JP6140074B2 - マイクロリソグラフィのための結像光学系 - Google Patents
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Description
W(x,y,p,q)=W(t)、ここで、t=(x,y,p,q) (1)
(2)
ここで(rcosφ,rsinφ)は、点(x,y)における極座標である。
ここで以下のようになる(9)。
ここで、Bは像視野の点を示し、Pは瞳の点を示している。
ここでm,m’≧0である。ダッシュのない添字mは、視野内の波形を示し、ダッシュ付きの添字m’は、瞳内の波形を示している。ここで次式が適用される(16)。
ここで、
及び
(16)
において、回転対称光学要素と非回転対称光学要素とに一般的に適用可能な以下の選択則が続く。
i)0波外乱に対して(18)、
(ii)1波外乱に対して(19)、
(iii)一般的に、k波外乱に対して(20)、
a)光学要素の対称軸に沿った光学要素のシフト
b)光学要素の対称軸に直交する光学要素のシフト
c)光学要素の対称軸に直交する軸の回りの光学要素の傾斜
Wu(x,y,p,q)=
少なくとも1つのm’=m±kについて
又は
少なくとも1つのm’=m±kについて
又は
少なくとも1つのm’=−m±kについて
又は
少なくとも1つのm’=−m±kについて
少なくとも1つのm’=m±lkについて
又は
少なくとも1つのm’=m±lkについて
又は
少なくとも1つのm’=−m±lkについて
又は
少なくとも1つのm’=−m±lkについて
z(x,y)=cZ13(x,y) (23)
従って、
である。全ての他のもの:
及び従って特にm≠m’±k及びm≠m’±kに関するものは0である。
On(x,y)=gn(x,y)+sn(x,y) (26)
を使用することができ、これらは、成分毎に、h=hi、ここで、hi(p)=1又はhi(p)=p、及び
ここで、
で定義される。
10 結像光学系
12 物体平面
13 物体視野
O1、O2 物体視野点
14 像平面
15 光学系軸
16 像視野
B1、B2 像視野点
181、182 結像ビーム経路
19 結像ビーム経路
20 瞳平面
22 開口絞り
24 瞳
T1、T2 部分波
M1〜M6 ミラー
M ミラー
26 自由曲面
28 基準面
30 基準軸
32 双方向矢印
34 双方向矢印
36 光学的使用領域
36’ 180°回転領域
383、384 回転軸
40 残りの領域
42 円セグメント
44 対称軸
50 マイクロリソグラフィのための投影露光ツール
52 露光放射線源
54 露光放射線
56 照明光学系
58 マスク
60 マスクシフト台
62 基板
64 基板シフト台
14 像平面
22 開口絞り
26 自由曲面
M1〜M6 6つのミラー
Claims (29)
- マイクロリソグラフィのための結像光学系、特に投影対物系であって、
物体視野を像平面に結像するために波長λを有する電磁放射線を結像ビーム経路内で誘導するように構成された光学要素と、
座標(p,q)を有し、座標(x,y)を有する光学系の像視野と共に、該光学系を通過する前記放射線の波面W(x,y,p,q)が関数として定義される座標(x,y,p,q)を有する拡張4次元瞳空間を張る瞳と、
を含み、
前記光学要素のうちの少なくとも第1のものは、全ての回転対称面に対してそれぞれの2次元面逸脱を有する非回転対称面を有し、該2次元面逸脱は、その最高部とその最低部の間に少なくともλの差を有し、
前記非回転対称面の部分口径比が、物体視野の全ての点において、前記結像ビーム経路に位置する前記光学要素の全ての他の面の該物体視野のそれぞれの点における部分口径比から少なくとも0.01だけ逸脱し、
前記第1の光学要素の前記面は、該第1の光学要素を他の光学要素に対して変位させることにより、光学系の前記波面に対して少なくとも2重の対称性を備えた部分を有する変化をもたらすことができ、前記拡張4次元瞳空間内の該波面変化の最大値が、前記波長λの少なくとも1×10-5倍であるように構成される、
ことを特徴とする結像光学系。 - 前記第1の光学要素は、前記結像ビーム経路内で該第1の光学要素に隣接して配置された光学要素に対して5cmの最小距離を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の結像光学系。 - 前記光学要素の各々に対する前記部分口径比は、他の光学要素のそれぞれの部分口径比から少なくとも0.01だけ逸脱する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の結像光学系。 - 前記光学要素は、該光学要素のうちの2つのどの組合せも非回転対称光学要素の光学効果を有するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記光学系の前記非回転対称面の全てが、互いに共役ではない平面に配置される、
