JP6183048B2 - 光学フィルタおよび固体撮像装置 - Google Patents
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Description
[1]ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に形成された近赤外線吸収層とを有する光学フィルタであって、
該近赤外線吸収層は、近赤外線吸収層形成用組成物をガラス基板上で反応させて得られ、
該近赤外線吸収層形成用組成物は、反応性基およびフルオレン骨格を有する透明樹脂と、近赤外線吸収色素と、加水分解性基および前記反応性基に対して反応性を有する官能基を有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを含有し、
前記近赤外線吸収色素は、屈折率(n 20 d)が1.500未満の色素用溶媒に溶解して測定される波長域400〜1000nmの光の吸収スペクトルにおいて、半値全幅が60nm以下であり、かつピーク波長における吸光度を1として算出される630nmにおける吸光度と前記ピーク波長における吸光度の差を、630nmと前記ピーク波長との波長差で除した値が0.01〜0.05である最大吸収ピークを有する、近赤外線吸収色素(B1)を含有し、
前記近赤外線吸収層は、450〜600nmの可視光の透過率が70%以上であり、695〜720nmの波長域における光の透過率が10%以下であり、かつ下式(1)で表わされる透過率の変化量Dが−0.8以下であることを特徴とする光学フィルタ。
D(%/nm)=[T 700 (%)−T 630 (%)]/[700(nm)−630(nm)] …(1)
式(1)中、T 700 は、前記近赤外線吸収層の透過スペクトルにおける波長700nmの透過率であり、T 630 は、前記近赤外線吸収層の透過スペクトルにおける波長630nmの透過率である。
[2]前記透明樹脂がアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂およびポリエステル樹脂から選ばれる[1]記載の光学フィルタ。
[3]前記透明樹脂がポリエステル樹脂である[2]記載の光学フィルタ。
[5]前記近赤外線吸収層形成用組成物が、前記透明樹脂100質量部に対して前記シランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを0.5〜15質量部の割合で含有する[1]〜[4]のいずれかに記載の光学フィルタ。
R4およびR6は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基もしくはアルコキシ基、または−NR7R8(R7およびR8は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、または−C(=O)−R9(R9は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20のアルキル基または炭素数6〜11のアリール基もしくはアルアリール基))を示す。
R1とR2、R2とR5、およびR1とR3は、それぞれ独立して、互いに連結して窒素原子と共に員数が5または6のそれぞれ複素環A、複素環B、および複素環Cを形成していてもよい。ただし、式(F1)は、複素環A、複素環B、および複素環Cから選ばれる少なくとも1以上の環構造を有する。
複素環Bが形成される場合のR2とR5、および複素環Cが形成される場合のR1とR3は、これらが結合したそれぞれ2価の基−X1−Y1−および−X2−Y2−(窒素に結合する側がX1およびX2)として、X1およびX2がそれぞれ下記式(1x)または(2x)で示される基であり、Y1およびY2がそれぞれ下記式(1y)〜(5y)から選ばれるいずれかで示される基である。X1およびX2が、それぞれ下記式(2x)で示される基の場合、Y1およびY2はそれぞれ単結合であってもよい。
R7、R8、R9、R4、R6、R21〜R27、複素環を形成していない場合のR1〜R3、およびR5は、これらのうちの他のいずれかと互いに結合して5員環または6員環を形成してもよい。R21とR26、R21とR27は直接結合してもよい。
[10]前記近赤外線吸収層の膜厚が0.5〜100μmである[1]〜[9]のいずれかに記載の光学フィルタ。
[11]さらに、前記近赤外線吸収層のガラス基板側と反対側の面上に誘電体多層膜を有する[1]〜[10]のいずれかに記載の光学フィルタ。
[12]前記ガラス基板のガラスは、フツリン酸塩系ガラスまたはリン酸塩系ガラスにCuOが添加された吸収型ガラスである[1]〜[11]のいずれかに記載の光学フィルタ。
[13]被写体側または光源側から入射する光の光軸上にレンズ、前記[1]〜[12]のいずれかに記載の光学フィルタおよび固体撮像素子がその順に配置された固体撮像装置。
