingerprint sensor with a contact layer of non-uniform thickness |
US11243300B2 (en) | 2020-03-10 | 2022-02-08 | Invensense, Inc. | Operating a fingerprint sensor comprised of ultrasonic transducers and a presence sensor |
US11328165B2 (en) | 2020-04-24 | 2022-05-10 | Invensense, Inc. | Pressure-based activation of fingerprint spoof detection |
WO2021237043A1 (en) * | 2020-05-22 | 2021-11-25 | Bfly Operations, Inc. | Ultrasonic transducer array having varying cavity diameter profile |
US11995909B2 (en) | 2020-07-17 | 2024-05-28 | Tdk Corporation | Multipath reflection correction |
KR20220062161A (ko) * | 2020-11-06 | 2022-05-16 | ㈜에이치엠이스퀘어 | 광음향 진단 장치 및 방법 |
FR3116630B1 (fr) * | 2020-11-26 | 2023-06-02 | Commissariat A L’Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Interface haptique |
US11819881B2 (en) | 2021-03-31 | 2023-11-21 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
US11951512B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-04-09 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
KR102659314B1 (ko) * | 2022-03-31 | 2024-04-22 | ㈜에이치엠이스퀘어 | 광음향 진단 장치 |
TWI814403B (zh) * | 2022-05-26 | 2023-09-01 | 佳世達科技股份有限公司 | 超聲波換能器 |
CN118041279A (zh) * | 2022-11-03 | 2024-05-14 | 广州乐仪投资有限公司 | 具有质量块的pmut结构及包含其的电子设备 |
CN115598647A (zh) * | 2022-12-13 | 2023-01-13 | 三微电子科技(苏州)有限公司(Cn) | 一种薄膜压电声压传感器和探测成像装置 |
CN115971020A (zh) * | 2023-01-17 | 2023-04-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 超声换能器及其制作方法以及超声换能系统 |
Family Cites Families (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4398116A (en) | 1981-04-30 | 1983-08-09 | Siemens Gammasonics, Inc. | Transducer for electronic focal scanning in an ultrasound imaging device |
US4725994A (en) | 1984-06-14 | 1988-02-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic transducer with a multiple-folded piezoelectric polymer film |
JPH03141936A (ja) | 1989-10-30 | 1991-06-17 | Fujitsu Ltd | 超音波探触子 |
JPH08124208A (ja) | 1994-10-18 | 1996-05-17 | Pioneer Electron Corp | ディスクプレーヤ |
US5969621A (en) | 1997-04-30 | 1999-10-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Apparatus for establishing and/or monitoring a predetermined filling level in a container |
US6262946B1 (en) * | 1999-09-29 | 2001-07-17 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays with reduced cross-coupling |
US20020115198A1 (en) | 2000-09-20 | 2002-08-22 | Nerenberg Michael I. | Microfabricated ultrasound array for use as resonant sensors |
US6771006B2 (en) | 2002-01-18 | 2004-08-03 | Pegasus Technologies Ltd. | Cylindrical ultrasound transceivers |
US6958255B2 (en) | 2002-08-08 | 2005-10-25 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Micromachined ultrasonic transducers and method of fabrication |
US20040190377A1 (en) | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Lewandowski Robert Stephen | Method and means for isolating elements of a sensor array |
US7353056B2 (en) * | 2003-03-06 | 2008-04-01 | General Electric Company | Optimized switching configurations for reconfigurable arrays of sensor elements |
US6865140B2 (en) | 2003-03-06 | 2005-03-08 | General Electric Company | Mosaic arrays using micromachined ultrasound transducers |
JP2007523738A (ja) | 2003-11-05 | 2007-08-23 | ザ・クレスト・グループ・インク | 複数の応答周波数を持つトランスデューサを用いた超音波処理方法および超音波処理装置 |
US7646133B2 (en) | 2004-02-27 | 2010-01-12 | Georgia Tech Research Corporation | Asymmetric membrane cMUT devices and fabrication methods |
JP4347885B2 (ja) | 2004-06-03 | 2009-10-21 | オリンパス株式会社 | 静電容量型超音波振動子の製造方法、当該製造方法によって製造された静電容量型超音波振動子を備えた超音波内視鏡装置、静電容量型超音波プローブおよび静電容量型超音波振動子 |
JP5275565B2 (ja) | 2004-06-07 | 2013-08-28 | オリンパス株式会社 | 静電容量型超音波トランスデューサ |
JP4575372B2 (ja) | 2004-06-10 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 静電容量型超音波プローブ装置 |
JP4632728B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2011-02-16 | 株式会社東芝 | 超音波プローブおよび超音波画像診断装置 |
US8182428B2 (en) | 2005-07-26 | 2012-05-22 | Surf Technology As | Dual frequency band ultrasound transducer arrays |
LT1912749T (lt) | 2005-07-26 | 2021-10-25 | Surf Technology As | Dvigubos dažnių juostos ultragarso daviklio matricos |
DE602005006419T2 (de) | 2005-09-14 | 2008-09-25 | Esaote S.P.A. | Elektroakustischer Wandler für Hochfrequenzanwendungen |
JP4740770B2 (ja) * | 2006-03-02 | 2011-08-03 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子及び超音波撮像装置 |
EP1950997B1 (en) | 2005-10-18 | 2019-10-09 | Hitachi, Ltd. | Ultrasonic probe |
US8456958B2 (en) | 2006-02-21 | 2013-06-04 | Vermon S.A. | Capacitive micro-machined ultrasonic transducer for element transducer apertures |
