JP6685982B2 - トランスデューサおよび検査装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、トランスデューサおよび検査装置に関する。
トランスデューサは、例えば、音波を電気信号に変換する。トランスデューサを用いたセンサが、紙葉類（例えば紙幣）の判別（検査など）に用いられる。トランスデューサの分解能は、高いことが望ましい。
特許第５１７８５９９号
本発明の実施形態は、分解能を向上できるトランスデューサおよび検査装置を提供する。
実施形態に係るトランスデューサは、複数の第１構造部と、複数の第２構造部と、複数の第１支持部と、複数の第２支持部と、を含む。前記複数の第１構造部は、第１方向において互いに離れる。前記複数の第１構造部のそれぞれは、第１膜部と、第１圧電部と、第１導電部と、第１電極と、を含む。前記第１導電部は、前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１膜部の少なくとも一部と前記第１圧電部との間に設けられる。前記第１圧電部の少なくとも一部は、前記第２方向において、前記第１導電部の少なくとも一部と前記第１電極との間に位置する。前記複数の第１構造部のそれぞれの一部は、固定される。前記複数の第２構造部は、前記第１方向において互いに離れる。前記複数の第２構造部のそれぞれは、第２膜部と、第２圧電部と、第２導電部と、第２電極と、を含む。前記第２導電部は、前記第２方向において、前記第２膜部の少なくとも一部と前記第２圧電部との間に設けられる。前記第２圧電部の少なくとも一部は、前記第２方向において、前記第２導電部の少なくとも一部と前記第２電極との間に位置する。前記複数の第２構造部のそれぞれの一部は、固定される。前記複数の第２構造部は、前記第１方向において、前記複数の第１構造部から離れる。前記複数の第２構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第１構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い。前記複数の第１支持部から前記複数の第１構造部に向かう方向は、前記第２方向に沿う。前記複数の第２支持部から前記複数の第２構造部に向かう方向は、前記第２方向に沿う。前記複数の第１構造部の１つは、前記第２方向において前記複数の第１支持部の１つと重ならない第１領域と、前記第２方向において前記複数の第１支持部の前記１つと重なる第１重複領域と、を含む。前記複数の第２構造部の１つは、前記第２方向において前記複数の第２支持部の１つと重ならない第２領域と、前記第２方向において前記複数の第２支持部の前記１つと重なる第２重複領域と、を含む。前記第２領域の前記第１方向に沿う長さは、前記第１領域の前記第１方向に沿う長さよりも短い。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るトランスデューサを例示する模式図である。 図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式図である。 図３（ａ）および図３（ｂ）は、第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第２実施形態に係るトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第２実施形態に係るトランスデューサを例示する模式的断面図である。 図８（ａ）および図８（ｂ）は、第２実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第２実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。 第３実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。 第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。 第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。 第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的断面図である。 図１４（ａ）および図１４（ｂ）は、第３実施形態に係る別の検査装置を例示する模式的平面図である。 第３実施形態に係る別の検査装置を例示する模式的平面図である。
以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るトランスデューサを例示する模式図である。
図１（ａ）は、図１（ｂ）の矢印ＡＲ１から見た平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ１−Ａ１’線断面図である。
図１（ａ）および図１（ｂ）に表したように、トランスデューサ１１０は、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２を含む。
複数の第１構造部１は、第１方向Ｄ１において互いに離れている。複数の第２構造部２は、第１方向Ｄ１において互いに離れている。複数の第２構造部２は、第１方向Ｄ１において、複数の第１構造部１から離れている。
第１方向Ｄ１は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に表したＸ方向に沿う。第１方向Ｄ１と交差する方向を第２方向Ｄ２とする。第２方向Ｄ２は、例えば、図１に表したＺ方向に沿う。第１方向Ｄ１および第２方向Ｄ２を含む面と交差する方向を第３方向Ｄ３とする。第３方向Ｄ３は、例えば、図１に表したＹ方向に沿う。
以下では、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、および第３方向Ｄ３が、それぞれ、Ｘ方向、Ｚ方向、およびＹ方向に沿う場合を説明する。
複数の第１構造部１および複数の第２構造部２は、例えば、Ｘ方向に沿って並ぶ。複数の第２構造部２から複数の第１構造部１に向かう方向は、例えば、Ｘ方向に沿う。
複数の第１構造部１のそれぞれは、第１膜部１１、第１導電部２１、第１圧電部３１、および第１電極４１を含む。図１に表した例では、複数の第１構造部１のそれぞれは、第１対向導電部５１をさらに含む。
第１膜部１１は、Ｚ方向において、第１導電部２１と第１対向導電部５１との間に設けられる。第１導電部２１は、Ｚ方向において、第１膜部１１と第１圧電部３１との間に設けられる。第１圧電部３１の一部は、Ｚ方向において、第１導電部２１の一部と第１電極４１との間に設けられる。
