JP6204736B2 - 真空バルブ - Google Patents
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Description
バルブプレートは案内要素により支持機構に押しつけられ、これにより各バルブプレートの下部溝部に支持機構の突出部分が挿入される。
終端位置まで案内された連結部材が、導入方向とは反対方向に動いて受容スリットから外れ出ることを防止するため、少なくとも1つの受容部材が導入位置と停止位置との間で回動することができる。導入位置において、対応する連結部材のネック部分が連結部材の終端位置まで受容スリットに沿って案内される。連結部材の終端位置において、受容部材は好ましくは90°にわたり停止位置まで回動する。少なくとも2つの受容部材が、導入位置と停止位置との間の回動軸線の回りに回動可能である。回動軸線は相互に平行に配置されている。
各受容部材46、46’には受容スリット49が形成されている。各連結装置の連結部材45のネック部分47は、連結装置の受容部材46、46’の受容スリット49により導入方向50に終端位置まで案内される。受容スリット49のスリット幅は、連結部材45のヘッド部分48の直径より小さいため、ヘッド部分48は連結部材45の縦軸線方向に受容スリット49から外れない。
Claims (15)
- 第1軸線(4)を有し、かつ、第1バルブシート(6)によって囲まれている第1バルブ開口部(2)および第2軸線(5)を有し、かつ、第2バルブシート(7)によって囲まれている第2バルブ開口部(3)を有するバルブハウジング(1)と、
前記第1バルブ開口部(2)および前記第2バルブ開口部(3)のそれぞれが開放される開位置と、前記第1バルブ開口部(2)および前記第2バルブ開口部(3)のそれぞれを覆う一方、第1バルブシート(6)および第2バルブシート(7)のそれぞれから離れている中間位置と、第1バルブシート(6)および第2バルブシート(7)のそれぞれに当接する閉位置との間で変位可能な第1バルブプレート(10)および第2バルブプレート(11)と、
前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)を支持し、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)を前記中間位置と前記閉位置との間で変位させるための駆動要素(22)を有する支持機構(9)と、を備え、
前記駆動要素(22)が、少なくとも1つのシリンダ空間(25)(26)を有するシリンダ(24)と、前記少なくとも1つのシリンダ空間(25)(26)に配置されるとともに、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)が連結されているピストンロッド(34)(35)に対して連結されているピストン(27)(28)と、を備えている真空バルブであって、
前記支持機構(9)が、前記駆動要素(22)の前記シリンダ(24)に対して堅固に連結されている第1支持ロッド(19)および第2支持ロッド(20)を備え、前記シリンダ(24)のそれぞれが、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)の間の中間空間に懸架され、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)が前記駆動要素(22)の前記ピストンロッド(34)(35)の近傍における相対する側に配置されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)の延在方向が前記第1軸線(4)および前記第2軸線(5)に対して垂直に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1または2記載の真空バルブにおいて、前記支持機構(9)が少なくとも1つのバルブロッド(12)に取り付けられ、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)を前記開位置と前記中間位置との間で変位させるため、バルブロッド駆動装置(13)により前記バルブロッド(12)がその軸線方向について変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項3記載の真空バルブにおいて、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)が前記少なくとも1つのバルブロッド(12)の延在方向に対して垂直な方向に延在していることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記支持機構(9)の前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)のそれぞれが、前記駆動要素(22)の前記ピストンロッド(34)(35)の近傍における相対する側のそれぞれに配置されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、それぞれの前記シリンダ(24)の外周面(41)における凹部(42)(43)に前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)が係合していることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、それぞれの前記シリンダ(24)に、前記第1バルブプレート(10)に対してピストンロッド(34)が連結されている第1ピストン(27)と、前記第2バルブプレート(11)に対してピストンロッド(35)が連結されている第2ピストン(28)と、が配置されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項7記載の真空バルブにおいて、前記ピストンロッド(34)(35)のそれぞれが、それぞれのシリンダ空間(25)(26)から密封性が維持されながら導出され、一方側でそれぞれの前記シリンダ(24)に対して密封に連結され、他方側では前記ピストンロッド(34)(35)のそれぞれに対して密封に連結されている柔軟性の膜部材(57)(58)が設けられ、前記膜部材(57)(58)とそれぞれの前記シリンダ(24)との間に、大気に連通するまたは真空吸引される中間空間(60)(61)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)のそれぞれは、少なくとも2つの連結装置により前記支持機構(9)に対して連結され、
前記2つの連結装置のそれぞれがネック部分(47)と、前記ネック部分(47)から突出している拡張されたヘッド部分(48)と、受容部材(46)(46’)とを有する連結部材(45)を備え、
前記受容部材(46)(46’)には、前記連結部材(45)の前記ネック部分(47)が、前記連結部材(45)の終端位置まで案内されるところの受容スリット(49)であって、少なくとも前記連結部材(45)が終端位置に存在する領域で、スリット幅方向について前記連結部材(45)の前記ヘッド部分(48)の直径よりも小さいスリット幅を有する受容スリット(49)が形成され、
前記連結部材(45)が、受容スリット(49)から外れることを防止するため、前記連結装置の少なくとも1つの受容部材(46’)が、所属する前記連結部材(45)が前記ネック部分(47)とともに前記受容スリット(49)において終端位置まで案内可能な導入位置から停止位置まで回動軸線(80)の回りに回動可能に構成されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項9記載の真空バルブにおいて、前記連結装置により前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)に対して前記ピストンロッド(34)(35)を接続するため、それぞれの前記連結装置の前記連結部材(45)がそれぞれの前記ピストンロッド(34)(35)に対して固定されまたは一体的に形成され、それぞれの前記連結装置の対応する前記受容部材(46)(46’)が前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(ll)のそれぞれに対して取り付けられまたは一体的に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項9または10記載の真空バルブにおいて、連結装置によって案内ロッド(73)をバルブプレート(10)(11)に対して連結するため、それぞれの前記連結装置の前記連結部材(45)が、それぞれの前記案内ロッド(73)に対して堅固に連結されまたは一体的に形成され、それぞれの前記連結装置の対応する受容部材(46)(46’)が、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)のそれぞれに対して取り付けられていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜11のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記支持機構(9)が少なくとも1つの案内要素(23)を備え、前記案内要素(23)がハウジング(65)と、前記ハウジング(65)に対して変位可能であり、かつ、前記第1バルブプレート(10)および前記第2バルブプレート(11)のうち一方に対して連結されている少なくとも1つの案内ロッド(73)とを有し、前記ハウジング(65)が前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)のそれぞれに対して固定され、かつ、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)の間の中間空間(21)に懸架されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項12記載の真空バルブにおいて、前記案内要素(23)が密封された内部空間(66)を有し、前記内部空間(66)がハウジング(65)と、前記第1軸線(4)および前記第2軸線(5)の方向について相対する側における柔軟性の膜部材(67)(68)とによって画定され、前記内部空間(66)には変位可能に前記少なくとも1つの案内ロッド(73)が配置され、通路(78)を通じて大気に連通しまたは真空吸引されることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜13のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記第1支持ロッド(19)および前記第2支持ロッド(20)が押出し成形品であることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項1〜14のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記支持機構(9)が、隣り合う前記駆動要素(22)の間に、前記支持機構(9)を貫通する自由空間を有することを特徴とする真空バルブ。
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