JP2001091448A - 分析装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 筒形状試料、ロッド形状試料、線状試料など
のマッピングを容易に、かつ精度良く行うことのできる
分析装置を提供する。 【解決手段】 試料Ｓを設置する試料台１と、前記試料
Ｓに赤外線ａを照射する赤外線発生機２と、この赤外線
ａ照射により前記試料Ｓにおいて生ずる反射赤外線ｂま
たは透過赤外線ｄを検出する検出器３とを備えたＦＴ−
ＩＲ法による分析装置Ｄであって、前記試料台１上に、
筒形状またはロッド形状または線状の試料Ｓをその軸心
回りに回動自在に保持し、さらに、前記試料台１を少な
くとも前記試料Ｓの軸心方向に移動自在とした。
のマッピングを容易に、かつ精度良く行うことのできる
分析装置を提供する。 【解決手段】 試料Ｓを設置する試料台１と、前記試料
Ｓに赤外線ａを照射する赤外線発生機２と、この赤外線
ａ照射により前記試料Ｓにおいて生ずる反射赤外線ｂま
たは透過赤外線ｄを検出する検出器３とを備えたＦＴ−
ＩＲ法による分析装置Ｄであって、前記試料台１上に、
筒形状またはロッド形状または線状の試料Ｓをその軸心
回りに回動自在に保持し、さらに、前記試料台１を少な
くとも前記試料Ｓの軸心方向に移動自在とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、筒形状試料、ロッ
ド形状試料、線状試料などの分析に用いられる分析装置
に関する。
ド形状試料、線状試料などの分析に用いられる分析装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、試料を設置する試料台と、前
記試料に赤外線を照射する赤外線発生機と、この赤外線
照射により前記試料において生ずる反射赤外線を検出す
る検出器とを備えた分析装置を用いた元素マッピング
は、赤外線が照射されている位置に、試料の各測定点を
適宜移動させることにより行われる。そして、従来の分
析装置では、前記試料の移動を、試料を設置した試料台
を水平方向に動かすことによって行っていた。
記試料に赤外線を照射する赤外線発生機と、この赤外線
照射により前記試料において生ずる反射赤外線を検出す
る検出器とを備えた分析装置を用いた元素マッピング
は、赤外線が照射されている位置に、試料の各測定点を
適宜移動させることにより行われる。そして、従来の分
析装置では、前記試料の移動を、試料を設置した試料台
を水平方向に動かすことによって行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の構成で
は、試料がたとえば円筒形状である場合、赤外線が照射
される位置に、試料の各測定点を移動させるためには、
曲面的な外面を有する円筒形状試料を水平方向つまり平
面的に移動させるだけでは対応させることができず、人
の手によって、何度も試料を設置しなおす必要があるこ
とから手間がかかり、また、平面的な試料に比べて、得
られるマッピング像の精度が悪くなるという問題があっ
た。
は、試料がたとえば円筒形状である場合、赤外線が照射
される位置に、試料の各測定点を移動させるためには、
曲面的な外面を有する円筒形状試料を水平方向つまり平
面的に移動させるだけでは対応させることができず、人
の手によって、何度も試料を設置しなおす必要があるこ
とから手間がかかり、また、平面的な試料に比べて、得
られるマッピング像の精度が悪くなるという問題があっ
た。
【０００４】本発明は上述の事柄に留意してなされたも
ので、その目的は、筒形状試料、ロッド形状試料、線状
試料などのマッピングを容易に、かつ精度良く行うこと
のできる分析装置を提供することである。
ので、その目的は、筒形状試料、ロッド形状試料、線状
試料などのマッピングを容易に、かつ精度良く行うこと
のできる分析装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の分析装置は、試料を設置する試料台と、前
記試料に赤外線を照射する赤外線発生機と、この赤外線
照射により前記試料において生ずる反射赤外線または透
過赤外線を検出する検出器とを備えたＦＴ−ＩＲ法によ
る分析装置であって、前記試料台上に、筒形状またはロ
ッド形状または線状の試料をその軸心回りに回動自在に
保持し、さらに、前記試料台を少なくとも前記試料の軸
心方向に移動自在とした（請求項１）。
に、本発明の分析装置は、試料を設置する試料台と、前
記試料に赤外線を照射する赤外線発生機と、この赤外線
照射により前記試料において生ずる反射赤外線または透
過赤外線を検出する検出器とを備えたＦＴ−ＩＲ法によ
る分析装置であって、前記試料台上に、筒形状またはロ
ッド形状または線状の試料をその軸心回りに回動自在に
保持し、さらに、前記試料台を少なくとも前記試料の軸
