JP6356581B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
基材と該基材の一方の表面に形成された熱硬化性樹脂層とを有する基材付封止材を用いて、フリップチップ実装により半導体素子が搭載された半導体素子搭載基板の素子搭載面を一括封止する封止工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記封止工程は、
真空度10kPa以下の減圧条件下で、前記半導体素子搭載基板と前記基材付封止材を一体化する一体化段階と、
前記一体化した基板を0.2MPa以上の圧力で加圧する加圧段階と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。
まず、本発明の半導体装置の製造方法によって製造される本発明の半導体装置について説明する。図2は本発明の半導体装置の一例を示す概略断面図である。図2において、半導体装置10は、基材2、熱硬化性樹脂層を加熱、硬化することにより形成される封止層3’、半導体素子5、バンプ6、及び基板7から構成される。半導体素子5は複数個のバンプ6を介して基板7上に搭載されている。この半導体素子5を封止するための封止層3’は基材2と、基板7との間に形成される。
次に、本発明の半導体装置の製造方法について説明する。本発明の半導体装置の製造方法は、基材と該基材の一方の表面に形成された熱硬化性樹脂層とを有する基材付封止材を用いて、フリップチップ実装により半導体素子が搭載された半導体素子搭載基板の素子搭載面を一括封止する封止工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記封止工程は、
真空度10kPa以下の減圧条件下で、前記半導体素子搭載基板と前記基材付封止材を一体化する一体化段階と、
前記一体化した基板を0.2MPa以上の圧力で加圧する加圧段階と
を含むことを特徴とする。図1に本発明の半導体装置の製造方法の一例のフロー図を示す。
以下で、本発明の半導体装置の製造方法に用いられる基材付封止材について説明する。図1に示すように、本発明の半導体装置の製造方法に用いられる基材付封止材1は、基材2と、基材2の一方の表面に形成された熱硬化性樹脂層3から構成される。
本発明において、基材付封止材1を構成する基材2として使用することができるものは特に限定はされず、封止する対象となる半導体素子搭載基板等に応じて、無機基板、金属基板、又は有機樹脂基板を使用することができる。また、特に有機樹脂基板を使用する場合には、繊維含有の有機樹脂基板を使用することもできる。
本発明に用いられる基材付封止材を構成する熱硬化性樹脂層3は、基材2の片面上に形成された未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂層からなるものである。この熱硬化性樹脂層3は、フリップチップ実装された半導体素子のアンダーフィル及びオーバーモールドを行うための樹脂層となる。
本発明において熱硬化性樹脂層に用いることができるエポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、3,3’,5,5’−テトラメチル−4,4’−ビフェノール型エポキシ樹脂又は4,4’−ビフェノール型エポキシ樹脂のようなビフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレンジオール型エポキシ樹脂、トリスフェニロールメタン型エポキシ樹脂、テトラキスフェニロールエタン型エポキシ樹脂、及びフェノールジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂の芳香環を水素化したエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂など室温で液状や固体の公知のエポキシ樹脂が挙げられる。また、必要に応じて、上記以外のエポキシ樹脂を目的に応じて一定量併用することができる。
本発明において熱硬化性樹脂層に用いることができるシリコーン樹脂としては、特に限定されないが、例えば熱硬化性、UV硬化性シリコーン樹脂等が使用可能である。特に、シリコーン樹脂からなる熱硬化性樹脂層は付加硬化型シリコーン樹脂組成物を含むことが好ましい。付加硬化型シリコーン樹脂組成物としては、(A)非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物(例えば、アルケニル基含有ジオルガノポリシロキサン)、(B)オルガノハイドロジェンポリシロキサン、及び(C)白金系触媒を必須成分とするものが特に好ましい。以下、これら(A)〜(C)成分について説明する。
(A)成分の非共役二重結合を有する有機ケイ素化合物としては、
R11R12R13SiO−(R14R15SiO)a−(R16R17SiO)b−SiR11R12R13 (1)
(式中、R11は非共役二重結合含有一価炭化水素基を示し、R12〜R17はそれぞれ同一又は異種の一価炭化水素基を示し、a及びbは0≦a≦500、0≦b≦250、かつ0≦a+b≦500を満たす整数である。)
で示される、分子鎖両末端が脂肪族不飽和基含有トリオルガノシロキシ基で封鎖された直鎖状ジオルガノポリシロキサンなどの、オルガノポリシロキサンが例示される。
(B)成分としては、一分子中にケイ素原子に結合した水素原子(SiH基)を2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。一分子中にケイ素原子に結合した水素原子(SiH基)を2個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンであれば、架橋剤として作用し、(B)成分中のSiH基と(A)成分のビニル基、その他のアルケニル基等の非共役二重結合含有基とが付加反応することにより、硬化物を形成することができる。
