JP6157357B2 - 製造された基板上の点在したホットスポット領域を検査する方法および装置 - Google Patents
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- 電子ビーム装置を使用した、製造された基板上に点在するホットスポット領域の自動検査方法であって、
前記電子ビーム装置の視界を移動させて、前記移動する視界が動的に変化する速度で前記基板上のターゲット領域を覆うように、スワス経路に沿って前記基板を保持する段を可変速度で移動させることであり、前記スワス経路は、前記ホットスポット領域の位置に応じて変化しないように固定され、
前記スワス経路から逸脱することなく前記段が移動しつつ、前記移動する視界内の前記ホットスポット領域の軸外イメージングを行うことと、
前記移動する視界内のホットスポット領域の数を決定することと、
ホットスポットのゼロ密度に応じた最大速度、及びより高いホットスポット密度に応じた複数のより低い速度で、前記移動する視界内のホットスポットの数に基づいて前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の位置の関数としての可変速度は、一定の速度レベルに接続する傾斜した速度レベルを有するプロファイルを形成するように調整することと、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第1定速度レベルから第2定速度レベルに低下するような傾斜速度レベルで遷移し、第1定速度レベルは第2定速度レベルよりも高く、第1定速度レベルはゼロよりも大きい第1ホットスポット密度に関連し、第2定速度レベルは第1ホットスポット密度よりも大きい第2ホットスポット密度に関連するように調整することと、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第3定速度レベルから第4定速度レベルに増加するような傾斜速度レベルで遷移し、第3定速度レベルは第4定速度レベルよりも低く、第3定速度レベルは第3ホットスポット密度に関連し、第4定速度レベルはゼロより大きく第3ホットスポット密度よりも小さい第4ホットスポット密度に関連するように調整することと、
を含む、方法。 - 前記移動する視野内の前記ホットスポット領域を撮像する順序を決定することと、
前記決定された順序で前記移動する視野内の前記ホットスポット領域を撮像することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記スワス経路が事前に決定され、前記段が前記スワス経路に沿って連続的に移動する、請求項1に記載の方法。
- 前記段の移動が軸外イメージング中には停止しない、請求項3に記載の方法。
- 前記スワス経路がラスタ・パターンを含み、
前記段の移動が前記ラスタ・パターンの各線の端部で回転する、請求項3に記載の方法。 - 製造された基板上の点在する領域を検査する電子ビーム装置であって、
1次電子ビームを生成する電子源と、
前記1次電子ビームを前記基板の表面に集束させるように構成されているレンズ系と、
前記基板から照射される点在する電子を検出するように構成されている検出器と、
前記基板を保持して、前記1次電子ビームをうけて前記基板を制御可能に移動させるように構成されている段と、
システム制御装置であって、
前記電子ビーム装置の視界を移動させて、前記移動する視界が動的に変化する速度で前記基板上のターゲット領域を覆うように、スワス経路に沿った前記基板を保持する段の移動を可変速度で制御し、前記スワス経路は、点在領域の位置に応じて変化せず、
前記移動する視界内の点在領域の軸外イメージングを制御し、
前記移動する視界内の点在領域の数を決定し、
点在領域のゼロ密度に応じた最大速度、及びより高い点在領域の密度に応じた複数のより低い速度で、前記移動する視界内の点在領域の数に基づいて前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の位置の関数としての可変速度は、一定の速度レベルに接続する傾斜した速度レベルを有するプロファイルを形成するように調整し、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第1定速度レベルから第2定速度レベルに低下するような傾斜速度レベルで遷移し、第1定速度レベルは第2定速度レベルよりも高く、第1定速度レベルはゼロよりも大きい第1点在領域密度に関連し、第2定速度レベルは第1点在領域密度よりも大きい第2点在領域密度に関連するように調整し、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第3定速度レベルから第4定速度レベルに増加するような傾斜速度レベルで遷移し、第3定速度レベルは第4定速度レベルよりも低く、第3定速度レベルは第3点在領域密度に関連し、第4定速度レベルはゼロより大きく第3点在領域密度よりも小さい第4点在領域密度に関連するように調整する、システム制御装置と、
を備える、電子ビーム装置。 - 前記システム制御装置がまた、前記移動する視界内の前記点在領域を撮像する順序を決定し、かつ前記決定された順序で前記移動する視野内の前記点在領域を走査するように構成されている、請求項6に記載の装置。
- 前記スワス経路が事前に決定され、前記段が前記スワス経路に沿って連続的に移動する、請求項6に記載の装置。
- 前記段の移動が軸外イメージング中には停止しない、請求項8に記載の装置。
- 前記スワス経路がラスタ・パターンを含み、
前記段の移動が前記ラスタ・パターンの各線の端部で回転する、請求項8に記載の装置。 - 製造された基板上の点在する領域を検査する電子ビーム装置であって、
前記基板上での電子ビームの偏向を制御するスキャン制御器と、
前記スキャン制御器に接続され、処理装置と実行可能な命令及びデータのための記憶装置を備えたシステム制御器であって、
前記電子ビーム装置の視界を移動させて、前記移動する視界が動的に変化する速度で前記基板上のターゲット領域を覆うように、スワス経路に沿った前記基板を保持する段の移動を可変速度で制御し、前記スワス経路は、点在領域の位置に応じて変化せず、
前記移動する視界内の点在領域の軸外イメージングを制御し、
点在領域のゼロ密度に応じた最大速度、及びより高い点在領域の密度に応じた複数のより低い速度で、前記移動する視界内の点在領域の数に基づいて前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の位置の関数としての可変速度は、一定の速度レベルに接続する傾斜した速度レベルを有するプロファイルを形成するように調整し、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第1定速度レベルから第2定速度レベルに低下するような傾斜速度レベルで遷移し、第1定速度レベルは第2定速度レベルよりも高く、第1定速度レベルはゼロよりも大きい第1点在領域密度に関連し、第2定速度レベルは第1点在領域密度よりも大きい第2点在領域密度に関連するように調整し、
前記段の移動の可変速度を調整することであり、前記段の移動の可変速度が第3定速度レベルから第4定速度レベルに増加するような傾斜速度レベルで遷移し、第3定速度レベルは第4定速度レベルよりも低く、第3定速度レベルは第3点在領域密度に関連し、第4定速度レベルはゼロより大きく第3点在領域密度よりも小さい第4点在領域密度に関連するように調整する、システム制御器と、
を有する電子ビーム装置。 - 前記システム制御器は、前記移動する視界内の点在領域を撮像する順序を決定し、決定された順序で前記移動する視界内の点在領域のスキャニングを行う、請求項11に記載の装置。
- 前記スワス経路は事前に決定され、前記段が前記スワス経路に沿って連続的に移動する、請求項11に記載の装置。
- 前記段の移動が前記軸外イメージング中には停止しない、請求項11に記載の装置。
- 前記スワス経路は、ラスタ・パターンを含み、前記段の移動は前記ラスタ・パターンの各線の端部で回転する、請求項11に記載の装置。
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