複数の第２構造部２のそれぞれは、第２膜部１２、第２導電部２２、第２圧電部３２、および第２電極４２を含む。図１に表した例では、複数の第２構造部２のそれぞれは、第２対向導電部５２をさらに含む。
第２膜部１２は、Ｚ方向において、第２導電部２２と第２対向導電部５２との間に設けられる。第２導電部２２は、Ｚ方向において、第２膜部１２と第２圧電部３２との間に設けられる。第２圧電部３２の一部は、Ｚ方向において、第２導電部２２の一部と第２電極４２との間に設けられる。第２圧電部３２の厚さ（Ｚ方向における長さ）は、例えば、第１圧電部３１の厚さと同じである。
複数の第１構造部１のそれぞれの一部および複数の第２構造部２のそれぞれの一部は、固定される。例えば、トランスデューサ１１０は、図１に表したように、複数の第１支持部６１および複数の第２支持部６２をさらに含む。複数の第１支持部６１から複数の第１構造部１に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。複数の第２支持部６２から複数の第２構造部２に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。第１構造部１の一部は、Ｚ方向において、第１支持部６１と重なる。第２構造部２の一部は、Ｚ方向において、第２支持部６２と重なる。
図１（ａ）に表したように、複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチＰ２ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。
ピッチＰ１ａは、例えば、複数の第１電極４１の１つのＸ方向における中心と、複数の第１電極４１の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向に沿う距離と同じである。複数の第１電極４１の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第１電極４１の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ２ａは、例えば、複数の第２電極４２の１つのＸ方向における中心と、複数の第２電極４２の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向における距離と同じである。複数の第２電極４２の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第２電極４２の上記１つの隣りに位置する。
トランスデューサは、例えば、紙（例えば紙幣）の検査に用いることができる。トランスデューサは、例えば、紙を透過した音波を受信し、電気信号に変換する。紙の一部にテープが貼られて補修される場合がある。紙のテープが貼られた上記一部を透過する音波は、紙の別の部分を透過する音波よりも減衰する。トランスデューサを用いて紙を透過した音波を検出し、紙にテープ等の異物が付着していないかを検査することができる。紙の端部では、紙の中央に比べて、検査の精度が低いことが多い。これは、例えば、音波が紙を透過せずに、紙を回り込んでトランスデューサに入射することなどに基づく。
第１実施形態に係るトランスデューサ１１０によれば、複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチＰ２ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。これにより、複数の第２構造部２における分解能を向上させることができる。例えば、複数の第２構造部２で、紙のＸ方向における端部付近を検査する。これにより、紙に付着した異物をより高精度に検出できる。
第１実施形態に係るトランスデューサ１１０では、ピッチＰ１ａは、ピッチＰ２ａよりも長い。これにより、複数の第１構造部１に接続される配線数を減らすことができる。この結果、例えば、トランスデューサ１１０を含む検査装置の構造を簡易化することができる。例えば、トランスデューサ１１０を含む検査装置の処理速度を向上させることができる。
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、第１実施形態に係るトランスデューサを例示する模式図である。
図２（ａ）は、図２（ｂ）の矢印ＡＲ２から見た平面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ２−Ａ２’線断面図である。
図２（ａ）および図２（ｂ）に表したトランスデューサ１２０では、第１構造部１は、第１領域１ａおよび第１重複領域１ｏを含む。第１領域１ａは、Ｚ方向において、第１支持部６１と重なっていない。第１重複領域１ｏは、Ｚ方向において、第１支持部６１と重なっている。第１領域１ａから第１重複領域１ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
第２構造部２は、第２領域２ａおよび第２重複領域２ｏを含む。第２領域２ａは、Ｚ方向において、第２支持部６２と重なっていない。第２重複領域２ｏは、Ｚ方向において、第２支持部６２と重なっている。第２領域２ａから第２重複領域２ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
図２（ａ）に表したように、第２領域２ａのＸ方向に沿う長さＬ２ａは、第１領域１ａのＸ方向に沿う長さＬ１ａよりも短い。第２領域２ａのＹ方向に沿う長さＬ２ｂは、第１領域１ａのＹ方向に沿う長さＬ１ｂよりも短い。複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチＰ２ａは、例えば、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。
このトランスデューサ１２０によれば、例えば、複数の第２構造部２における分解能をさらに向上させることができる。
図３（ａ）および図３（ｂ）は、第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図３（ａ）に表したトランスデューサ１３０では、複数の第２構造部２は、さらに、Ｙ方向において、複数の第１構造部１から離れている。
図３（ｂ）に表したトランスデューサ１４０では、複数の第１構造部１は、Ｘ方向およびＺ方向を含む面と交差する第４方向に沿って並ぶ。複数の第２構造部２は、Ｘ方向およびＺ方向を含む面と交差する第５方向に沿って並ぶ。第５方向は、例えば、第４方向と異なる。第５方向は、第４方向と同じでも良い。第４方向および第５方向は、Ｘ方向およびＹ方向を含む面に沿う。第４方向および第５方向は、例えば、それぞれ、図３（ｂ）に表した、方向Ｄ４および方向Ｄ５に沿う。