心方向に移動自在とした（請求項１）。
【０００６】また、試料を設置する試料台と、前記試料
にレーザ光を照射するレーザ光源と、このレーザ光照射
により前記試料において生ずる散乱光を検出する検出器
とを備えたラマン分光法による分析装置であって、前記
試料台上に、筒形状またはロッド形状または線状の試料
をその軸心回りに回動自在に保持し、さらに、前記試料
台を少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在としたと
してもよい（請求項２）。
にレーザ光を照射するレーザ光源と、このレーザ光照射
により前記試料において生ずる散乱光を検出する検出器
とを備えたラマン分光法による分析装置であって、前記
試料台上に、筒形状またはロッド形状または線状の試料
をその軸心回りに回動自在に保持し、さらに、前記試料
台を少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在としたと
してもよい（請求項２）。
【０００７】また、試料を設置する試料台と、前記試料
に電子線を照射する電子銃と、この電子線照射により前
記試料において生ずる螢光Ｘ線を検出する検出器とを備
えた電子線励起螢光Ｘ線分析法による分析装置であっ
て、前記試料台上に、筒形状またはロッド形状または線
状の試料をその軸心回りに回動自在に保持し、さらに、
前記試料台を少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在
としたとしてもよい（請求項３）。
に電子線を照射する電子銃と、この電子線照射により前
記試料において生ずる螢光Ｘ線を検出する検出器とを備
えた電子線励起螢光Ｘ線分析法による分析装置であっ
て、前記試料台上に、筒形状またはロッド形状または線
状の試料をその軸心回りに回動自在に保持し、さらに、
前記試料台を少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在
としたとしてもよい（請求項３）。
【０００８】さらに、前記試料が円筒形状であるとして
もよい（請求項４）。
もよい（請求項４）。
【０００９】上記の構成により、筒形状試料、ロッド形
状試料、線状試料などのマッピングを容易に、かつ精度
良く行うことのできる分析装置を提供することが可能と
なる。
状試料、線状試料などのマッピングを容易に、かつ精度
良く行うことのできる分析装置を提供することが可能と
なる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を、図を
参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係
る分析装置Ｄの構成を概略的に示す斜視図である。分析
装置Ｄは、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光計）法に
よる円筒形状試料Ｓのマッピングを行うためのものであ
り、円筒形状試料Ｓのマッピングは、円筒形状試料Ｓを
試料台１に設置した状態で行う。
参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施例に係
る分析装置Ｄの構成を概略的に示す斜視図である。分析
装置Ｄは、ＦＴ−ＩＲ（フーリエ変換赤外分光計）法に
よる円筒形状試料Ｓのマッピングを行うためのものであ
り、円筒形状試料Ｓのマッピングは、円筒形状試料Ｓを
試料台１に設置した状態で行う。
【００１１】２は、赤外線発生機であり、内部に、赤外
光源２ａおよび二光束干渉計２ｂ（たとえばマイケルソ
ン型干渉計など）が設けられている。そして、前記赤外
光源２ａからの赤外線ａは、カセグレイン鏡４を経て、
円筒形状試料Ｓに照射される。また、３は、赤外線検出
器であり、円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照射することに
よって生じた反射赤外線ｂを検出するためのものであ
る。なお、５は、光学顕微鏡である。
光源２ａおよび二光束干渉計２ｂ（たとえばマイケルソ
ン型干渉計など）が設けられている。そして、前記赤外
光源２ａからの赤外線ａは、カセグレイン鏡４を経て、
円筒形状試料Ｓに照射される。また、３は、赤外線検出
器であり、円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照射することに
よって生じた反射赤外線ｂを検出するためのものであ
る。なお、５は、光学顕微鏡である。
【００１２】図２は、上記分析装置Ｄの構成を概略的に
示す説明図である。前記赤外線発生機２から赤外線ａが
試料台１上の円筒形状試料Ｓの一部に照射され、反射赤
外線ｂが発生する。この反射赤外線ｂは赤外線検出器３
で検出される。上記赤外線検出器３からの出力はフーリ
