JP6460694B2 - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 53
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 46
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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Description
また、この発明に係る塗布装置は、塗布針の先端部に液状材料を付着させる塗布ユニットと、塗布ユニットと対象物を相対移動させる駆動装置と、駆動装置を制御し、対象物の上方の予め定められた位置に塗布針の先端を配置し、塗布針を下降させて先端部を対象物に接触させ、塗布針と対象物とを水平方向に相対移動させながら塗布針を上昇させて先端部を対象物から離脱させ、対象物に液状材料を塗布する制御装置とを備えたものである。
Claims (6)
- 塗布針を用いて対象物に液状材料を塗布する塗布方法であって、
前記塗布針の先端部に前記液状材料を付着させる第1のステップと、
前記塗布針を下降させて前記先端部を前記対象物に接触させる第2のステップと、
前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させながら前記塗布針を上昇させて前記先端部を前記対象物から離脱させる第3のステップとを含み、
前記第2のステップでは、前記塗布針の前記先端部を前記対象物に接触させて予め定められた時間だけ待機する、塗布方法。 - 塗布針を用いて対象物に液状材料を塗布する塗布方法であって、
前記塗布針の先端部に前記液状材料を付着させる第1のステップと、
前記塗布針を下降させて前記先端部を前記対象物に接触させる第2のステップと、
前記液状材料の粘着力が予め定められた値よりも小さい場合は、前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させずに前記塗布針を上昇させ、前記液状材料の粘着力が予め定められた値よりも大きい場合は、前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させながら前記塗布針を上昇させる第3のステップとを含む、塗布方法。 - 前記第2のステップでは、前記塗布針の前記先端部を前記対象物に接触させて予め定められた時間だけ待機する、請求項2に記載の塗布方法。
- 塗布針の先端部に液状材料を付着させる塗布ユニットと、
前記塗布ユニットと対象物を相対移動させる駆動装置と、
前記駆動装置を制御し、前記対象物の上方の予め定められた位置に前記塗布針の先端を配置し、前記塗布針を下降させて前記先端部を前記対象物に接触させ、前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させながら前記塗布針を上昇させて前記先端部を前記対象物から離脱させ、前記対象物に前記液状材料を塗布する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記塗布針の前記先端部を前記対象物に接触させて予め定められた時間だけ待機した後に前記塗布針を上昇させる、塗布装置。 - 塗布針の先端部に液状材料を付着させる塗布ユニットと、
前記塗布ユニットと対象物を相対移動させる駆動装置と、
前記駆動装置を制御し、前記対象物の上方の予め定められた位置に前記塗布針の先端を配置し、前記塗布針を下降させて前記先端部を前記対象物に接触させ、前記塗布針を上昇させて前記先端部を前記対象物から離脱させ、前記対象物に前記液状材料を塗布する制御装置とを備え、
前記制御装置は、前記液状材料の粘着力が予め定められた値よりも小さい場合は、前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させずに前記塗布針を上昇させ、前記液状材料の粘着力が予め定められた値よりも大きい場合は、前記塗布針と前記対象物とを水平方向に相対移動させながら前記塗布針を上昇させる、塗布装置。 - 前記制御装置は、前記塗布針の前記先端部を前記対象物に接触させて予め定められた時間だけ待機した後に前記塗布針を上昇させる、請求項5に記載の塗布装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014192510A JP6460694B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | 塗布方法および塗布装置 |
PCT/JP2015/075292 WO2016047422A1 (ja) | 2014-09-22 | 2015-09-07 | 塗布方法および塗布装置 |
CN201580050407.8A CN107073513B (zh) | 2014-09-22 | 2015-09-07 | 涂布方法及涂布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014192510A JP6460694B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | 塗布方法および塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016059908A JP2016059908A (ja) | 2016-04-25 |
JP6460694B2 true JP6460694B2 (ja) | 2019-01-30 |
Family
ID=55580950
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014192510A Active JP6460694B2 (ja) | 2014-09-22 | 2014-09-22 | 塗布方法および塗布装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6460694B2 (ja) |
CN (1) | CN107073513B (ja) |
WO (1) | WO2016047422A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107803312B (zh) * | 2017-11-30 | 2023-05-23 | 华南理工大学 | 一种转印式pL级超微量自动点胶笔结构 |
CN109248825A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-01-22 | 大连理工大学 | 基于力反馈控制的微量高粘度胶液转移方法 |
JP7401222B2 (ja) | 2019-08-08 | 2023-12-19 | Ntn株式会社 | 液体材料塗布機構および液体材料塗布装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0724390A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Japan Servo Co Ltd | 液体塗布装置及び塗布方法 |
JPH08257484A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-08 | Taiyo Yuden Co Ltd | ピン転写方法 |
JP2000269634A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | クリーム半田塗布装置 |
JP2004148167A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Nordson Corp | 粘性流体材料の塗布方法及び装置 |
JP4634265B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-02-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布方法及び塗布装置 |
JP4799390B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2011-10-26 | 中外炉工業株式会社 | 塗布方法 |
JP2009008829A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Ntn Corp | パターン修正装置および方法 |
JP2010020643A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | データファイル操作システム、そのプログラム |
JP2010194490A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Micronics Japan Co Ltd | 塗布装置 |
JP5593634B2 (ja) * | 2009-05-14 | 2014-09-24 | パナソニック株式会社 | 液体塗布方法および装置 |
KR101214698B1 (ko) * | 2009-06-23 | 2012-12-21 | 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 | 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 |
JP2011232849A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Seiko Epson Corp | 表示装置、画像形成システムおよびプログラム |
DE102010037401A1 (de) * | 2010-09-08 | 2012-03-08 | Ctp Gmbh | Auftragseinheit |
JP2012101175A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Ntn Corp | 塗布機構、塗布方法、および塗布装置 |
JP5899424B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2016-04-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
-
2014
- 2014-09-22 JP JP2014192510A patent/JP6460694B2/ja active Active
-
2015
- 2015-09-07 CN CN201580050407.8A patent/CN107073513B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-09-07 WO PCT/JP2015/075292 patent/WO2016047422A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016047422A1 (ja) | 2016-03-31 |
CN107073513A (zh) | 2017-08-18 |
JP2016059908A (ja) | 2016-04-25 |
CN107073513B (zh) | 2021-06-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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