トランスデューサ１３０および１４０において、複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチＰ２ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。
図４は、第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図４に表したトランスデューサ１７０では、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２は、Ｘ方向およびＹ方向に沿って並ぶ。複数の第２構造部２のＹ方向の沿うピッチＰ２ｂは、複数の第１構造部１のＹ方向の沿うピッチＰ１ｂよりも短い。
ピッチＰ１ｂは、例えば、複数の第１電極４１の１つのＹ方向における中心と、複数の第１電極４１の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第１電極４１の上記別の１つは、Ｙ方向において、複数の第１電極４１の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ２ｂは、例えば、複数の第２電極４２の１つのＹ方向における中心と、複数の第２電極４２の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第２電極４２の上記別の１つは、Ｙ方向において、複数の第２電極４２の上記１つの隣りに位置する。
図５は、第１実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図５に表したトランスデューサ１８０では、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２は、Ｘ方向および第４方向に沿って並ぶ。第４方向は、Ｘ方向およびＹ方向と交差し、Ｘ方向およびＹ方向を含む面に沿う。第４方向は、例えば、図５に表した方向Ｄ４に沿う。
複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチＰ２ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。複数の第２構造部２のＹ方向に沿うピッチＰ２ｂは、複数の第１構造部１のＹ方向に沿うピッチＰ１ｂよりも短い。
ピッチＰ１ｂは、例えば、複数の第１電極４１の１つのＹ方向における中心と、複数の第１電極４１の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第１電極４１の上記別の１つは、第４方向において、複数の第１電極４１の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ２ｂは、例えば、複数の第２電極４２の１つのＹ方向における中心と、複数の第２電極４２の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第２電極４２の上記別の１つは、第４方向において、複数の第２電極４２の上記１つの隣りに位置する。
図６は、第２実施形態に係るトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図７は、第２実施形態に係るトランスデューサを例示する模式的断面図である。
図６は、図７の矢印ＡＲ７から見た平面図である。図７は、図６のＡ８−Ａ８’線断面図である。
図６および図７に表したトランスデューサ２１０は、複数の第３構造部３をさらに含む。複数の第３構造部３は、Ｘ方向において互いに離れている。複数の第３構造部３は、Ｘ方向において、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２から離れている。複数の第１構造部１の１つのＸ方向上の位置は、複数の第２構造部２の１つのＸ方向上の位置と、複数の第３構造部３の１つのＸ方向上の位置と、の間にある。
複数の第１構造部１から複数の第３構造部３に向かう方向は、例えば、Ｘ方向に沿う。
複数の第３構造部３は、さらに、Ｙ方向において、複数の第１構造部１から離れていても良い。
複数の第３構造部３のそれぞれは、第３膜部１３、第３導電部２３、第３圧電部３３、および第３電極４３を含む。図７に表した例では、複数の第３構造部３のそれぞれは、第３対向導電部５３をさらに含む。
第３膜部１３は、Ｚ方向において、第３導電部２３と第３対向導電部５３との間に設けられる。第３導電部２３は、Ｚ方向において、第３膜部１３と第３圧電部３３との間に設けられる。第３圧電部３３の一部は、Ｚ方向において、第３導電部２３の一部と第３電極４３との間に設けられる。第３圧電部３３の厚さは、例えば、第１圧電部３１の厚さと同じである。
複数の第３構造部３のそれぞれの一部は、固定される。例えば、トランスデューサ２１０は、図６および図７に表したように、複数の第３支持部６３をさらに含む。複数の第３支持部６３から複数の第３構造部３に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。第３圧電部３３の一部は、Ｚ方向において第３支持部６３と重なる。
図６に表したように、複数の第３構造部３のＸ方向に沿うピッチＰ３ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。ピッチＰ３ａは、例えば、複数の第３電極４３の１つのＸ方向における中心と、複数の第３電極４３の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向に沿う距離と同じである。複数の第３電極４３の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第３電極４３の上記１つの隣りに位置する。
このトランスデューサ２１０によれば、例えば、複数の第３構造部３における分解能を向上させることができる。
図８（ａ）および図８（ｂ）は、第２実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図８（ａ）および図８（ｂ）に表したトランスデューサ２２０では、第３構造部３は、第３領域３ａおよび第３重複領域３ｏを含む。第３領域３ａは、Ｚ方向において、第３支持部６３と重なっていない。第３重複領域３ｏは、Ｚ方向において、第３支持部６３と重なる。第３領域３ａから第３重複領域３ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
