JP6122353B2 - 半導体パッケージ - Google Patents
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Description
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
本実施形態に係る磁気シールドMS1は、残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ垂直方向の磁界を加えることにより磁気シールドMS1の磁化方向に垂直成分が生じる。なお、磁気シールドMS1の磁化方向や磁気シールドMS1に加えられる外部磁界について、垂直方向とは磁気シールドMS1の膜面に対し垂直な方向(図1中上下方向)を指し、面内方向とは磁気シールドMS1の膜面に対し平行な方向を指す。これらは、後述する磁気記録層MR1および磁気参照層RL1についても同様である。
磁気シールドMS1は、磁気抵抗メモリMM1に近接して配置され、磁気抵抗メモリMM1に対する外部磁界の影響を抑制する機能を有する。また、磁気シールドMS1は、磁気抵抗メモリMM1から離間するように配置される。
本実施形態における磁気シールドMS1は、たとえば1μm以上10μm以下の膜厚を有する平板状、または1nm以上30nm以下の膜厚を有する薄膜状とすることができる。平板状の磁気シールドMS1は、たとえば磁気抵抗メモリMM1を備える半導体チップの上方または下方に設けられる。また、薄膜状の磁気シールドMS1は、たとえば半導体チップ内において磁気抵抗メモリMM1の上方または下方に設けられる。
また、磁気シールドMS1は、平面視において磁気抵抗メモリMM1の全体と重なるように設けられることが好ましい。これにより、磁気抵抗メモリMM1に対する外部磁界の影響をより効果的に抑制できる。本実施形態においては、たとえばアレイ状に配列された複数の磁気抵抗メモリMM1全体を覆うように、磁気シールドMS1が設けられる。
平板状または薄膜状の磁気シールドに対して垂直方向の外部磁界が加わる場合、磁気シールドの上面と下面において分極が発生する。そして、この分極により磁気シールド内に生じる反磁界によって、磁気シールドにおける垂直方向への磁化変化が妨げられる。この場合、垂直方向の外部磁界に対する十分な透磁率を得ることが困難となる。
本実施形態に係る磁気シールドMS1には垂直磁気異方性が付与されており、この垂直磁気異方性と反磁界が打ち消し合う。このため、図2に示すように、磁気シールドMS1の磁化方向を垂直方向へ変化しやすくさせることができる。すなわち、垂直方向の外部磁界に対する高い透磁率を実現することができる。これにより、垂直方向の外部磁界により生じる磁束を、磁気シールドMS1内へ効果的に吸収することができる。また、磁気シールドMS1は残留磁化として面内方向の磁化を有することから、吸収した外部磁界による磁束は磁気シールドMS1の垂直方向に対して斜めに流れることとなる。その結果、磁気抵抗メモリMM1周囲における磁束の密度を低減することが可能となる。本実施形態においては、たとえばこのようにして、垂直方向の外部磁界による磁気抵抗メモリMM1への影響を磁気シールドMS1により抑制できる。
また、本実施形態に係る磁気シールドMS1によれば、面内方向の磁化を有することから、面内方向の外部磁界に対する高い透磁率を実現することもできる。このため、本実施形態においては、面内方向の外部磁界による磁気抵抗メモリMM1への影響を、磁気シールドMS1を用いて抑えることも可能である。
図3に示す磁化曲線のように、磁気シールドMS1に垂直方向の外部磁界Hを加えることにより、磁気シールドMS1内に垂直磁化Mが生じる。この磁化曲線における傾きを調整することにより、垂直方向の外部磁界に対する磁気シールドMS1の透磁率を調整できる。磁化曲線における傾きは、たとえば磁気シールドMS1を構成する材料、構造、および形成条件等をそれぞれ適切に調整することにより制御することが可能である。
本実施形態においては、たとえば磁気シールドMS1に対して垂直方向の外部磁界をHkeffを加えた際に生じる飽和磁化を4πMSとする。この場合、5≦4πMS/Hkeff≦20を満たすことが好ましい。これにより、垂直方向の外部磁界に対する十分な透磁率を実現し、より効果的に垂直方向の外部磁界による磁気抵抗メモリMM1への影響を抑制することが可能となる。なお、4πMS/Hkeffは、磁気シールドMS1の実効的な透磁率μに対応する。
本実施形態に係る磁気シールドMS1において、磁気シールドMS1に加わる垂直方向の外部磁界により生じる垂直方向の磁化成分は、たとえば界面磁気異方性を利用して生じさせることができる。
