JP6269476B2 - ガスバリア性フィルム - Google Patents

Description

本発明は、高いガスバリア性が必要とされる食品、医薬品の包装用途や太陽電池、電子ペーパー、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレーなどの電子デバイス用途に使用されるガスバリア性フィルムに関する。

高分子基材の表面に、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化マグネシウム等の無機物（無機酸化物を含む）を使用し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理気相成長法（ＰＶＤ法）、あるいは、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（ＣＶＤ法）等を利用して、その無機物の蒸着膜を形成してなるガスバリア性フィルムは、水蒸気や酸素などの各種ガスの遮断を必要とする食品や医薬品などの包装材および薄型テレビ、太陽電池などの電子デバイス部材として用いられている。

ガスバリア性向上技術としては、例えば、有機ケイ素化合物の蒸気と酸素を含有するガスを用いてプラズマＣＶＤ法により基材上に、ケイ素酸化物を主体とし、炭素、水素、ケイ素及び酸素を少なくとも１種類含有した化合物とすることによって、透明性を維持しつつガスバリア性を向上させる方法が開示されている（特許文献１）。また、プラズマＣＶＤ法などの成膜方法以外によるガスバリア性向上技術としては、ガスバリア性を低下させるピンホールやクラックの発生原因となる突起や凹凸を減少させた平滑基材や表面平滑化を目的としたアンダーコート層を設けた基材が用いられていたり（特許文献２、３、４）、ウェットコート法により形成したポリシラザン膜を酸化ケイ素膜や酸窒化ケイ素膜へ転化させる方法（特許文献５、６）が開示されている。

特開平８−１４２２５２号公報 特開２００２−１１３８２６号公報 国際公開第２０１２／１３７６６２号パンフレット 国際公開第２０１３／０６１７２６号パンフレット 国際公開第２０１１／００７５４３号パンフレット 国際公開第２０１１／００４６９８号パンフレット

しかしながら、特許文献１のように、プラズマＣＶＤ法によりケイ素酸化物を主成分としたガスバリア性の層を形成する方法では、基材の種類によって、形成されるガスバリア層の膜質は異なり、安定したガスバリア性が得られず、ガスバリア性を安定させるために厚膜化する必要があるため、耐屈曲性の低下や製造コストの増加という問題がある。また、特許文献２のように、ガスバリア層を形成する基材に平滑基材や表面平滑化を目的としたアンダーコート層を設けた基材を用いた方法は、ピンホールやクラックの発生を防止することでガスバリア性は向上するものの、性能の向上は不十分であった。一方、特許文献３、４では、形成されるガスバリア層の膜質は改善されるため性能の向上は見られるものの、安定して高いガスバリア性を発現させることが困難であるという問題がある。また、特許文献５、６のポリシラザン層でガスバリア性の層を形成する方法では、層を形成する際の条件に影響を受けやすく、十分なガスバリア性のあるガスバリア性フィルムを安定して得るためには複数のポリシラザン層を積層する必要があるため、耐屈曲性の低下や製造コストの増加という問題がある。

本発明は、かかる従来技術の背景に鑑み、厚膜化や多層積層をせずとも高度なガスバリア性を有し、かつ、耐屈曲性に優れたガスバリア性フィルムを提供せんとするものである。

本発明は、かかる課題を解決するために、次のような手段を採用する。すなわち、
（１）高分子基材の少なくとも片側に、無機層［Ａ］と、ケイ素化合物層［Ｂ］とを前記高分子基材側からこの順に有するガスバリア性フィルムであって、無機層［Ａ］が、亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含み、ケイ素化合物層［Ｂ］が、ケイ素酸窒化物を含み、かつ無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］が接しており、無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］側の界面領域［１］におけるＸ線光電子分光法で得られるＺｎＬＭＭスペクトルが、無機層［Ａ］の中央部における同スペクトルに対し、相対的にブロードであるガスバリア性フィルム。
（２）前記高分子基材と前記無機層［Ａ］との間に、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を架橋して得られる構造を含むアンダーコート層［Ｃ］を有する（１）に記載のガスバリア性フィルム。
（３）前記無機層［Ａ］が、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの共存相からなる無機層［Ａ１］または硫化亜鉛と二酸化ケイ素の共存相からなる無機層［Ａ２］のいずれかである（１）または（２）に記載のガスバリア性フィルム。
（４）前記無機層［Ａ］が前記無機層［Ａ１］であり、該無機層［Ａ１］が、ＩＣＰ発光分光分析法により測定される亜鉛原子濃度が２０〜４０ａｔｏｍ％、ケイ素原子濃度が５〜２０ａｔｏｍ％、アルミニウム原子濃度が０．５〜５ａｔｏｍ％、酸素原子濃度が３５〜７０ａｔｏｍ％である組成により構成されたものである（３）に記載のガスバリア性フィルム。
（５）前記無機層［Ａ］が前記無機層［Ａ２］であり、該無機層［Ａ２］は、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率が０．７〜０．９である組成により構成されたものである（３）に記載のガスバリア性フィルム。
（６）前記ケイ素化合物層［Ｂ］が、Ｘ線光電子分光法で元素分布を測定した際に、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、１．０未満である（１）〜（５）のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
（７）前記アンダーコート層［Ｃ］が有機ケイ素化合物および／または無機ケイ素化合物を含む（２）〜（６）のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
（８）（１）〜（７）のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを有する電子デバイス。
（９）高分子基材上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸窒化物を含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む（１）〜（７）のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを製造するガスバリア性フィルムの製造方法。
（１０）高分子基材上に、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてアンダーコート層［Ｃ］を設ける工程ｃと、該アンダーコート層［Ｃ］上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸化物とケイ素酸窒化物とを含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む（１）〜（７）のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを製造するガスバリア性フィルムの製造方法。

水蒸気に対する高度なガスバリア性を有し、かつ、耐屈曲性に優れたガスバリア性フィルムを提供することができる。

本発明のガスバリア性フィルムの一例を示した断面図である。 本発明のガスバリア性フィルムを製造するための巻き取り式スパッタリング装置を模式的に示す概略図である。 実施例１で得られた本発明のガスバリア性フィルムの、前記ケイ素化合物層［Ｂ］の表面から前記無機層［Ａ］に向かう深さ方向にＸ線光電子分光法で測定した元素分布を示したグラフである。 ［図３］のグラフにおいて、前記無機層［Ａ］と前記ケイ素化合物層［Ｂ］との界面領域［Ｉ］におけるＸ線光電子分光法で得られたＺｎＬＭＭスペクトルを示したグラフである。 耐屈曲性試験の概略図である。 本発明のガスバリア性フィルムの一例を示した断面図である。

発明者らは、水蒸気等に対する高度なガスバリア性を有し、かつ、耐屈曲性に優れたガスバリア性フィルムを得ることを目的として鋭意検討を重ね、高分子基材の少なくとも片側に、前記高分子基材側から亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］と、ケイ素酸窒化物を含むケイ素化合物層［Ｂ］とを、この順に接するように積層したところ、前記課題を解決することを見出したものである。

図１は、本発明のガスバリア性フィルムの一例を示す断面図である。本発明のガスバリア性フィルムは、図１に示すように、高分子基材１の片側に、高分子基材１側から亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］と、ケイ素酸窒化物を含むケイ素化合物層［Ｂ］とが、この順に接するように積層されたものである。なお、図１の例は、本発明のガスバリア性フィルムの最小限の構成を示すものであり、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］のみが高分子基材１の片側に配置されているが、高分子基材と無機層［Ａ］との間に他の層が配されてもよく、また、高分子基材１の無機層［Ａ］が積層されている側と反対側に他の層が配されていてもよい。

ここで、無機層［Ａ］と、ケイ素化合物層［Ｂ］との境界について図３を用いて説明する。図３は、本発明のガスバリア性フィルムの一例について、前記ケイ素化合物層［Ｂ］の表面を深さ（図中「Ｄｅｐｔｈ」と表記）０．０ｎｍとし、前記無機層［Ａ］に向かう方向の深さに対してＸ線光電子分光法で測定した元素分布を示したグラフである。無機層［Ａ］は亜鉛を含んでいるが、前記ケイ素化合物層［Ｂ］の側では、亜鉛の原子濃度（図中では「Ａｔｏｍｉｃ Ｃｏｎｃｅｎｔｏｒａｔｉｏｎ（％）」と表記）が減少する。この際に、亜鉛の原子濃度が、最小となるところを無機層［Ａ］と、ケイ素化合物層［Ｂ］との境界と定義する。なお、界面領域［Ｉ］については定義を含め後述する。

