JP6110658B2

JP6110658B2 - 仮固定用粘着シート

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Publication number: JP6110658B2
Application number: JP2012282804A
Authority: JP
Inventors: 秀一中山; 征太郎山口; 智史川田; 小野　義友; 義友小野
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2012-12-26
Filing date: 2012-12-26
Publication date: 2017-04-05
Anticipated expiration: 2032-12-26
Also published as: JP2014125529A

Description

本発明は、電子材料等を一時的に固定するために使用される仮固定用粘着シートに関する。

電子部品の製造工程において、電子材料を一時的にガラス板等の基板等に仮固定した後に、エッチング等の処理が行われる場合がある。一般的に、電子材料と基板等との仮固定に際し、粘着シートが使用される。
例えば、粘着シートで仮固定された基板付き電子材料は、有機溶剤や水等の溶剤に浸漬した状態で行われるエッチング処理、溶剤に浸漬した状態で、超音波をかけて行う洗浄処理、及び乾燥のための熱処理等を含む工程を経る必要がある。
よって、このような用途に用いられる粘着シートには、耐溶剤性及び耐熱性が要求される。また、上記処理終了後、粘着シートは除去されるため、易剥離性も求められる。

例えば、特許文献１には、電子部品の製造工程において、エッチング処理されたポリイミド樹脂面を有する部品を一時的に固定又は保護するために使用される耐熱仮着用粘着テープについて開示されている。特許文献１には、当該粘着テープが有する粘着剤層は、アクリル酸エステルを主成分とする特定のアクリル系ポリマー、エネルギー線重合性オリゴマー、及び特定の重合開始剤とを含有する形成材料からなる旨記載されている。

特開２０１２−３１３１６号公報

しかしながら、特許文献１記載の耐熱仮着用粘着テープの粘着剤層は、アクリル系ポリマーを含む材料から形成されているため、熱処理を行うと、膨れが生じ、エッチング処理等に支障をきたす場合がある。

本発明は、有機溶剤や水に対する耐溶剤性及び耐熱性に優れ、易剥離性も良好である、仮固定用粘着シートを提供することを目的とする。

本発明者らは、所定の樹脂を含む基材フィルムの少なくとも一方の面上に、ポリイソブチレン系樹脂を含む粘着性組成物からなる粘着剤層を有する粘着シートが、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、下記〔１〕〜〔９〕を提供するものである。
〔１〕ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方を８０質量％以上含む基材フィルムの少なくとも一方の面上に、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）を含む粘着性組成物からなる粘着剤層を有する、仮固定用粘着シート。
〔２〕前記粘着性組成物が、さらに粘着付与樹脂（Ｂ）を含む、上記〔１〕に記載の仮固定用粘着シート。
〔３〕ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）が、重量平均分子量の異なる２種以上のポリイソブチレン系樹脂を含む、上記〔１〕又は〔２〕に記載の仮固定用粘着シート。
〔４〕ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）が、重量平均分子量２７万〜４８万のポリイソブチレン系樹脂（Ａ１）、及び重量平均分子量１０万〜２５万のポリイソブチレン樹脂（Ａ２）を含む、上記〔１〕〜〔３〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。
〔５〕前記粘着性組成物中のポリイソブチレン系樹脂（Ａ）の含有量が、粘着剤組成物の全量に対して、５０質量％以上である、上記〔１〕〜〔４〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。
〔６〕前記粘着性組成物中の粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が、（Ａ）成分１００質量部に対して、３〜５０質量部である、上記〔２〕〜〔５〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。
〔７〕前記粘着性組成物中のポリイソブチレン系樹脂（Ａ）及び粘着付与樹脂（Ｂ）の合計含有量が、粘着剤組成物の全量に対して、７０〜１００質量％である、上記〔２〕〜〔６〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。
〔８〕粘着付与樹脂（Ｂ）が、ロジン系樹脂、水素化ロジン樹脂、テルペン系樹脂、水素化テルペン系樹脂、及び水素化石油樹脂から選ばれる１種以上である、上記〔２〕〜〔７〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。
〔９〕エッチング処理、洗浄処理、熱処理、露光処理、エネルギー線照射処理のいずれか１つ以上の処理を含む電子部品の製造工程において、当該処理を行う対象である電子部品と基板とを仮固定するために用いられる、上記〔１〕〜〔８〕のいずれかに記載の仮固定用粘着シート。