(C)成分の白金系触媒としては、例えば塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、キレート構造を有する白金錯体等が挙げられる。これらは1種単独でも、2種以上の組み合わせでも使用することができる。
本発明において熱硬化性樹脂層に用いることができるエポキシ樹脂とシリコーン樹脂からなる混成樹脂としては、特に限定されないが、例えば前述のエポキシ樹脂と前述のシリコーン樹脂を用いたものを挙げることができる。
本発明において熱硬化性樹脂層に用いることができるシアネートエステル樹脂としては、特に限定されないが、例えばシアネートエステル化合物又はそのオリゴマーと、硬化剤としてフェノール化合物及びジヒドロキシナフタレンのいずれか又は両方を配合した樹脂組成物が挙げられる。
シアネートエステル化合物又はそのオリゴマーとして使用する成分は、下記一般式(2)で示されるものである。
一般にシアネートエステル化合物の硬化剤や硬化触媒としては金属塩、金属錯体や活性水素を持つフェノール性水酸基や一級アミン類などが用いられるが、特にフェノール化合物やジヒドロキシナフタレンが好適に用いられる。
熱硬化性樹脂層3には無機充填剤を配合することができる。配合される無機充填剤としては、例えば、溶融シリカ、結晶性シリカ等のシリカ類、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、アルミノシリケート、ボロンナイトライド、ガラス繊維、三酸化アンチモン等が挙げられる。
本発明に用いられる基材付封止材は、基材の一方の表面に熱硬化性樹脂層を形成することで作製することができる。熱硬化性樹脂層は、基材の一方の表面に未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂をシート状あるいはフィルム状で積層し、真空ラミネートや高温真空プレス、熱ロール等を用いることで形成する方法、また、減圧又は真空下で、印刷やディスペンス等で液状エポキシ樹脂やシリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂を塗布し加熱する方法、さらに、未硬化又は半硬化の熱硬化性樹脂をプレス成形する方法など各種の方法で形成することができる。
図1の半導体素子搭載基板4は、基板7に対して複数個のバンプ6を介して半導体素子5が搭載された半導体素子搭載基板である。図1において、半導体素子搭載基板4の素子搭載面は、基材付封止材1の熱硬化性樹脂層3によって被覆され、一括封止される(A)〜(C)。このとき用いられる基材付封止材としては、上述した通りのものを挙げることができる。
本発明の半導体装置の製造方法における封止工程は、真空度10kPa以下の減圧下で、半導体素子搭載基板4と基材付封止材1を一体化する一体化段階を含む(A)〜(B)。この一体化段階では、半導体素子5のアンダーフィルが行われる。
次に加圧段階について説明する。本発明の半導体装置の製造方法における封止工程は、上記一体化段階において一体化した基板(一体化基板8)を0.2MPa以上の圧力で加圧する加圧段階を含む(C)。この加圧段階により上記の一体化段階においてアンダーフィルが行われた一体化基板8のオーバーモールドが行われる。
本発明の半導体装置の製造方法は、上記封止工程後に、半導体素子搭載基板を封止して得られた封止後半導体素子搭載基板をダイシングして個片化する個片化工程をさらに含んでもよい(D)〜(F)。
[基材の準備]
厚み50μm、66mm×232mmのBT(ビスマレイミドトリアジン)樹脂基板(ガラス転移温度185℃)を基材として準備した。
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂60質量部、フェノールノボラック樹脂30質量部、平均粒径1.2μmの球状シリカ400質量部、触媒TPP(トリフェニルホスフィン)0.2質量部、シランカップリング剤(KBM403 信越化学工業製)0.5質量部、黒色顔料3質量部を高速混合装置で十分混合した後、連続混練装置で加熱混練してシート化し冷却した。シートを粉砕し顆粒状の粉末としてエポキシ樹脂組成物を得た。
上記基材の片側に、上記エポキシ樹脂組成物の顆粒粉末を均一に分散させた。上下の金型温度を80℃にし、上金型にはフッ素樹脂コートしたPETフィルム(剥離フィルム)をセットして金型内を真空レベルまで減圧し、樹脂厚みが200μmになるように3分間圧縮成形して熱硬化性樹脂層を形成した。以上のようにして基材付封止材を作製した。
厚み100μm、74×240mmのBT基板に厚み100μm、10×10mmのSiチップを64個、ギャップサイズが約30μmとなるように搭載した基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度50Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、温度175℃、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度100Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、175℃、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度100Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、175℃、3MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度50Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、175℃、1MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材を準備した。
