JP6143155B2 - フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態で円筒形状試料(被検体)となる多層構成の光透過性の膜構成として、代表的な感光体ドラムの例を以下に挙げる。
図2(b)に示すものは、導電性基体となるアルミドラム2上に中間層3を形成し、その上に電荷発生層4と電荷輸送層5を積層して感光層とした光導電性の感光体である。この感光層の表面側、この場合、電荷輸送層5の所定厚さ部分が補強用のフィラー微粒子を分散させた表面層として構成されるか、或いは電荷輸送層5の全域にフィラー微粒子が分散されたものである。
電荷発生層4は、特定の波長の光照射により「正と負の電荷対」を発生させる層であり、電荷輸送層5と表面層6は電荷発生層4で発生した正と負の電荷のうち、所定極性の電荷を感光層表面へ輸送する機能を持つ層である。
表面層6は、感光体が実機内で物理的な接触・摩耗により感光層が削れ、感光体特性が低下することを防ぐ機能も有している。図2(a)に示す表面層6には、感光層の耐磨耗性を向上させるためフィラー微粒子が分散されて含有されている。
図1は、本実施形態に係るフィラー微粒子分散性評価装置の構成を示す概念図である。図1は、膜試料1からの、フィラー微粒子散乱光を含むレイリー光の一部を測定可能に検出部36に導く構成を示している。
レーザー光源30から出射されるレーザー光は、フィラー微粒子分散性評価法で測定に用いるレーザー光であり、検出対象となる膜やフィラー微粒子に吸収が無く、レイリー散乱のメカニズムによりフィラー微粒子に依って散乱させられる波長が選択され、数枚のNDフィルター(不図示)の組み合わせを用いて一般には減光された状態である。
一般には、レーザー光強度が高いほど検出されるフィラー微粒子散乱光強度も強くなりS/N比は向上するが、試料破壊や褪色化、強光への応答(発光)などを考慮して決める必要も有る。
また波長が短ければ、波長の4乗に反比例してフィラー微粒子散乱強度が強くなる。
焦点以外の深さ方向からのフィラー微粒子散乱光は、第2のピンホール35の位置で焦点を結ばないため、効率良く妨害光がカットされる(図1に示すように、非焦点からの反射光の行路を示す破線部分のほとんどの反射光が第2のピンホール35により遮蔽される)。但し、円筒形状基体上に形成された膜試料1の膜中では屈折率差に依る色収差や球面収差の影響でビーム径が拡がりを見せるため、これらを油浸対物レンズやエマルジョンオイルを用いて拡がりを押さえることが測定上必要となる。
特に、フィラー微粒子の一次粒子径が1μm以下の場合はこの傾向が顕著である。
NA=n・sinθ
(ここで、nは膜試料1における対象膜と対物レンズ34の間の媒質(ここではエマルジョンオイル)の屈折率、θは光軸と対物レンズ34の最も外側に入る光線とがなす角を示す。)
フィルター光学素子37は、円筒形状基体上に形成された膜試料1からのレイリー光である界面反射光とフィラー微粒子散乱光とともに測定可能に検出部36に導く機能として設けられている。
このうち、分光手段としては、回折格子によりフィラー微粒子散乱光を分光する分光器が挙げられる。主な機能は、膜やフィラー微粒子を含んだ試料からの微弱な蛍光やラマン光などの成分を波長成分で取り除くことで、分光器に入る直前光路上に焦点面と共役な点(エリア)がある場合には、その部分のX−Y平面内に2つの直行するスリット(クロススリット)を置くことで、スリットの組に共焦点光学系でいう共焦点ピンホール(第2のピンホール35)の役割を担わせることが可能であり、これにより、X−Y−Z軸方向の空間分解能が生じる。
図3の支持治具41(試料受け部)に円筒形状試料40を乗せ、対物レンズ34として低倍率(40倍が好ましい)の乾燥系対物レンズを選択する。円筒形状試料40の焦点位置の確認のために、観察用CCD43で観察して意図的に円筒形状試料40の中心で無い任意の位置に支持治具駆動部42を移動させ、円筒形状試料40表面にZ方向移動機構を用いて焦点を合わせる。この時、顕微鏡筐体に付帯の視野絞りを操作し、観察用CCD43の視野内に視野絞りの羽根が見えるように予め視野絞りの大きさを調整しておく。レーザー光軸(この場合、顕微鏡の対物レンズ光軸)と円筒形状試料40の曲率半径が一致していない場合は、視野絞りの羽根が視野内で片側(エッジ)だけ焦点が合い、片側だけ焦点が合わない像が観察される。この位置を座標Aとする。
(座標A−座標B)÷2+座標B
上式で求められた中心座標(レーザー光軸と曲率中心の一致した座標)に円筒形状試料40を移動後、Z方向に焦点を合わせることで、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸が一致し、次ステップで正確な深さプロファイル測定が可能になる。