エ変換され、円筒形状試料Ｓ中に含まれる化学構造とそ
の強度を分析する。その後、信号はコンピュータデータ
処理部６に入力され、装置全体を統括制御するコンピュ
ータ７にて画像表示などが行われる。
示す説明図である。前記赤外線発生機２から赤外線ａが
試料台１上の円筒形状試料Ｓの一部に照射され、反射赤
外線ｂが発生する。この反射赤外線ｂは赤外線検出器３
で検出される。上記赤外線検出器３からの出力はフーリ
エ変換され、円筒形状試料Ｓ中に含まれる化学構造とそ
の強度を分析する。その後、信号はコンピュータデータ
処理部６に入力され、装置全体を統括制御するコンピュ
ータ７にて画像表示などが行われる。
【００１３】そして、円筒形状試料Ｓ全体にわたって測
定を行うには、前記赤外線発生機２を制御するための赤
外線発生機コントローラ（図示せず）と、試料台１を所
定の方向に動かす台コントローラ８とにコンピュータデ
ータ処理部６からの信号を入力する。すると、前記赤外
線発生機２からの赤外線ａが照射される位置に円筒形状
試料Ｓの各測定点が動かされることにより、各測定点に
おける反射赤外線ｂが検出され、円筒形状試料Ｓ中の各
測定点の反射赤外線ｂの種類と強度から化学構造の分布
が測定される。
定を行うには、前記赤外線発生機２を制御するための赤
外線発生機コントローラ（図示せず）と、試料台１を所
定の方向に動かす台コントローラ８とにコンピュータデ
ータ処理部６からの信号を入力する。すると、前記赤外
線発生機２からの赤外線ａが照射される位置に円筒形状
試料Ｓの各測定点が動かされることにより、各測定点に
おける反射赤外線ｂが検出され、円筒形状試料Ｓ中の各
測定点の反射赤外線ｂの種類と強度から化学構造の分布
が測定される。
【００１４】図３は、分析装置Ｄの主要部の構成を概略
的に示す斜視図である。試料台１の上には、円筒形状試
料Ｓの両端が保持される軸受け部９、１０が設けられて
おり、軸受け部９には、回転伝達ベルト１１を介して回
転用モータ１２が接続されている。また、螺軸１３と一
対のガイド杆１４、１４とモータ１５を有する移動機構
Ｍに、前記試料台１が保持されている。詳述すると、前
記螺軸１３およびガイド杆１４、１４には、試料台１の
下部に設けられたガイド部１６および内部に雌ねじが形
成されている雌ねじ部材１７（図４参照）が外嵌されて
いる。そして、前記モータ１５により螺軸１３を回転さ
せると、螺軸１３に外嵌された雌ねじ部材１７が試料台
１に保持された円筒形状試料Ｓの軸心方向（以下、Ｘ方
向という）に移動し、それに伴って試料台１もガイド杆
１４、１４に沿ってＸ方向に移動する構成となってい
る。
的に示す斜視図である。試料台１の上には、円筒形状試
料Ｓの両端が保持される軸受け部９、１０が設けられて
おり、軸受け部９には、回転伝達ベルト１１を介して回
転用モータ１２が接続されている。また、螺軸１３と一
対のガイド杆１４、１４とモータ１５を有する移動機構
Ｍに、前記試料台１が保持されている。詳述すると、前
記螺軸１３およびガイド杆１４、１４には、試料台１の
下部に設けられたガイド部１６および内部に雌ねじが形
成されている雌ねじ部材１７（図４参照）が外嵌されて
いる。そして、前記モータ１５により螺軸１３を回転さ
せると、螺軸１３に外嵌された雌ねじ部材１７が試料台
１に保持された円筒形状試料Ｓの軸心方向（以下、Ｘ方
向という）に移動し、それに伴って試料台１もガイド杆
１４、１４に沿ってＸ方向に移動する構成となってい
る。
【００１５】図４は、分析装置Ｄの主要部の構成を概略
的に示す縦断面図である。前記軸受け部９は、ほぼ円柱
形状の回転軸部１８と、この回転軸部１８の一端にビス
止めなどで固定されたプーリー１９と、前記回転軸部１
８の他端にビス止めなどで固定された挟持部２０と、内
部に設けたベアリング２１により回転軸部１８の中央部
を回動自在に保持する保持部２２とからなる。
的に示す縦断面図である。前記軸受け部９は、ほぼ円柱
形状の回転軸部１８と、この回転軸部１８の一端にビス
止めなどで固定されたプーリー１９と、前記回転軸部１
８の他端にビス止めなどで固定された挟持部２０と、内
部に設けたベアリング２１により回転軸部１８の中央部
を回動自在に保持する保持部２２とからなる。
【００１６】前記プーリー１９の外周に設けられた凹入
部（図示せず）には、前記回転伝達ベルト１１が掛けら
れ、前記回転用モータ１２の回転が、回転伝達ベルト１
１を介してプーリー１９に伝わるようになっている。
部（図示せず）には、前記回転伝達ベルト１１が掛けら
れ、前記回転用モータ１２の回転が、回転伝達ベルト１
１を介してプーリー１９に伝わるようになっている。
【００１７】前記挟持部２０の外周の先端側には、先端
に向かって細くなるテーパ面が形成され、円筒形状試料
Ｓの一端に嵌め込むことができるようになっているとと
もに、後端側には、鍔部２０ａが設けられている。