磁性層ML1は、たとえばCoFeB、CoFe、NiFe、またはNiFeCoにより構成される。また、非磁性層NM1は、たとえばMgO等の酸化膜、またはTaもしくはPt等の非磁性金属膜により構成される。これにより、磁性層ML1と非磁性層NM1との間において界面磁気異方性を効果的に誘起することが可能となる。本実施形態においては、たとえばCoFeBにより構成される磁性層ML1と、MgOにより構成される非磁性層NM1と、の組み合わせが一例として挙げられる。
また、本実施形態においては、たとえば非磁性層NM1と、磁性層ML1と、非磁性層NM1と、を順に積層した3層構造、または磁性層ML1と、非磁性層NM1と、磁性層ML1と、を順に積層した3層構造からなる積層膜により、磁気シールドMS1を構成することも可能である。
図5(a)においては、磁気シールドMS1を構成する積層膜が、複数の磁性層ML1と複数の非磁性層NM1を、磁性層ML1と非磁性層NM1が交互に配置されるように積層してなる場合が例示されている。この場合、磁性層ML1と非磁性層NM1との間に形成される各界面において、それぞれ界面磁気異方性が誘起される。このため、磁性層ML1と非磁性層NM1の層数を調整することにより、垂直方向の外部磁界に対する磁気シールドMS1の透磁率を制御することができる。
磁性層ML2は、たとえばNiFeにより構成される。これにより、面内方向の外部磁界に対する磁気シールドMS1の透磁率を効果的に向上させることができる。また、中間層IL1は、たとえばTaにより構成される。これにより、磁性層ML2との間において界面磁気異方性が誘起されることを抑制し、磁気シールドMS1における透磁率を安定的に制御することが可能となる。
ここで、垂直磁気異方性を有する磁気記録層MR1は、垂直方向の外部磁界による影響を受けやすい。しかしながら、本実施形態によれば、垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性に優れた磁気シールドMS1により、磁気抵抗メモリMM1を覆うことができる。これにより、磁気記録層MR1に対する垂直方向の外部磁界による影響を、磁気シールドMS1により抑えることが可能となる。このため、垂直磁気異方性を有する磁気記録層MR1を含む磁気抵抗メモリMM1について、その動作性能を良好なものとすることができる。
なお、磁気抵抗メモリMM1を構成する磁気記録層MR1および磁気参照層RL1は、面内磁気異方性を有していてもよい。この場合、磁気記録層MR1および磁気参照層RL1は、たとえば面内磁気異方性を示す強磁性材料により構成される。なお、面内磁気異方性とは、各層の膜面に対して平行な方向を磁化容易軸とする磁気異方性を指す。
磁気記録層MR1の磁化方向が磁気参照層RL1の磁化方向と反平行方向である場合、磁気トンネル接合MTJの抵抗値は相対的に大きくなる。一方で、磁気記録層MR1の磁化方向が磁気参照層RL1の磁化方向と同じ方向である場合、磁気トンネル接合MTJの抵抗値は相対的に小さくなる。これらの抵抗値は、それぞれデータ0または1のいずれかに対応付けられる。
図6は、本実施形態に係る半導体装置SD1を示す断面模式図である。図6(a)においては、一断面における半導体装置SD1の構成が示される。図6(b)においては、図6(a)に示す一断面と直交する他の断面における半導体装置SD1の構成が示される。
図6に示す例においては、半導体チップ内に磁気抵抗メモリMM1および磁気シールドMS1を形成することができる。このため、後工程において、磁気シールドMS1を形成するための工程を省略することが可能となる。
半導体基板SB1上には、トランジスタTR1を覆うように層間絶縁膜II1が設けられている。層間絶縁膜II1には、ソース・ドレイン領域DR1に接続するコンタクトプラグCP1が埋め込まれている。
図6においては、複数の磁気抵抗メモリMM1が設けられる場合が例示されている。この例において、各磁気抵抗メモリMM1は、たとえばそれぞれ異なるトランジスタTR1のソース・ドレイン領域DR1に接続するように設けられる。本実施形態における半導体装置SD1においては、とくにアレイ状に配列された複数の磁気抵抗メモリMM1が形成されていることが好ましい。
磁気シールドMS1は、磁気抵抗メモリMM1の上方に位置し、かつ磁気抵抗メモリMM1を覆うように設けられる。すなわち、磁気シールドMS1は、絶縁層を介して磁気抵抗メモリMM1の上方に設けられることとなる。これにより、磁気シールドMS1と磁気抵抗メモリMM1が互いに電気的に分離されることとなる。
磁気シールドMS1は、たとえば1nm以上30nm以下の膜厚を有する薄膜状である。図6においては、複数の磁気抵抗メモリMM1を覆うように磁気シールドMS1が設けられる場合が例示されている。本実施形態においては、たとえばアレイ状に配列された磁気抵抗メモリMM1により構成されるセルアレイを全て覆うように磁気抵抗メモリMM1を設けることができる。また、磁気シールドMS1は、磁気抵抗メモリMM1よりも下層に位置する配線層中に形成されていてもよい。