図２（ａ）および図２（ｂ）に表したトランスデューサ１２０と同様に、第１構造部１は、第１領域１ａおよび第１重複領域１ｏを含む。第２構造部２は、第２領域２ａおよび第２重複領域２ｏを含む。
第３領域３ａのＸ方向に沿う長さＬ３ａは、第１領域１ａのＸ方向に沿う長さＬ１ａよりも短い。第３領域３ａのＹ方向に沿う長さＬ３ｂは、第１領域１ａのＹ方向に沿う長さＬ１ｂよりも短い。
このトランスデューサ２２０によれば、複数の第３構造部３における分解能をさらに向上させることができる。
図９は、第２実施形態に係る別のトランスデューサを例示する模式的平面図である。
図９に表したトランスデューサ２３０では、複数の第１構造部１、複数の第２構造部２、および複数の第３構造部３は、Ｘ方向および第４方向に沿って並ぶ。第４方向は、Ｘ方向およびＹ方向と交差し、Ｘ方向およびＹ方向を含む面に沿う。第４方向は、例えば、図５に表した方向Ｄ４に沿う。
複数の第３構造部３のＸ方向に沿うピッチＰ３ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。複数の第３構造部３のＹ方向に沿うピッチＰ３ｂは、複数の第１構造部１のＹ方向に沿うピッチＰ１ｂよりも短い。
ピッチＰ３ｂは、例えば、複数の第３電極４３の１つのＹ方向における中心と、複数の第３電極４３の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向における距離と同じである。複数の第３電極４３の上記別の１つは、第４方向において、複数の第３電極４３の上記１つの隣に位置する。
トランスデューサ２３０において、複数の第３構造部３は、図４に表したトランスデューサ１７０における複数の第２構造部２と同様に、Ｘ方向およびＹ方向に沿って並んでいても良い。この場合、複数の第３構造部３のＹ方向に沿うピッチは、複数の第１構造部１のＹ方向に沿うピッチよりも短い。
図１０は、第３実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図１１は、第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。
図１２は、第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的平面図である。図１２は、図１３の矢印ＡＲ１３から見た平面図である。
図１３は、第３実施形態に係る検査装置を例示する模式的断面図である。図１３は、図１２のＡ１４−Ａ１４’線断面図である。
図１０に表した検査装置３００は、第１トランスデューサ３１０、第２トランスデューサ３２０、および搬送部３３０を含む。第２トランスデューサ３２０は、Ｚ方向において、第１トランスデューサ３１０から離れている。搬送部３３０の一部は、Ｚ方向において、第１トランスデューサ３１０と第２トランスデューサ３２０との間に設けられる。第１トランスデューサ３１０から第２トランスデューサ３２０に向かう方向は、Ｘ方向およびＺ方向と交差し、Ｘ方向およびＺ方向を含む面に沿っていても良い。
第１トランスデューサ３１０は、図１１に表したように、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２を含む。第１トランスデューサ３１０における複数の第１構造部１および複数の第２構造部２の構造は、例えば、第１実施形態に係るいずれかのトランスデューサにおける複数の第１構造部１および複数の第２構造部２の構造と同様である。
図１１に表した例では、第１トランスデューサ３１０は、さらに、複数の第３構造部３を含む。第１トランスデューサ３１０における、複数の第１構造部１、複数の第２構造部２、および複数の第３構造部３の構造は、例えば、第２実施形態に係るいずれかのトランスデューサにおける、複数の第１構造部１、複数の第２構造部２、および複数の第３構造部３の構造と同様である。
第２トランスデューサ３２０は、例えば図１２に表したように、複数の第４構造部４および複数の第５構造部５を含む。複数の第４構造部４は、Ｘ方向において互いに離れている。複数の第５構造部５は、Ｘ方向において互いに離れている。複数の第５構造部５は、Ｘ方向において、複数の第４構造部４から離れている。
複数の第４構造部４および複数の第５構造部は、例えば、Ｘ方向に沿って並ぶ。複数の第４構造部４および複数の第５構造部５は、Ｘ方向およびＹ方向と交差し、Ｘ方向およびＹ方向を含む面と交差する方向に沿って並んでいても良い。
複数の第５構造部５から複数の第４構造部４に向かう方向は、例えば、Ｘ方向に沿う。複数の第５構造部５は、さらに、Ｙ方向において、複数の第４構造部４から離れていても良い。
図１３に表したように、複数の第４構造部４のそれぞれは、第４膜部１４、第４導電部２４、第４圧電部３４、および第４電極４４を含む。図１３に表した例では、複数の第４構造部４のそれぞれは、第４対向導電部５４をさらに含む。
第４膜部１４は、Ｚ方向において、第４導電部２４と第４対向導電部５４との間に設けられる。第４導電部２４は、Ｚ方向において、第４膜部１４と第４圧電部３４との間に設けられる。第４圧電部３４の一部は、Ｚ方向において、第４導電部２４の一部と第４電極４４との間に設けられる。
複数の第５構造部５のそれぞれは、第５膜部１５、第５導電部２５、第５圧電部３５、および第５電極４５を含む。図１３に表した例では、複数の第５構造部５のそれぞれは、第５対向導電部５５をさらに含む。
第５膜部１５は、Ｚ方向において、第５導電部２５と第５対向導電部５５との間に設けられる。第５導電部２５は、Ｚ方向において、第５膜部１５と第５圧電部３５との間に設けられる。第５圧電部３５の一部は、Ｚ方向において、第５導電部２５の一部と第５電極４５との間に設けられる。第５圧電部３５の厚さは、例えば、第４圧電部３４の厚さと同じである。
複数の第４構造部４のそれぞれの一部および複数の第５構造部５のそれぞれの一部は、固定される。例えば、第２トランスデューサ３２０は、複数の第４支持部６４および複数の第５支持部６５をさらに含む。複数の第４支持部６４から複数の第４構造部４に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。複数の第５支持部６５から複数の第５構造部５に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。第４構造部４の一部は、Ｚ方向において、第４支持部６４と重なる。第５構造部５の一部は、Ｚ方向において、第５支持部６５と重なる。
