JP2010267461A - 走査電子顕微鏡、および走査電子顕微鏡における像表示方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡、および走査電子顕微鏡における像表示方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】対物レンズにより電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第1の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、対物レンズの励磁を変えた後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第2の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、表示装置の画面に表示させた第2の画像の焦点が合うように制御電極に印加される電圧を調整した後に電子ビームを集束させて試料を走査し、試料から発生する信号を検出して第3の画像を生成し、表示装置の画面に表示させる。
【選択図】 図1
Description
107 レンズ制御電源
110 対物レンズ
111 試料ステージ
112 試料
113 対物レンズ制御部
114,1801,1802 制御電極
115 制御電極制御部
121 二次信号
123 検出器
124 画像処理部
125 記憶部
126 像表示装置
127 主制御部
128 ステージ駆動装置
134 高さ測定装置
1901 補正レンズ
1902 補正レンズ制御部
Claims (18)
- 電子ビームを試料上に集束する対物レンズと、前記電子ビームを前記試料上で走査する走査偏向器と、前記電子ビームの照射によって前記試料から発生する信号を検出する検出器と、該検出器で得られた信号から画像を生成し、表示装置へ表示させる画像処置部とを備えた走査型電子顕微鏡において、
画像を生成し、表示された後、前記対物レンズの励磁条件を変化させる対物レンズ制御部を備え、前記画像処理部は、前記対物レンズ制御部により励磁条件が変化させられた前記対物レンズで前記電子ビームを前記試料に集束させ、前記検出器で得られた信号に基づいて第2の画像を生成し、前記表示装置へ該第2の画像を表示させるとともに、さらに前記第2の画像の焦点が合うように前記電子ビームの焦点を調整する制御電極を設け、前記画像処理部は、該制御電極により焦点が調整された後に、前記検出器で検出された信号から第3の画像を生成し、前記表示装置へ表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1の記載において、前記第3の画像は複数生成され、該複数の第3の画像を記憶する記憶部を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記画像処理部は、前記記憶部に記憶された前記複数の第3の画像を前記表示装置の画面のひとつの領域に同時に表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記画像処理部は、前記記憶部に記憶された前記複数の第3の画像から立体像を生成し、前記表示装置の画面へ表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、第3の画像の枚数は任意に指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 前記第3の画像の枚数の指定は、枚数を入力指定する領域が表示されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 前記第3の画像は角度で指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項7の記載において、前記角度の指定は、角度を入力する領域が表示されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 指定された角度に応じて磁場レンズの励磁電流を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記対物レンズは磁場レンズであり、前記制御電極は静電レンズであることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記対物レンズのレンズ面と前記制御電極のレンズ面とは同一面にあることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 前記第1の画像と、対物レンズの励磁電流を変化させて得られた第3の画像の位置ずれが生じた場合、第1の画像を規準として位置を合わせることを特徴とした走査型電子顕微鏡。
- 対物レンズにより電子ビームを集束させて試料を走査し、該試料から発生する信号を検出して第1の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、前記対物レンズの励磁を変えた後に前記電子ビームを集束させて前記試料を走査し、該試料から発生する信号を検出して第2の画像を生成して前記表示装置の画面に表示させ、該表示装置の画面に表示された前記第2の画像の焦点が合うように制御電極に印加させる電圧を調整した後に前記電子ビームを集束させて前記試料を走査し、該試料から発生する信号を検出して第3の画像を生成し、前記表示装置の画面に表示させることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項13の記載において、前記第3の画像は複数生成され、該複数の第3の画像が記憶部に記憶されることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、前記記憶部に記憶された前記複数の第3の画像を前記表示装置の画面のひとつの領域に同時に表示させることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、前記記憶部に記憶された前記複数の第3の画像から立体像を生成し、前記表示装置の画面へ表示させることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、指定された枚数の第3の画像で立体像を生成することを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、指定された角度で取得した第3の画像で立体像を生成することを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
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