図7は、本実施形態に係る半導体パッケージSP1を示す断面模式図である。図8は、図7に示す半導体パッケージSP1のうち半導体チップSC1と磁気シールドMS1との位置関係を示す平面模式図である。なお、図8中における破線は、メモリセルアレイCA1が形成されている領域の位置を示している。
ダイパッドDP1上には、ダイアタッチ層DA1を介して半導体チップSC1が搭載されている。半導体チップSC1の上面に形成された電極パッド(図示せず)とアウターリードOL1は、たとえばボンディングワイヤBW1により互いに接続される。
図8に示すように、半導体チップSC1上に設けられる磁気シールドMS1は、たとえば平面視において半導体チップSC1よりも小さい。すなわち、磁気シールドMS1の平面視における外形線は、半導体チップSC1の平面視における外形線よりも内側に位置することとなる。これにより、半導体チップSC1の外周部に設けられ、かつボンディングワイヤBW1を接続するための電極パッドを、露出させることができる。
また、半導体チップSC1中には、たとえば複数の磁気抵抗メモリMM1により構成されるメモリセルアレイCA1が設けられている。磁気シールドMS1は、平面視においてメモリセルアレイCA1の全体を覆うように半導体チップSC1上に設けられる。
なお、半導体パッケージSP1の構成は、上述したものに限定されない。半導体パッケージSP1は、たとえば配線基板上にバンプを介して半導体チップSC1が搭載されることにより形成されていてもよい。この場合においても、半導体チップSC1の上方にダイアタッチ層DA2を介して磁気シールドMS1を配置することができる。
本変形例に係る半導体パッケージSP1において、磁気シールドMS1は、半導体チップSC1の上方および下方それぞれに設けられている。これにより、磁気抵抗メモリMM1に対する外部磁界の影響をより効果的に抑制することが可能となる。
図9において、ダイパッドDP1上には、ダイアタッチ層DA3を介して磁気シールドMS12(MS1)が設けられている。磁気シールドMS12上には、ダイアタッチ層DA1を介して半導体チップSC1が設けられている。そして、半導体チップSC1上には、ダイアタッチ層DA2を介して磁気シールドMS11(MS1)が設けられている。
一方で、磁気シールドMS11は、たとえば平面視において半導体チップSC1よりも小さくなるように設けられる。すなわち、磁気シールドMS11の平面視における外形線は、半導体チップSC1の平面視における外形線よりも内側に位置することとなる。これにより、半導体チップSC1の外周部に設けられ、かつボンディングワイヤBW1を接続するための電極パッドを、露出させることができる。
本実施形態においては、残留磁化として面内方向の磁化を有する磁気シールドに対し、垂直磁気異方性が付与されている。この場合、磁気シールドMS1の膜厚方向に働く反磁界は、磁気シールドMS1に付与される垂直磁気異方性と打ち消しあう。このため、磁気シールドMS1に対して垂直方向の外部磁界を加えることにより、磁気シールドMS1の磁化方向には垂直成分が生じることとなる。すなわち、磁気シールドMS1において垂直方向の外部磁界による磁化変化が生じやすくなり、垂直方向の外部磁界に対し十分な透磁率を実現することができる。したがって、磁気シールドMS1について、垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
このように、本実施形態によれば、磁気シールドの外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
SD1 半導体装置
TR1 トランジスタ
MS1、MS11、MS12 磁気シールド
SC1 半導体チップ
MM1 磁気抵抗メモリ
CA1 メモリセルアレイ
MTJ 磁気トンネル接合
MR1 磁気記録層
TB1 トンネルバリア層
RL1 磁気参照層
ML1、ML2 磁性層
NM1 非磁性層
IL1 中間層
ER1 封止樹脂
BW1 ボンディングワイヤ
LF1 リードフレーム
OL1 アウターリード
DP1 ダイパッド
DA1、DA2、DA3 ダイアタッチ層
SB1 半導体基板
II1、II2、II3、II4、II5 層間絶縁膜
GE1 ゲート電極
GI1 ゲート絶縁膜
SW1 サイドウォール
DR1 ソース・ドレイン領域
EI1 素子分離膜
BL1 ビット線
CP1 コンタクトプラグ
Claims (12)
- ダイパッドと、
磁気参照層、前記磁気参照層上に形成されたトンネルバリア層、および前記トンネルバリア層上に形成された磁気記録層から成る磁気抵抗メモリを備え、上面、および前記上面に形成された電極パッドを有し、前記ダイパッド上に搭載された半導体チップと、
第1上面、および前記第1上面とは反対側の第1下面を有し、前記半導体チップの前記上面に設けられた第1磁気シールドと、
前記半導体チップおよび前記第1磁気シールドを封止する封止樹脂と、を含み、
前記第1磁気シールドは、残留磁化として第1面内方向の磁化を有しており、
