JP2014505965A - 製造された基板上の点在したホットスポット領域を検査する方法および装置 - Google Patents
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- 電子ビーム装置を使用した、製造された基板上に点在するホットスポット領域の自動検査方法であって、
前記電子ビーム装置の視界を移動させて、前記移動する視界が前記基板上のターゲット領域を覆うように、スワス経路に沿って前記基板を保持する段を移動させることと、
前記移動する視界内の前記ホットスポット領域の軸外イメージングを行うことと、
を含む、方法。 - 前記移動する視野内のホットスポット領域の数を決定することと、
前記移動する視界内の前記ホットスポット領域の数に基づいて、前記段の移動の速さを調整することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記移動する視野内の前記ホットスポット領域を撮像する順序を決定することと、
前記決定された順序で前記移動する視野内の前記ホットスポット領域を撮像することと、
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記スワス経路が事前に決定され、前記段が前記スワス経路に沿って連続的に移動する、請求項1に記載の方法。
- 前記段の移動が軸外イメージング中には停止しない、請求項4に記載の方法。
- 前記スワス経路がラスタ・パターンを含み、
前記段の移動が前記ラスタ・パターンの各線の端部で回転する、請求項4に記載の方法。 - 製造された基板上の点在する領域を検査する電子ビーム装置であって、
1次電子ビームを生成する電子源と、
前記1次電子ビームを前記基板の表面に集束させるように構成されているレンズ系と、
前記基板から照射される点在する電子を検出するように構成されている検出器と、
前記基板を保持して、前記1次電子ビームをうけて前記基板を制御可能に移動させるように構成されている段と、
前記電子ビーム装置の視界を移動させて、前記移動する視界が前記基板上のターゲット領域を覆うように、スワス経路に沿った前記基板を保持する段の移動を制御し、かつ前記移動する視界内のホットスポット領域の軸外イメージングを制御するように構成されているシステム制御装置と、
を備える、電子ビーム装置。 - 前記システム制御装置が、前記移動する視界内の前記ホットスポット領域の数を決定し、かつ前記移動する視界内の前記ホットスポット領域の数に基づいて、前記段の移動の速さを調整するように構成されている、請求項7に記載の装置。
- 前記システム制御装置がまた、前記移動する視界内の前記ホットスポット領域を撮像する順序を決定し、かつ前記決定された順序で前記移動する視野内の前記ホットスポットを走査するように構成されている、請求項7に記載の装置。
- 前記スワス経路が事前に決定され、前記段が前記スワス経路に沿って連続的に移動する、請求項7に記載の装置。
- 前記段の移動が軸外イメージング中には停止しない、請求項10に記載の装置。
- 前記スワス経路がラスタ・パターンを含み、
前記段の移動が前記ラスタ・パターンの各線の端部で回転する、請求項10に記載の装置。
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