レーザー光軸に対して垂直に位置していると考えられている円筒形状試料40の膜測定評価面に僅かな傾きがある場合でも、レーザー光のX−Y走査範囲が図11(a)に示すように対象膜の厚み範囲内に納まっていれば良い。しかし、図11(b)に示すようにレーザー光のX−Y走査範囲が膜の厚み内に収まらない場合は的確なX−Y断面のフィラー微粒子散乱像の取得が困難となる。
またX−Y走査範囲が膜の厚み内に収まっている場合でも、対象とする膜内でフィラー微粒子の分散性が膜の深さ方向で均一では無い場合、即ち偏りがある場合は、この場合も適切なフィラー微粒子散乱像の取得が不可能になる場合がある。
このため、予め支持治具41の下に円筒形状試料40の対象膜をレーザー光軸に対して垂直に傾き調整するチルト調整機構44で傾きの微調整を行い、特に膜厚1μm以下薄膜でのX−Y断面でのフィラー微粒子の分散性評価を可能ならしめる。
フィラー微粒子分散性評価装置を図1の構成とする。対物レンズ34は、油浸対物レンズとして、膜試料との間にエマルジョンンオイル(不図示)を満たす。レーザー光源30より出射され、集光レンズ31、第1のピンホール32を経た拡散するレーザー光束を、ビームスプリッター33を介して油浸対物レンズに導き、油浸対物レンズによりエマルジョンオイルを透過させて円筒形状基体上に形成されたフィラー微粒子を含んだ光透過性の膜試料1上に集光させる。
反射率R=((N−N1)2+κ2)/(N+N1)2+κ2)
N:測定対象膜の屈折率
N1:媒体の屈折率
κ:測定対象膜の消光係数
より、界面での反射率:Rが0.1%以上必要であることが見出されている。一般に、屈折率差が大きくなれば界面反射を確保しやすくなるが、その場合は、レンズ−媒体−膜間の屈折率差による収差の影響で、空間分解能の低下を誘発することとなる。この為、測定の為には対象となる膜の屈折率から決まる、−0.2〜−0.1の屈折率差を有するエマルジョンオイルを用いることが好適となる。
観察結果としては、X−Z断面におけるフィラー微粒子マッピングデータ及びX−Y断面におけるフィラー微粒子マッピングデータ或いは3Dでのフィラー微粒子マッピングデータが得られれば、定性的なフィラー微粒子の分散状態を判断することが可能である。
(Step1)
X−Y断面におけるフィラー微粒子散乱像画像、X−Z断面におけるフィラー微粒子散乱像画像を取得する。
(Step2)
取得したフィラー微粒子散乱像画像に対して、任意の画素長さを持つ矩形型の任意の画像領域を決定する。
(Step3)
画像領域内のフィラー微粒子散乱像散乱像の各画素の光の強度にあたる輝度の特徴量を算出する。
(Step4)
(Step2)(Step3)を繰り返し、フィラー微粒子散乱像画像に対して、任意の多数の画像領域内で輝度の特徴量を算出する。なお、図7では、nを充分大きな数とすることで、多数の画像領域内で輝度の特徴量が得られる。
(Step5)
多数の画像領域内の輝度の特徴量を用いてヒストグラムを作成する。
(Step6)
ヒストグラムと感光体ドラム特性との対応をとり、必要な閾値を設定して良・不良判断を行う。
このようにレーザー波長域をフィラー微粒子の粒子径や凝集径より大きい波長領域とすることで、検出光における「フィラー微粒子やその凝集粒子による散乱や回折の影響する波長域」を避けて、良好な内部層のフィラー微粒子の散乱像情報の評価が可能となる。図10には、中間層のX−Y断面でのフィラー微粒子散乱像を取得した結果を示す。
<実施例1>
以下の条件で、円筒形状基体上に形成されたフィラー微粒子が分散された膜試料1サンプルである感光体ドラムのフィラー微粒子分散性評価を行った。
図2(a)において、円筒形状基体となる直径40mmのアルミニウムドラム2上に形成されたフィラー微粒子が分散された光透過性の膜として任意の種類の電荷輸送成分を分散させた膜厚22μmの電荷輸送層5と一次粒子径0.3μmのアルミナフィラーが分散された膜厚2.5μmの表面層6を形成したものを準備した。
図1に示す構成
・レーザー光源30;レーザー光波長 488nm
・対物レンズ34;乾燥系対物レンズ(OLYMPUS Plan FL N 40× NA=0.6)、
油浸対物レンズ(OLYMPUS MPlan Apo 100× NA=1.4(屈折率1.516のエマルジョンオイルを対象膜と対物レンズ34の間に充填)
なお、エマルジョンオイルの屈折率は、メーカー測定値(製品にデータ添付)をそのまま用いた。
まず、円筒形状基体上に中間層3と電荷発生層4、電荷輸送層5と表面層6が形成された膜試料1である円筒形状試料40を支持治具41上に静置する。対物レンズ34としては、低倍率の乾燥系対物レンズを選択する。そして、支持治具駆動部42、対物レンズ34、観察用CCD43を用いて、円筒形状試料40の表面観察をおこなう。
実施例1においてレーザー励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となる直径40mmのアルミドラム2上に形成されたフィラー微粒子を分散させた中間層3中を含む1点に照射し、膜試料1をX−Y方向に走査する。そして、膜試料から微弱な中間層のフィラー微粒子の散乱像を検出部36のAPD検出器に導いて、中間層フィラー微粒子の散乱像を取得した。図10に取得した中間層のX−Y断面のプロファイルを示す。
