JP6168591B2 - 実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、実装装置に関するものである。

近年、情報機器や半導体デバイス等の製品の小型化が進んでおり、これら小型製品の量産を支える基盤技術として、微小な部品を拾い上げ、保持し、所望の位置に実装できる小型の実装装置の需要が高まっている。

このような実装装置としては、内部が減圧されたノズル先端に部品を吸着保持する装置（例えば、特許文献１参照）、ピンセット状の保持具を用いて部品を挟持することで保持する装置（例えば、特許文献２参照）が知られている。

また、微小な部品を保持する方法としては、棒状の保持具の先端にアルコールを介在させ、アルコールの表面張力で部品を吸着保持する方法（例えば、特許文献３参照）が知られている。

特開２００８−１１８１２２号公報 特開２００８−１６４６５号公報 特開平１１−６８３８８号公報

しかしながら、上記方法には次のような問題がある。
特許文献１の装置においては、ノズル先端を塞ぐことができず、部品を介してノズル内外で差圧を生じさせることができない部品は、ノズル先端に吸着させることができず、保持できない。例えば、保持対象となる微小な部品（以下、微小部品と称することがある）がノズルの先端径よりも細いものである場合や、凹凸形状を有している場合などにおいては保持できず、対象が限られてしまう。

特許文献２の装置においては、微小部品と保持具との界面で働く静電気力が、微小部品に加わる重力よりも大きくなると、微小部品が保持具に吸着したまま外れなくなり、円滑な作業が妨げられやすい。また、微小部品が保持具に吸着してしまうと、微小部品を所望の位置に実装しようとする際に、位置ズレが生じやすく、作業の精度が低下するおそれがある。

特許文献３の方法においては、保持具の先端の部品保持部に、保持具とは別体のノズルを近づけ、ノズルから部品保持部にアルコールを供給することとしており、連続作業の妨げになる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、微小な部品を好適に保持可能な新規な実装装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の一態様に係る実装装置は、一方向に延在する２以上の保持具と、２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する貯留部と、前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、前記移動手段は、前記保持具の進退方向に進退可能に設けられた基台と、前記保持具を保持し、前記基台に固定される第１部材と、前記貯留部を保持し、前記基台に固定されることなく前記基台に接続され、前記基台の進退移動の移動幅よりも狭い移動幅で前記進退方向に進退可能に設けられた第２部材と、前記基台と前記第２部材とを接続し、前記基台の駆動力を前記第２部材に伝達して前記第２部材を進退移動させる接続部材と、を有する実装装置を提供する。

本発明の一態様においては、２以上の前記保持具の先端における互いの離間距離が、前記貯留部の先端側において前記貯留部から遠ざかるほど漸減することが望ましい。

本発明の一態様においては、前記移動手段は、前記進退方向で対向する一対の側壁を備えた支持部材を有し、前記第２部材は、前記一対の側壁に当接するまで前記一対の側壁の間を移動可能に構成されていることが望ましい。

本発明の一態様においては、２以上の前記保持具がそれぞれ独立に進退可能に設けられていることが望ましい。

本発明の一態様においては、前記貯留部が交換可能に設けられていることが望ましい。

本発明の一態様においては、前記貯留部が、２以上の前記保持具のそれぞれに個別に設けられていることが望ましい。

本発明の一態様においては、一方向に延在する２以上の保持具と、２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する複数の貯留部と、前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、前記貯留部が、２以上の前記保持具のそれぞれに個別に設けられており、複数の前記貯留部は、互いに異なる種類の前記液状体を保持しており、前記保持具は、複数の前記貯留部から選択される一の貯留部を挿通するように制御されることが望ましい。

本発明の一態様においては、一方向に延在する２以上の保持具と、２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する貯留部と、前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、前記液状体は、シリコーンオイルであることが望ましい。

本発明の一態様においては、前記液状体は、揮発性を有することが望ましい。

本発明によれば、微小な部品を好適に保持可能な新規な実装装置を提供することができる。

本実施形態に係る実装装置の概略斜視図である。 本実施形態に係る実装装置の一部断面図である。 平面視方向における貯留部の断面図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 本実施形態の実装装置の動作を示す説明図である。 実装装置を用いて対象物を保持する様子を示す模式図である。 実装装置を用いて対象物を保持する様子を示す模式図である。