に向かって細くなるテーパ面が形成され、円筒形状試料
Ｓの一端に嵌め込むことができるようになっているとと
もに、後端側には、鍔部２０ａが設けられている。
【００１８】前記軸受け部１０の構成において、前記軸
受け部９の回転軸部１８、挟持部２０およびベアリング
２１とほぼ同じ構造のものは、それぞれ回転軸部１
８’、挟持部２０’およびベアリング２１’として一部
の説明を省く。前記軸受け部１０の回転軸部１８’の先
端には、軸受け部９と同様に挟持部２０’が設けられて
いるが、ビス止めなどで固定されているのではなく、ベ
アリング２１’によって回転軸部１８’の軸心回りに回
動自在に接続されている。また、回転軸部１８’の後端
側は、先端側よりも断面の径が大きくなっているととも
に、本体２４と、伝達機構２５およびハンドル部２６か
らなる調節機構２７に接続されており、ハンドル部２６
を回転させると、その回転が伝達機構２５に伝達され、
伝達機構２５により、回転軸部１８’がＸ方向へ移動す
ることから、円筒形状試料Ｓの軸心方向の長さに応じて
ハンドル部２６の回転を調整することにより、一端に挟
持部２０が嵌め込まれている円筒形状試料Ｓの他端に、
挟持部２０’を嵌め込むことができる。
受け部９の回転軸部１８、挟持部２０およびベアリング
２１とほぼ同じ構造のものは、それぞれ回転軸部１
８’、挟持部２０’およびベアリング２１’として一部
の説明を省く。前記軸受け部１０の回転軸部１８’の先
端には、軸受け部９と同様に挟持部２０’が設けられて
いるが、ビス止めなどで固定されているのではなく、ベ
アリング２１’によって回転軸部１８’の軸心回りに回
動自在に接続されている。また、回転軸部１８’の後端
側は、先端側よりも断面の径が大きくなっているととも
に、本体２４と、伝達機構２５およびハンドル部２６か
らなる調節機構２７に接続されており、ハンドル部２６
を回転させると、その回転が伝達機構２５に伝達され、
伝達機構２５により、回転軸部１８’がＸ方向へ移動す
ることから、円筒形状試料Ｓの軸心方向の長さに応じて
ハンドル部２６の回転を調整することにより、一端に挟
持部２０が嵌め込まれている円筒形状試料Ｓの他端に、
挟持部２０’を嵌め込むことができる。
【００１９】上記の構成では、試料台１をＸ方向のみに
移動可能としているが、これに限るものではなく、たと
えば、従来のＸＹ方向に移動可能な試料台に対応させる
ために、試料台１をＹ方向（図４の奥行き方向）に移動
可能としてもよい。
移動可能としているが、これに限るものではなく、たと
えば、従来のＸＹ方向に移動可能な試料台に対応させる
ために、試料台１をＹ方向（図４の奥行き方向）に移動
可能としてもよい。
【００２０】また、上記の構成では、挟持部２０、２
０’を円筒形状の両端の内側にそれぞれ嵌め込むとして
いるが、これに限るものではなく、たとえば、挟持部２
０、２０’を、円筒形状試料Ｓの両端の外側を保持する
ように構成してもよい。
０’を円筒形状の両端の内側にそれぞれ嵌め込むとして
いるが、これに限るものではなく、たとえば、挟持部２
０、２０’を、円筒形状試料Ｓの両端の外側を保持する
ように構成してもよい。
【００２１】次に、分析装置Ｄに対する円筒形状試料Ｓ
の設置方法と、分析装置Ｄを用いた円筒形状試料Ｓの測
定方法について説明する。まず、挟持部２０を円筒形状
試料Ｓの一端に嵌め込み、Ｘ方向に移動自在な挟持部１
４’を適宜調節して他端に嵌め込めば、後端の鍔部２０
ａ、２０’ａにより円筒形状試料Ｓを挟持することがで
き、以上で設置は完了する。そして、このような挟持状
態にある円筒形状試料Ｓは、回転用モータ１２の操作に
より、軸心回りに自在に回転させることが可能となるた
め、この軸心回りの回転と、試料台１のＸ方向の移動と
を連動させれば、円筒形状試料Ｓの外周全面に対するマ
ッピングを容易に行うことができる。
の設置方法と、分析装置Ｄを用いた円筒形状試料Ｓの測
定方法について説明する。まず、挟持部２０を円筒形状
試料Ｓの一端に嵌め込み、Ｘ方向に移動自在な挟持部１
４’を適宜調節して他端に嵌め込めば、後端の鍔部２０
ａ、２０’ａにより円筒形状試料Ｓを挟持することがで
き、以上で設置は完了する。そして、このような挟持状
態にある円筒形状試料Ｓは、回転用モータ１２の操作に
より、軸心回りに自在に回転させることが可能となるた
め、この軸心回りの回転と、試料台１のＸ方向の移動と
を連動させれば、円筒形状試料Ｓの外周全面に対するマ
ッピングを容易に行うことができる。
【００２２】図５（Ａ）は、分析装置Ｄによる円筒形状
試料Ｓの測定方法の構成を概略的に示す部分拡大斜視図
である。円筒形状試料Ｓの各測定部分のマッピング像
は、赤外線発生機２から照射された赤外線ａにより発生
した反射赤外線ｂを、赤外線検出器３で検出すれば得る
ことができる。まず、円筒形状試料Ｓに軸心回りの回転