本発明の光学フィルタは、ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に形成された近赤外線吸収層とを有する。該近赤外線吸収層は、近赤外線吸収層形成用組成物を該ガラス基板上で反応させて得られる。さらに、該近赤外線吸収層形成用組成物は、反応性基およびフルオレン骨格を有する透明樹脂と、近赤外線吸収色素と、加水分解性基および前記反応性基に対して反応性を有する官能基を有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを含有する。
これは、近赤外線吸収層形成用組成物が、フルオレン骨格と反応性基を有する透明樹脂と近赤外線吸収色素を含有し、さらに、該透明樹脂が有する反応性基に対して反応性を有する官能基および加水分解性基を有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを含有することによる。
ガラス基板1としては、可視波長領域(450〜600nm)の光を、近赤外線吸収層2と組み合わせて光学フィルタ10Aとした際にその機能を果たせる程度に十分に、透過するものであれば、ガラスの種類は特に限定されるものではない。ガラスの材質としては、特に限定されず、通常のソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス等が挙げられる。さらに、紫外領域および/または近赤外領域の波長に対して吸収特性を有する、例えば、フツリン酸塩系ガラスやリン酸塩系ガラス等にCuO等を添加した吸収型のガラスであってもよい。
ガラス基板1の一方の主面上に形成される近赤外線吸収層2は、近赤外線吸収層形成用組成物をガラス基板上で反応させて得られる層である。該近赤外線吸収層形成用組成物は、フルオレン骨格と反応性基を有する透明樹脂、近赤外線吸収色素、および該透明樹脂が有する反応性基に対して反応性を有する官能基および加水分解性基を有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーと、を含有する。なお、近赤外線吸収層形成用組成物を反応させて近赤外線吸収層を得るとは、該組成物を用いて近赤外線吸収層を形成する際に、該組成物中の反応性成分を反応させることを意味する。また、反応性成分の反応は、近赤外線吸収層が接するガラス基板等の他の層との界面における反応を含むものである。なお、近赤外線吸収層形成用組成物は、上記各成分を含有するとともに、溶媒を含有する場合もある。以下、近赤外線吸収層形成用組成物が含有する各成分について説明する。
近赤外線吸収層形成用組成物において、透明樹脂は、反応性基およびフルオレン骨格を有し、ガラス基板上で反応して近赤外線吸収層を形成する成分である。フルオレン骨格を有する樹脂は、屈折率が高く、耐熱性が高い。そのため、該透明樹脂を用いて得られる近赤外線吸収層は、屈折率を高くでき、耐熱性を高くできる。
また、上記フルオレン骨格を有する成分を用いて得られる熱可塑性樹脂(A1)として例示した、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂およびポリエステル樹脂は、いずれの樹脂も透明性の点でも優れた樹脂であり、近赤外線吸収層の形成に用いる透明樹脂として好適である。
近赤外線吸収層形成用組成物が含有する近赤外線吸収色素は、可視波長領域(450〜600nm)の光を十分に透過し、近赤外波長領域(700〜1100nm)の光を十分に吸収する能力を有する近赤外線吸収色素であれば特に制限されない。
吸収スペクトル傾き=(1−Bb630)/(λmax(B1)−630) …(2)
また、近赤外線吸収層における上記式(1)で表わされる透過率の変化量Dを、単に透過率の変化量Dともいう。
NIR吸収色素(B1)の上記吸光特性は、近赤外線カットフィルタに求められる波長630〜700nm付近の間で急峻に吸光度が変化する光学特性に合致する。
化合物(F1)は、スクアリリウム骨格の左右にベンゼン環が結合し、さらにベンゼン環の4位に窒素原子が結合するとともに該窒素原子を含む飽和複素環が形成された構造を有するスクアリリウム系化合物であり、上記NIR吸収色素(B1)としての吸光特性を有する化合物である。化合物(F1)においては、近赤外線吸収層形成用組成物に含有される際にともに含有される透明樹脂や溶媒(以下、「ホスト溶媒」ということもある。)への溶解性を高める等のその他の要求特性に応じて、以下の範囲でベンゼン環の置換基を適宜調整できる。
R4およびR6は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基もしくはアルコキシ基、または−NR7R8(R7およびR8は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、または−C(=O)−R9(R9は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20のアルキル基または炭素数6〜11のアリール基もしくはアルアリール基))を示す。