本発明のかかる顕著な効果が得られる理由は以下のように推定している。すなわち、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］を接するように積層することで、無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］を形成する側の表面近傍に存在するピンホールやクラック等の欠陥にケイ素化合物層［Ｂ］を構成するケイ素酸窒化物が充填されることで高いバリア性を発現することが可能となる。また、ケイ素化合物層［Ｂ］が無機層［Ａ］と接して形成されることで、前記無機層［Ａ］に含まれる酸化亜鉛等の成分が触媒として作用してケイ素化合物層［Ｂ］の膜質が改質し易くなり、ガスバリア性が向上する。加えて、無機層［Ａ］を構成する成分とケイ素化合物層［Ｂ］を構成する成分とが化学結合を有することで無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］との密着性が向上し、優れた耐屈曲性を得ることができる。

［高分子基材］
本発明に用いられる高分子基材は、柔軟性を確保する観点からフィルム形態を有することが好ましい。フィルムの構成としては、単層フィルム、または２層以上の、例えば、共押し出し法で製膜したフィルムであってもよい。フィルムの種類としては、一軸方向あるいは二軸方向に延伸されたフィルム等を使用してもよい。

本発明に用いられる高分子基材の素材は特に限定されないが、有機高分子を主たる構成成分とするものであることが好ましい。本発明に好適に用いることができる有機高分子としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等の結晶性ポリオレフィン、環状構造を有する非晶性環状ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル、ポリアセタール等の各種ポリマーなどを挙げることができる。これらの中でも、透明性や汎用性、機械特性に優れた非晶性環状ポリオレフィンまたはポリエチレンテレフタレートを含むことが好ましい。また、前記有機高分子は、単独重合体、共重合体のいずれでもよいし、有機高分子として１種類のみを用いてもよいし、複数種類をブレンドして用いてもよい。

高分子基材の無機層［Ａ］を形成する側の表面には、密着性や平滑性を良くするためにコロナ処理、プラズマ処理、紫外線処理、イオンボンバード処理、溶剤処理、有機物もしくは無機物またはそれらの混合物で構成されるアンダーコート層の形成処理、等の前処理が施されていてもよい。また、無機層［Ａ］を形成する側の反対側には、フィルムの巻き取り時の滑り性の向上を目的として、有機物や無機物あるいはこれらの混合物のコーティング層が積層されていてもよい。

本発明に使用する高分子基材の厚みは特に限定されないが、柔軟性を確保する観点から５００μｍ以下が好ましく、引張りや衝撃に対する強度を確保する観点から５μｍ以上が好ましい。さらに、フィルムの加工やハンドリングの容易性から高分子基材の厚みは１０μｍ以上、２００μｍ以下がより好ましい。

［無機層［Ａ］］
本発明における無機層［Ａ］は、亜鉛化合物およびケイ素酸化物を含んでいれば、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、スズ（Ｓｎ）、インジウム（Ｉｎ）、ニオブ（Ｎｂ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）等の元素の酸化物、窒化物、硫化物、または、それらの混合物を含んでいてもよい。例えば、高いガスバリア性が得られる無機層［Ａ］として、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの共存相からなる無機層［Ａ１］または硫化亜鉛と二酸化ケイ素の共存相からなる無機層［Ａ２］が好適に用いられる。無機層［Ａ１］と無機層［Ａ２］のそれぞれの詳細は後述する。

本発明に使用する無機層［Ａ］の厚みは、ガスバリア性を発現する層の厚みとして１０ｎｍ以上、１，０００ｎｍ以下が好ましい。層の厚みが１０ｎｍより薄くなると、十分にガスバリア性が確保できない箇所が発生し、高分子基材面内でガスバリア性がばらつく場合がある。また、層の厚みが１，０００ｎｍより厚くなると、層内に残留する応力が大きくなるため、曲げや外部からの衝撃によって無機層［Ａ］にクラックが発生しやすくなり、使用に伴いガスバリア性が低下する場合がある。従って、無機層［Ａ］の厚みは１０ｎｍ以上、１，０００ｎｍ以下が好ましく、柔軟性を確保する観点から１００ｎｍ以上、５００ｎｍ以下がより好ましい。無機層［Ａ］の厚みは、通常は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による断面観察により測定することが可能である。

本発明に使用する無機層［Ａ］の中心面平均粗さＳＲａは、１０ｎｍ以下であることが好ましい。ＳＲａが１０ｎｍより大きくなると、無機層［Ａ］表面の凹凸形状が大きくなり、積層されるスパッタ粒子間に隙間ができるため、膜質が緻密になりにくく、膜厚を厚く形成してもガスバリア性の向上効果は得られにくくなる場合がある。また、ＳＲａが１０ｎｍより大きくなると、無機層［Ａ］上に積層するケイ素化合物層［Ｂ］の膜質が均一にならないため、ガスバリア性が低下する場合がある。従って、無機層［Ａ］のＳＲａは１０ｎｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは７ｎｍ以下である。

本発明における無機層［Ａ］のＳＲａは、三次元表面粗さ測定機を用いて測定することができる。

本発明において無機層［Ａ］を形成する方法は特に限定されず、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法等によって形成することができる。これらの方法の中でも、簡便かつ緻密に無機層［Ａ］を形成可能であることから、スパッタリング法が好ましい。

［無機層［Ａ１］］
本発明において無機層［Ａ］として好適に用いられる、酸化亜鉛−二酸化ケイ素−酸化アルミニウムの共存相からなる層である無機層［Ａ１］について詳細を説明する。なお、「酸化亜鉛−二酸化ケイ素−酸化アルミニウムの共存相」を「ＺｎＯ−ＳｉＯ_２−Ａｌ_２Ｏ_３」と略記することもある。また、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）は、生成時の条件によって、左記組成式のケイ素と酸素の組成比率から若干ずれたもの（ＳｉＯ〜ＳｉＯ_２）が生成することがあるが、二酸化ケイ素あるいはＳｉＯ_２と表記することとする。かかる組成比の化学式からのずれに関しては、酸化亜鉛、酸化アルミニウムについても同様の扱いとし、それぞれ、生成時の条件に依存する組成比のずれに関わらず、酸化亜鉛またはＺｎＯ、酸化アルミニウムまたはＡｌ_２Ｏ_３と表記することとする。

本発明のガスバリア性フィルムにおいて無機層［Ａ１］を適用することによりガスバリア性が良好となる理由は、酸化亜鉛−二酸化ケイ素−酸化アルミニウムの共存相においては酸化亜鉛に含まれる結晶質成分と二酸化ケイ素の非晶質成分とを共存させることによって、微結晶を生成しやすい酸化亜鉛の結晶成長が抑制され粒子径が小さくなるため層が緻密化し、水蒸気の透過が抑制されるためと推測している。

また、酸化アルミニウムを共存させることによって、酸化亜鉛と二酸化ケイ素を共存させる場合に比べて、より結晶成長を抑制することができるため、さらなる層の緻密化ができること、それに伴い、使用時におけるクラックの生成に起因するガスバリア性低下についても抑制できたものと考えられる。

無機層［Ａ１］の組成は、後述するようにＩＣＰ発光分光分析法により測定することができる。ＩＣＰ発光分光分析法により測定される亜鉛原子濃度は２０〜４０ａｔｏｍ％、ケイ素原子濃度は５〜２０ａｔｏｍ％、アルミニウム原子濃度は０．５〜５ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度は３５〜７０ａｔｏｍ％であることが好ましい。亜鉛原子濃度が４０ａｔｏｍ％より大きくなる、またはケイ素原子濃度が５ａｔｏｍ％より小さくなると、酸化亜鉛の結晶成長を抑制する二酸化ケイ素および／または酸化アルミニウムが不足するため、空隙部分や欠陥部分が増加し、十分なガスバリア性が得られない場合がある。亜鉛原子濃度が２０ａｔｏｍ％より小さくなる、またはケイ素原子濃度が２０ａｔｏｍ％より大きくなると、層内部の二酸化ケイ素の非晶質成分が増加して層の柔軟性が低下する場合がある。また、アルミニウム原子濃度が５ａｔｏｍ％より大きくなると、酸化亜鉛と二酸化ケイ素の親和性が過剰に高くなるため膜の鉛筆硬度が上昇し、熱や外部からの応力に対してクラックが生じやすくなる場合がある。アルミニウム原子濃度が０．５ａｔｏｍ％より小さくなると、酸化亜鉛と二酸化ケイ素の親和性が不十分となり、層を形成する粒子間の結合力が向上できないため、柔軟性が低下する場合がある。また、酸素原子濃度が７０ａｔｏｍ％より大きくなると、無機層［Ａ１］内の欠陥量が増加するため、所望のガスバリア性が得られない場合がある。酸素原子濃度が３５ａｔｏｍ％より小さくなると、亜鉛、ケイ素、アルミニウムの酸化状態が不十分となり、結晶成長が抑制できず粒子径が大きくなるため、ガスバリア性が低下する場合がある。かかる観点から、亜鉛原子濃度が２５〜３５ａｔｏｍ％、ケイ素原子濃度が１０〜１５ａｔｏｍ％、アルミニウム原子濃度が１〜３ａｔｏｍ％、酸素原子濃度が５０〜６４ａｔｏｍ％であることがより好ましい。