を加えずにＸ方向へだけ適宜移動させる。そして、円筒
形状試料Ｓの特定部分の一端から他端までのマッピング
像が得られれば、円筒形状試料ＳのＸ方向への移動を止
め、軸心回りの回転を加える。その後、軸心回りの回転
を止めるとともに、再び円筒形状試料ＳをＸ方向へだけ
回転させ、円筒形状試料Ｓの前記と異なる特定部分の一
端から他端までのマッピングを行う。このような操作を
繰り返せば、円筒形状試料Ｓ全面のマッピングを平面的
に得ることができる。
試料Ｓの測定方法の構成を概略的に示す部分拡大斜視図
である。円筒形状試料Ｓの各測定部分のマッピング像
は、赤外線発生機２から照射された赤外線ａにより発生
した反射赤外線ｂを、赤外線検出器３で検出すれば得る
ことができる。まず、円筒形状試料Ｓに軸心回りの回転
を加えずにＸ方向へだけ適宜移動させる。そして、円筒
形状試料Ｓの特定部分の一端から他端までのマッピング
像が得られれば、円筒形状試料ＳのＸ方向への移動を止
め、軸心回りの回転を加える。その後、軸心回りの回転
を止めるとともに、再び円筒形状試料ＳをＸ方向へだけ
回転させ、円筒形状試料Ｓの前記と異なる特定部分の一
端から他端までのマッピングを行う。このような操作を
繰り返せば、円筒形状試料Ｓ全面のマッピングを平面的
に得ることができる。
【００２３】また、上記の方法に代えて、次のようにし
てもよい。すなわち、まず、円筒形状試料ＳをＸ方向へ
は移動させず、軸心回りの回転だけを加えて一回転させ
る。そして、特定部分の一周分のマッピング像が得られ
れば、円筒形状試料Ｓの軸心回りの回転を止め、Ｘ方向
へ適宜移動させた後、再び円筒形状試料Ｓに軸心回りの
回転だけを加えて特定部分の一周分のマッピングを行
う。このような操作を繰り返しても、円筒形状試料Ｓ全
面のマッピングを平面的に得ることができる。この場合
の円筒形状試料Ｓに対する赤外線照射部分の軌跡ｃは、
図５（Ｂ）のようになる。
てもよい。すなわち、まず、円筒形状試料ＳをＸ方向へ
は移動させず、軸心回りの回転だけを加えて一回転させ
る。そして、特定部分の一周分のマッピング像が得られ
れば、円筒形状試料Ｓの軸心回りの回転を止め、Ｘ方向
へ適宜移動させた後、再び円筒形状試料Ｓに軸心回りの
回転だけを加えて特定部分の一周分のマッピングを行
う。このような操作を繰り返しても、円筒形状試料Ｓ全
面のマッピングを平面的に得ることができる。この場合
の円筒形状試料Ｓに対する赤外線照射部分の軌跡ｃは、
図５（Ｂ）のようになる。
【００２４】また、適宜の速度で円筒形状試料ＳをＸ方
向へ移動させると同時に、軸心回りの回転を加えながら
マッピングをおこなってもよい。この場合には、円筒形
状試料Ｓのマッピングを連続的に行うことができる。な
お、この場合の円筒形状試料Ｓに対する赤外線照射部分
の軌跡ｃは、図５（Ｃ）のようになる。
向へ移動させると同時に、軸心回りの回転を加えながら
マッピングをおこなってもよい。この場合には、円筒形
状試料Ｓのマッピングを連続的に行うことができる。な
お、この場合の円筒形状試料Ｓに対する赤外線照射部分
の軌跡ｃは、図５（Ｃ）のようになる。
【００２５】図６は、前記赤外線検出器３の他の例の構
成を概略的に示す斜視図である。上記の構成からなる分
析装置Ｄにおいて、前記赤外線検出器３は、赤外線発生
機２から円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照射することで生
じる反射赤外線ｂを検出するようにしているが、前記円
筒形状試料Ｓの厚さが所定よりも薄い場合、前記赤外線
検出器３を円筒形状試料Ｓの内部に配置することによ
り、赤外線発生機２から円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照
射することで生じる透過赤外線ｄを赤外線検出器３で検
出するようにしてもよい。
成を概略的に示す斜視図である。上記の構成からなる分
析装置Ｄにおいて、前記赤外線検出器３は、赤外線発生
機２から円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照射することで生
じる反射赤外線ｂを検出するようにしているが、前記円
筒形状試料Ｓの厚さが所定よりも薄い場合、前記赤外線
検出器３を円筒形状試料Ｓの内部に配置することによ
り、赤外線発生機２から円筒形状試料Ｓに赤外線ａを照
射することで生じる透過赤外線ｄを赤外線検出器３で検
出するようにしてもよい。
【００２６】また、上記の構成からなる分析装置Ｄで
は、測定対象を円筒形状試料Ｓとしているが、測定対象
は円筒形状の試料に限るものではなく、筒形状や、ロッ
ド形状の他、糸状、針金状、ロープ状などの線状の試料
でもよく、断面が多角形の試料などでもよい。もちろん
試料の形状に応じて試料の保持方法も適宜変更すること
が望ましい。