JP4839099B2 (ja) | 2006-03-03 | 2011-12-14 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | マイクロマシンプロセスにより製造された超音波振動子、超音波振動子装置、その体腔内超音波診断装置、及びその制御方法 |
KR100781467B1 (ko) * | 2006-07-13 | 2007-12-03 | 학교법인 포항공과대학교 | 공기중 파라메트릭 트랜스미팅 어레이를 이용한 초지향성초음파 거리측정을 위한 멤스 기반의 다공진 초음파트랜스듀서 |
US7652410B2 (en) | 2006-08-01 | 2010-01-26 | Insightec Ltd | Ultrasound transducer with non-uniform elements |
AU2006350241B2 (en) | 2006-11-03 | 2013-01-31 | Research Triangle Institute | Enhanced ultrasound imaging probes using flexure mode piezoelectric transducers |
US7687976B2 (en) | 2007-01-31 | 2010-03-30 | General Electric Company | Ultrasound imaging system |
US8540640B2 (en) | 2007-03-20 | 2013-09-24 | Hitachi Medical Corporation | Ultrasonic probe and method for manufacturing the same and ultrasonic diagnostic device |
KR20100057596A (ko) | 2007-07-03 | 2010-05-31 | 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 존재 검출을 위한 박막 검출기 |
JP5061769B2 (ja) | 2007-07-24 | 2012-10-31 | パナソニック株式会社 | 面状発熱体 |
EP2207484B1 (en) | 2007-09-17 | 2016-11-09 | Koninklijke Philips N.V. | Production of pre-collapsed capacitive micro-machined ultrasonic transducers and applications thereof |
JP5337813B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2013-11-06 | コロ テクノロジーズ インコーポレイテッド | デュアルモード動作マイクロマシン超音波トランスデューサ |
EP2231019B1 (en) | 2007-12-10 | 2014-10-22 | Stc.Unm | Photoacoustic imaging devices and methods of imaging |
DE102007063470A1 (de) | 2007-12-20 | 2009-07-02 | IFW - Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. | Wandler, Resonator und Filter für akustische Oberflächenwellen |
US7625268B2 (en) | 2007-12-24 | 2009-12-01 | Earl Durjan | Fish cleaning apparatus |
JP5438983B2 (ja) | 2008-02-08 | 2014-03-12 | 株式会社東芝 | 超音波プローブ及び超音波診断装置 |
WO2009104389A1 (ja) | 2008-02-20 | 2009-08-27 | オムロン株式会社 | 静電容量型振動センサ |
US7902722B2 (en) | 2008-04-03 | 2011-03-08 | Dvx, Llc | Transducer apparatus for intravascular blood flow measurement |
JP4594995B2 (ja) | 2008-04-16 | 2010-12-08 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波トランスデューサ及び電子機器 |
JP2009260723A (ja) | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | トランスデューサ |
FR2938918B1 (fr) | 2008-11-21 | 2011-02-11 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif d'analyse acoustique de microporosites dans un materiau tel que le beton a l'aide d'une pluralite de transducteurs cmuts incorpores dans le materiau |
JP5293557B2 (ja) | 2008-12-17 | 2013-09-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、超音波トランスデューサーアレイ及び超音波デバイス |
US8431420B2 (en) | 2009-01-16 | 2013-04-30 | Hitachi Medical Corporation | Manufacturing method of ultrasonic probe and ultrasonic probe |
JP5578810B2 (ja) | 2009-06-19 | 2014-08-27 | キヤノン株式会社 | 静電容量型の電気機械変換装置 |
CN101583062A (zh) | 2009-06-26 | 2009-11-18 | 电子科技大学 | 阵列式微型声频定向换能器 |
US9327316B2 (en) | 2009-06-30 | 2016-05-03 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Multi-frequency acoustic array |
KR101593994B1 (ko) | 2009-09-04 | 2016-02-16 | 삼성전자주식회사 | 고출력 초음파 트랜스듀서 |
JP2011071842A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | 超音波プローブ、および超音波トランスデューサアレイの製造方法 |
JP2011076725A (ja) | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Fujifilm Corp | 圧電型mems素子およびその製造方法 |
WO2011094393A1 (en) | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Research Triangle Institute | Methods for forming piezoelectric ultrasonic transducers, and associated apparatuses |
JP5588745B2 (ja) | 2010-05-27 | 2014-09-10 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン |
WO2012014111A2 (en) | 2010-07-30 | 2012-02-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Thin film ultrasound transducer |
JP5872163B2 (ja) | 2011-01-07 | 2016-03-01 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ、および該音響トランスデューサを利用したマイクロフォン |
KR20120080882A (ko) | 2011-01-10 | 2012-07-18 | 삼성전자주식회사 | 음향 변환기 및 그 구동방법 |
WO2012112540A2 (en) | 2011-02-15 | 2012-08-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducers using micro-dome arrays |
CN201993187U (zh) | 2011-03-07 | 2011-09-28 | 合肥工业大学 | 多功能柔性触觉传感器 |
CN102305627B (zh) | 2011-07-22 | 2013-02-27 | 上海交通大学 | 具有圆盘状压电振子的全固态双轴陀螺仪 |
US9061320B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-06-23 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ultra wide bandwidth piezoelectric transducer arrays |
US9454954B2 (en) | 2012-05-01 | 2016-09-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Ultra wide bandwidth transducer with dual electrode |
US8767512B2 (en) | 2012-05-01 | 2014-07-01 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-frequency ultra wide bandwidth transducer |
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