図１２に表したように、複数の第５構造部５のＸ方向に沿うピッチＰ５ａは、複数の第４構造部４のＸ方向に沿うピッチＰ４ａよりも短い。
ピッチＰ４ａは、例えば、複数の第４電極４４の１つのＸ方向における中心と、複数の第４電極４４の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向に沿う距離と同じである。複数の第４電極４４の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第４電極４４の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ５ａは、例えば、複数の第５電極４５の１つのＸ方向における中心と、複数の第５電極４５の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向における距離と同じである。複数の第５電極４５の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第５電極４５の上記１つの隣りに位置する。
図１２および図１３に表した例では、第２トランスデューサ３２０は、複数の第６構造部６をさらに含む。複数の第６構造部６は、Ｘ方向において互いに離れている。複数の第６構造部６は、Ｘ方向において、複数の第４構造部４および複数の第５構造部５から離れている。複数の第４構造部４の１つのＸ方向上の位置は、複数の第５構造部５の１つのＸ方向上の位置と、複数の第６構造部６の１つのＸ方向上の位置と、の間にある。
複数の第４構造部４から複数の第６構造部６に向かう方向は、例えば、Ｘ方向に沿う。
複数の第６構造部６は、さらに、Ｙ方向において、複数の第４構造部４から離れていても良い。複数の第６構造部６は、例えば、Ｘ方向に沿って並ぶ。複数の第６構造部６は、Ｘ方向およびＺ方向を含む面と交差する方向に沿って並んでいても良い。
複数の第６構造部６のそれぞれは、第６膜部１６、第６導電部２６、第６圧電部３６、および第６電極４６を含む。図１３に表した例では、複数の第６構造部６のそれぞれは、第６対向導電部５６をさらに含む。
第６膜部１６は、Ｚ方向において、第６導電部２６と第６対向導電部５６との間に設けられる。第６導電部２６は、Ｚ方向において、第６膜部１６と第６圧電部３６との間に設けられる。第６圧電部３６の一部は、Ｚ方向において、第６導電部２６の一部と第６電極４６との間に設けられる。第６圧電部３６の厚さは、例えば、第４圧電部３４の厚さと同じである。
複数の第６構造部６のそれぞれの一部は、固定される。例えば、第２トランスデューサ３２０は、複数の第６支持部６６をさらに含む。複数の第６支持部６６から複数の第６構造部６に向かう方向は、Ｚ方向に沿う。第６圧電部３６の一部は、Ｚ方向において第６支持部６６と重なる。
図１２に表したように、複数の第６構造部６のＸ方向に沿うピッチＰ６ａは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチＰ１ａよりも短い。ピッチＰ６ａは、例えば、複数の第６電極４６の１つのＸ方向における中心と、複数の第６電極４６の別の１つのＸ方向における中心と、の間のＸ方向に沿う距離と同じである。複数の第６電極４６の上記別の１つは、Ｘ方向において、複数の第６電極４６の上記１つの隣りに位置する。
第１トランスデューサ３１０は、例えば、超音波を発する送信器として機能する。第２トランスデューサ３２０は、例えば、超音波を受信する受信器として機能する。搬送部３３０は、紙（例えば紙幣）３３２を搬送する。紙３３２が搬送される方向は、複数の第１構造部１、複数の第２構造部２、および複数の第３構造部３が並べられた方向と交差することが望ましい。紙３３２が搬送される方向は、複数の第４構造部４、複数の第５構造部５、および複数の第６構造部６が並べられた方向と交差することが望ましい。搬送部３３０は、例えば、紙３３２をＹ方向に沿って搬送する。
検査装置３００は、例えば、制御回路３１５、制御部３１６、増幅器３２５、および検出器３２６をさらに含む。制御回路３１５は、第１トランスデューサ３１０と制御部３１６との間に電気的に接続される。
制御部３１６は、制御回路３１５に制御信号を送信する。制御回路３１５は、この制御信号に基づき、駆動信号（例えば正弦波信号）を発生させる。第１トランスデューサ３１０は、この駆動信号によって駆動され、超音波を発する。
第２トランスデューサ３２０は、超音波を受信する。第２トランスデューサ３２０は、振動を信号に変換し、増幅器３２５に出力する。増幅器３２５は、入力された信号を増幅する。増幅された信号は、検出器３２６へ出力される。検出器３２６は、例えば、入力された信号の電圧値を検出する。
検出器３２６は、例えば、検出した電圧値を、所定の閾値と比較する。電圧値が閾値よりも低い場合、その比較結果を外部に通知する。例えば、紙にテープ等が貼り付けられている場合、紙を透過する超音波がテープによって減衰する。このため、検出器３２６で検出される電圧値は、低下する。これにより、検査装置３００は、紙への異物の付着を検出できる。
第１トランスデューサ３１０は、複数の第１構造部１および複数の第２構造部２を含む。複数の第２構造部２のＸ方向に沿うピッチは、複数の第１構造部１のＸ方向に沿うピッチよりも短い。複数の第２構造部２から発せられる超音波の出力が低下する。例えば、紙の端部に向けて発せられる超音波の出力を低下させることができる。これにより、例えば、紙の端部を回り込んで第２トランスデューサ３２０に到達する超音波の出力を小さくすることができる。
第２トランスデューサ３２０は、複数の第４構造部４および複数の第５構造部５を含む。複数の第５構造部５のＸ方向に沿うピッチは、複数の第４構造部４のＸ方向に沿うピッチよりも短い。複数の第５構造部５における分解能が向上する。例えば、紙の端部を透過した音波を高い分解能で検出することができる。これにより、紙の端部に付着した異物をより高精度に検査することができる。
図１４（ａ）および図１４（ｂ）は、第３実施形態に係る別の検査装置を例示する模式的平面図である。
検査装置３００は、第２トランスデューサ３２０に代えて、第２トランスデューサ３２１を含んでいても良い。図１４（ａ）および図１４（ｂ）に表した第２トランスデューサ３２１では、第４構造部４は、第４領域４ａおよび第４重複領域４ｏを含む。第４領域４ａは、Ｚ方向において、第４支持部６４と重なっていない。第４重複領域４ｏは、Ｚ方向において、第４支持部６４と重なっている。第４領域４ａから第４重複領域４ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