無機層［Ａ１］の組成は、層の形成時に使用した混合焼結材料と同様の組成で形成されるため、目的とする層の組成に合わせた組成の混合焼結材料を使用することで無機層［Ａ１］の組成を調整することが可能である。

無機層［Ａ１］の組成は、ＩＣＰ発光分光分析法により、亜鉛、ケイ素、アルミニウムの各元素を定量し、酸化亜鉛と二酸化ケイ素、酸化アルミニウムおよび含有する無機酸化物の組成比として算出する。なお、酸素原子は亜鉛原子、ケイ素原子、アルミニウム原子が、それぞれ酸化亜鉛（ＺｎＯ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）として存在すると仮定して算出する。ＩＣＰ発光分光分析は、試料をアルゴンガスとともにプラズマ光源部に導入した際に発生する発光スペクトルから、多元素の同時計測が可能な分析手法であり、組成分析に適用することができる。無機層［Ａ１］上に無機層や樹脂層が積層されている場合、必要に応じてイオンエッチングや薬液処理により層を除去した後、ＩＣＰ発光分光分析を行うことができる。

［無機層［Ａ２］］
次に、本発明において無機層［Ａ］として好適に用いられる、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の共存相からなる層である無機層［Ａ２］について詳細を説明する。なお、「硫化亜鉛−二酸化ケイ素共存相」を、「ＺｎＳ−ＳｉＯ_２」と略記することもある。また、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）は、その生成時の条件によって、左記組成式のケイ素と酸素の組成比率から若干ずれたもの（ＳｉＯ〜ＳｉＯ_２）が生成することがあるが、二酸化ケイ素あるいはＳｉＯ_２と表記することとする。かかる組成比の化学式からのずれに関しては、硫化亜鉛についても同様の扱いとし、生成時の条件に依存する組成比のずれに関わらず、硫化亜鉛またはＺｎＳと表記することとする。

本発明のガスバリア性フィルムにおいて無機層［Ａ２］を適用することによりガスバリア性が良好となる理由は、硫化亜鉛−二酸化ケイ素共存相においては硫化亜鉛に含まれる結晶質成分と二酸化ケイ素の非晶質成分とを共存させることによって、微結晶を生成しやすい硫化亜鉛の結晶成長が抑制され粒子径が小さくなるため層が緻密化し、水蒸気の透過が抑制されるためと推測している。

また、結晶成長が抑制された硫化亜鉛を含む硫化亜鉛−二酸化ケイ素共存相は、無機酸化物または金属酸化物だけで形成された層よりも柔軟性がより高くなり、熱や外部からの応力に対してクラックが生じにくい層となるため、かかる無機層［Ａ２］を適用することにより、使用時におけるクラックの生成に起因するガスバリア性低下についても抑制できたものと考えられる。

無機層［Ａ２］の組成は、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率が０．７〜０．９であることが好ましい。硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率が０．９より大きくなると、硫化亜鉛の結晶成長を抑制する二酸化ケイ素が不足するため、空隙部分や欠陥部分が増加し、所定のガスバリア性が得られない場合がある。また、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率が０．７より小さくなると、無機層［Ａ２］内部の二酸化ケイ素の非晶質成分が増加して層の柔軟性が低下するため、機械的な曲げに対するガスバリア性フィルムの柔軟性が低下する場合がある。硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率のさらに好ましい範囲は０．７５〜０．８５である。

無機層［Ａ２］の組成は、層の形成時に使用した混合焼結材料と同様の組成で形成されるため、目的に合わせた組成の混合焼結材料を使用することで無機層［Ａ２］の組成を調整することが可能である。

無機層［Ａ２］の組成分析は、ＩＣＰ発光分光分析によりまず亜鉛及びケイ素の組成比を求め、この値を基にラザフォード後方散乱法を使用して、各元素を定量分析し硫化亜鉛と二酸化ケイ素および含有する他の無機酸化物の組成比を知ることができる。ＩＣＰ発光分光分析は、試料をアルゴンガスとともにプラズマ光源部に導入した際に発生する発光スペクトルから、多元素の同時計測が可能な分析手法であり、組成分析に適用することができる。また、ラザフォード後方散乱法は高電圧で加速させた荷電粒子を試料に照射し、そこから跳ね返る荷電粒子の数、エネルギーから元素の特定、定量を行い、各元素の組成比を知ることができる。なお、無機層［Ａ２］は硫化物と酸化物の複合層であるため、硫黄と酸素の組成比分析が可能なラザフォード後方散乱法による分析を実施する。無機層［Ａ２］上に無機層や樹脂層が積層されている場合、必要に応じてイオンエッチングや薬液処理により層を除去した後、ＩＣＰ発光分光分析及び、ラザフォード後方散乱法にて分析することができる。

［ケイ素化合物層［Ｂ］］
次に、ケイ素化合物層［Ｂ］について詳細を説明する。本発明におけるケイ素化合物層［Ｂ］は、ケイ素酸窒化物を含む層であり、酸化物、窒化物、有機化合物、または、それらの混合物を含んでいてもよい。例えば、屈折率、硬さ、密着性などの制御を目的として、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_３Ｎ_４、アルコキシシランなど他のケイ素化合物を含んでいてもよい。なお、ケイ素化合物層［Ｂ］の組成は、Ｘ線光電子分光法により測定することができる。水蒸気透過度の観点から、ケイ素化合物層［Ｂ］は、ケイ素酸窒化物を０．１〜１００質量％含むことが好ましい。

本発明のガスバリア性フィルムにおいてケイ素化合物層［Ｂ］を適用することによりガスバリア性が良好となる理由は以下の（ｉ）（ｉｉ）のように推定している。

（ｉ）まず、層としての寄与として、層がケイ素酸窒化物を含むことでＳｉＯ_２のみで形成された層よりも緻密な層となり、酸素および水蒸気の透過が抑制されるため初期のガスバリア性が高い層となること、加えて、Ｓｉ_３Ｎ_４のみで形成された層よりも柔軟性が高いため、使用時において熱や外部からの応力に対してクラックが生じにくく、クラック生成に起因するガスバリア性低下が抑制できる層となることと推定している。

（ｉｉ）次に、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］を接するように積層することによる寄与として、無機層［Ａ］が有するピンホールやクラック等の欠陥にケイ素化合物層［Ｂ］に含まれるケイ素酸窒化物が充填され高いバリア性を発現することが可能となること、また、ケイ素化合物層［Ｂ］が無機層［Ａ］と接することで、前記無機層［Ａ］に含まれる酸化亜鉛等の成分が触媒として作用してケイ素化合物層［Ｂ］膜質が改質し易くなり、ガスバリア性がさらに向上すること、加えて、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］とが化学結合を有することで無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］との密着性が向上し、使用時における優れた耐屈曲性を得ることと推定している。なお、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］との界面領域についての詳細は、後述する。

本発明に用いるケイ素化合物層［Ｂ］の厚みは、５０ｎｍ以上、２，０００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以上、１，０００ｎｍがより好ましい。ケイ素化合物層［Ｂ］の厚みが５０ｎｍより薄くなると、安定した水蒸気バリア性能を得ることができない場合がある。ケイ素化合物層［Ｂ］の厚みが２，０００ｎｍより厚くなると、ケイ素化合物層［Ｂ］内に残留する応力が大きくなることによって高分子基材が反り、ケイ素化合物層［Ｂ］および／または無機層［Ａ］にクラックが発生してガスバリア性が低下する場合がある。従って、ケイ素化合物層［Ｂ］の厚みは５０ｎｍ以上、２，０００ｎｍ以下が好ましい。ケイ素化合物層［Ｂ］の厚みは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による断面観察画像から測定することが可能である。

本発明に使用するケイ素化合物層［Ｂ］の中心面平均粗さＳＲａは、１０ｎｍ以下であることが好ましい。ＳＲａを１０ｎｍ以下にすると、ガスバリア性の繰り返し再現性が向上するため好ましい。ケイ素化合物層［Ｂ］の表面のＳＲａが１０ｎｍより大きくなると、凹凸が多い部分で応力集中によるクラックが発生し易いため、ガスバリア性の繰り返し再現性が低下する原因となる場合がある。従って、本発明においては、ケイ素化合物層［Ｂ］のＳＲａを１０ｎｍ以下にすることが好ましく、さらに好ましくは７ｎｍ以下である。