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記光学要素は、ミラーとして構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記光学要素は、EUV放射線の形態にある前記電磁放射線を誘導するように構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記光学要素の少なくとも3つが、非回転対称面を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記変位は、該第1の光学要素の回転を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記変位は、前記像平面と垂直に配置された基準軸に関する該第1の光学要素の回転及び/又は傾斜を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 少なくとも前記第1の光学要素を回転させることにより、結像光学系の非点収差を変更することができる、
ことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記波面を変更するように機能する前記第1の光学要素の前記変位は、前記非回転対称面に最適に適合する球面の中心点を通る回転軸に関して該第1の光学要素を回転させることによって実施される、
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記変位は、該第1の光学要素のシフトを含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記面の非回転対称部分が、n重対称性を有し、nの値が、少なくとも2である、
ことを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記面の非回転対称部分が、非点収差形態を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 前記第1の光学要素の前記面は、回転対称部分を有し、該回転対称部分の振幅が、前記非回転対称部分の振幅と比較して小さい、
ことを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載の結像光学系。 - 非回転対称面を有する4つから8つの光学要素を含む、
ことを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の結像光学系。 - マイクロリソグラフィのための結像光学系、特に投影対物系であって、
物体視野を像平面に結像するために波長λを有する電磁放射線を結像ビーム経路内で誘導するように構成された光学要素と、
座標(p,q)を有し、座標(x,y)を有する光学系の像視野と共に、該光学系を通過する前記放射線の波面W(x,y,p,q)が関数として定義される座標(x,y,p,q)を有する拡張4次元瞳空間を張る瞳と、
を含み、
前記光学要素のうちの少なくとも第1のものが、全ての回転対称面に対してその最高部とその最低部の間に少なくともλの差を有する2次元面逸脱を有する非回転対称面を有し、
前記非回転対称面の部分口径比が、物体視野の全ての点において、前記結像ビーム経路に位置する前記光学要素の全ての他の面の該物体視野のそれぞれの点における部分口径比から少なくとも0.01だけ逸脱し、
前記第1の光学要素の前記面は、該第1の光学要素を他の光学要素に対して変位させることにより、回転対称面を備えた結像光学系の光学要素を変位させることによってもたらすことができない前記波面に対する変化を生成することができ、前記拡張4次元瞳空間内の該波面変化の最大値が、前記波長λの少なくとも1×10-5であるように構成される、
ことを特徴とする結像光学系。 - マイクロリソグラフィのための結像光学系、特に投影対物系であって、
物体視野を物体平面から像平面に結像するための結像ビーム経路内で波長λを有する電磁放射線を誘導するように構成された光学要素、
を含み、
前記光学要素のうちの少なくとも2つが、少なくとも1つの点において各鏡面対称面から少なくともλ/10だけ逸脱する非鏡面対称面をそれぞれ有し、
前記非鏡面対称面の部分口径比が、前記物体視野の各点において少なくとも0.01だけ互いから逸脱する、
ことを特徴とする結像光学系。 - 請求項1から請求項17に記載の少なくとも1つの更に別の特徴を有する、
ことを特徴とする請求項18又は請求項19に記載の結像光学系。 - マイクロリソグラフィのための結像光学系、特に投影対物系のための光学要素であって、