複素環Aが形成される場合のR1とR2は、これらが結合した2価の基−Q−として、水素原子が炭素数1〜6のアルキル基または炭素数6〜10のアリール基で置換されてもよいアルキレン基、またはアルキレンオキシ基を示す。
複素環Bが形成される場合のR2とR5、および複素環Cが形成される場合のR1とR3は、これらが結合したそれぞれ2価の基−X1−Y1−および−X2−Y2−(窒素に結合する側がX1およびX2)として、X1およびX2がそれぞれ下記式(1x)または(2x)で示される基であり、Y1およびY2がそれぞれ下記式(1y)〜(5y)から選ばれるいずれかで示される基である。X1およびX2が、それぞれ下記式(2x)で示される基の場合、Y1およびY2はそれぞれ単結合であってもよい。
複素環を形成していない場合の、R1およびR2は、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜6のアルキル基、アリル基、炭素数6〜11のアリール基またはアルアリール基を示す。複素環を形成していない場合の、R3およびR5は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜6のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。
以下、複素環Aは単に環Aということもある。複素環B、複素環Cについても同様である。
なお、化合物(F1)は、上記一般式(F1)で示される構造の共鳴構造を有する式(F1−1)で示される化合物(F1−1)を含む。
化合物(F12)において、−NR7R8は、−NH−C(=O)−CmH2m+1(mは1〜20であり、CmH2m+1は直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれであってもよい。)、−NH−C(=O)−Ph−R10(R10は、水素原子、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシ基、または炭素数1〜3のパーフルオロアルキル基を示す。)等が好ましい。
化合物(F12)として、例えば、下記式(F12−1)で示される化合物、下記式(F12−2)で示される化合物等が挙げられる。
化合物(F13)として、例えば、下記式(F13−1)で示される化合物等が挙げられる。
化合物(F11−1)等の化合物(F11)は、例えば、米国特許第5,543,086号明細書に記載された方法で製造できる。
また、化合物(F12)は、例えば、J.Org.Chem.2005,70(13),5164−5173に記載の方法で製造できる。
反応式(F3)によれば、1−メチル−2−ヨード−4−アミノベンゼンのアミノ基に所定の置換基R9(例えば、化合物(F12−1)の場合はフェニル基(以下、「−Ph」で示す。)、化合物(F12−2)の場合は−(CH2)5−CH3)を有するカルボン酸塩化物を反応させてアミドを形成する。次いで、ピロリジンを反応させ、さらに3,4−ジヒドロキシ−3−シクロブテン−1,2−ジオン(以下、スクアリン酸という。)と反応させることで、化合物(F12−1)、化合物(F12−2)等が得られる。
反応式(F4)では、まず、8−ヒドロキシジュロリジンにトリフルオロメタンスルホン酸無水物(Tf2O)を反応させ、8−トリフルオロメタンスルホン酸ジュロリジンとし、次いで、これにベンジルアミン(BnNH2)を反応させ8−ベンジルアミノジュロリジンを得、さらにこれを還元して8−アミノジュロリジンを製造する。次いで、8−アミノジュロリジンのアミノ基に所定の置換基R9(例えば、化合物(F13−1)の場合、−(CH2)6−CH3)を有するカルボン酸塩化物を反応させてジュロリジンの8位に−NH−C(=O)R9を有する化合物を得る。次いで、この化合物の2モルをスクアリン酸1モルと反応させることで、化合物(F13−1)等が得られる。
近赤外線吸収層形成用組成物が含有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーは、上記透明樹脂が有する反応性基に対して反応性を有する官能基および加水分解性基を有する。近赤外線吸収層形成用組成物に含まれるNIR吸収色素の光学特性を阻害しないものであれば、シランカップリング剤および/またはそのオリゴマーは、特に制限なく使用可能である。以下、上記透明樹脂が有する反応性基に対して反応性を有する官能基および加水分解性基を有するシランカップリング剤をシランカップリング剤(C)という。
(式(S1)中、R11は、末端に透明樹脂が有する反応性基と反応性を有する官能基をもつ炭素数1〜10の1価の有機基を、R12は炭素数1〜6の1価の炭化水素基を、nは0または1の整数を、X11は互い同一であっても異なってもよい加水分解性基を、それぞれ示す。)