は、測定対象を円筒形状試料Ｓとしているが、測定対象
は円筒形状の試料に限るものではなく、筒形状や、ロッ
ド形状の他、糸状、針金状、ロープ状などの線状の試料
でもよく、断面が多角形の試料などでもよい。もちろん
試料の形状に応じて試料の保持方法も適宜変更すること
が望ましい。
【００２７】図７は、本発明の第二実施例に係る分析装
置Ｄ2 の構成を概略的に示す説明図である。なお、上記
実施例に示したものと同一構造の部材については、同じ
符号を付し、その説明を省略する。分析装置Ｄ2 の構成
および効果は、上記第一実施例のものとほとんど同じで
あるが、相違点は、ＦＴ−ＩＲ法による円筒形状試料Ｓ
のマッピングを行うためのものではなく、ラマン分光法
による円筒形状試料Ｓのマッピングを行うためのもので
あり、そのために部材の追加、変更や部材の配置の変更
などがなされている点である。
置Ｄ2 の構成を概略的に示す説明図である。なお、上記
実施例に示したものと同一構造の部材については、同じ
符号を付し、その説明を省略する。分析装置Ｄ2 の構成
および効果は、上記第一実施例のものとほとんど同じで
あるが、相違点は、ＦＴ−ＩＲ法による円筒形状試料Ｓ
のマッピングを行うためのものではなく、ラマン分光法
による円筒形状試料Ｓのマッピングを行うためのもので
あり、そのために部材の追加、変更や部材の配置の変更
などがなされている点である。
【００２８】分析装置Ｄ2 において、分析装置Ｄが有し
ていた赤外線発生機２は、レーザ光ｅを照射するレーザ
光源２８になっており、また、赤外線検出器３は、前記
レーザ光源２８から円筒形状試料Ｓにレーザ光ｅを照射
することによって生じた散乱光ｆを検出するための検出
部２９になっている。さらに、位置調整のための目視用
カメラ２３が設けられている。
ていた赤外線発生機２は、レーザ光ｅを照射するレーザ
光源２８になっており、また、赤外線検出器３は、前記
レーザ光源２８から円筒形状試料Ｓにレーザ光ｅを照射
することによって生じた散乱光ｆを検出するための検出
部２９になっている。さらに、位置調整のための目視用
カメラ２３が設けられている。
【００２９】上記の構成からなる分析装置Ｄ2 では、前
記レーザ光源２８からレーザ光ｅが試料台１上の円筒形
状試料Ｓの一部に照射され、散乱光ｆが発生する。この
散乱光ｆは検出部２９で検出される。上記検出部２９か
らの出力はパルスプロセッサー３２で処理され、円筒形
状試料Ｓ中に含まれる元素とその強度を分析する。その
後、このパルスプロセッサー３２からの信号はコンピュ
ータデータ処理部６に入力され、装置全体を統括制御す
るコンピュータ７にて画像表示などが行われる。
記レーザ光源２８からレーザ光ｅが試料台１上の円筒形
状試料Ｓの一部に照射され、散乱光ｆが発生する。この
散乱光ｆは検出部２９で検出される。上記検出部２９か
らの出力はパルスプロセッサー３２で処理され、円筒形
状試料Ｓ中に含まれる元素とその強度を分析する。その
後、このパルスプロセッサー３２からの信号はコンピュ
ータデータ処理部６に入力され、装置全体を統括制御す
るコンピュータ７にて画像表示などが行われる。
【００３０】そして、円筒形状試料Ｓ全体にわたって測
定を行うには、前記レーザ光源２８を制御するためのレ
ーザ光源コントローラ（図示せず）と、試料台１を所定
の方向に動かす台コントローラ８とにコンピュータデー
タ処理部６からの信号を入力する。すると、前記レーザ
光源２８からのレーザ光ｅが照射される位置に円筒形状
試料Ｓの各測定点が動かされることにより、各測定点に
おける散乱光ｆが検出され、円筒形状試料Ｓ中の各測定
点の散乱光ｆの種類と強度から含有元素の分布が測定さ
れる。
定を行うには、前記レーザ光源２８を制御するためのレ
ーザ光源コントローラ（図示せず）と、試料台１を所定
の方向に動かす台コントローラ８とにコンピュータデー
タ処理部６からの信号を入力する。すると、前記レーザ
光源２８からのレーザ光ｅが照射される位置に円筒形状
試料Ｓの各測定点が動かされることにより、各測定点に
おける散乱光ｆが検出され、円筒形状試料Ｓ中の各測定
点の散乱光ｆの種類と強度から含有元素の分布が測定さ
れる。
【００３１】図８は、本発明の第三実施例に係る分析装
置Ｄ3 の構成を概略的に示す説明図である。なお、上記
実施例に示したものと同一構造の部材については、同じ
符号を付し、その説明を省略する。分析装置Ｄ3 の構成
および効果は、上記第二実施例のものとほとんど同じで
あるが、相違点は、ラマン分光法による円筒形状試料Ｓ
のマッピングを行うためのものではなく、電子線励起螢
光Ｘ線分析法による円筒形状試料Ｓのマッピングを行う
ためのものであり、また、レーザ光源２８が、電子線ｇ
を照射する電子銃３０になっているとともに、前記検出
部２９が、前記電子銃３０から円筒形状試料Ｓに電子線
ｇを照射することによって励起された螢光Ｘ線ｈを検出