本発明におけるケイ素化合物層［Ｂ］のＳＲａは、三次元表面粗さ測定機を用いて測定することができる。

ケイ素化合物層［Ｂ］が、Ｘ線光電子分光法で元素分布を測定した際に、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、１．０未満であることが好ましい。ケイ素化合物層［Ｂ］が、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、１．０未満であると、高度なガスバリア性を有し、かつ、耐屈曲性に優れる層となるため好ましい。ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１より小さくなる、またはケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が１．０以上となると、ケイ素化合物層［Ｂ］が過剰に緻密な膜となって柔軟性が不足し、熱や外部からの応力でクラックが生じやすくなり、ガスバリア性を低下させる場合がある。ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が２．０以上となる、またはケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１より小さくなると、と、ケイ素化合物層［Ｂ］の緻密性が不足し、充分なガスバリア性が得られなくなる場合がある。かかる観点から、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．３以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、０．８未満である領域を有することがより好ましい。

本発明に用いられるケイ素化合物層［Ｂ］の材料としては、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物が好ましく用いられる。ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物としては、例えば下記の化学式（１）で表される部分構造を有する化合物を好ましく用いることができる。具体的には、パーヒドロポリシラザン、オルガノポリシラザン、およびこれらの誘導体より選択される一種または二種以上を組み合わせて用いることができる。本発明においては、ガスバリア性向上の観点から下記の化学式（１）に示されるＲ_１、Ｒ_２、Ｒ_３の全てが水素であるパーヒドロポリシラザンを用いることが好ましいが、水素の一部又は全部がアルキル基等の有機基で置換されたオルガノポリシラザンであってもよい。また、単一の組成で用いてもよいし、二成分以上を混合して使用してもよい。

［無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］側の界面領域［Ｉ］］
本発明において無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］側の界面領域［Ｉ］におけるＸ線光電子分光法で得られるＺｎＬＭＭスペクトル（例を、図４太線に示す）が、無機層［Ａ］の中央部における同スペクトル（例を、図４細線に示す）に対し、相対的にブロードであることが好ましい。ここで、ＺｎＬＭＭスペクトルが相対的にブロードであるとは、ピークトップの強度を１に規格化したときの強度０．４におけるスペクトルの幅の比較に基づくものとする。さらに、スペクトルがブロードとなる場合に、スペクトルの低結合エネルギー側（図４における横軸の右側方向が低結合エネルギー側方向に相当）がブロードになっていることがより好ましい。

ここで、Ｘ線光電子分光法でＺｎＬＭＭスペクトルを測定する「無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］側の界面領域［Ｉ］」とは、図３に示す様に、前記ケイ素化合物層［Ｂ］の表面から深さ方向にＸ線光電子分光法で元素分布を測定した際に、窒素原子と亜鉛原子が共存する領域をいい、無機層［Ａ］の中央部とは、前記ケイ素化合物層［Ｂ］との境界から無機層［Ａ］を深さ方向にＸ線光電子分光法で元素分布を測定した際に、前記無機層［Ａ］の全深さの半分の深さ位置を中心とする±２０ｎｍの領域をいう。

Ｘ線光電子分光法のスペクトルがブロードであるということは異なる結合状態が存在していることを示す。すなわち、前記無機層［Ａ］の中央部と比較し、ＺｎＯと異なる結合状態のＺｎ化合物が界面領域［Ｉ］に相対的に多く含まれていると言える。詳細は定かでないが、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］の組成および、ＺｎＯと異なる結合状態のＺｎ化合物が界面領域［Ｉ］に相対的に多く含まれていることから、界面領域［Ｉ］は無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］とが混在し反応してできた領域であると考えられる、すなわち、無機層［Ａ］が有するピンホールやクラック等の欠陥にケイ素化合物層［Ｂ］が充填され、かつ化学結合を形成していると考えられ、これにより高いバリア性を発現することが可能となる。加えて、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］との密着性が向上し、優れた耐屈曲性を得ることができると考えられる。

［アンダーコート層［Ｃ］］
本発明のガスバリア性フィルムには、ガスバリア性向上、耐屈曲性向上のため、前記高分子基材と前記無機層［Ａ］との間に芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を架橋して得られる構造を含むアンダーコート層［Ｃ］を設けることが好ましい。高分子基材上に突起や小擦り傷などの欠点が存在する場合、前記欠点を起点に高分子基材上に積層する無機層［Ａ］にもピンホールやクラックが発生してガスバリア性や耐屈曲性が損なわれる場合があるため、本発明のアンダーコート層［Ｃ］を設けるのが好ましい。また、高分子基材と無機層［Ａ］との熱寸法安定性差が大きい場合もガスバリア性や耐屈曲性が低下する場合があるため、本発明のアンダーコート層［Ｃ］を設けるのが好ましい。また、本発明に用いられるアンダーコート層［Ｃ］は、熱寸法安定性、耐屈曲性の観点から芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含有することが好ましく、さらに、エチレン性不飽和化合物［Ｃ２］、光重合開始剤［Ｃ３］、有機ケイ素化合物［Ｃ４］および／または無機ケイ素化合物［Ｃ５］を含有することがより好ましい。

［芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］］
本発明に用いられる芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］は、主鎖あるいは側鎖に芳香族環およびウレタン結合を有するものであり、例えば、分子内に水酸基と芳香族環とを有するエポキシ（メタ）アクリレート（ｃ１）、ジオール化合物（ｃ２）、ジイソシアネート化合物（ｃ３）とを重合させて得ることができる。

分子内に水酸基と芳香族環とを有するエポキシ（メタ）アクリレート（ｃ１）としては、ビスフェノールＡ型、水添ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型、水添ビスフェノールＦ型、レゾルシン、ヒドロキノン等の芳香族グリコールのジエポキシ化合物と（メタ）アクリル酸誘導体とを反応させて得ることができる。

ジオール化合物（ｃ２）としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，７−ヘプタンジオール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、２，４−ジメチル−２−エチルヘキサン−１，３−ジオール、ネオペンチルグリコール、２−エチル−２−ブチル−１，３−プロパンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、２，２，４，４−テトラメチル−１，３−シクロブタンジオール、４，４’−チオジフェノール、ビスフェノールＡ、４，４’−メチレンジフェノール、４，４’−（２−ノルボルニリデン）ジフェノール、４，４’−ジヒドロキシビフェノール、ｏ−，ｍ−，及びｐ−ジヒドロキシベンゼン、４，４’−イソプロピリデンフェノール、４，４’−イソプロピリデンビンジオール、シクロペンタン−１，２−ジオール、シクロヘキサン−１，２−ジオール、シクロヘキサン−１，４−ジオール、ビスフェノールＡなどを用いることができる。これらは１種を単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。

ジイソシアネート化合物（ｃ３）としては、例えば、１，３−フェニレンジイソシアネート、１，４−フェニレンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、２，４−ジフェニルメタンジイソシアネート、４，４−ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族系ジイソシアネート、エチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、リジントリイソシアネート等の脂肪族系ジイソシアネート化合物、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−４，４−ジイソシアネート、メチルシクロヘキシレンジイソシアネート等の脂環族系イソシアネート化合物、キシレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香脂肪族系イソシアネート化合物等が挙げられる。これらは１種を単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。

前記（ｃ１）、（ｃ２）、（ｃ３）の成分比率は所望の重量平均分子量になる範囲であれば特に限定されない。本発明の芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５，０００〜１００，０００であることが好ましい。重量平均分子量（Ｍｗ）が５，０００〜１００，０００であれば、得られる硬化皮膜の熱寸法安定性、耐屈曲性が優れるため好ましい。なお、本発明の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法を用いて測定され標準ポリスチレンで換算された値である。

［エチレン性不飽和化合物［Ｃ２］］
エチレン性不飽和化合物［Ｃ２］としては、例えば、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート等のジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多官能（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＳ型エポキシジ（メタ）アクリレート等のエポキシアクリレート等を挙げられる。これらの中でも、熱寸法安定性、表面保護性能に優れた多官能（メタ）アクリレートが好ましい。また、これらは単一の組成で用いてもよいし、二成分以上を混合して使用してもよい。

エチレン性不飽和化合物［Ｃ２］の含有量は特に限定されないが、熱寸法安定性、表面保護性能の観点から、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］との合計量１００質量％中、５〜９０質量％の範囲であることが好ましく、１０〜８０質量％の範囲であることがより好ましい。

［光重合開始剤［Ｃ３］］
光重合開始剤［Ｃ３］としては、本発明のガスバリア性フィルムのガスバリア性および耐屈曲性を保持することができれば素材は特に限定されない。本発明に好適に用いることができる光重合開始剤としては、例えば、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルーケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−ヒロドキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン等のアルキルフェノン系光重合開始剤、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキシド等のアシルホスフィンオキシド系光重合開始剤、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム等のチタノセン系光重合開始剤、１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（０−ベンゾイルオキシム）］等オキシムエステル構造を持つ光重合開始剤等が挙げられる。