この際、実施例1同様に、支持治具41下に設けられたチルト調整機構44を用いて低倍率の乾燥系対物レンズの条件下で、観察用CCDを用いて円筒形状試料40の表面観察を行う。そして、円筒形状試料の曲率中心(頂点)での反射光輝線が円筒形状試料の長手方向で均一になるように支持治具41でチルト(傾き)調整を行った。
比較例1として、図1の装置構成で円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を一致させなかった場合の油浸レンズ+エマルジョンオイル使用条件下でのフィラー微粒子の散乱像を取得した結果を図6に示す。
従来の、円筒形状試料40で支持治具駆動部42を備えていない構成のフィラー微粒子分散性評価装置を用いた。顕微鏡ステージ39のY軸駆動機構で円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸を合わせようとした。しかし、顕微鏡ステージ39のY軸と円筒形状試料40並びに支持治具41の軸(X軸)が必ずしも垂直ではなく、円筒形状試料40を支持治具41上に静置した際に、円筒形状試料40の曲率中心とレーザー光軸にズレが生じた。このため、正確な表面層と電荷輸送層との界面反射強度分布及びフィラー微粒子散乱像が取得できず、表面層6における深さ方向の位置毎のフィラー微粒子散乱像プロファイルが得られなかった。
実施例1においてレーザー励起光の光束を対物レンズ34で集光して円筒形状基体となる直径40mmのアルミドラム2上に形成されたフィラー微粒子を分散させた膜厚0.5μmの電荷発生層4中を含む1点に照射し、膜試料1をX−Y方向に走査した。そして、膜試料から微弱な電荷発生層4のフィラー微粒子の散乱像を検出部36のAPD検出器に導いて、電荷発生層フィラー微粒子の散乱像を取得した。
この取得を行う際、支持治具41下にチルト調整機構44を設けず、円筒形状試料40の長手方向のチルト(傾き)調整は行わなかったが、浸漬塗工に伴う中間層3の膜厚傾きが円筒形状試料に有った。しかし、得られた電荷発生層4のX−Y方向のフィラー微粒子散乱像には、中間層3のフィラー微粒子散乱情報が取得した散乱像プロファイルに入ったり、電荷発生層のフィラー散乱情報が片側で途切れたりした。このため、適正なフィラー微粒子散乱像を取得することができなかった。
(態様A)
レーザー光源30と、膜試料1にレーザー光を照射すると共に、フィラー微粒子が分散された膜試料1からの界面反射光と微弱なフィラー微粒子散乱光とを含むレイリー光を受光するビームスプリッター33等の分離光学素子及び対物レンズ34とを有する顕微光学系と、分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子37と、フィルター光学素子37を透過した光を分光する分光手段と、分光された光の強度を検出する光検出手段としての検出部36と、試料の深さ方向を含むX−Y−Z方向への走査機構を有する顕微鏡ステージ39等の載置台とを備えたフィラー微粒子分散性評価装置である。このフィラー微粒子分散性評価装置で、円筒形状試料40の曲率半径中心とレーザー光軸とを一致させる調整を可能とする構成として、円筒形状試料40が円筒形状の中心軸が水平になるよう支持する支持治具(試料受け部)41と、支持治具41をレーザー光に対して垂直、且つ、円筒形状試料40の中心軸に対して垂直な方向に移動可能に駆動する支持治具駆動部42と、支持治具駆動部の駆動を制御する駆動制御手段(不図示)と、観察用CCD43等の表面観察用撮像素子とを備えている。これによれば、上記実施形態で説明したように、円筒形状基体上に形成された多層の樹脂膜中のフィラー微粒子の正確な分散状態を、デバイス状態のままで3次元的に、簡便・迅速に得ることができる。
(態様A)において、顕微光学系の対物レンズ34としては、低倍率の乾燥系対物レンズと、試料の間にエマルジョンオイル(不図示)が充填される油浸レンズとを選択可能である。これによれば、上記実施形態で説明したように、レイリー光の測定時は、空間分解能をあげることができ、曲率中心と光軸合わせのために円筒形状試料表面を観察する時は、光軸と曲率中心との一致点を観察し易くする。これにより、フィラー微粒子のより正確な分散状態を得ることができる。
(態様A)または(態様B)において、顕微光学系は、物体上の焦点面と共役な関係にあるピンホール(第1のピンホール32,第2のピンホール35)を備えた共焦点顕微光学系である。これによれば、上記実施形態で説明したように、深さ方向に優れた空間分解能を達成することができ、フィラー微粒子のより正確な分散状態を得ることができる。