以下、図１〜図１１を参照しながら、本発明の実施形態に係る実装装置について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。

図１は、本実施形態に係る実装装置１の概略斜視図である。
図１に示すように、本実施形態の実装装置１は、２本のアーム１０（保持具）と、アーム１０がそれぞれ挿通する管状の部材である貯留部２０と、自身の動きを伝達することでアーム１０および貯留部２０をアーム１０の延在方向に進退移動させる移動装置３０（移動手段）と、を有している。図では、アーム１０および貯留部２０の進退移動の方向を両矢印で示している。

アーム１０は、一方向に延在する棒状（柱状）の部材である。アーム１０は、移動装置３０による進退移動において貯留部２０と当接し干渉することがあるが、このような干渉時にアーム１０自身や貯留部２０を破損させない程度の弾性を有していることが好ましい。アーム１０の形成材料としては、金属材料や樹脂材料を採用することができる。アーム１０の長さは、例えば４０ｍｍである。

移動装置３０は、両矢印で示すアーム１０の進退方向に進退可能に設けられた基台３１と、基台３１に固定される第１部材３２と、基台３１に固定されることなく基台３１に接続され、基台３１の進退移動の移動幅よりも狭い移動幅で進退方向に進退可能に設けられた第２部材３３と、を有している。また、両矢印で示すアーム１０の進退方向と交差する方向において、第２部材３３の両端部を支持する支持部材３４と、基台３１の両端部を支持するレール３５を、をさらに有している。

図２は、アーム１０の進退方向と交差する方向における実装装置１の一部断面図である。

図に示すように、第１部材３２は、アーム１０が載置される載置部３２１と、載置部３２１と平面的に重なり、アーム１０を押さえて固定する固定部３２２と、を有している。アーム１０は、他端側が載置部３２１と固定部３２２との間に挟持されることで、基台３１の面方向と同方向に延在した状態で第１部材３２に保持される。

第２部材３３は、貯留部２０が載置される載置部３３１と、載置部３３１と平面的に重なり、貯留部２０を押さえて固定する固定部３３２と、を有している。貯留部２０は、載置部３３１と固定部３３２との間に挟持されることで、第２部材３３に保持される。

第１部材３２に保持されるアーム１０と、第２部材３３に保持される貯留部２０とは、高さ方向（基台３１の法線方向）の高さ位置が一致しており、貯留部２０の内部にアーム１０が挿通されている。

支持部材３４は、図２における断面視で矩形の凹部３４１を有しており、第２部材３３の端部の一部が凹部３４１内に挿入されている。このような支持部材３４は、第２部材３３の進退移動に際し、第２部材３３を支持する機能を有している。また、支持部材３４は、凹部３４１における第１部材３２側と、第１部材３２側とは反対側と、に対向する一対の側壁３４１ａ，３４１ｂを有している。

第２部材３３は、進退移動に際して、側壁３４１ａと側壁３４１ｂとにそれぞれ当接する位置まで進退移動可能となっている。

基台３１と第２部材３３とは、接続部材３６を介して接続されている。接続部材３６は、基台３１に設けられた固定部３６１と、第２部材３３に設けられた固定部３６２と、固定部３６１と固定部３６２との間を連結するリンク３６３と、リンク３６３と固定部３６１とを連結する軸３６４と、リンク３６３と固定部３６２とを連結する軸３６５と、を有している。固定部３６２は、矩形の凹部３６２ａを有しており、基台３１の進退移動に伴って、軸３６５が凹部３６２ａに沿って上下移動可能な構成となっている。

図３は、平面視方向における貯留部２０の断面図である。貯留部２０は、管内に液状体Ｌを貯留している。液状体Ｌは、表面張力によって貯留部２０の管内に保持される。貯留部２０には、アーム１０が挿通し、後述するように貯留部２０に対してアーム１０を相対移動させることで、アーム１０の先端部１０ａが貯留部２０の先端側の液面ＬＳを通過し、先端部１０ａに液状体Ｌが付着する構成となっている。

液状体Ｌとしては、アーム１０、貯留部２０、実装装置１によって保持する対象物などを膨潤させたり腐食させたりすることなく、室温において液体であるものであれば用いることが可能である。液状体Ｌとしては、例えばシリコーンオイルを用いることができる。