これらの中でも、硬化性、表面保護性能の観点から、１−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルーケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキシドから選ばれる光重合開始剤が好ましい。また、これらは単一の組成で用いてもよいし、二成分以上を混合して使用してもよい。

光重合開始剤［Ｃ３］の含有量は特に限定されないが、硬化性、表面保護性能の観点から、重合性成分の合計量１００質量％中、０．０１〜１０質量％の範囲であることが好ましく、０．１〜５質量％の範囲であることがより好ましい。

［有機ケイ素化合物［Ｃ４］］
有機ケイ素化合物［Ｃ４］としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。

これらの中でも、硬化性、活性エネルギー線照射による重合活性の観点から、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランからなる群より選ばれる有機ケイ素化合物が好ましい。また、これらは単一の組成で用いてもよいし、二成分以上を混合して使用してもよい。

有機ケイ素化合物［Ｃ４］の含有量は特に限定されないが、硬化性、表面保護性能の観点から、重合性成分の合計量１００質量％中、０．０１〜１０質量％の範囲であることが好ましく、０．１〜５質量％の範囲であることがより好ましい。

［無機ケイ素化合物［Ｃ５］］
無機ケイ素化合物［Ｃ５］としては、表面保護性能、透明性の観点からシリカ粒子が好ましく、さらにシリカ粒子の一次粒子径が１〜３００ｎｍの範囲であることが好ましく、５〜８０ｎｍの範囲であることがより好ましい。なお、ここでいう一次粒子径とは、ガス吸着法により求めた比表面積ｓを下記の式（１）に適用することで求められる粒子直径ｄを指す。

［アンダーコート層［Ｃ］の厚み］
アンダーコート層［Ｃ］の厚みは、２００ｎｍ以上、４，０００ｎｍ以下が好ましい。アンダーコート層［Ｃ］の厚みが２００ｎｍより薄くなると、高分子基材上に存在する突起や小擦り傷などの欠点の悪影響を抑制できない場合がある。アンダーコート層［Ｃ］の厚みが４，０００ｎｍより厚くなると、アンダーコート層［Ｃ］の平滑性が低下して前記アンダーコート層［Ｃ］上に積層する無機層［Ａ］表面の凹凸形状も大きくなり、積層されるスパッタ粒子間に隙間ができるため、膜質が緻密になりにくく、ガスバリア性の向上効果が得られにくくなる場合がある。従って、アンダーコート層［Ｃ］の厚みは２００ｎｍ以上、４，０００ｎｍ以下が好ましい。ケイ素化合物層［Ｂ］の厚みは、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による断面観察画像から測定することが可能である。

アンダーコート層［Ｃ］の中心面平均粗さＳＲａは、１０ｎｍ以下であることが好ましい。ＳＲａを１０ｎｍ以下にすると、アンダーコート層［Ｃ］上に均質な無機層［Ａ］を得やすくなり、ガスバリア性の繰り返し再現性が向上するため好ましい。アンダーコート層［Ｃ］の表面のＳＲａが１０ｎｍより大きくなると、アンダーコート層［Ｃ］上の無機層［Ａ］表面の凹凸形状も大きくなり、積層されるスパッタ粒子間に隙間ができるため、膜質が緻密になりにくく、ガスバリア性の向上効果が得られにくくなる場合があり、また、凹凸が多い部分で応力集中によるクラックが発生し易いため、ガスバリア性の繰り返し再現性が低下する原因となる場合がある。従って、本発明においては、アンダーコート層［Ｃ］のＳＲａを１０ｎｍ以下にすることが好ましく、さらに好ましくは７ｎｍ以下である。

本発明におけるアンダーコート層［Ｃ］のＳＲａは、三次元表面粗さ測定機を用いて測定することができる。

［その他の層］
本発明のガスバリア性フィルムの最表面の上には、ガスバリア性が低下しない範囲で耐擦傷性の向上を目的としたハードコート層を形成してもよいし、有機高分子化合物からなるフィルムをラミネートした積層構成としてもよい。なお、ここでいう最表面とは、高分子基材上に無機層［Ａ］およびケイ素化合物層［Ｂ］が接するようにこの順に積層された後の、無機層［Ａ］と接していない側のケイ素化合物層［Ｂ］の表面をいう。

［ガスバリア性フィルムの製造方法］
本発明のガスバリア性フィルムの製造方法について以下に詳細を説明する。

本発明のガスバリア性フィルムは、高分子基材上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸窒化物を含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む工程を経て作製される。

また、本発明のガスバリア性フィルムは、高分子基材上に、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてアンダーコート層［Ｃ］を設ける工程ｃと、該アンダーコート層［Ｃ］上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸化物とケイ素酸窒化物とを含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む工程を経て作製される。

［工程ａ］
工程ａでは、簡便かつ緻密に無機層を形成可能であるため、図２に示す構造の巻き取り式のスパッタリング装置を使用することが好ましい。無機層［Ａ］の組成は、層の形成時に使用した混合焼結材料と同様の組成で形成されるため、目的とする層の組成に合わせた組成の混合焼結材料を使用することで組成を調整することが可能である。

例えば、無機層［Ａ１］を設ける場合はスパッタ電極に酸化亜鉛／二酸化ケイ素／酸化アルミニウムの組成で焼結されたスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置を用いればよい。さらに、酸化亜鉛／二酸化ケイ素／酸化アルミニウムの組成質量比が７７／２０／３で焼結されたスパッタターゲットを用いることが好ましい。かかるスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置の巻き取り室の中で、巻き出しロールに前記高分子基材を無機層［Ａ１］を設ける側の面がスパッタ電極に対向するようにセットし、巻き出し、ガイドロールを介して、クーリングドラムに通す。減圧度２×１０^−１Ｐａとなるように酸素ガス分圧１０％としてアルゴンガスおよび酸素ガスを導入し、直流電源により投入電力４，０００Ｗを印加することにより、アルゴン・酸素ガスプラズマを発生させ、スパッタリングにより前記高分子基材の表面上に無機層［Ａ１］を形成する。厚みは、フィルム搬送速度により所望の厚みになるよう調整する。その後、ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取る。

また、無機層［Ａ２］を設ける場合はスパッタ電極に硫化亜鉛／二酸化ケイ素の組成で焼結されたスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置を用いればよい。さらに、硫化亜鉛／二酸化ケイ素のモル比が８０／２０で焼結されたスパッタターゲットを用いることが好ましい。かかるスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置の巻き取り室の中で、巻き出しロールに前記高分子基材を無機層［Ａ２］を設ける側の面がスパッタ電極に対向するようにセットし、巻き出し、ガイドロールを介して、クーリングドラムに通す。減圧度２×１０^−１Ｐａとなるようにアルゴンガスを導入し、高周波電源により投入電力５００Ｗを印加することにより、アルゴンプラズマを発生させ、スパッタリングにより前記高分子基材の表面上に無機層［Ａ２］を形成する。厚みは、フィルム搬送速度により所望の厚みになるよう調整する。その後、ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取る。

なお、高分子基材と前記無機層［Ａ］との間に、アンダーコート層［Ｃ］を有するガスバリア性フィルムを作成する場合、工程ａに先だって前記高分子基材上にアンダーコート層［Ｃ］を形成した後、そのアンダーコート層［Ｃ］上に同様にスパッタリングを実施して無機層［Ａ］を設ければよい。なお、アンダーコート層［Ｃ］の形成方法については、工程ｃの説明の項で述べる。

［工程ｂ］
工程ｂでは、まず無機層［Ａ］上にポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗料を乾燥後の厚みが所望の厚みになるよう固形分濃度を調整しリバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、スピンコート法などにより塗布することが好ましい。ここでポリシラザン骨格を持つケイ素化合物としては、パーヒドロポリシラザン、オルガノポリシラザン、およびこれらの誘導体より選択される一種または二種以上を組み合わせて用いることができる。

また、本発明においては、塗工適性の観点から有機溶剤を用いてポリシラザン骨格を持つケイ素化合物層を含む塗料を希釈することが好ましい。具体的には、キシレン、トルエン、メチルシクロヘキサン、ペンタン、ヘキサンなどの炭化水素系溶剤、ジブチルエーテル、エチルブチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤などを用いて、固形分濃度が１０質量％以内に希釈して使用することが好ましい。これらの溶剤は、単独あるいは２種以上を混合して用いてもよい。

ケイ素化合物層［Ｂ］を形成するケイ素化合物を含む塗料には、ケイ素化合物層［Ｂ］の効果が損なわれない範囲で、各種の添加剤を必要に応じて配合することができる。例えば、触媒、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤などの安定剤、界面活性剤、レベリング剤、帯電防止剤などを用いることができる。