(態様A)、(態様B)または(態様C)の何れかにおいて、フィルター光学素子は、レイリーと等価な光を透過する機能を備えている。これによれば、上記実施形態で説明したように、界面反射光とフィラー微粒子散乱光とともに測定可能に検出部に導くことができ、フィラー微粒子のより正確な分散状態を得ることができる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)または(態様D)の何れかにおいて、分離光学素子はビームスプリッターである。これによれば、上記実施形態で説明したように、円筒形状基体上に形成されたフィラー微粒子を含んだ光透過性の膜試料に照射するとともに、円筒形状基体上に形成されたフィラー微粒子を含んだ光透過性の膜試料からのフィラー微粒子散乱光及び膜界面反射光を含むレイリー光を測定できる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)または(態様E)の何れかにおいて、顕微光学系に用いられる油浸対物レンズとエマルジョンオイルの組み合わせのNAは1.2以上である。これによれば、上記実施形態で説明したように、優れた空間分解能を達成することができ、フィラー微粒子のより正確な分散状態を得ることができる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)または(態様F)の何れかにおいて、円筒形状試料の支持治具を載置台に固定し、支持治具移動手段を載置台の移動機構で、支持治具移動量制御手段を載置台の移動制御機構で、それぞれ兼用する。これによれば、簡易な構成で、フィラー微粒子の正確な分散状態を得ることができる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)、(態様F)または(態様G)の何れかにおいて、光検出手段により検出された光の強度に基づきフィラー微粒子分散性の定量化評価のための画像処理をおこなう画像処理部38を有する。これによれば、上記実施形態で説明したように、フィラー微粒子分散性の定量的評価が可能となる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)、(態様F)、(態様G)または(態様H)の何れかにおいて、支持治具41の下に円筒形状の中心軸をレーザー光軸に対して垂直に傾き調整するチルト調整機構44を有する。これによれば、上記実施形態で説明したように、レーザー光のX−Y走査面と膜界面の平行を保てるようになり、膜厚1μm以下の表面層や中間層、電荷発生層のX−Y断面のフィラー微粒子分散性の散乱像プロファイルが取得できるようになる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)、(態様F)、(態様G)、(態様H)または(態様I)の何れかにおいて、レーザー光源の波長が400〜850nmの波長域であることを有する。これによれば、上記実施形態で説明したように、レーザー波長域をフィラー微粒子の粒子径や凝集径より大きい波長領域とすることにより、検出光における「フィラー微粒子やその凝集粒子による散乱や回折の影響する波長域」を避けられる様になり中間層、電荷発生層のフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)、(態様F)、(態様G)、(態様H)、(態様I)または(態様J)の何れかにおいて、光検出手段がレーザー波長域を含む検出波長域を有するフォトマル若しくはAPD:Avalanche Photodiodeであることを有する。これによれば、上記実施形態で説明したように、非常に微弱な内部層を含むフィラー微粒子での散乱光を検出することが可能となり表面層、中間層、電化発生層のフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系により、円筒形状試料にレーザー光を照射すると共に、円筒形状試料からのレイリー光を受光して光の強度を光検出手段より検出して界面反射光とフィラー微粒子散乱光を測定するフィラー微粒子分散性評価方法において、円筒形状試料を支持治具により軸方向に水平に支持し、顕微光学系として比較的低倍率の乾燥系対物レンズを選択する。そして、円筒形状試料をレーザー光に対して垂直、且つ、円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動させながら、表面観察用撮像素子で円筒形状試料の表面を観察し、円筒形状試料の曲率中心とレーザー光の光軸とを合わせる。その後、顕微光学系としてエマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いて、レイリー光の測定を行う。これによれば、上記実施形態で説明したように、円筒形状基体上に形成された多層の樹脂膜中のフィラー微粒子の正確な分散状態を、デバイス状態のまままで3次元的に、簡便・迅速に評価できる。
