JP6277640B2 - 電気光学装置用基板の製造方法、電気光学装置用基板、電気光学装置、及び電子機器 - Google Patents
電気光学装置用基板の製造方法、電気光学装置用基板、電気光学装置、及び電子機器 Download PDFInfo
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図1は、液晶装置の構成を示す模式平面図である。図2は、図1に示す液晶装置のH−H’線に沿う模式断面図である。図3は、液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶装置の構成を、図1〜図3を参照しながら説明する。
図4は、液晶装置のうち主に画素の構造を示す模式断面図である。以下、液晶装置のうち画素の構造を、図4を参照しながら説明する。なお、図4は、各構成要素の断面的な位置関係を示すものであり、明示可能な尺度で表されている。
図5は、液晶装置のうち電気光学装置用基板としての素子基板の構造を具体的に示す模式平面図である。図6は、図5に示す素子基板のA−A’線に沿う模式断面図、及びB−B’線に沿う模式断面図である。以下、素子基板の構造を、図5及び図6を参照しながら説明する。
図7は、液晶装置の製造方法を工程順に示すフローチャートである。図8〜図10は、液晶装置の製造方法のうち、素子基板の第1配線及び第2配線周辺の製造方法を示す模式断面図である。以下、液晶装置の製造方法を、図7〜図10を参照しながら説明する。
次に、本実施形態の電子機器としての投射型表示装置について、図11を参照しながら説明する。図11は、上記した液晶装置を備えた投射型表示装置の構成を示す概略図である。
上記したように、第1配線51を遮光膜、第2配線52を中継電極とすることに限定されず、その他、凹凸のある配線や電極などを、第1配線51及び第2配線52とするようにしてもよい。例えば、第1配線51、第2配線52として、表示領域Eの周囲に配置されたドライバー付近の配線とするようにしてもよい。
上記したように、第1配線51及び第2配線52の側面に形成されたサイドウォール61aは、エッチバック法によって形成することに限定されず、その他の製造方法を用いて形成するようにしてもよい。
上記したように、隣り合うカラーフィルター80の端部が第1配線51の上方で隙間を開けるように配置されていることに限定されず、例えば、隣り合うカラーフィルター80の端部が隣接するように、言い換えれば、跨ぐように配置されていてもよい。これによれば、表示ムラになることを抑えることができる。
上記したように、電気光学装置として液晶装置100に適用することに限定されず、例えば、有機EL装置、プラズマディスプレイ、電子ペーパー等に適用するようにしてもよい。
Claims (7)
- 基材の上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の上に、第1配線及び第2配線を形成する工程と、
前記第1配線で挟まれた領域の前記絶縁層の上にカラーフィルターを形成する工程と、
前記第1配線、前記第2配線、前記カラーフィルター、及び前記絶縁層の上に第1酸化膜を形成する工程と、
前記第1酸化膜をエッチングして、前記第1配線の側面、及び前記第2配線の側面に前記第1酸化膜の一部からなるサイドウォールを形成する工程と、
前記第1配線、前記第2配線、前記サイドウォール、前記カラーフィルター、及び前記絶縁層の上に、第2酸化膜を形成する工程と、
前記第2酸化膜の上に透明電極膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。 - 請求項1に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
前記サイドウォールは、前記第1酸化膜をエッチバック処理して形成することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
前記第2配線は、画素電極と電気的に接続される中継電極であることを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。 - 基材の上に、
絶縁層と、
前記絶縁層の上に設けられた第1配線及び第2配線と、
前記第1配線で挟まれた領域の前記絶縁層の上に設けられたカラーフィルターと、
前記第1配線及び前記第2配線の側面に設けられた第1酸化膜からなるサイドウォールと、
前記第1配線、前記第2配線、前記サイドウォール、前記カラーフィルター、及び前記絶縁層を覆うように設けられた第2酸化膜と、
前記第2酸化膜上に設けられた画素電極と、を備え、
前記第1配線の側壁及び前記第2配線の側壁の角度に対し、前記サイドウォールの側壁の角度が緩やかであることを特徴とする電気光学装置用基板。 - 請求項4に記載の電気光学装置用基板であって、
前記第2配線は、前記画素電極と電気的に接続される中継電極であることを特徴とする電気光学装置用基板。 - 請求項4又は請求項5に記載の電気光学装置用基板と、
前記電気光学装置用基板と対向配置された対向基板と、
前記電気光学装置用基板と前記対向基板との間に配置された電気光学層と、
を備えることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項6に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
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