波長λを有する入射放射線の波面を変更するように構成され、少なくとも1つの点において各鏡面対称面から少なくとも10λだけ逸脱する非鏡面対称面、
を含むことを特徴とする光学要素。 - 所定の数の光学要素を含むマイクロリソグラフィのための結像光学系の光学設計の方法であって、
最適化アルゴリズムを用いる第1の設計段階において、光学要素の面形状が、光学系全体の波面誤差が所定の閾値特性に到達するか又はそれよりも小さいように判断され、
更に別の設計段階において、前記最適化アルゴリズムを用いて判断された前記面形状のうちの少なくとも1つが、操作形態による加法的オーバーレイによって修正され、該操作形態は、該修正面形状を含む前記光学要素を変位させた時に前記光学系の波面誤差を変更することができるように構成され、そして、
前記操作形態による加法的オーバーレイによって修正される前記面形状の前記少なくとも1つの部分口径比が、前記結像光学系の物体視野の全ての点において、前記結像光学系の前記結像ビーム経路に位置する前記光学要素の全ての他の面の該物体視野のそれぞれの点における部分口径比から少なくとも0.01だけ逸脱するよう、前記第1の設計段階において前記光学要素の前記面形状が判断される
ことを特徴とする方法。 - 更に別の設計段階において、非修正面形状が、非変位状態において前記少なくとも1つの光学面形状の前記修正によってもたらされる前記光学系の前記波面誤差の変化が少なくとも部分的に補償されるように更に別の最適化アルゴリズムを用いて変更される、
ことを特徴とする請求項22に記載の方法。 - マニピュレータ品質及び補償品質が、使用された前記操作形態に関して判断され、
前記マニピュレータ品質は、前記操作形態を含む前記光学要素を変位させることによって前記波面誤差の前記特性を望ましい方式でどの程度変更することができるかを指定し、前記補償品質は、前記非変位状態において該操作形態を有する前記少なくとも1つの光学面形状を修正することによって生成される該波面誤差の変化が、操作形態によって修正されない前記光学要素の前記面形状の変化によってどの程度補償されるかを指定し、
判断された前記マニピュレータ品質及び判断された前記補償品質に基づいて、使用された前記操作形態が前記設計に使用されるか否かが判断される、
ことを特徴とする請求項23に記載の方法。 - 前記結像光学系は、波長λで作動するように構成され、前記操作形態は、全ての回転対称面に対してそれぞれの2次元面逸脱を有する非回転対称面を定義し、該2次元面逸脱は、その最高部とその最低部の間に少なくともλの差を有する、
ことを特徴とする請求項22から請求項24のいずれか1項に記載の方法。 - 前記操作形態は、前記修正面形状を有する前記光学要素を変位させる時に、前記光学系の前記波面誤差の特性を該波面誤差に対して少なくとも2重の対称性を備えた部分を有する変化がもたらされ、かつ拡張4次元瞳空間内の該波面変化の最大値が波長λの少なくとも1×10-5であるように変更することができるように構成される、
ことを特徴とする請求項22から請求項25のいずれか1項に記載の方法。 - 前記操作形態は、前記修正面形状を有する前記光学要素を変位させる時に、前記光学系の前記波面誤差を該波面誤差がゼルニケ像誤差によって特定的に補正されるように変更することができるように構成される、
ことを特徴とする請求項22から請求項26のいずれか1項に記載の方法。 - 前記操作形態は、
いくつかの基本形態を予め指定する段階と、
前記基本形態のそれぞれ1つによる加法的オーバーレイにより、前記操作形態に提供される前記面形状の模擬修正の段階と、
前記基本形態の各々に対して前記修正面形状を有する前記光学要素の少なくとも1つの変位の前記波面誤差に対する効果を計算する段階と、
望ましい操作効果に基づいて更に別の最適化アルゴリズムを用いて1組の基本形態を選択し、該選択基本形態を組み合わせることによって前記操作形態を生成する段階と、
によって判断される、
ことを特徴とする請求項22から請求項27のいずれか1項に記載の方法。 - 所定の数の光学要素を含むマイクロリソグラフィのための結像光学系の光学設計の方法であって、
光学要素の面形状が、第1の光学要素の面形状の部分口径比が、前記結像光学系の物体視野の全ての点において、前記結像光学系の結像ビーム経路に位置する前記光学要素の全ての他の面の該物体視野のそれぞれの点における部分口径比から少なくとも0.01だけ逸脱するよう、メリット関数によって特徴付けられる最適化アルゴリズムを用いて判断され、
前記メリット関数は、光学系全体の波面誤差及び少なくとも1つの操作感受性を評価パラメータとして含み、該操作感受性は、該波面誤差の所定の特性によって定義される該光学系の収差に対する前記第1の光学要素の変位の効果によって定義される、
ことを特徴とする方法。
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