前記第1面内方向とは、前記第1磁気シールドの前記第1上面に沿った方向であり、
前記第1磁気シールドは、面内磁気異方性を有する第1磁性層と、前記第1磁性層との間において界面磁気異方性を誘起する第1非磁性層と、を積層して成る第1積層膜により構成されており、
前記第1磁気シールドは、前記第1磁気シールドに第1垂直方向の磁界を加えることにより、前記第1磁気シールドの磁化方向に垂直成分が生じるように構成されており、
前記第1垂直方向とは、前記第1磁気シールドの前記第1上面および前記第1下面のうちの一方から他方に向かう厚さ方向に沿った方向である、半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1磁気シールドは、垂直方向の外部磁界Hk eff により生じる垂直飽和磁化を4πM S とした場合において、5≦4πM S /Hk eff ≦20を満たす、半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1磁性層は、CoFeB、CoFe、NiFe、またはNiFeCoにより構成され、
前記第1非磁性層は、MgO、TaまたはPtにより構成される、半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1積層膜は、複数の前記第1磁性層と複数の前記第1非磁性層を、前記第1磁性層と前記第1非磁性層が交互に配置されるように積層して成る、半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第1磁気シールドは、面内磁気異方性を有する第3磁性層と、前記第3磁性層と前記第1積層膜の間に設けられ、かつ、前記第3磁性層との間において界面磁気異方性を誘起しない第1中間層と、を有する、半導体パッケージ。 - 請求項5に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第3磁性層は、NiFeにより構成され、
前記第1中間層は、Taにより構成される、半導体パッケージ。 - 請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、
前記半導体チップは、第2磁気シールドを介して前記ダイパッド上に搭載されており、
前記第2磁気シールドは、第2上面と、前記第2上面とは反対側の第2下面と、を有しており、
前記第2磁気シールドは、残留磁化として第2面内方向の磁化を有しており、
前記第2面内方向とは、前記第2磁気シールドの前記第2上面に沿った方向であり、
前記第2磁気シールドは、面内磁気異方性を有する第2磁性層と、前記第1磁性層との間において界面磁気異方性を誘起する第2非磁性層と、を積層して成る第2積層膜により構成されており、
前記第2磁気シールドは、前記第2磁気シールドに第2垂直方向の磁界を加えることにより、前記第2磁気シールドの磁化方向に垂直成分が生じるように構成されており、
前記第2垂直方向は、前記第2磁気シールドの前記第2上面および前記第2下面のうちの一方から他方に向かう厚さ方向に沿った方向である、半導体パッケージ。 - 請求項7に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2磁気シールドは、垂直方向の外部磁界Hk eff により生じる垂直飽和磁化を4πM S とした場合において、5≦4πM S /Hk eff ≦20を満たす、半導体パッケージ。 - 請求項7に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2磁性層は、CoFeB、CoFe、NiFe、またはNiFeCoにより構成され、
前記第2非磁性層は、MgO、TaまたはPtにより構成される、半導体パッケージ。 - 請求項7に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2積層膜は、複数の前記第2磁性層と複数の前記第2非磁性層を、前記第2磁性層と前記第2非磁性層が交互に配置されるように積層して成る、半導体パッケージ。 - 請求項7に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第2磁気シールドは、面内磁気異方性を有する第4磁性層と、前記第4磁性層と前記第2積層膜の間に設けられ、かつ、前記第4磁性層との間において界面磁気異方性を誘起しない第2中間層と、を有する、半導体パッケージ。 - 請求項11に記載の半導体パッケージにおいて、
前記第4磁性層は、NiFeにより構成され、
前記第2中間層は、Taにより構成される、半導体パッケージ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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