JP7160705B2 - 電磁波減衰体及び電子装置 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)~図1(c)は、第1実施形態に係る電磁波減衰体を例示する模式図である。
図1(c)においては、図を見やすくするために、複数の層の位置がシフトされて描かれている。
これらの図の縦軸は、入射する電磁波81の周波数が100MHzであるときの透過特性T1(dB)である。透過特性T1が低いこと(絶対値が大きいこと)が、電磁波減衰体に入射した電磁波81の減衰の程度が大きいことに対応する。透過特性T1は、低いこと(絶対値が大きいこと)が望ましい。
図4(a)に示すように、薄い磁性層11及び薄い非磁性層12を含む多層部材10Mの上に、厚い磁性部材15が設けられている。複数の磁性層11の1つは、第3結晶粒gr3を含む。磁性層11は薄いため、第3結晶粒gr3のサイズd3(例えば粒径)は、比較的小さい。サイズは、X-Y平面に沿う長さである。例えば、第3結晶粒gr2のサイズd3の平均値は、40nm以下である。
図6では、図を見やすくするために、複数の層の位置がシフトされて描かれている。図6に示すように、複数の磁性層11のそれぞれの少なくとも一部は、磁化11pm(磁化容易軸)を有する。複数の磁性層11の1つの少なくとも一部における磁化の向きは、複数の磁性層11の別の1つの少なくとも一部における磁化の向きと交差しても良い。これにより、種々の振動面を有する電磁波を効果的に減衰させることができる。
図7は、複数の磁性層11の1つを例示している。図7に示すように、複数の磁性層11の少なくとも1つは、複数の磁性膜11fと、複数の非磁性膜12fと、を含んでも良い。複数の磁性膜11f及び複数の非磁性膜12fは、第1方向(Z軸方向)に沿って交互に設けられる。複数の非磁性膜12fは、例えば、絶縁性でも良く導電性でも良い。例えば、複数の磁性膜11fの1つから複数の磁性膜11fの別の1つへの向きは、第1方向(Z軸方向)に沿う。複数の非磁性膜12fの1つは、複数の磁性膜11fの1つと、複数の磁性膜11fの別の1つと、の間にある。例えば、複数の磁性膜11fは、第1方向に沿って並ぶ。例えば、複数の非磁性膜12fは、第1方向に沿って並ぶ。
図8(a)~図8(d)は、第2実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図8(a)は、斜視図である。図8(b)は、図8(a)のA1-A2線断面図である。図8(c)は、図8(a)のB1-B2線断面図である。図8(d)は、図8(a)の矢印AAから見た平面図である。図1(a)または図1(b)は、図8(b)のC1-C2線断面に対応する。
図9(a)に示すように、電磁波減衰体10の第1側面部分10aは、複数の磁性層11及び複数の非磁性層12を含む。第1側面部分10aにおける、複数の磁性層11及び複数の非磁性層12の積層方向は、第3方向D3である。
図10に示すように、実施形態に係る電子装置111は、電磁波減衰体10と、複数の電子素子(電子素子51、51B、52、53、53B及び53Cなど)と、を含む。
(構成1)
多層部材と、
磁性部材と、
を備え、
前記多層部材は、複数の磁性層と、導電性の複数の非磁性層と、を含み、
前記複数の磁性層の1つから前記複数の磁性層の別の1つへの方向は、前記多層部材から前記磁性部材への第1方向に沿い、
前記複数の非磁性層の1つは、前記複数の磁性層の前記1つと、前記複数の磁性層の前記別の1つと、の間にあり、
前記磁性部材の前記第1方向に沿う厚さは、前記多層部材の前記第1方向に沿う厚さの1/2以上である、電磁波減衰体。
前記磁性部材は、前記多層部材と接する、構成1記載の電磁波減衰体。
前記複数の非磁性層の別の1つは、前記磁性部材と接する、構成1または2に記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つは、前記磁性部材と接する、構成1または2に記載の電磁波減衰体。
前記磁性部材の前記第1方向に沿う前記厚さは、前記複数の磁性層の前記1つの前記第1方向に沿う厚さの5倍以上である、構成1~4のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の非磁性層の前記1つの前記第1方向に沿う厚さは、前記磁性部材の前記第1方向に沿う前記厚さの1/5以下である、構成1~5のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記磁性部材は、第1部材領域及び第2部材領域を含み、前記第1部材領域は、前記第1方向において前記第2部材領域と前記多層部材との間にあり、
前記第1部材領域は、複数の第1結晶粒を含み、
前記第2部材領域は、複数の第2結晶粒を含み、
前記複数の第1結晶粒のサイズの平均値は、前記複数の第2結晶粒のサイズの平均値よりも小さい、構成1~6のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記磁性部材は、第1部材面及び第2部材面を含み、前記第1部材面は、前記第1方向において前記第2部材面と前記多層部材との間にあり、
前記第1部材面は、複数の第1結晶粒を含み、
前記第2部材面は、複数の第2結晶粒を含み、
前記複数の第1結晶粒のサイズの平均値は、前記複数の第2結晶粒のサイズの平均値よりも小さい、構成1~6のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つは、第3結晶粒を含み、
前記第3結晶粒のサイズの平均値は、40nm以下である、構成1~8のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つは、前記複数の非磁性層の前記1つと対向する第1磁性層面を含み、
前記第1磁性層面は、第1頂部と第1底部とを含み、
前記第1頂部と前記第1底部との間の前記第1方向に沿う距離は、10nm以上である、構成1~9のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つは、前記複数の非磁性層の前記1つと対向する第1磁性層面を含み、
前記第1磁性層面は、第1頂部、第2頂部及び第1底部を含み、
前記第1方向と交差する第2方向における前記第1底部の位置は、前記第2方向における前記第1頂部の位置と、前記第2方向における前記第2頂部の位置と、の間にあり、