第５構造部５は、第５領域５ａおよび第５重複領域５ｏを含む。第５領域５ａは、Ｚ方向において、第５支持部６５と重なっていない。第５重複領域５ｏは、Ｚ方向において、第５支持部６５と重なっている。第５領域５ａから第５重複領域５ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
第６構造部６は、第６領域６ａおよび第６重複領域６ｏを含む。第６領域６ａは、Ｚ方向において、第６支持部６６と重なっていない。第６重複領域６ｏは、Ｚ方向において、第６支持部６６と重なっている。第６領域６ａから第６重複領域６ｏに向かう方向は、Ｚ方向と交差する面に沿う。
図１４（ａ）に表したように、第５領域５ａのＸ方向に沿う長さＬ５ａは、第４領域４ａのＸ方向に沿う長さＬ４ａよりも短い。第５領域５ａのＹ方向に沿う長さＬ５ｂは、第４領域４ａのＹ方向に沿う長さＬ４ｂよりも短い。複数の第５構造部５のＸ方向に沿うピッチＰ５ａは、例えば、複数の第４構造部４のＸ方向に沿うピッチＰ４ａよりも短い。
図１４（ｂ）に表したように、第６領域６ａのＸ方向に沿う長さＬ６ａは、長さＬ４ａよりも短い。第６領域６ａのＹ方向に沿う長さＬ６ｂは、長さＬ４ｂよりも短い。複数の第６構造部６のＸ方向に沿うピッチＰ６ａは、例えば、ピッチＰ４ａよりも短い。
図１５は、第３実施形態に係る別の検査装置を例示する模式的平面図である。
検査装置３００は、第２トランスデューサ３２０に代えて、第２トランスデューサ３２２を含んでいても良い。図１５に表した第２トランスデューサ３２２では、複数の第４構造部４、複数の第５構造部５、および複数の第６構造部６は、Ｘ方向および第４方向に沿って並ぶ。第４方向は、Ｘ方向およびＹ方向と交差し、Ｘ方向およびＹ方向を含む面に沿う。第４方向は、例えば、図１５に表した方向Ｄ４に沿う。
複数の第５構造部５のＸ方向に沿うピッチＰ５ａは、複数の第４構造部４のＸ方向に沿うピッチＰ４ａよりも短い。複数の第５構造部５のＹ方向に沿うピッチＰ５ｂは、複数の第４構造部４のＹ方向に沿うピッチＰ４ｂよりも短い。複数の第６構造部６のＸ方向に沿うピッチＰ６ａは、ピッチＰ４ａよりも短い。複数の第６構造部６のＹ方向に沿うピッチＰ６ｂは、ピッチＰ４ｂよりも短い。
ピッチＰ４ｂは、例えば、複数の第４電極４４の１つのＹ方向における中心と、複数の第４電極４４の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第４電極４４の上記別の１つは、第４方向において、複数の第４電極４４の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ５ｂは、例えば、複数の第５電極４５の１つのＹ方向における中心と、複数の第５電極４５の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第５電極４５の上記別の１つは、第４方向において、複数の第５電極４５の上記１つの隣りに位置する。
ピッチＰ６ｂは、例えば、複数の第６電極４６の１つのＹ方向における中心と、複数の第６電極４６の別の１つのＹ方向における中心と、の間のＹ方向に沿う距離と同じである。複数の第６電極４６の上記別の１つは、第４方向において、複数の第６電極４６の上記１つの隣りに位置する。
各構成要素の材料の一例を説明する。
第１膜部１１、第２膜部１２、第３膜部１３、第４膜部１４、第５膜部１５、および第６膜部１６は、例えば、絶縁性セラミックスを含む。絶縁性セラミックスは、例えば、アルミナである。第１膜部１１、第２膜部１２、第３膜部１３、第４膜部１４、第５膜部１５、および第６膜部１６に含まれる材料は、第１圧電部３１、第２圧電部３２、第３圧電部３３、第４圧電部３４、第５圧電部３５、および第６圧電部３６の少なくともいずれかに含まれる材料と同じであっても良い。
第１導電部２１、第２導電部２２、第３導電部２３、第４導電部２４、第５導電部２５、および第６導電部２６は、金属を含む。第１導電部２１、第２導電部２２、第３導電部２３、第４導電部２４、第５導電部２５、および第６導電部２６は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、およびＣｕからなる群より選択される少なくとも１つを含む。
第１圧電部３１、第２圧電部３２、第３圧電部３３、第４圧電部３４、第５圧電部３５、および第６圧電部３６は、例えば、ＰＺＴセラミックスおよび圧電単結晶からなる群より選択される少なくとも１つを含む。これらの圧電部は、電圧が印加された際に、たわみ振動が発生する圧電材料を含むことが望ましい。
第１電極４１、第２電極４２、第３電極４３、第４電極４４、第５電極４５、および第６電極４６は、金属を含む。第１電極４１、第２電極４２、第３電極４３、第４電極４４、第５電極４５、および第６電極４６は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、およびＣｕからなる群より選択される少なくとも１つを含む。
第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第３対向導電部５３、第４対向導電部５４、第５対向導電部５５、および第６対向導電部５６は、金属を含む。第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第３対向導電部５３、第４対向導電部５４、第５対向導電部５５、および第６対向導電部５６は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、およびＣｕからなる群より選択される少なくとも１つを含む。
第１支持部６１、第２支持部６２、第３支持部６３、第４支持部６４、第５支持部６５、および第６支持部６６は、例えば、金属、樹脂、またはセラミックを含む。金属は、例えば、ステンレス鋼およびアルミからなる群より選択された少なくとも１つである。樹脂は、例えば、アクリル樹脂である。セラミックは、例えば、マコールである。
搬送部３３０は、例えば、紙３３２を搬送するための、ローラおよびベルトの少なくともいずれかを含む。
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、第１構造部、第２構造部、第３構造部、第４構造部、第５構造部、第６構造部、第１支持部、第２支持部、第３支持部、第４支持部、第５支持部、第６支持部、搬送部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したトランスデューサおよび検査装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのトランスデューサおよび検査装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
