JP6280012B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
に形成されている。また、他方の導電層52は、例えば、試料保持具10の外周に沿ってリング状に形成されている。
通電層2だけではなく、スリット20が設けられていない第2通電層3を導電層51に接触させることによって、導電層51との接続をより信頼性の高いものとすることができる。
11:試料保持面
12:貫通孔
2:第1通電層
20:スリット
3:第2通電層
4:静電吸着用電極
51、52:導電層
6:インピーダンス計測計
10:試料保持具
Claims (3)
- 上面に試料保持面を有し、該試料保持面と下面とに開口する貫通孔を備えた絶縁基板と、前記貫通孔の内面に設けられた、上下端にわたる複数のスリットを有する第1通電層と、該第1通電層を前記スリットとともに覆っている第2通電層とを備えたことを特徴とする試料保持具。
- 前記スリットが前記絶縁基板の上面から下面に向かって前記貫通孔の軸に沿って延びていることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記第1通電層が前記第2通電層よりも柔らかいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
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JP2014198253A JP6280012B2 (ja) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | 試料保持具 |
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Family Applications (1)
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