図４〜９は、本実施形態の実装装置１の動作を示す説明図である。各図（ａ）は、実装装置１の断面図であり、図２に対応する図である。各図（ｂ）は、実装装置１の平面図である。

以下の説明においては、第１部材３２がレール３５の第１部材３２側の端部に位置している状態を実装装置１の「初期状態」とし、実装装置１の初期状態からの動作について説明する。また、レール３５の第１部材３２側の端部を「一端３５ａ」と称し、レール３５の第２部材３３側の端部を「他端３５ｂ」と称して、各部材の動作方向を示すことがある。

図４に（ａ）（ｂ）示すように、実装装置１は、初期状態において第１部材３２がレール３５の一端３５ａに位置しており、第２部材３３が支持部材３４の側壁３４１ａに当接している。また、初期状態においては、アーム１０の先端部１０ａは、貯留部２０の管内に保持された液状体Ｌの中に浸漬している。

このような状態から基台３１をレール３５の他端３５ｂ側に移動させると、レール３５に積載されている第１部材３２および接続部材３６によって基台３１と接続している第２部材３３が、基台３１の動きに伴って他端３５ｂ側に移動する。図では、基台３１および第２部材３３の移動方向を白矢印で示している。以下の説明で用いる図についても同様に示している。

これらの部材の移動に伴って、第１部材３２に保持されているアーム１０および第２部材３３に保持されている貯留部２０も他端３５ｂ側に移動する。このとき、アーム１０と貯留部２０とが同時に移動することから、図４（ａ）（ｂ）に示す移動中にアーム１０と貯留部２０との相対位置に変化はなく、アーム１０の先端部１０ａは、液状体Ｌの中に浸漬されたままである。

基台３１の移動が進むと、図５（ａ）（ｂ）に示すように、第２部材３３は支持部材３４の側壁３４１ｂに当接し停止する。支持部材３４の側壁３４１ａに当接している状態から側壁３４１ｂに当接しているまでの第２部材３３の移動距離が、本実施形態の実装装置１における第２部材３３の移動幅に該当する。

一方で、基台３１は引き続き他端３５ｂ側へ移動する。すると、接続部材３６の軸３６４，３６５が矢印方向に回転するとともに、リンク３６３が軸３６５を押上げる。これにより、第２部材３３の位置を保ったまま、基台３１が他端３５ｂ側に移動する。

このとき、貯留部２０が停止しているのに対し、アーム１０は第１部材３２の移動に伴って他端３５ｂ側に移動することから、アーム１０と貯留部２０との相対位置が変化し、アーム１０の先端部１０ａが、液状体Ｌの中から外部に露出する。

さらに基台３１の移動が進むと、図６（ａ）（ｂ）に示すように、例えば、基台３１が移動限界まで他端３５ｂ側に移動して停止する。図４に示す初期状態から図６に示す基台３１の移動限界までの基台３１の移動距離が、本実施形態の実装装置１における基台３１の移動幅に該当する。図では、接続部材３６の軸３６４が、軸３６５の下方を通過してさらに他端３５ｂ側に移動するまで基台３１が移動することとしている。これにより、先端部１０ａに液状体Ｌを付着させたアーム１０が準備される。

また、図７（ａ）（ｂ）に示すように、他端３５ｂ側の移動限界まで移動している基台３１を、レール３５の一端３５ａ側に移動させると、レール３５に積載されている第１部材３２および接続部材３６によって基台３１と接続している第２部材３３が、基台３１の動きに伴って一端３５ａ側に移動する。

これらの部材の移動に伴って、第１部材３２に保持されているアーム１０および第２部材３３に保持されている貯留部２０も他端３５ｂ側に移動する。このとき、アーム１０と貯留部２０とが同時に移動することから、図７（ａ）（ｂ）に示す移動中にアーム１０と貯留部２０との相対位置に変化はなく、アーム１０の先端部１０ａは、液状体Ｌの中から露出されたままである。すなわち、アーム１０の先端部１０ａと第２部材３３との相対位置は、図７（ａ）（ｂ）に示す移動中において保たれている。