(態様L)において、円筒形状試料が導電性基体の表面に微細粒子を分散させた中間層を下引層として設け、中間層上に感光層を光透過性の膜として形成された光導電性の感光体であり、感光層の表面側の所定厚さ部分が補強用のフィラー微粒子を分散させた表面層として構成され、表面層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得するフィラー微粒子分散性評価方法である。これによれば、上記実施形態に説明したように、感光層の表面側の所定厚さ部分にフィラー微粒子を分散させた表面層のフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
(態様L)において、円筒形状試料が導電性基体の表面に微細粒子を分散させた中間層を下引層として設け、中間層上に感光層を光透過性の膜として形成された光導電性の感光体であり、中間層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得するフィラー微粒子分散性評価方法である。これによれば、上記実施形態に説明したように、中間層中のフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
(態様L)において、光導電性の感光体における感光層が中間層に接して設けられた電荷発生層と、この電荷発生層上に形成された電荷輸送層とにより構成され、電荷発生層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価するフィラー微粒子分散性評価方法である。これによれば、上記実施形態に説明したように、電荷発生層中のフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
(態様L)において、光導電性の感光体における感光層が中間層に接して設けられた電荷発生層と、この電荷発生層上に形成された電荷輸送層とにより構成され、電荷輸送層中全域に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価するフィラー微粒子分散性評価方法である。これによれば、上記実施形態に説明したように、電荷輸送層中全域に分散されたフィラー微粒子分散性評価が可能となる。
(態様A)、(態様B)、(態様C)、(態様D)、(態様E)、(態様F)、(態様G)、(態様H)、(態様I)、(態様J)または(態様K)の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置を用いて測定した円筒形状試料のレイリー光に基づき試料の膜界面における反射光強度を検出し、フィラー微粒子散乱光による深さ位置毎のフィラー微粒子散乱像画像と関連付けるフィラー微粒子分散性評価方法である。これによれば、上記実施形態で説明したように、円筒形状に形成された多層構造の透過性の膜試料においても、正確な分散状態を、デバイス状態のままで3次元的に、簡便・迅速に評価できる。
(態様Q)において、フィラー微粒子散乱像画像の任意の画像領域を複数定め、各画像領域内で各画素の光の強度の特徴量を算出し、複数の画像領域の特徴量をヒストグラム化して分散状態の良否を定量的に評価する。これによれば、上記実施形態に説明したように、フィラー微粒子分散性の定量的評価が可能となる。
(態様R)において、上記画像領域の画素範囲は可変である。これによれば、上記実施形態に説明したように、フィラー粒径・フィラー含有率によって凝集状態の注目すべき範囲が変わることに対応でき、適確なフィラー微粒子分散性の定量的評価が可能となる。
(態様R)において、上記特徴量として上記画像領域内の各画素の輝度の分散値を用いる。これによれば、上記実施形態に説明したように、定量的に分散状態の良否を良好に評価することができる。
(態様R)において、上記特徴量として上記画像領域内の各画素の輝度の標準偏差を用いる。これによれば、上記実施形態に説明したように、定量的に分散状態の良否を良好に評価することができる。
(態様R)において、上記フィラー微粒子散乱像画像としてフィラー分散X−Z断面画像を用いる。これによれば、上記実施形態に説明したように、深さ方向のフィラー微粒子の散乱像情報を評価することが可能となる。
(態様R)において、上記フィラー微粒子散乱像画像としてフィラー分散X−Y断面画像を用いる。これによれば、上記実施形態に説明したように、平面方向のフィラー微粒子の散乱像情報を評価することが可能となる。
2 アルミニウムドラム
3 中間層
4 電荷発生層
5 電荷輸送層
6 表面層
7 エマルジョンオイル
30 レーザー光源
31 集光レンズ
32 第一のピンホール
33 ダイクロイックミラー
34 対物レンズ
35 第二のピンホール
36 検出器
38 画像処理部
37 レーザー光遮断光学素子
39 顕微鏡ステージ
40 円筒形状試料
41 支持治具
42 支持治具駆動部
43 観察用CCD
44 チルト調整機構
Claims (23)
