JP7388996B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る検査装置を例示する模式的側面図である。
図1に示すように、実施形態に係る検査装置110は、送信部10と、受信部20と、支持部60と、を含む。
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx) …(1)
の(1)式を満たす。(1)式において、「n」は、1または2である。これにより、以下に説明するように、検出感度を向上できる。以下では、説明を簡単にするために、第2距離L2が第1距離L1よりも長い場合について説明する。
図2(a)~図2(f)は、第1超音波10wに含まれる複数のバースト波のパルス幅(パルス時間)が比較的短い場合に対応する。これらの図の横軸は、時間tmである。図2(a)は、送信部10から出射する第1超音波10wを例示している。図2(a)に示すように、第1超音波10wは、複数のバースト波10bを含む。複数のバースト波10bの周期は、第1周期Tpである。複数のバースト波10bは、例えば、第1パルス波P1、第2パルス波P2及び第3パルス波P3などを含む。
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
の(1)式の条件が得られる。「n」は、1以上の整数である。図2(a)~図2(f)は、「n」が1の場合に対応する。
図3(a)~図3(f)は、第1実施形態に係る検査装置を例示する模式図である。
図3(a)~図3(f)の横軸は、時間tmである。図3(a)は、送信部10から出射する第1超音波10wを例示している。図3(a)に示すように、第1超音波10wは、複数のバースト波10bを含む。複数のバースト波10bの周期は、第1周期Tpである。複数のバースト波10bの1つ(それぞれ)は、第1時間幅Twを有する。この場合も、複数のバースト波10bは、例えば、第1パルス波P1、第2パルス波P2及び第3パルス波P3などを含む。
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2 …(2)
の(2)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×2 …(3)
の(3)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< (2Dx/vx-Tp)×4/3 …(4)
の(4)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×4/3 …(5)
の(5)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< (2Dx/vx-Tp) …(6)
の(6)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< (2Tp-2Dx/vx) …(7)
の(7)式を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
すなわち実施形態において、第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、速度vx(m/s)、及び、第1時間幅Tw(秒)は、
Tw < (2Dx/vx-n×Tp)×2
を満たすことが好ましい。これにより、直接波が反射波の影響を受けることがより抑制できる。
Tw< ((n+1)Tp-2Dx/vx)×2
を満たすことが好ましい。
Tw< (2Dx/vx-n×Tp)×4/3
を満たすことが好ましい。
Tw< ((n+1)Tp-2Dx/vx)×4/3
を満たすことが好ましい。
Tw< (2Dx/vx-n×Tp)
を満たすことが好ましい。
Tw< ((n+1)Tp-2Dx/vx)
を満たすことが望ましい。
図4に示すように、実施形態に係る検査装置111は、送信部10、受信部20及び支持部60に加えて、第1導波路15及び第2導波路25を含む。検査装置111におけるこれ以外の構成は、検査装置110の構成と同様で良い。
図5は、第2実施形態に係る検査方法を例示するフローチャート図である。
図5に示すように、実施形態に係る検査方法は、第1周期Tpの複数のバースト波10bを含む第1超音波10wを送信部10(図1など参照)から検査対象80に向けて送信する(ステップS110)ことを含む。検査方法は、検査対象80を通過した第1超音波10wを受信部20(図1など参照)で受信(ステップS120)して、検査対象80を検査することを含む。
(構成1)
第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
前記第1超音波が入射し、前記入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能な受信部と、
前記送信部と前記受信部との間に設けられ検査対象を支持可能な支持部と、
を備え、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1または2であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記送信部と前記支持部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記支持部と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度である、検査装置。
前記nは1である、構成1記載の検査装置。
前記送信部は、前記第1超音波を出射する変形可能な第1膜部を含み、
前記第1距離は、前記第1膜部と前記支持部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記受信部は、受信した前記第1超音波により変形可能な第2膜部を含み、
前記第2距離は、前記支持部と前記第2膜部との間の前記第1方向に沿う距離である、構成1または2に記載の検査装置。
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たす、構成1~3のいずれか1つに記載の検査装置。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×2
を満たす、構成4記載の検査装置。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Dx/vx-Tp)×4/3
を満たす、構成4または5に記載の検査装置。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×4/3
を満たす、構成4~6のいずれか1つに記載の検査装置。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Dx/vx-Tp)
を満たす、構成4または5に記載の検査装置。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)
を満たす、構成4または5に記載の検査装置。
前記送信部と前記支持部との間に設けられ、前記第1超音波が通過する第1導波路と、
前記支持部と前記受信部との間に設けられ、前記第1超音波が通過する第2導波路と、
をさらに備え、
前記第2導波路を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射する、構成1~9のいずれか1つに記載の検査装置。
前記第1導波路は、前記支持部から離れ、
前記第2導波路は、前記支持部から離れた、構成10記載の検査装置。
第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信部から検査対象に向けて送信し、