基台３１の移動が進むと、図８（ａ）（ｂ）に示すように、第２部材３３は支持部材３４の側壁３４１ａに当接し停止する。一方で、基台３１は引き続き一端３５ａ側へ移動する。すると、接続部材３６の軸３６４，３６５が矢印方向に回転するとともに、リンク３６３が軸３６５を押上げる。これにより、第２部材３３の位置を保ったまま、基台３１が一端３５ａ側に移動する。

このとき、貯留部２０が停止しているのに対し、アーム１０は第１部材３２の移動に伴って一端３５ａ側に移動することから、アーム１０と貯留部２０との相対位置が変化し、アーム１０の先端部１０ａが、貯留部２０の管内へ向けて移動し、液状体Ｌの中に浸漬される。

さらに基台３１の移動が進むと、図９（ａ）（ｂ）に示すように、基台３１が一端３５ａ側に移動して停止する。これにより、実装装置１は初期状態に戻る。

図１０，１１は、実装装置１を用いて対象物Ｂを保持する様子を示す模式図である。図１０は、実装装置１が有するアーム１０の先端部１０ａを、鉛直下方に配置する姿勢で、床面に載置されている対象物Ｂを保持する様子を示し、図１１は、保持した対象物Ｂを脱離させる様子を示している。

まず、図１０に示すように、実装装置１は、先端部１０ａに液状体Ｌを付着させた２本のアーム１０を、対象物Ｂに当接させ（図１０（ａ））、さらに図７〜９で示したように第１部材３２および第２部材３３を移動させて先端部１０ａの位置を移動させることで（図１０（ｂ））、先端部１０ａにおいて対象物Ｂを保持する構成となっている。このとき、対象物Ｂは、液状体Ｌを介して先端部１０ａと対象物Ｂとの間に加わる液架橋力（表面張力とラプラス圧による力の合力）により、先端部１０ａに保持される。

このように、実装装置１は、２本のアーム１０を用いて対象物Ｂを保持するため、１本のアームを用いて保持する場合と比べ、保持中に対象物Ｂの姿勢が変わりにくく、安定に保持することができる。

また、２本のアーム１０は、先端部１０ａ側ほど離間距離が漸減するように、互いに交差する方向に配置されている。そのため、アーム１０は、貯留部２０内に収容されている状態から、図４における他端３５ｂ側に移動させるほど、先端部１０ａの間が狭くなる。言い換えると、先端部１０ａが、貯留部２０の先端側において貯留部２０から遠ざかるほど、先端部１０ａの離間距離が漸減する。このような構成のアーム１０では、第２部材３３が固定されている場合、第１部材３２を移動させて対象物Ｂを引き上げようとすると、先端部１０ａの離間距離が変化してしまい、対象物Ｂが落下するおそれがある。

しかし、本実施形態の実装装置１は、図１０に示すように、第１部材３２および第２部材３３を移動させることで、アーム１０と貯留部２０との相対位置を変化させずに対象物Ｂを引き上げることができる。そのため、対象物Ｂを良好に保持することができる。

また、先端部１０ａに保持された対象物Ｂは、種々の方法で先端部１０ａから取り除かれる。例えば、図１１に示すように、所望の配置位置に、粘着剤や液状体Ｌよりも高粘度の液状体などの粘着体Ｓを配置しておくと、先端部１０ａに対象物Ｂを配置位置の粘着体Ｓに当接させることにより（図１１（ａ））、対象物Ｂは上記液架橋力よりも相対的に強い力で配置位置に引きつけられることとなる。このようにすると、所望の配置位置に対象物Ｂを配置することができる（図１１（ｂ））。

なお、対象物Ｂには先端部１０ａに付着していた液状体Ｌの一部が付着するが、液状体Ｌとして揮発性を有するものを用いると、配置後の対象物Ｂから液状体Ｌが揮発し、残存しないため好ましい。

実装装置１を用いて対象物を保持と脱離とを繰り返していると、先端部１０ａに付着した液状体Ｌが減少する。その場合、図７〜９に示したように、アーム１０の先端部１０ａを貯留部２０の内部に収容した後、図４〜６に示したように動作させることで、アーム１０の先端部１０ａに液状体Ｌを再度付着させることができる。これにより、実装装置１を用いて繰り返し対象物を保持することが可能となる。