- 感光体層中に分散したフィラー微粒子の分散性を評価するフィラー微粒子分散性評価装置であって、レーザー光源と、試料にレーザー光を照射すると共に、該試料からの界面反射光と微弱なフィラー微粒子散乱光とを含むレイリー光を受光する分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系と、該分離光学素子を経由した光における特定波長の光を透過するフィルター光学素子と、該フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、該分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、該試料の深さ方向を含むX−Y−Z方向への走査機構を有する載置台とを備えたフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記試料としての円筒形状試料を円筒形状の中心軸が水平になるよう支持する支持治具と、
該支持治具を該レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の中心軸に対して垂直な方向に移動可能とする支持治具移動手段と、
該円筒形状試料表面を観察する表面観察用撮像素子と、
該支持治具移動手段による移動量を制御する支持治具移動量制御手段とを有することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1のフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記顕微光学系の対物レンズとして、乾燥系対物レンズと、エマルジョンオイルを組み合わせた油浸対物レンズとが選択可能であることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1または2のフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記顕微光学系は、焦点面と共役な関係にあるピンホールを備える共焦点顕微光学系であることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2または3の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記フィルター光学素子は、レイリー光と等価な光を透過する機能を備えたことを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3または4の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記分離光学素子はビームスプリッターであることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4または5の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記顕微光学系に用いられる油浸対物レンズとエマルジョンオイルの組み合わせのNAは1.2以上であることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4、5または6の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記円筒形状試料の支持治具を上記載置台に固定し、上記支持治具移動手段を該載置台の移動機構で、上記支持治具移動量制御手段を該載置台の移動制御機構で、それぞれ兼用することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6または7の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記光検出手段により検出された光の強度に基づきフィラー微粒子分散性の定量化評価のための画像処理をおこなう画像処理部を有することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7または8の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
上記支持治具の下に円筒形状の中心軸を水平にならしめるチルト調整機構を有することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7、8または9の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
レーザー光源の波長が400〜850nmの波長域であることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9または10の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置において、