次いで、塗布後の塗膜を乾燥させて希釈溶剤を除去することが好ましい。ここで、乾燥に用いられる熱源としては特に制限は無く、スチームヒーター、電気ヒーター、赤外線ヒーターなど任意の熱源を用いることができる。なお、ガスバリア性向上のため、加熱温度は５０〜１５０℃で行うことが好ましい。また、加熱処理時間は数秒〜１時間行うことが好ましい。さらに、加熱処理中は温度が一定であってもよく、徐々に温度を変化させてもよい。また、乾燥処理中は湿度を相対湿度で２０〜９０％ＲＨの範囲で調整しながら加熱処理してもよい。前記加熱処理は、大気中もしくは不活性ガス中に封入した状態で行ってもよい。

次に、乾燥後のポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗膜にプラズマ処理、紫外線照射処理、フラッシュパルス処理などの活性エネルギー線照射処理を施すことで前記塗膜の組成を変性させ、ケイ素酸窒化物で形成される緻密な層、すなわち、本発明のケイ素化合物層［Ｂ］を得ることができる。

Ｘ線光電子分光法により測定されるケイ素化合物層［Ｂ］の組成は、活性エネルギー線の照射光量により制御することができ、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、１．０未満である領域を有するよう調整する。

工程ｂの活性エネルギー線照射処理としては、簡便で生産性に優れ、かつ均一なケイ素化合物層［Ｂ］組成を得ることが容易であることから紫外線処理を使用することが好ましい。紫外線処理としては、大気圧下または減圧下のどちらでも構わないが、汎用性、生産効率の観点から本発明では大気圧下にて紫外線処理を行うことが好ましい。前記紫外線処理を行う際の酸素濃度は、ケイ素化合物層［Ｂ］の組成制御の観点から酸素ガス分圧が１．０％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましい。相対湿度は任意でよい。また、前記紫外線処理では窒素ガスを用いて酸素濃度を低下させることがより好ましい。

紫外線発生源としては、高圧水銀ランプメタルハライドランプ、マイクロ波方式無電極ランプ、低圧水銀ランプ、キセノンランプ等、既知のものを用いることができる。

紫外線照射の積算光量は、０．５〜１０Ｊ／ｃｍ^２であることが好ましく、０．８〜７Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。前記積算光量が０．５Ｊ／ｃｍ^２以上であれば所望のケイ素化合物層［Ｂ］組成が得られるため好ましい。また、前記積算光量が１０Ｊ／ｃｍ^２以下であれば高分子基材、無機層［Ｂ］へのダメージを少なくすることができるため好ましい。

また、本発明では、紫外線処理の際、生産効率を向上させるために乾燥後のポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗膜を加熱しながら紫外線処理を行うことがより好ましい。加熱温度としては、５０〜１５０℃が好ましく、８０〜１３０℃がより好ましい。加熱温度が５０℃以上であれば高い生産効率が得られるため好ましく、また、加熱温度が１５０℃以下であれば高分子基材など他の材料の変形や変質が起こりにくいため好ましい。

［工程ｃ］
本発明においては、必要に応じて工程ｃによりアンダーコート層［Ｃ］を設けることができる。工程ｃでは、まず高分子基材上に芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗料を乾燥後の厚みが所望の厚みになるよう固形分濃度を調整し、例えばリバースコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、バーコート法、ダイコート法、スプレーコート法、スピンコート法などにより塗布することが好ましい。また、本発明においては、塗工適性の観点から有機溶剤を用いて芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗料を希釈することが好ましい。具体的には、キシレン、トルエン、メチルシクロヘキサン、ペンタン、ヘキサンなどの炭化水素系溶剤、ジブチルエーテル、エチルブチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤などを用いて、固形分濃度が１０質量％以内に希釈して使用することが好ましい。これらの溶剤は、単独あるいは２種以上を混合して用いてもよい。また、アンダーコート層［Ｃ］を形成する塗料には、各種の添加剤を必要に応じて配合することができる。例えば、触媒、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤などの安定剤、界面活性剤、レベリング剤、帯電防止剤などを用いることができる。

次いで、塗布後の塗膜を乾燥させて希釈溶剤を除去することが好ましい。ここで、乾燥に用いられる熱源としては特に制限は無く、スチームヒーター、電気ヒーター、赤外線ヒーターなど任意の熱源を用いることができる。なお、ガスバリア性向上のため、加熱温度は５０〜１５０℃で行うことが好ましい。また、加熱処理時間は数秒〜１時間行うことが好ましい。さらに、加熱処理中は温度が一定であってもよく、徐々に温度を変化させてもよい。また、乾燥処理中は湿度を相対湿度で２０〜９０％ＲＨの範囲で調整しながら加熱処理してもよい。前記加熱処理は、大気中もしくは不活性ガスを封入しながら行ってもよい。

次に、乾燥後の芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗膜に活性エネルギー線照射処理を施して前記塗膜を架橋させて、アンダーコート層［Ｃ］を形成することが好ましい。

かかる場合に適用する活性エネルギー線としては、アンダーコート層［Ｃ］を硬化させることができれば特に制限はないが、汎用性、効率の観点から紫外線処理を用いることが好ましい。紫外線発生源としては、高圧水銀ランプメタルハライドランプ、マイクロ波方式無電極ランプ、低圧水銀ランプ、キセノンランプ等、既知のものを用いることができる。また、活性エネルギー線は、硬化効率の観点から窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気下で用いることが好ましい。紫外線処理としては、大気圧下または減圧下のどちらでも構わないが、汎用性、生産効率の観点から本発明では大気圧下にて紫外線処理を行うことが好ましい。前記紫外線処理を行う際の酸素濃度は、アンダーコート層［Ｃ］の架橋度制御の観点から酸素ガス分圧が１．０％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましい。相対湿度は任意でよい。

紫外線発生源としては、高圧水銀ランプメタルハライドランプ、マイクロ波方式無電極ランプ、低圧水銀ランプ、キセノンランプ等、既知のものを用いることができる。

紫外線照射の積算光量は、０．１〜１．０Ｊ／ｃｍ^２であることが好ましく、０．２〜０．６Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。前記積算光量が０．１Ｊ／ｃｍ^２以上であれば所望のアンダーコート層［Ｃ］の架橋度が得られるため好ましい。また、前記積算光量が１．０Ｊ／ｃｍ^２以下であれば高分子基材へのダメージを少なくすることができるため好ましい。

［電子デバイス］
本発明の電子デバイスは、本発明のガスバリア性フィルムを有するため、本発明の電子デバイスは優れたガスバリア性を有し、水蒸気等によるデバイスの性能低下を抑制することができる。

以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明する。ただし、本発明は下記実施例に限定されるものではない。

［評価方法］
まず、各実施例および比較例における評価方法を説明する。特に記載のない限り評価ｎ数は水準当たり５検体とし、得られた５検体の測定値の平均値を測定結果とした。

（１）層の厚み
断面観察用サンプルをマイクロサンプリングシステム（（株）日立製作所製 ＦＢ−２０００Ａ）を使用してＦＩＢ法により（具体的には「高分子表面加工学」（岩森暁著）ｐ．１１８〜１１９に記載の方法に基づいて）作製した。透過型電子顕微鏡（（株）日立製作所製 Ｈ−９０００ＵＨＲＩＩ）により、加速電圧３００ｋＶとして、観察用サンプルの断面を観察し、無機層［Ａ］、ケイ素化合物層［Ｂ］、アンダーコート層［Ｃ］の厚みを測定した。

（２）中心面平均粗さＳＲａ
三次元表面粗さ測定機（小坂研究所社製）を用いて、以下の条件で各層表面について測定した。
システム：三次元表面粗さ解析システム「ｉ−Ｆａｃｅ ｍｏｄｅｌ ＴＤＡ３１」
Ｘ軸測定長さ／ピッチ：５００μｍ／１．０μｍ
Ｙ軸測定長さ／ピッチ：４００μｍ／５．０μｍ
測定速度：０．１ｍｍ／ｓ
測定環境：温度２３℃、相対湿度６５％ＲＨ、大気中。

（３）水蒸気透過度（ｇ／（ｍ^２・ｄ））
特許第４４０７４６６号に記載のカルシウム腐食法により、温度４０℃、相対湿度９０％ＲＨの雰囲気下での水蒸気透過度を測定した。水蒸気透過度サンプル数は水準当たり２検体とし、測定回数は各検体について５回とし、得られた１０点の平均値を水蒸気透過度（ｇ／（ｍ^２・ｄ））とした。

（４）無機層［Ａ１］の組成
［Ａ１］の組成分析はＩＣＰ発光分光分析（エスアイアイ・ナノテクノロジー社製、ＳＰＳ４０００）により行った。高分子基材に無機層［Ａ１］を形成した段階（ケイ素化合物層［Ｂ］を積層する前）でサンプリングした試料を硝酸および硫酸で加熱分解し、希硝酸で加温溶解してろ別した。不溶解分は加熱灰化したのち、炭酸ナトリウムで融解し、希硝酸で溶解して、先のろ液とあわせて定容とした。この溶液について、亜鉛原子、ケイ素原子、アルミニウム原子の含有量を測定し、原子数比に換算した。なお、酸素原子は亜鉛原子、ケイ素原子、アルミニウム原子が、それぞれ酸化亜鉛（ＺｎＯ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）として存在すると仮定して求めた計算値とした。