さらに、近赤外線吸収層2のガラス基板1と反対側の面上に、後述の誘電体多層膜が形成される場合には、誘電体多層膜は、通常、金属酸化物で構成されることから、シランカップリング剤(C)を近赤外線吸収層形成用組成物に含有させて近赤外線吸収層を形成することにより、ガラス基板の場合と同様に、その表面に化学結合(金属酸化物層−O−Si)が形成されることで、上記ガラス基板との接着と同様な機構が形成されて、近赤外線吸収層と誘電体多層膜の間で良好な接着性が発現すると期待できる。
シランカップリング剤(C)は1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明に用いる近赤外線吸収層形成用組成物は、上記必須成分である透明樹脂、NIR吸収色素、およびシランカップリング剤(C)類を含有する。各必須成分の含有量は上記のとおりである。近赤外線吸収層形成用組成物は、通常、溶媒を含有する。溶媒は、ガラス基板上に近赤外線吸収層を均一な層として形成させる機能を有し、近赤外線吸収層の形成過程で除去される成分である。近赤外線吸収層形成用組成物は、さらに必要に応じて、各種機能を有する任意成分を本発明の効果を阻害しない範囲で含有してもよい。
紫外線吸収剤は、近赤外線吸収層に求められる他の物性を確保しながら、紫外線吸収剤がその機能を発揮できる量の範囲として、透明樹脂100質量部に対して、好ましくは0.01〜10質量部、より好ましくは0.05〜5質量部の割合で配合できる。
ガラス基板1上への近赤外線吸収層2の形成は、上記近赤外線吸収層形成用組成物を用いて、例えば、ガラス基板1上に近赤外線吸収層形成用組成物の適量を塗工し、適宜溶媒を除去した後、近赤外線吸収層形成用組成物中の反応成分を反応させることで行える。
なお、近赤外線吸収層の透過率は、紫外可視分光光度計を用いて測定できる。
また、このような近赤外線吸収層の近赤外線吸収特性は、NIR吸収色素として、例えば、NIR吸収色素(B1)を用いることにより達成できる。
誘電体多層膜3が反射防止膜である場合、誘電体多層膜(反射防止膜)3は、光学フィルタ10Bに入射した光の反射を防止することにより透過率を向上させ、効率良く入射光を利用する機能を有するもので、従来より知られる材料および方法により形成できる。
本発明の光学フィルタを製造するにあたっては、通常、実際に用いるサイズより大サイズで得られた母材をダイシングで切断して製品サイズに加工する。
図5A〜図5Cは、図4に示す光学フィルタ10Cを製造する際のダイシング工程を模式的に示す図である。
ダイシング工程においては、まず、母材9の両主面上に保護フィルム5を貼付し、被切断物91として保持基材6上に固定する(図5B)。次いで、この保護フィルム5付き母材9(被切断物91)をダイシングソーの切断テーブル11上に設置しダイシングブレードにより切断を行う。図5Cは、ダイシングブレード7による切断時における被切断物91の断面図を示す図であり、図6は、図5Cに示す切断時のダイシングブレード7と切断テーブル11の動きを示す外観図である。
図7は、上記光学フィルタ10Cを用いた固体撮像装置の一例の要部を概略的に示す断面図である。この固体撮像装置20は、図7に示すように、固体撮像素子21と、その前面に、光学フィルタ10Cと、撮像レンズ23をその順に有し、さらにこれらを固定する筐体24とを有する。撮像レンズ23は、筐体24の内側にさらに設けられたレンズユニット22により固定されている。光学フィルタ10Cは固体撮像素子21側に第1の誘電体多層膜3が、撮像レンズ23側に第2の誘電体多層膜4が位置するように配置されている。固体撮像素子21と、撮像レンズ23とは、光軸xに沿って配置されている。
なお、実施例中の透過率および透過率の変化量Dは下記に示す方法で測定した。
[透過率および透過率の変化量D]
近赤外線吸収層および光学フィルタについて紫外可視分光光度計(日立ハイテクノロジーズ社製、U−4100形)を用いて透過スペクトル(透過率)を測定し、算出した。
シクロヘキサノン85gに、透明樹脂としてフルオレンポリエステル(B−OKP2;商品名、大阪ガスケミカル株式会社製、屈折率;1.64)を15g、およびシランカップリング剤として3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン(KBM403;商品名、信越シリコーン社製)をそれぞれフルオレンポリエステルの100質量部に対して0.5〜15質量部となる割合の範囲で表4に示す6種類の割合で添加し溶解させた。このそれぞれに、さらにNIR吸収色素(B1)として、上記NIR吸収色素(F12−2)の0.21gを添加し溶解させて、近赤外線吸収層形成用組成物1〜6を得た。また、シランカップリング剤を添加しなかったこと以外は近赤外線吸収層形成用組成物1〜6と同様にして近赤外線吸収層形成用組成物7を調製した。