１ 第１構造部、 １ａ 第１領域、 １ｏ 第１重複領域、 ２ 第２構造部、 ２ａ 第２領域、 ２ｏ 第２重複領域、 ３ 第３構造部、 ３ａ 第３領域、 ３ｏ 第３重複領域、 ４ 第４構造部、 ４ａ 第４領域、 ４ｏ 第４重複領域、 ５ 第５構造部、 ５ａ 第５領域、 ５ｏ 第５重複領域、 ６ 第６構造部、 ６ａ 第６領域、 ６ｏ 第６重複領域、 １１ 第１膜部、 １２ 第２膜部、 １３ 第３膜部、 １４ 第４膜部、 １５ 第５膜部、 １６ 第６膜部、 ２１ 第１導電部、 ２２ 第２導電部、 ２３ 第３導電部、 ２４ 第４導電部、 ２５ 第５導電部、 ２６ 第６導電部、 ３１ 第１圧電部、 ３２ 第２圧電部、 ３３ 第３圧電部、 ３４ 第４圧電部、 ３５ 第５圧電部、 ３６ 第６圧電部、 ４１ 第１電極、 ４２ 第２電極、 ４３ 第３電極、 ４４ 第４電極、 ４５ 第５電極、 ４６ 第６電極、 ５１ 第１対向導電部、 ５２ 第２対向導電部、 ５３ 第３対向導電部、 ５４ 第４対向導電部、 ５５ 第５対向導電部、 ５６ 第６対向導電部、 ６１ 第１支持部、 ６２ 第２支持部、 ６３ 第３支持部、 ６４ 第４支持部、 ６５ 第５支持部、 ６６ 第６支持部、 １１０〜１４０、１７０、１８０、２１０〜２３０ トランスデューサ、 ３００ 検査装置、 ３１０ 第１トランスデューサ、 ３１５ 制御回路、 ３１６ 制御部、 ３２０ 第２トランスデューサ、 ３２１ 第２トランスデューサ、 ３２２ 第２トランスデューサ、 ３２５ 増幅器、 ３２６ 検出器、 ３３０ 搬送部、 Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５ 方向、 Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ２ａ、Ｌ２ｂ、Ｌ３ａ、Ｌ３ｂ、Ｌ４ａ、Ｌ４ｂ、Ｌ５ａ、Ｌ５ｂ、Ｌ６ａ、Ｌ６ｂ 長さ、 Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａ、Ｐ２ｂ、Ｐ３ａ、Ｐ３ｂ、Ｐ４ａ、Ｐ４ｂ、Ｐ５ａ、Ｐ５ｂ、Ｐ６ａ、Ｐ６ｂ ピッチ

Claims (7)

  1. 第１方向において互いに離れた複数の第１構造部であって、前記複数の第１構造部のそれぞれは、
    第１膜部と、
    第１圧電部と、
    前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１膜部の少なくとも一部と前記第１圧電部との間に設けられた第１導電部と、
    第１電極であって、前記第１圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第１導電部の少なくとも一部と前記第１電極との間に位置する、前記第１電極と、
    を含み、前記複数の第１構造部のそれぞれの一部は固定された、前記複数の第１構造部と、
    前記第１方向において互いに離れた複数の第２構造部であって、前記複数の第２構造部のそれぞれは、
    第２膜部と、
    第２圧電部と、
    前記第２方向において、前記第２膜部の少なくとも一部と前記第２圧電部との間に設けられた第２導電部と、
    第２電極であって、前記第２圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第２導電部の少なくとも一部と前記第２電極との間に位置する、前記第２電極と、
    を含み、前記複数の第２構造部のそれぞれの一部は固定され、前記複数の第２構造部は前記第１方向において前記複数の第１構造部から離れ、前記複数の第２構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第１構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い、前記複数の第２構造部と、
    複数の第１支持部であって、前記複数の第１支持部から前記複数の第１構造部に向かう方向は前記第２方向に沿う、前記複数の第１支持部と、
    複数の第２支持部であって、前記複数の第２支持部から前記複数の第２構造部に向かう方向は前記第２方向に沿う、前記複数の第２支持部と、
    を備え、
    前記複数の第１構造部の１つは、
    前記第２方向において前記複数の第１支持部の１つと重ならない第１領域と、
    前記第２方向において前記複数の第１支持部の前記１つと重なる第１重複領域と、
    を含み、
    前記複数の第２構造部の１つは、
    前記第２方向において前記複数の第２支持部の１つと重ならない第２領域と、
    前記第２方向において前記複数の第２支持部の前記１つと重なる第２重複領域と、
    を含み、
    前記第２領域の前記第１方向に沿う長さは、前記第１領域の前記第１方向に沿う長さよりも短いトランスデューサ。
  2. 第１方向において互いに離れた複数の第１構造部であって、前記複数の第１構造部のそれぞれは、
    第１膜部と、
    第１圧電部と、
    前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１膜部の少なくとも一部と前記第１圧電部との間に設けられた第１導電部と、
    第１電極であって、前記第１圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第１導電部の少なくとも一部と前記第１電極との間に位置する、前記第１電極と、
    を含み、前記複数の第１構造部のそれぞれの一部は固定された、前記複数の第１構造部と、
    前記第１方向において互いに離れた複数の第２構造部であって、前記複数の第２構造部のそれぞれは、
    第２膜部と、
    第２圧電部と、
    前記第２方向において、前記第２膜部の少なくとも一部と前記第２圧電部との間に設けられた第２導電部と、
    第２電極であって、前記第２圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第２導電部の少なくとも一部と前記第２電極との間に位置する、前記第２電極と、
    を含み、前記複数の第２構造部のそれぞれの一部は固定され、前記複数の第２構造部は前記第１方向において前記複数の第１構造部から離れ、前記複数の第２構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第１構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い、前記複数の第２構造部と、