（５）無機層［Ａ２］の組成
無機層［Ａ２］の組成分析はＩＣＰ発光分光分析（エスアイアイ・ナノテクノロジー社製、ＳＰＳ４０００）により行った。高分子基材に無機層［Ａ２］を形成した段階（ケイ素化合物層［Ｂ］を積層する前）でサンプリングした試料を、硝酸および硫酸で加熱分解し、希硝酸で加温溶解してろ別した。不溶解分は加熱灰化したのち、炭酸ナトリウムで融解し、希硝酸で溶解して、先のろ液とあわせて定容とした。この溶液について、亜鉛原子、ケイ素原子の含有量を測定した。次に、この値をもとにさらにラザフォード後方散乱法（日新ハイボルテージ（株）製 ＡＮ−２５００）を使用して、亜鉛原子、ケイ素原子、硫黄原子、酸素原子を定量分析し、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の組成比を求めた。

（６）ケイ素化合物層［Ｂ］の組成、界面領域［Ｉ］有無の確認
Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ法）を用いて、炭素、窒素、酸素、アルミニウム、ケイ素、亜鉛について深さ方向に組成分析を行い、図３に例を示したような元素分布を求めた。各深さにおけるケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比およびケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比を算出し、その最大値と最小値とを得た。また、界面領域［Ｉ］有無についても前記組成比算出時に確認した。測定条件は下記の通りとした。
装置：Ｑｕａｎｔｅｒａ ＳＸＭ （ＰＨＩ社製）
励起Ｘ線：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｃ Ａｌ Ｋα１，２線（１４８６．６ｅＶ）
Ｘ線径：１００μｍ
光電子脱出角度（試料表面に対する検出器の傾き）：４５°
イオンエッチング：Ａｒ^＋ ｉｏｎ ２ｋＶ
ｒａｓｔｅｒ サイズ ： ２×２ｍｍ。

（７）耐屈曲性
図５に示すとおり、ガスバリア性フィルムを１００ｍｍ×１４０ｍｍに水準当たり２検体サンプリングし、このサンプルにおいて、無機層［Ａ］およびケイ素化合物層［Ｂ］が形成された面と反対面側の中央部に直径５ｍｍの金属円柱を固定し、この円柱に沿って、円柱の抱き角０°（サンプルが平面の状態）から、円柱への抱き角が１８０°（円柱で折り返した状態）となる範囲で、１００回折り曲げ動作を行った後、（３）に示す方法で水蒸気透過度評価を行った。測定回数は各検体について５回とし、得られた１０点の平均値を耐屈曲性試験後の水蒸気透過度とした。

［実施例１〜１５における無機層［Ａ］の形成方法］
（無機層［Ａ１］の形成）
図２に示す構造の巻き取り式のスパッタリング装置を使用し、高分子基材の片面に酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムで形成された混合焼結材であるスパッタターゲットを用いてスパッタリングを実施し無機層［Ａ１］を設けた。

具体的な操作は以下のとおりである。まず、スパッタ電極に酸化亜鉛／二酸化ケイ素／酸化アルミニウムの組成質量比が７７／２０／３で焼結されたスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置の巻き取り室の中で、巻き出しロールに前記高分子基材を無機層［Ａ１］を設ける側の面がスパッタ電極に対向するようにセットし、巻き出し、ガイドロールを介して、クーリングドラムに通した。減圧度２×１０^−１Ｐａとなるように酸素ガス分圧１０％としてアルゴンガスおよび酸素ガスを導入し、直流電源により投入電力４０００Ｗを印加することにより、アルゴン・酸素ガスプラズマを発生させ、スパッタリングにより前記高分子基材の表面上に無機層［Ａ１］を形成した。厚みは、フィルム搬送速度により調整した。その後、ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取った。

（無機層［Ａ２］の形成）
図２に示す構造の巻き取り式のスパッタリング装置を使用し、高分子基材の片面に、硫化亜鉛および二酸化ケイ素で形成された混合焼結材であるスパッタターゲットを用いてスパッタリングを実施し無機層［Ａ２］を設けた。

具体的な操作は以下のとおりである。まず、スパッタ電極に硫化亜鉛／二酸化ケイ素のモル組成比が８０／２０で焼結されたスパッタターゲットを設置した巻き取り式スパッタ装置の巻き取り室の中で、巻き出しロールに前記高分子基材をセットし、巻き出し、ガイドロールを介して、クーリングドラムに通した。減圧度２×１０^−１Ｐａとなるようにアルゴンガスを導入し、高周波電源により投入電力５００Ｗを印加することにより、アルゴンガスプラズマを発生させ、スパッタリングにより前記高分子基材の表面上に無機層［Ａ２］を形成した。厚みは、フィルム搬送速度により調整した。その後、ガイドロールを介して巻き取りロールに巻き取った。

（芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］の合成例）
５リットルの４つ口フラスコに、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリル酸付加物（共栄社化学社製、商品名：エポキシエステル３０００Ａ）３００質量部と、酢酸エチル７１０質量部とを入れ、内温６０℃になるよう加温した。合成触媒としてジラウリン酸ジ−ｎ−ブチル錫０．２質量部を添加し、攪拌しながらジシクロヘキシルメタン４，４’−ジイソシアネート（東京化成工業社製）２００質量部を１時間かけて滴下した。滴下終了後２時間反応を続行し、続いてジエチレングリコール（和光純薬工業社製）２５質量部を１時間かけて滴下した。滴下後５時間反応を続行し、重量平均分子量２０，０００の芳香族環構造を有するポリウレタン化合物を得た。

（実施例１）
高分子基材として厚み５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製 “ルミラー”（登録商標）Ｕ４８）を使用し、この高分子基材の片面に無機層［Ａ１］を厚み１８０ｎｍとなるよう設けた。無機層［Ａ１］の組成は、Ｚｎ原子濃度が２７．５ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が１３．１ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が２．３ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が５７．１ａｔｏｍ％であった。無機層［Ａ１］を形成したフィルムから縦１００ｍｍ、横１００ｍｍの試験片を切り出し、無機層［Ａ１］の中心面平均粗さＳＲａの評価を実施した。結果を表１に示す。

次いで、ケイ素化合物層［Ｂ］形成用の塗液として、パーヒドロポリシラザンを主成分とし、パラジウム系触媒を含むコート剤（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ社製「ＮＬ１２０−２０」、固形分濃度２０質量部）１００質量部をジブチルエーテル３００質量部で希釈した塗液１を調製し、塗液１を無機層［Ａ１］上にマイクログラビアコーター（グラビア線番２００ＵＲ、グラビア回転比１００％）で塗布、１２０℃で１分間乾燥し、乾燥後、下記条件にて紫外線処理を施して厚み１２０ｎｍのケイ素化合物層［Ｂ］を設けてガスバリア性フィルムを得た。

紫外線処理装置：ＭＥＩＲＨ−Ｍ−１−１５２−Ｈ（エム・ディ・エキシマ社製）
導入ガス：Ｎ_２
積算光量：３，０００ｍＪ／ｃｍ^２
試料温調：１００℃
得られたガスバリア性フィルムにＸ線光電子分光法（ＸＰＳ法）を用いて、組成分析を行い、深さ方向の元素分布を求めた。各深さにおけるケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比およびケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比を算出し、その最大値（ｍａｘ）と最小値（ｍｉｎ）とを表１に示す。

また、得られたガスバリア性フィルムから縦１００ｍｍ、横１４０ｍｍの試験片を切り出し、水蒸気透過度の評価を実施した。結果を表１に示す。

（実施例２）
高分子基材として厚み５０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製 “ルミラー”（登録商標）Ｕ４８）を使用した。
アンダーコート層［Ｃ］形成用の塗液として、前記ポリウレタン化合物１５０質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（共栄社化学社製、商品名：ライトアクリレートＤＰＥ−６Ａ）２０質量部と、１−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルーケトン（ＢＡＳＦジャパン社製、商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ １８４）５質量部と、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン（信越シリコーン社製、商品名：ＫＢＭ−５０３）３質量部と、酢酸エチル１７０質量部と、トルエン３５０質量部と、シクロヘキサノン１７０質量部とを配合して塗液２を調整した。次いで、塗液２を高分子基材上にマイクログラビアコーター（グラビア線番１５０ＵＲ、グラビア回転比１００％）で塗布、１００℃で１分間乾燥し、乾燥後、下記条件にて紫外線処理を施して厚み１，０００ｎｍのアンダーコート層［Ｃ］を設けた。