なお、使用により貯留部２０内の液状体Ｌが消費された場合、図２に示す第２部材３３の固定部３３２を取り外し、貯留部２０を交換することで、容易に液状体Ｌを補充することができる。

以上のような構成の実装装置１によれば、微小な部品を好適に保持可能な新規な実装装置を提供することができる。

実装装置１は、種々の移動装置に搭載されることで、移動装置の移動範囲において微小な部品を好適に保持し、移動装置の機能によって保持した微小な部品を移動させることが可能となる。

なお、本実施形態の実装装置１では、２本のアーム１０は、第１部材３２に固定されていることとしたが、これに限らない。例えば、第１部材３２が、２本のアーム１０のそれぞれを独立に進退移動させ、先端部１０ａの位置を制御することが可能な位置制御手段を別途備えることとしてもよい。

このような構成とすることで、例えば、図１０のように対象物Ｂを保持する際の先端部１０ａの離間距離を変更することができるため、対象物Ｂの大きさや長さに応じて、先端部１０ａの離間距離を設定し、良好に対象物を保持することが可能となる。

また、例えば、対象物Ｂを保持した後に、２本のアーム１０のうち１本のアーム１０を動かし、先端部１０ａの位置を制御することで、保持した対象物Ｂの姿勢を制御することが可能となる。

また、本実施形態の実装装置１は、アーム１０を２本有することとしたが、これに限らず、３以上のアームを有する構成としてもよい。

また、本実施形態の実装装置１において、アーム１０の先端部１０ａの形状や先端部１０ａの表面特性は、本発明の実装装置１の機能を損なわない範囲で適宜変更可能である。実装装置１では、先端部１０ａの形状や先端部１０ａの表面特性が異なるアーム１０を、保持する対象物に応じて交換するとよい。アーム１０は、第１部材３２の固定部３２２をはずすことで、適宜交換可能である。

また、本実施形態の実装装置１は、対向する一対の側壁３４１ａ，３４１ｂを有する支持部材３４を有することとしたが、支持部材３４を有さず、例えば一対の側壁３４１ａ，３４１ｂの代わりに第２部材３３の位置を規定する突起などを有する構成としてもよい。

また、本実施形態の実装装置１が有する接続部材３６の構成は一例であり、図４〜９で示したような第２部材３３の動作が可能であれば、通常知られた構成を採用することができる。

また、本実施形態の実装装置１は、貯留部２０が、２本のアーム１０のそれぞれに個別に設けられていることとしたが、これに限らず、１つの共通する貯留部２０に２本のアーム１０が挿通する構成であることとしてもよい。

この場合、図１に示す実装装置１が有する貯留部２０は、延在方向に直交する平面での断面形状が円である円筒状の形状であることとしたが、例えば、断面形状が楕円や矩形などの扁平した形状を有する筒状の部材を採用してもよい。このような形状の貯留部とすることで、貯留部の断面形状における長手方向に２本のアーム１０が配列するように、アーム１０を挿通し、アーム１０と貯留部との干渉を抑制することが可能となる。

また、本実施形態の実装装置１は、１つのアーム１０に対して貯留部２０が１つのみ設けられていたが、これに限らない。例えば、実装装置が複数の貯留部を有し、複数の貯留部は、互いに異なる種類の液状体を保持しており、アーム１０が、複数の貯留部から選択される一の貯留部を挿通するように制御される構成としてもよい。

なお、「異なる種類の液状体」とは、組成や化学構造が異なる液状体のことを意味している。例えば、粘度や常圧常温下での蒸気圧などの物性値が異なる２種の溶液は、本発明でいう異なる種類の液状体である。また、特定の液状体を適当な有機溶媒に溶解した溶液を想定した場合、濃度を変化させた２種の溶液も、本発明でいう異なる種類の液状体である。

このような構成の実装装置は、例えば粘度の異なる液状体を保持した複数の貯留部を用意しておくことで、保持する部品の種類に応じて、先端に付着させる液状体の種類を変更し、好適に対象物を保持することが可能となる。