ガラス基板(無アルカリガラス:AN100(旭硝子社製)、100×100mm、厚さ:0.7mm)上にスピンコートにより近赤外線吸収層形成用組成物1を回転800rpmで塗布し、90℃、5分間、150℃、5分間の2段階で乾燥した後、これをオーブンにて大気下150℃、1時間の熱処理を施して、ガラス基板上に、厚さ3μmの近赤外線吸収層を有する光学フィルタ1用の母材を得た。光学フィルタ1用の母材を図5A〜図5Cに示すのと同様にして製品サイズ(5×5mm)に切断して、光学フィルタ1を得た。
上記で得られた光学フィルタ1〜7の各1個を試験サンプルとして初期透過率を測定し各光学フィルタの近赤外線吸収層における分光特性を得た。その後、同じ試験サンプルについて以下の分光信頼試験を行った。さらに、光学フィルタ1〜7について、別の試験サンプル各3個を用いて接着性評価を行った。
上記で得られた光学フィルタ1の透過率を測定した。その透過結果から、近赤外線吸収層が形成されていない厚さ0.7mmのガラス基板について測定した透過率の測定結果を差分した結果を図2および表4に示す。光学フィルタ2〜7についても、同様に初期透過率を測定したところいずれも光学フィルタ1の透過率と同様であった。ここで、450〜600nmにおける透過率が89.5%以上とは、該波長範囲において89.5%未満の透過率の波長域が存在しないことを意味し、695〜720nmにおける透過率が4.5%以下とは、該波長範囲において4.5%を超える透過率の波長域が存在しないことを意味する。
85℃、85RHの条件下に、光学フィルタ1〜7を放置し、168時間後および300時間後に透過率を測定した。得られた透過率と初期透過率を以下の基準で比較して分光信頼性の評価とした。結果を表4に示す。
A…試験後の700nmにおける透過率と同波長における初期透過率の差が±1%以内である。
B…試験後の700nmにおける透過率と同波長における初期透過率の差が±1%を超える。
上記で得られた光学フィルタ1〜7の各3個を、90℃の温水中に浸漬し、3時間後、6時間後、および12時間後(促進試験)に各1個ずつ取り出して、接着性評価サンプルとした。各接着性評価サンプルについて、JIS K6854に準じた方法でテープ剥離試験を実施し以下の基準で評価した。テープはセロテープ(登録商標(ニチバン製))を用いた。結果を表4に示す。
A…ガラス基板上に近赤外線吸収層が保持されている。
B…ガラス基材上に近赤外線吸収層が保持されていない。
20…固体撮像装置、21…固体撮像素子、22…レンズユニット、23…撮像レンズ、24…筐体
Claims (13)
- ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面上に形成された近赤外線吸収層とを有する光学フィルタであって、
該近赤外線吸収層は、近赤外線吸収層形成用組成物をガラス基板上で反応させて得られ、
該近赤外線吸収層形成用組成物は、反応性基およびフルオレン骨格を有する透明樹脂と、近赤外線吸収色素と、加水分解性基および前記反応性基に対して反応性を有する官能基を有するシランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを含有し、
前記近赤外線吸収色素は、屈折率(n 20 d)が1.500未満の色素用溶媒に溶解して測定される波長域400〜1000nmの光の吸収スペクトルにおいて、半値全幅が60nm以下であり、かつピーク波長における吸光度を1として算出される630nmにおける吸光度と前記ピーク波長における吸光度の差を、630nmと前記ピーク波長との波長差で除した値が0.01〜0.05である最大吸収ピークを有する、近赤外線吸収色素(B1)を含有し、
前記近赤外線吸収層は、450〜600nmの可視光の透過率が70%以上であり、695〜720nmの波長域における光の透過率が10%以下であり、かつ下式(1)で表わされる透過率の変化量Dが−0.8以下であることを特徴とする光学フィルタ。
D(%/nm)=[T 700 (%)−T 630 (%)]/[700(nm)−630(nm)] …(1)
式(1)中、T 700 は、前記近赤外線吸収層の透過スペクトルにおける波長700nmの透過率であり、T 630 は、前記近赤外線吸収層の透過スペクトルにおける波長630nmの透過率である。 - 前記透明樹脂がアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂およびポリエステル樹脂から選ばれる請求項1記載の光学フィルタ。