紫外線処理装置：ＬＨ１０−１０Ｑ−Ｇ（フュージョンＵＶシステムズ・ジャパン社製）
導入ガス：Ｎ_２（窒素イナートＢＯＸ）
紫外線発生源：マイクロ波方式無電極ランプ
積算光量：４００ｍＪ／ｃｍ^２
試料温調：室温。

次いで、アンダーコート層［Ｃ］上に無機層［Ａ１］を厚み１８０ｎｍとなるよう設けた。無機層［Ａ１］の組成は、Ｚｎ原子濃度が２７．５ａｔｏｍ％、Ｓｉ原子濃度が１３．１ａｔｏｍ％、Ａｌ原子濃度が２．３ａｔｏｍ％、Ｏ原子濃度が５７．１ａｔｏｍ％であった。無機層［Ａ１］を形成したフィルムから縦１００ｍｍ、横１００ｍｍの試験片を切り出し、無機層［Ａ１］の中心面平均粗さＳＲａの評価を実施した。結果を表１に示す。

さらに、ケイ素化合物層［Ｂ］形成用の塗液として、パーヒドロポリシラザンを主成分とし、パラジウム系触媒を含むコート剤（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ社製「ＮＬ１２０−２０」、固形分濃度２０質量部）１００質量部をジブチルエーテル３００質量部で希釈した塗液１を調製した。次いで、塗液１を無機層［Ａ１］上にマイクログラビアコーター（グラビア線番２００ＵＲ、グラビア回転比１００％）で塗布、１２０℃で１分間乾燥し、乾燥後、下記条件にて紫外線処理を施して厚み１２０ｎｍのケイ素化合物層［Ｂ］を設けてガスバリア性フィルムを得た。

紫外線処理装置：ＭＥＩＲＨ−Ｍ−１−１５２−Ｈ（エム・ディ・エキシマ社製）
導入ガス：Ｎ_２
紫外線発生源：エキシマランプ（１７２ｎｍ）
積算光量：３，０００ｍＪ／ｃｍ^２
試料温調：１００℃
得られたガスバリア性フィルムから縦１００ｍｍ、横１４０ｍｍの試験片を切り出し、水蒸気透過度の評価を実施した。結果を表１に示す。

（実施例３）
高分子基材として厚み１００μｍの非晶性環状ポリオレフィンフィルム（日本ゼオン社製 “ゼオノアフィルム”ＺＦ１４）を使用した以外は、実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例４）
高分子基材として厚み１００μｍの非晶性環状ポリオレフィンフィルム（日本ゼオン社製 “ゼオノアフィルム”ＺＦ１４）を使用した以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例５）
無機層［Ａ１］を厚み９５０ｎｍとなるよう設けた以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例６）
無機層［Ａ１］に代えて無機層［Ａ２］を厚み１５０ｎｍとなるよう設けた以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例７）
ケイ素化合物層［Ｂ］を厚み５０ｎｍとなるよう設けた以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例８）
ケイ素化合物層［Ｂ］を厚み１，０００ｎｍとなるよう設けた以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例９）
ケイ素化合物層［Ｂ］用塗料を塗布し乾燥後、紫外線処理の代わりに窒素雰囲気下で８０℃、３日間処理してケイ素化合物層［Ｂ］を設ける以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例１０）
ケイ素化合物層［Ｂ］用塗料として、パーヒドロポリシラザンを主成分とし、アミン系触媒を含むコート剤（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ社製「ＮＡＸ１２０−２０」、固形分濃度２０質量部）１００質量部をジブチルエーテル３００質量部で希釈した塗液を用いる以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（実施例１１）
ケイ素化合物層［Ｂ］用塗料として、パーヒドロポリシラザンを主成分とし、触媒を含まないコート剤（ＡＺエレクトロニックマテリアルズ社製「ＮＮ１２０−２０」、固形分濃度２０質量部）１００質量部をジブチルエーテル３００質量部で希釈した塗液を用いる以外は、実施例２と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（比較例１）
高分子基材上に無機層［Ａ］を形成しないで、高分子基材の表面に直接、ケイ素化合物層［Ｂ］を厚み１２０ｎｍとなるように設けた以外は、実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（比較例２）
無機層［Ａ］上にケイ素化合物層［Ｂ］設けない以外は、実施例１と同様にしてガスバリア性フィルムを得た。

（比較例３）
実施例１において、無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］とを形成する順序を入れ替え、実施例１と層構成が異なるガスバリアフィルムを得た。

本発明のガスバリア性フィルムは、酸素ガス、水蒸気等に対するガスバリア性に優れているので、例えば、食品、医薬品などの包装材および薄型テレビ、太陽電池などの電子デバイス用部材として有用に用いることができるが、用途がこれらに限定されるものではない。

１ 高分子基材
２ 無機層［Ａ］
３ ケイ素化合物層［Ｂ］
４ アンダーコート層［Ｃ］
５ 高分子基材
６ 巻き取り式スパッタリング装置
７ 巻き取り室
８ 巻き出しロール
９、１０、１１ 巻き出し側ガイドロール
１２ クーリングドラム
１３ スパッタ電極
１４、１５、１６ 巻き取り側ガイドロール
１７ 巻き取りロール
１８ ガスバリア性フィルム
１９ 金属円柱
２０ 無機層［Ａ］およびケイ素化合物層［Ｂ］が形成された面と反対面

Claims (10)

1. 高分子基材の少なくとも片側に、無機層［Ａ］と、ケイ素化合物層［Ｂ］とを前記高分子基材側からこの順に有するガスバリア性フィルムであって、無機層［Ａ］が、亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含み、ケイ素化合物層［Ｂ］が、ケイ素酸窒化物を含み、かつ無機層［Ａ］とケイ素化合物層［Ｂ］が接しており、無機層［Ａ］のケイ素化合物層［Ｂ］側の界面領域［１］におけるＸ線光電子分光法で得られるＺｎＬＭＭスペクトルが、無機層［Ａ］の中央部における同スペクトルに対し、相対的にブロードであるガスバリア性フィルム。
2. 前記高分子基材と前記無機層［Ａ］との間に、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を架橋して得られる構造を含むアンダーコート層［Ｃ］を有する請求項１に記載のガスバリア性フィルム。
3. 前記無機層［Ａ］が、酸化亜鉛と二酸化ケイ素と酸化アルミニウムの共存相からなる無機層［Ａ１］または硫化亜鉛と二酸化ケイ素の共存相からなる無機層［Ａ２］のいずれかである請求項１または２に記載のガスバリア性フィルム。
4. 前記無機層［Ａ］が前記無機層［Ａ１］であり、該無機層［Ａ１］が、ＩＣＰ発光分光分析法により測定される亜鉛原子濃度が２０〜４０ａｔｏｍ％、ケイ素原子濃度が５〜２０ａｔｏｍ％、アルミニウム原子濃度が０．５〜５ａｔｏｍ％、酸素原子濃度が３５〜７０ａｔｏｍ％である組成により構成されたものである請求項３に記載のガスバリア性フィルム。
5. 前記無機層［Ａ］が前記無機層［Ａ２］であり、該無機層［Ａ２］は、硫化亜鉛と二酸化ケイ素の合計に対する硫化亜鉛のモル分率が０．７〜０．９である組成により構成されたものである請求項３に記載のガスバリア性フィルム。
6. 前記ケイ素化合物層［Ｂ］が、Ｘ線光電子分光法で元素分布を測定した際に、ケイ素原子に対する酸素原子の原子組成比が０．１以上、２．０未満、かつケイ素原子に対する窒素原子の原子組成比が０．１以上、１．０未満である請求項１〜５のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
7. 前記アンダーコート層［Ｃ］が有機ケイ素化合物および／または無機ケイ素化合物を含む請求項２〜６のいずれかに記載のガスバリア性フィルム。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを有する電子デバイス。
9. 高分子基材上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸窒化物を含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む請求項１〜７のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを製造するガスバリア性フィルムの製造方法。
10. 高分子基材上に、芳香族環構造を有するポリウレタン化合物［Ｃ１］を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてアンダーコート層［Ｃ］を設ける工程ｃと、該アンダーコート層［Ｃ］上に、スパッタリング法により亜鉛化合物とケイ素酸化物とを含む無機層［Ａ］を設ける工程ａと、該無機層［Ａ］上に、ポリシラザン骨格を持つケイ素化合物を含む塗液を塗布後乾燥させて塗膜を形成し、次いで該塗膜に窒素雰囲気下で活性エネルギー線照射処理をしてケイ素酸化物とケイ素酸窒化物とを含むケイ素化合物層［Ｂ］を設ける工程ｂとを含む請求項１〜７のいずれかに記載のガスバリア性フィルムを製造するガスバリア性フィルムの製造方法。

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