前記複数の非磁性層の前記1つの少なくとも一部は、前記第2方向において、前記第1頂部と前記第2頂部との間にある、構成1~9のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つは、複数の磁性膜と、複数の非磁性膜と、を含み、
前記複数の磁性膜の1つから前記複数の磁性膜の別の1つへの方向は、前記第1方向に沿い、
前記複数の非磁性膜の1つは、前記複数の磁性膜の前記1つと、前記複数の磁性膜の前記別の1つと、の間にあり、
前記複数の磁性膜の前記1つの前記第1方向に沿う厚さは、前記複数の非磁性膜の前記1つの前記第1方向に沿う厚さよりも厚く、
前記厚さは、0.5nm以上7nm以下である、構成1~5のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の非磁性膜の前記少なくとも1つの少なくとも一部は、Cu、Ta、Ti、W、Mo、Nb及びHfよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成12記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性膜の前記少なくとも1つの少なくとも一部は、Co、Ni及びFeよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成12または13に記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つの少なくとも一部は、Co、Ni及びFeよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~14のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つの前記少なくとも一部は、Cu、Mo及びCuからなる群から選択された少なくとも1つをさらに含む、構成15記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つの少なくとも一部は、Fe100-x1-x2αx1Nx2を含み、
前記αは、Zr、Hf、Ta、Nb、Ti、Si及びAlよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1~14のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の非磁性層の前記1つの少なくとも一部は、Cu、Al、Ni、Cr、Mn、Mo、Zr及びSiからなる群から選択された少なくとも1つをさらに含む、構成1~17のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
前記複数の磁性層の前記1つの少なくとも一部における磁化の向きは、前記複数の磁性層の前記1つの少なくとも一部における磁化の向きと交差する、構成1~18のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
構成1~19のいずれか1つに記載の電磁波減衰体と、
電子素子と、
を備えた、電子装置。
Claims (10)
- 多層部材と、
磁性部材と、
を備え、
前記多層部材は、複数の磁性層と、導電性の複数の非磁性層と、を含み、
前記複数の磁性層の1つから前記複数の磁性層の別の1つへの方向は、前記多層部材から前記磁性部材への第1方向に沿い、
前記複数の非磁性層の1つは、前記複数の磁性層の前記1つと、前記複数の磁性層の前記別の1つと、の間にあり、
前記磁性部材の前記第1方向に沿う厚さは、前記多層部材の前記第1方向に沿う厚さの1/2以上である、電磁波減衰体。 - 前記磁性部材は、前記多層部材と接する、請求項1記載の電磁波減衰体。
- 前記磁性部材は、第1部材領域及び第2部材領域を含み、前記第1部材領域は、前記第1方向において前記第2部材領域と前記多層部材との間にあり、
前記第1部材領域は、複数の第1結晶粒を含み、
前記第2部材領域は、複数の第2結晶粒を含み、
前記複数の第1結晶粒のサイズの平均値は、前記複数の第2結晶粒のサイズの平均値よりも小さい、請求項1または2に記載の電磁波減衰体。 - 前記磁性部材は、第1部材面及び第2部材面を含み、前記第1部材面は、前記第1方向において前記第2部材面と前記多層部材との間にあり、
前記第1部材面は、複数の第1結晶粒を含み、
前記第2部材面は、複数の第2結晶粒を含み、
前記複数の第1結晶粒のサイズの平均値は、前記複数の第2結晶粒のサイズの平均値よりも小さい、請求項1~3のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。 - 前記複数の磁性層の前記1つは、第3結晶粒を含み、
前記第3結晶粒のサイズの平均値は、40nm以下である、請求項1~4のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。 - 前記複数の磁性層の前記1つは、前記複数の非磁性層の前記1つと対向する第1磁性層面を含み、
前記第1磁性層面は、第1頂部と第1底部とを含み、
前記第1頂部と前記第1底部との間の前記第1方向に沿う距離は、10nm以上である、請求項1~5のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。 - 前記複数の磁性層の前記1つは、前記複数の非磁性層の前記1つと対向する第1磁性層面を含み、
前記第1磁性層面は、第1頂部、第2頂部及び第1底部を含み、
前記第1方向と交差する第2方向における前記第1底部の位置は、前記第2方向における前記第1頂部の位置と、前記第2方向における前記第2頂部の位置と、の間にあり、
前記複数の非磁性層の前記1つの少なくとも一部は、前記第2方向において、前記第1頂部と前記第2頂部との間にある、請求項1~6のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。 - 前記複数の磁性層の前記1つの少なくとも一部は、Co、Ni及びFeよりなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1~7のいずれか1つに記載の電磁波減衰体。
- 前記複数の磁性層の前記1つの前記少なくとも一部は、Cu、Mo及びCuからなる群から選択された少なくとも1つをさらに含む、請求項8記載の電磁波減衰体。
- 請求項1~9のいずれか1つに記載の電磁波減衰体と、
電子素子と、
を備えた、電子装置。
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