- 前記透明樹脂がポリエステル樹脂である請求項2記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収層形成用組成物が、前記透明樹脂100質量部に対して前記近赤外線吸収色素を0.2〜10質量部、前記シランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを0.1〜30質量部、の割合で含有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収層形成用組成物が、前記透明樹脂100質量部に対して前記シランカップリング剤および/またはそのオリゴマーを0.5〜15質量部の割合で含有する請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収色素(B1)の前記吸収スペクトルにおける前記ピーク波長が、695〜720nmの領域にあり、前記透明樹脂は、屈折率(n20d)が1.54以上である請求項1〜5のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収色素(B1)は、前記吸収スペクトルにおいて700〜720nmの領域にピーク波長を示す最大吸収ピークを有する色素であり、前記近赤外線吸収層は、前記式(1)で表わされる透過率の変化量Dが−0.86以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収色素(B1)が、下記一般式(F1)で示されるスクアリリウム系化合物から選択される少なくとも1種からなる、請求項1〜7のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
R4およびR6は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基もしくはアルコキシ基、または−NR7R8(R7およびR8は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、または−C(=O)−R9(R9は、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜20のアルキル基または炭素数6〜11のアリール基もしくはアルアリール基))を示す。
R1とR2、R2とR5、およびR1とR3は、それぞれ独立して、互いに連結して窒素原子と共に員数が5または6のそれぞれ複素環A、複素環B、および複素環Cを形成していてもよい。ただし、式(F1)は、複素環A、複素環B、および複素環Cから選ばれる少なくとも1以上の環構造を有する。
複素環Aが形成される場合のR1とR2は、これらが結合した2価の基−Q−として、水素原子が炭素数1〜6のアルキル基または炭素数6〜10のアリール基で置換されてもよいアルキレン基、またはアルキレンオキシ基を示す。
複素環Bが形成される場合のR2とR5、および複素環Cが形成される場合のR1とR3は、これらが結合したそれぞれ2価の基−X1−Y1−および−X2−Y2−(窒素に結合する側がX1およびX2)として、X1およびX2がそれぞれ下記式(1x)または(2x)で示される基であり、Y1およびY2がそれぞれ下記式(1y)〜(5y)から選ばれるいずれかで示される基である。X1およびX2が、それぞれ下記式(2x)で示される基の場合、Y1およびY2はそれぞれ単結合であってもよい。
R7、R8、R9、R4、R6、R21〜R27、複素環を形成していない場合のR1〜R3、およびR5は、これらのうちの他のいずれかと互いに結合して5員環または6員環を形成してもよい。R21とR26、R21とR27は直接結合してもよい。
複素環を形成していない場合の、R1およびR2は、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1〜6のアルキル基、アリル基、炭素数6〜11のアリール基またはアルアリール基を示す。複素環を形成していない場合の、R3およびR5は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、または、炭素数1〜6のアルキル基もしくはアルコキシ基を示す。 - 前記シランカップリング剤および/またはそのオリゴマーが有する官能基がエポキシ基または(メタ)アクリロキシ基である請求項1〜8のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記近赤外線吸収層の膜厚が0.5〜100μmである請求項1〜9のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- さらに、前記近赤外線吸収層のガラス基板側と反対側の面上に誘電体多層膜を有する請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 前記ガラス基板のガラスは、フツリン酸塩系ガラスまたはリン酸塩系ガラスにCuOが添加された吸収型ガラスである請求項1〜11のいずれか1項に記載の光学フィルタ。
- 被写体側または光源側から入射する光の光軸上にレンズ、請求項1〜12のいずれか1項に記載の光学フィルタおよび固体撮像素子がその順に配置された固体撮像装置。
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