するための検出器３１になっており、さらに、前記電子
線ｇの照射および螢光Ｘ線ｈの検出が、真空中で行われ
る（図示せず）点である。
置Ｄ3 の構成を概略的に示す説明図である。なお、上記
実施例に示したものと同一構造の部材については、同じ
符号を付し、その説明を省略する。分析装置Ｄ3 の構成
および効果は、上記第二実施例のものとほとんど同じで
あるが、相違点は、ラマン分光法による円筒形状試料Ｓ
のマッピングを行うためのものではなく、電子線励起螢
光Ｘ線分析法による円筒形状試料Ｓのマッピングを行う
ためのものであり、また、レーザ光源２８が、電子線ｇ
を照射する電子銃３０になっているとともに、前記検出
部２９が、前記電子銃３０から円筒形状試料Ｓに電子線
ｇを照射することによって励起された螢光Ｘ線ｈを検出
するための検出器３１になっており、さらに、前記電子
線ｇの照射および螢光Ｘ線ｈの検出が、真空中で行われ
る（図示せず）点である。
【００３２】上記第一実施例では、赤外線ａを用いたＦ
Ｔ−ＩＲ法によるマッピングを行い、第二実施例では、
レーザ光ｅを用いたラマン分光法によるマッピングを行
い、第三実施例では、電子線ｇを用いた電子線励起螢光
Ｘ線分析法によるマッピングを行うようにしているが、
前記ＦＴ−ＩＲ法、ラマン分光法、電子線励起螢光Ｘ線
分析法の三つの方法の内、二つ以上の分析方法を同時に
用いるようにしてもよい。これは、前記赤外線、レーザ
光、電子線が、互いに干渉するなど相互に悪影響を及ぼ
すことがないためである。また、複数の方法を同時に用
いることにより、個別の方法によるマッピングを行う場
合に比べて、時間を短縮することが可能となる。
Ｔ−ＩＲ法によるマッピングを行い、第二実施例では、
レーザ光ｅを用いたラマン分光法によるマッピングを行
い、第三実施例では、電子線ｇを用いた電子線励起螢光
Ｘ線分析法によるマッピングを行うようにしているが、
前記ＦＴ−ＩＲ法、ラマン分光法、電子線励起螢光Ｘ線
分析法の三つの方法の内、二つ以上の分析方法を同時に
用いるようにしてもよい。これは、前記赤外線、レーザ
光、電子線が、互いに干渉するなど相互に悪影響を及ぼ
すことがないためである。また、複数の方法を同時に用
いることにより、個別の方法によるマッピングを行う場
合に比べて、時間を短縮することが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、上記の構成からな
る本発明によれば、筒形状試料、ロッド形状試料、線状
試料などのマッピングを容易に、かつ精度良く行うこと
のできる分析装置を提供することが可能となる。
る本発明によれば、筒形状試料、ロッド形状試料、線状
試料などのマッピングを容易に、かつ精度良く行うこと
のできる分析装置を提供することが可能となる。
【図１】本発明の一実施例における分析装置の構成を概
略的に示す斜視図である。
略的に示す斜視図である。
【図２】上記実施例の構成を概略的に示す説明図であ
る。
る。
【図３】上記実施例の主要部の構成を概略的に示す斜視
図である。
図である。
【図４】上記実施例の主要部の構成を概略的に示す縦断
面図である。
面図である。
【図５】（Ａ）は、上記実施例における円筒形状試料の
測定方法の構成を概略的に示す部分拡大斜視図であり、
（Ｂ）および（Ｃ）は、それぞれ上記実施例における円
筒形状試料に対する赤外線照射部分の軌跡を概略的に示
す図である。
測定方法の構成を概略的に示す部分拡大斜視図であり、
（Ｂ）および（Ｃ）は、それぞれ上記実施例における円
筒形状試料に対する赤外線照射部分の軌跡を概略的に示
す図である。
【図６】上記実施例における検出器の他の例の構成を概
略的に示す部分拡大斜視図である。
略的に示す部分拡大斜視図である。
【図７】本発明の第二実施例における分析装置の構成を
概略的に示す説明図である。
概略的に示す説明図である。
【図８】本発明の第三実施例における分析装置の構成を
概略的に示す説明図である。
概略的に示す説明図である。
１…試料台、２…赤外線発生機、３…検出器、ａ…赤外
線、ｂ…反射赤外線、ｄ…透過赤外線、Ｄ…分析装置、
Ｓ…試料。
線、ｂ…反射赤外線、ｄ…透過赤外線、Ｄ…分析装置、
Ｓ…試料。
Claims (4)
- 【請求項１】 試料を設置する試料台と、前記試料に赤
外線を照射する赤外線発生機と、この赤外線照射により
前記試料において生ずる反射赤外線または透過赤外線を
検出する検出器とを備えたＦＴ−ＩＲ法による分析装置
であって、前記試料台上に、筒形状またはロッド形状ま
たは線状の試料をその軸心回りに回動自在に保持し、さ
らに、前記試料台を少なくとも前記試料の軸心方向に移
動自在としたことを特徴とする分析装置。 - 【請求項２】 試料を設置する試料台と、前記試料にレ
ーザ光を照射するレーザ光源と、このレーザ光照射によ
り前記試料において生ずる散乱光を検出する検出器とを