このような実装装置としては、例えば、２本のアームに対応する一対の貯留部を一組の貯留部としたとき、実装装置の第２部材が高さ方向（基台の移動方向と直交する方向）に複数組の貯留部を有し、第１部材の載置部が高さ調節機能を有するものが挙げられる。このような構成の実装装置においては、レールの一端を超えて基台を後退させることで、ある一組の貯留部からアームを抜き取り、次いで、第１部材の載置部を用いて高さを調節し、異なる高さ位置に配置された一組の貯留部にアームを挿入することで、アームが、複数の貯留部から選択される一の貯留部を挿通するように制御することができる。

また、本実施形態の実装装置１は、２つの貯留部２０に保持される液状体Ｌがいずれもシリコーンオイルであることとして示したが、これに限らず、２つの貯留部２０が保持する液状体Ｌが異なる種類の液状体であることとしてもよい。貯留部２０を交換する際に、管内に保持されている液状体Ｌの種類を変更することで、２つの貯留部２０が保持する液状体Ｌの種類を異ならせることが可能である。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、本実施形態の実装装置１は、アーム１０の先端部１０ａに付着した液状体Ｌを介して対象物Ｂを保持する保持装置として用いることとして説明したが、実装装置１は、先端部１０ａに付着した液状体Ｌを所望の位置に付着させる液状体Ｌの塗布装置として用いることができる。

例えば、２つの実装装置を用意し、第１の実装装置は対象物の保持に用い、第２の実装装置には、貯留部が第１の実装装置の貯留部が保持する液状体よりも高い粘度の液状体（粘着液）を保持することとする。このような２つの実装装置を用いると、第２の実装装置で所望の位置に粘着液を付着させた後に、当該所望の位置に第１の実装装置を用いて保持した対象物を配置することで、小型の対象物の保持と脱離とを良好に実現することができる。

１…実装装置、１０…アーム（保持具）、１０ａ…先端部（先端）、２０…貯留部、３０…移動装置（移動手段）、３１…基台、３２…第１部材、３３…第２部材、３４…支持部材、３６…接続部材、３４１ａ，３４１ｂ…側壁、Ｌ…液状体、ＬＳ…液面

Claims (9)

1. 一方向に延在する２以上の保持具と、
   ２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する貯留部と、
   前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、
   前記移動手段は、前記保持具の進退方向に進退可能に設けられた基台と、
   前記保持具を保持し、前記基台に固定される第１部材と、
   前記貯留部を保持し、前記基台に固定されることなく前記基台に接続され、前記基台の進退移動の移動幅よりも狭い移動幅で前記進退方向に進退可能に設けられた第２部材と、
   前記基台と前記第２部材とを接続し、前記基台の駆動力を前記第２部材に伝達して前記第２部材を進退移動させる接続部材と、を有する実装装置。
2. ２以上の前記保持具の先端における互いの離間距離が、前記貯留部の先端側において前記貯留部から遠ざかるほど漸減する請求項１に記載の実装装置。
3. 前記移動手段は、前記進退方向で対向する一対の側壁を備えた支持部材を有し、
   前記第２部材は、前記一対の側壁に当接するまで前記一対の側壁の間を移動可能に構成されている請求項１または２に記載の実装装置。
4. ２以上の前記保持具がそれぞれ独立に進退可能に設けられている請求項１から３のいずれか一項に記載の実装装置。
5. 前記貯留部が交換可能に設けられている請求項１から４のいずれか一項に記載の実装装置。
6. 前記貯留部が、２以上の前記保持具のそれぞれに個別に設けられている請求項１から５のいずれか一項に記載の実装装置。
7. 一方向に延在する２以上の保持具と、
   ２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する複数の貯留部と、
   前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、
   前記貯留部が、２以上の前記保持具のそれぞれに個別に設けられており、
   複数の前記貯留部は、互いに異なる種類の前記液状体を保持しており、
   前記保持具は、複数の前記貯留部から選択される一の貯留部を挿通するように制御される実装装置。
8. 一方向に延在する２以上の保持具と、
   ２以上の前記保持具が挿通する管状の部材であって、管内に液状体を貯留する貯留部と、
   前記保持具の先端が前記液状体における前記貯留部の先端側の液面を通過するように、前記保持具を前記保持具の延在方向に進退移動させる移動手段と、を備え、
   前記液状体は、シリコーンオイルである実装装置。
9. 前記液状体は、揮発性を有する請求項１から８のいずれか一項に記載の実装装置。

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