光検出手段がレーザー波長域を含む検出波長域を有するフォトマル若しくはAPD:Avalanche Photodiodeであることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価装置。 - 分離光学素子と対物レンズとを有する顕微光学系により、円筒形状試料にレーザー光を照射すると共に、該円筒形状試料からのレイリー光を受光して光の強度を光検出手段より検出して界面反射光とフィラー微粒子散乱光を測定するフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記円筒形状試料を上記レーザー光に対して垂直、且つ、該円筒形状試料の軸に対して垂直な方向に移動させながら、上記顕微光学系として乾燥系対物レンズを用いて表面観察用撮像素子で該円筒形状試料の表面を観察して該円筒形状試料の曲率中心と該レーザー光の光軸とを合わせた後、上記顕微光学系としてエマルジョンオイルと組み合わせた油浸対物レンズを用いて、上記レイリー光の測定を行うことを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項12記載のフィラー微粒子分散性評価方法において、
円筒形状試料が導電性基体の表面に微細粒子を分散させた中間層を下引層として設け、上記中間層上に感光層を光透過性の膜として形成された光導電性の感光体であり、感光層の表面側の所定厚さ部分が補強用のフィラー微粒子を分散させた表面層として構成され、上記表面層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項12記載のフィラー微粒子分散性評価方法において、
円筒形状試料が導電性基体の表面に微細粒子を分散させた中間層を下引層として設け、上記中間層上に感光層を光透過性の膜として形成された光導電性の感光体であり、上記中間層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項12記載のフィラー微粒子分散性評価方法において、
光導電性の感光体における感光層が中間層に接して設けられた電荷発生層と、この電荷発生層上に形成された電荷輸送層とにより構成され、上記電荷発生層中に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項12記載のフィラー微粒子分散性評価方法において、
光導電性の感光体における感光層が中間層に接して設けられた電荷発生層と、この電荷発生層上に形成された電荷輸送層とにより構成され、上記電荷輸送層中全域に分散されたフィラー微粒子の分散性を、フィラー微粒子散乱像を取得することで評価することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項1乃至11の何れかのフィラー微粒子分散性評価装置を用いて測定した該円筒形状試料のレイリー光に基づき該試料の膜界面における反射光強度を検出し、該フィラー微粒子散乱光による深さ位置毎のフィラー微粒子散乱像画像と関連付けることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。
- 請求項17のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記フィラー微粒子散乱像画像の任意の画像領域を複数定め、各画像領域内で各画素の光の強度の特徴量を算出し、該複数の画像領域の特徴量をヒストグラム化して分散状態の良否を定量的に評価することを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項18のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記画像領域の画素範囲は可変であることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項18のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記特徴量として上記画像領域内の各画素の輝度の分散値を用いることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項18のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記特徴量として上記画像領域内の各画素の輝度の標準偏差を用いることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項18のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記フィラー微粒子散乱像画像としてフィラー分散X−Z断面画像を用いることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。 - 請求項18のフィラー微粒子分散性評価方法において、
上記フィラー微粒子散乱像画像としてフィラー分散X−Y断面画像を用いることを特徴とするフィラー微粒子分散性評価方法。
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