JP6226113B1 - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
一般的に半導体装置のあらゆる箇所において、下地材料の上に絶縁膜が形成される。下地材料は、例えば、半導体基板、エピタキシャル成長した半導体層、別の絶縁膜、配線又は電極などの金属膜である。絶縁膜として、SiN膜、SiON膜、SiO膜などの窒化膜又は酸化膜が多く使われる。
図5は、本発明の実施の形態2に係る半導体装置を示す断面図である。下地材料1の上に引張膜である絶縁膜4が形成されている。絶縁膜4の外周部に凹部5が形成されて厚みが部分的に薄くなっている。
図7は、本発明の実施の形態3に係る半導体装置を示す断面図である。半導体基板6に裏面ビアホール7が形成されている。半導体基板6の上に下地絶縁膜8が形成され、その上に下地金属配線9が形成されている。下地金属配線9の上に層間絶縁膜10が形成されている。層間絶縁膜10には開口部11が形成されている。層間絶縁膜10の上に中間金属配線12が形成されている。中間金属配線12は開口部11を介して下地金属配線9に接続されている。中間金属配線12の上に上地金属配線13が形成されている。
図9は、本発明の実施の形態4に係る半導体装置を示す断面図である。層間絶縁膜10が圧縮膜の場合、端部にストレスがかかるのに加え、中間金属配線12から垂直方向の圧力P1もかかる。また、層間絶縁膜10が引張膜の場合でも中間金属配線12の端部の下部では反る方向、即ち上方向に力が働いている。
図10は、本発明の実施の形態5に係る半導体装置を示す断面図である。中間金属配線12と下地金属配線9を繋ぐ開口部14近傍において、中間金属配線12の端部から層間絶縁膜10に垂直方向の圧力P1がかかる。また、上地金属配線13から中間金属配線12に垂直方向の圧力P2がかかる。さらに、これらの垂直方向の圧力も影響し、中間金属配線12から層間絶縁膜10に水平方向の圧力P3がかかる。これらの圧力が緩和されないと、中間金属配線12の端部の下部において層間絶縁膜10へのストレスが最も強くなり、膜剥れ、膜浮き、膜のクラックの発生に至ることになる。
図11は、本発明の実施の形態6に係る半導体装置を示す断面図である。半導体基板6の上に下地金属配線9が形成されている。下地金属配線9の上に、開口部11を有する層間絶縁膜10が形成されている。中間金属配線12が層間絶縁膜10の上に形成され、開口部11を介して下地金属配線9に接続されている。開口部11の端部が垂直ではなく、テーパー状になっている。このため、開口部11の開口面積は上部から下部に向かって緩やかに狭くなる。上部中間金属配線12の端部は、テーパー斜面上又はその上部の角に合わせる。
図12は、本発明の実施の形態7に係る層間絶縁膜を示す断面図である。絶縁膜17は、下部から上部に向かってSi/N組成比が段階的に上がるSiN膜である。図13は、Si/N組成比とエッチングレートの関係を示す図である。このようにSi/N組成比が高いとエッチングレートが大きくなる。従って、絶縁膜17をエッチングする場合、エッチングレートが大きいSi/N組成比の部分から順番にエッチングされていく。このため、絶縁膜17の厚みが部分的に薄くなったテーパー形状を形成することができる。また、Si/N組成比の段階的な変化の回数と各段階の膜厚を調整することで、絶縁膜17の部分的に薄くする箇所の残し厚を調整することができる。
図14は、本発明の実施の形態8に係る層間絶縁膜を示す断面図である。絶縁膜18は、SiO膜19と、SiO膜19の上に形成されたSiN膜20とを有する。上層のSiN膜20は、下層のSiO膜19よりエッチングレートが大きい。これにより、SiOに対してSiNを選択的にエッチングする条件でパターニングを実施すると、上層のSiN膜20をエッチングしつつ、下層のSiO膜19のみ残すことができる。そして、下層のSiO膜19の膜厚を調整することで、層間絶縁膜10の部分的に薄くする箇所の残し厚21を調整することができる。
Claims (3)
- 第1の配線と、
前記第1の配線の上に形成され、開口部を有する絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記開口部を介して前記第1の配線に接続された第2の配線とを備え、
前記第2の配線の端部の下部において前記絶縁膜に凹部が形成されて厚みが部分的に薄くなり、
前記凹部において前記絶縁膜が切り離されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記絶縁膜は、下部から上部に向かってSi/N組成比が段階的に上がるSiN膜であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜は、SiO膜と、前記SiO膜の上に形成されたSiN膜とを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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