前記検査対象を通過した前記第1超音波を受信部で受信して前記検査対象を検査し、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1または2であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記検査対象と前記送信部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記検査対象と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度である、検査方法。
前記nは1である、構成12記載の検査方法。
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たす、構成12または13に記載の検査方法。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×2
を満たす、構成14記載の検査方法。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Dx/vx-Tp)×4/3
を満たす、構成14または15に記載の検査方法。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×4/3
を満たす、構成14~16のいずれか1つに記載の検査方法。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Dx/vx-Tp)
を満たす、構成14または15に記載の検査方法。
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)
を満たす、構成14または15に記載の検査方法。
Claims (9)
- 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
前記第1超音波が入射し、前記入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能な受信部と、
前記送信部と前記受信部との間に設けられ検査対象を支持可能な支持部と、
を備え、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記送信部と前記支持部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記支持部と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×2
を満たす、検査装置。 - 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
前記第1超音波が入射し、前記入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能な受信部と、
前記送信部と前記受信部との間に設けられ検査対象を支持可能な支持部と、
を備え、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記送信部と前記支持部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記支持部と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×4/3
を満たす、検査装置。 - 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信可能な送信部と、
前記第1超音波が入射し、前記入射した前記第1超音波に応じた信号を出力可能な受信部と、
前記送信部と前記受信部との間に設けられ検査対象を支持可能な支持部と、
を備え、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記送信部と前記支持部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記支持部と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)
を満たす、検査装置。 - 前記送信部は、前記第1超音波を出射する変形可能な第1膜部を含み、
前記第1距離は、前記第1膜部と前記支持部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記受信部は、受信した前記第1超音波により変形可能な第2膜部を含み、
前記第2距離は、前記支持部と前記第2膜部との間の前記第1方向に沿う距離である、請求項1~3のいずれか1つに記載の検査装置。 - 前記送信部と前記支持部との間に設けられ、前記第1超音波が通過する第1導波路と、
前記支持部と前記受信部との間に設けられ、前記第1超音波が通過する第2導波路と、
をさらに備え、
前記第2導波路を通過した前記第1超音波が前記受信部に入射する、請求項1~4のいずれか1つに記載の検査装置。 - 前記第1導波路は、前記支持部から離れ、
前記第2導波路は、前記支持部から離れた、請求項5記載の検査装置。 - 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信部から検査対象に向けて送信し、
前記検査対象を通過した前記第1超音波を受信部で受信して前記検査対象を検査し、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記検査対象と前記送信部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記検査対象と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×2
を満たす、検査方法。 - 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信部から検査対象に向けて送信し、
前記検査対象を通過した前記第1超音波を受信部で受信して前記検査対象を検査し、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記検査対象と前記送信部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記検査対象と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)×4/3
を満たす、検査方法。 - 第1周期Tpの複数のバースト波を含む第1超音波を送信部から検査対象に向けて送信し、
前記検査対象を通過した前記第1超音波を受信部で受信して前記検査対象を検査し、
前記第1周期Tp(s)、距離Dx(m)、及び、速度vx(m/s)は、
2Dx/{(n+1)・vx} < Tp < 2Dx/(n・vx)
を満たし、
前記nは、1であり、
前記距離Dxは、第1距離及び第2距離の長くない方の距離であり、
前記第1距離は、前記検査対象と前記送信部との間の前記送信部から前記受信部への第1方向に沿う距離であり、
前記第2距離は、前記検査対象と前記受信部との間の前記第1方向に沿う距離であり、
前記速度vxは、前記送信部と前記受信部との間の空間における前記第1超音波の伝搬速度であり、
前記第1方向は、前記送信部と前記受信部とを直線で結んだときの前記直線上における方向であり、
前記複数のバースト波の1つは第1時間幅Twを有し、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw < (2Dx/vx-Tp)×2
を満たし、
前記第1周期Tp(s)、前記距離Dx(m)、前記速度vx(m/s)、及び、前記第1時間幅Tw(s)は、
Tw< (2Tp-2Dx/vx)
を満たす、検査方法。
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