厚み100μm、74×240mmのBT基板に厚み100μm、20×20mmのSiチップを30個、ギャップサイズが約30μmとなるように搭載した基板を準備した。
実施例1と同様の方法で半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材を準備した。
厚み100μm、74×240mmのBT基板に厚み100μm、20×20mmのSiチップを30個、ギャップサイズが約20μmとなるように搭載した基板を準備した。
実施例1と同様の方法で半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子を搭載した基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度100Paの条件で一体化し、続いて同装置の同条件下で、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に熱硬化性樹脂層の樹脂組成物、半導体素子搭載基板を準備した。
上記半導体素子搭載基板の半導体素子搭載面に上記樹脂組成物の顆粒を配置し、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度50Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、温度175℃、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて、減圧をせず温度150℃で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、温度175℃、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度20kPaの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、温度175℃、5MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度20kPaの条件で一体化した。この一体化した基板を、加圧せず、温度175℃で3分間加熱することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
実施例1と同様に基材付封止材、半導体素子搭載基板を準備した。
上記基材付封止材と上記半導体素子搭載基板を、真空ラミネーション装置(ニチゴーモートン社製)を用いて温度150℃、真空度50Paの条件で一体化した。この一体化した基板を、圧縮成形装置を用いて、温度175℃、0.15MPaの圧力で3分間加圧することで硬化封止した。硬化封止後、180℃で4時間ポストキュアして半導体装置を得た。
レーザー三次元測定機を用いて、各半導体装置の対角線方向に高さの変位を測定し、変位差を反り量とした。
超音波探傷装置、及び半導体装置の半導体素子部分をカットした断面の観察にて、各半導体装置のアンダーフィル部のボイド、未充填を調べ、これらがなければ浸入性良好とした。
超音波探傷装置、及び半導体装置をカットした断面の観察により、各半導体装置の封止層のボイド、未充填を調べ、これらがなければ良好とした。
実施例及び比較例によって得られた半導体装置をそれぞれダイシングにより個片化し、85℃/60%RHの恒温恒湿器に168時間放置して吸湿させた後、IRリフロー装置を用いて図3に示すIRリフロー条件を3回通した後に、IRリフロー処理(260℃、JEDEC・Level2条件に従う)を行った。超音波探査装置、及び半導体装置をカットした断面の観察により、内部クラックの発生状況と剥離発生状況を観察した。合計20パッケージ中の、クラック又は剥離が認められたパッケージ数を数えた。
4…半導体素子搭載基板、 5…半導体素子、 6…バンプ、 7…基板、
8…一体化基板、 9…封止後半導体素子搭載基板、 10…半導体装置
Claims (4)
- 基材と該基材の一方の表面に形成された熱硬化性樹脂層とを有する基材付封止材を用いて、フリップチップ実装により半導体素子が搭載された半導体素子搭載基板の素子搭載面を一括封止する封止工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記封止工程は、
真空度10kPa以下の減圧条件下で、前記半導体素子搭載基板と前記基材付封止材を一体化する一体化段階と、
前記一体化した基板を0.2MPa以上の圧力で圧縮成形機を用いて加圧する加圧段階と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記一体化段階は、80℃〜200℃の温度範囲で行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記加圧段階は、80℃〜200℃の温度範囲で行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記封止工程後に、前記半導体素子搭載基板を封止して得られた封止後半導体素子搭載基板をダイシングして個片化する個片化工程をさらに含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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