備えたラマン分光法による分析装置であって、前記試料
台上に、筒形状またはロッド形状または線状の試料をそ
の軸心回りに回動自在に保持し、さらに、前記試料台を
少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在としたことを
特徴とする分析装置。 - 【請求項３】 試料を設置する試料台と、前記試料に電
子線を照射する電子銃と、この電子線照射により前記試
料において生ずる螢光Ｘ線を検出する検出器とを備えた
電子線励起螢光Ｘ線分析法による分析装置であって、前
記試料台上に、筒形状またはロッド形状または線状の試
料をその軸心回りに回動自在に保持し、さらに、前記試
料台を少なくとも前記試料の軸心方向に移動自在とした
ことを特徴とする分析装置。 - 【請求項４】 前記試料が円筒形状である請求項１〜３
のいずれかに記載の分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27121699A JP2001091448A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27121699A JP2001091448A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001091448A true JP2001091448A (ja) | 2001-04-06 |
Family
ID=17496976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27121699A Pending JP2001091448A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001091448A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007212335A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 回転式成分分布計測装置 |
| JP2012173112A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Ricoh Co Ltd | ラマン分光測定装置及びラマン分光測定方法 |
| JP2014013228A (ja) * | 2011-11-28 | 2014-01-23 | Ricoh Co Ltd | フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 |
| CN108169115A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-06-15 | 吉林大学 | 一种桥梁拉索钢丝腐蚀程度自动测量平台 |
-
1999
- 1999-09-24 JP JP27121699A patent/JP2001091448A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007212335A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 回転式成分分布計測装置 |
| JP4674763B2 (ja) * | 2006-02-10 | 2011-04-20 | 国立大学法人東京農工大学 | 回転式成分分布計測装置 |
| JP2012173112A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Ricoh Co Ltd | ラマン分光測定装置及びラマン分光測定方法 |
| JP2014013228A (ja) * | 2011-11-28 | 2014-01-23 | Ricoh Co Ltd | フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 |
| CN108169115A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-06-15 | 吉林大学 | 一种桥梁拉索钢丝腐蚀程度自动测量平台 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060320 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071128 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080204 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080729 |