    複数の第１支持部であって、前記複数の第１支持部から前記複数の第１構造部に向かう方向は前記第２方向に沿う、前記複数の第１支持部と、
    複数の第２支持部であって、前記複数の第２支持部から前記複数の第２構造部に向かう方向は前記第２方向に沿う、前記複数の第２支持部と、
    を備え、
    前記複数の第１構造部の１つは、
    前記第２方向において前記複数の第１支持部の１つと重ならない第１領域と、
    前記第２方向において前記複数の第１支持部の前記１つと重なる第１重複領域と、
    を含み、
    前記複数の第２構造部の１つは、
    前記第２方向において前記複数の第２支持部の１つと重ならない第２領域と、
    前記第２方向において前記複数の第２支持部の前記１つと重なる第２重複領域と、
    を含み、
    前記第１方向および前記第２方向を含む面と交差する第３方向に沿う前記第２領域の長さは、前記第３方向に沿う前記第１領域の長さよりも短いトランスデューサ。
  3. 前記複数の第１構造部は、前記第１方向に並び、
    前記複数の第２構造部は、前記第１方向に並ぶ請求項１又は２に記載のトランスデューサ。
  4. 前記複数の第１構造部のそれぞれは、第１対向導電部をさらに含み、
    前記第１膜部の少なくとも一部は、前記第１対向導電部の少なくとも一部と前記第１導電部との間に設けられ、
    前記複数の第２構造部のそれぞれは、第２対向導電部をさらに含み、
    前記第２膜部の少なくとも一部は、前記第２対向導電部の少なくとも一部と前記第２導電部との間に設けられた請求項１〜３のいずれか１つに記載のトランスデューサ。
  5. 複数の第３構造部をさらに含み、
    前記複数の第３構造部のそれぞれは、
    第３膜部と、
    第３圧電部と、
    前記第２方向において、前記第３膜部の少なくとも一部と前記第３圧電部との間に設けられた第３導電部と、
    第３電極であって、前記第３圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第３導電部の少なくとも一部と前記第３電極との間に位置する、前記第３電極と、
    を含み、
    前記複数の第３構造部は、前記第１方向において、前記複数の第１構造部および前記複数の第２構造部から離れ、
    前記複数の第１構造部の１つの前記第１方向上の位置は、前記複数の第２構造部の１つの前記第１方向上の位置と、前記複数の第３構造部の１つの前記第１方向上の位置と、の間にあり、
    前記複数の第３構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第１構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い請求項１又は２に記載のトランスデューサ。
  6. 第１方向において互いに離れた複数の第１構造部であって、前記複数の第１構造部のそれぞれは、
    第１膜部と、
    第１圧電部と、
    前記第１方向と交差する第２方向において、前記第１膜部の少なくとも一部と前記第１圧電部との間に設けられた第１導電部と、
    第１電極であって、前記第１圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第１導電部の少なくとも一部と前記第１電極との間に位置する、前記第１電極と、
    を含み、前記複数の第１構造部のそれぞれの一部は固定された、前記複数の第１構造部と、
    前記第１方向において互いに離れた複数の第２構造部であって、前記複数の第２構造部のそれぞれは、
    第２膜部と、
    第２圧電部と、
    前記第２方向において、前記第２膜部の少なくとも一部と前記第２圧電部との間に設けられた第２導電部と、
    第２電極であって、前記第２圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第２導電部の少なくとも一部と前記第２電極との間に位置する、前記第２電極と、
    を含み、前記複数の第２構造部のそれぞれの一部は固定され、前記複数の第２構造部は前記第１方向において前記複数の第１構造部から離れ、前記複数の第２構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第１構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い、前記複数の第２構造部と、
    を含む第１トランスデューサと、
    前記第２方向において、前記第１トランスデューサから離れた第２トランスデューサと、
    前記第１トランスデューサと前記第２トランスデューサとの間に設けられた搬送部と、
    を備えた検査装置。
  7. 前記第２トランスデューサは、
    前記第１方向において互いに離れた複数の第４構造部であって、前記複数の第４構造部のそれぞれは、
    第４膜部と、
    第４圧電部と、
    前記第２方向において、前記第４膜部の少なくとも一部と前記第４圧電部との間に設けられた第４導電部と、
    第４電極であって、前記第４圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第４導電部の少なくとも一部と前記第４電極との間に位置する、前記第４電極と、
    を含み、前記複数の第４構造部のそれぞれの一部は固定された、前記複数の第４構造部と、
    前記第１方向において互いに離れた複数の第５構造部であって、前記複数の第５構造部のそれぞれは、
    第５膜部と、
    第５圧電部と、
    前記第２方向において、前記第５膜部の少なくとも一部と前記第５圧電部との間に設けられた第５導電部と、
    第５電極であって、前記第５圧電部の少なくとも一部は前記第２方向において前記第５導電部の少なくとも一部と前記第５電極との間に位置する、前記第５電極と、
    を含み、前記複数の第５構造部のそれぞれの一部は固定され、前記複数の第５構造部は前記第１方向において前記複数の第４構造部から離れ、前記複数の第５構造部の前記第１方向に沿うピッチは、前記複数の第４構造部の前記第１方向に沿うピッチよりも短い、前記複数の第５構造部と、
    を含む請求項６記載の検査装置。
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