本発明の仮固定用粘着シートは、有機溶剤や水に対する耐溶剤性及び耐熱性に優れ、良好な易剥離性を有する。

本発明の仮固定用粘着シートの構成の一例を示す、該粘着シートの断面図である。

以下の記載において、「重量平均分子量（Ｍｗ）」及び「数平均分子量（Ｍｎ）」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法で測定されるポリスチレン換算の値であり、具体的には実施例に記載の方法に基づいて測定した値である。
また、例えば「（メタ）アクリル酸」とは、「アクリル酸」及び「メタクリル酸」の双方を示す語として用いており、他の類似用語についても同様である。

〔仮固定用粘着シートの構成〕
本発明の仮固定用粘着シート（以下、単に「粘着シート」ともいう）は、ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方を８０質量％以上含む基材フィルムの少なくとも一方の面上に、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）を含む粘着性組成物からなる粘着剤層を有する。
図１は、本発明の粘着シートの構成の一例を示す、該粘着シートの断面図である。
本発明の粘着シートとしては、例えば、図１（ａ）に示された粘着シートのように、基材フィルム１１上に粘着剤層１２が設けられた構成を有する粘着シート１が挙げられる。また、図１（ｂ）に示された粘着シートのように、さらに粘着シート１の粘着剤層１２上に剥離材１３を積層した構成を有する粘着シート１’としてもよい。
他にも、図１（ｃ）に示された粘着シートのように、基材フィルム１１の両面上に粘着剤層１２ａ、１２ｂが設けられた構成を有する粘着シート２や、図１（ｄ）に示された粘着シートのように、さらに粘着シート２の粘着剤層１２ａ、１２ｂ上に剥離材１３ａ、１３ｂを積層した構成を有する粘着シート２’としてもよい。

基材フィルムの厚さは、取り扱い易さの観点から、好ましくは１０〜２５０μｍ、より好ましくは１５〜２００μｍ、更に好ましくは２０〜１５０μｍである。

１つの粘着剤層の厚さは、好ましくは０．５〜１００μｍ、より好ましくは１〜６０μｍ、更に好ましくは３〜４０μｍである。該粘着剤層の厚さが０．５μｍ以上であれば、被着体に対して良好な粘着力を有する粘着シートとなり得る。一方、該粘着剤層の厚さが１００μｍ以下であれば、生産性の面で有利であり、取扱い易い粘着シートとなり得る。

剥離材の厚さは、特に制限ないが、好ましくは２０〜２００μｍ、より好ましくは２５〜１５０μｍ、更に好ましくは３０〜１００μｍである。

〔基材フィルム〕
本発明の粘着シートが有する基材フィルムは、耐熱性に優れた粘着シートとする観点から、ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方を８０質量％以上含む基材フィルムであり、ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方からなる基材フィルムであることが好ましい。
上記の基材フィルムとしては、ポリイミドフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムとして市販されているフィルム等が挙げられる。

基材フィルム中のポリイミド及びポリエチレンナフタレートの合計含有量は、耐熱性に優れた粘着シートとする観点から、８０質量％以上であるが、好ましくは８０〜１００質量％、より好ましくは９０〜１００質量％、更に好ましくは９５〜１００質量％、より更に好ましくは１００質量％である。

なお、基材フィルムには、本発明の効果を損なわない範囲内において、ポリイミド及びポリエチレンナフタレート以外の他の樹脂や、更に、紫外線吸収剤、光安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、着色剤等を含有してもよい。

本発明で使用する基材フィルムは、ポリイミド又はポリエチレンナフタレートのみを含む樹脂組成物からなる樹脂フィルムでもよく、ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの双方を含む樹脂組成物からなる樹脂フィルムでもよい。
また、当該基材フィルムは、ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方を含む樹脂フィルムを複数積層した積層フィルムであってもよい。

基材フィルムには、粘着剤層との密着性を向上させる観点から、基材フィルム表面に対して酸化法や凹凸化法等の表面処理を施してもよい。
酸化法としては、特に限定されず、例えば、コロナ放電処理法、プラズマ処理法、クロム酸酸化（湿式）、火炎処理、熱風処理、オゾン・紫外線照射処理等が挙げられる。
凹凸化法としては、特に限定されず、例えば、サンドブラスト法、溶剤処理法等が挙げられる。
これらの表面処理は、基材フィルムの種類に応じて適宜選定されるが、粘着剤層との密着性の向上効果や操作性の観点から、コロナ放電処理法が好ましい。また、密着性向上の効果を得るために、別途プライマー処理を施すこともできる。
〔粘着剤層〕
本発明の粘着剤層は、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）を含む粘着性組成物から形成されるものである。
当該粘着性組成物は、さらに粘着付与樹脂（Ｂ）を含むことが好ましい。
また、上記（Ａ）及び（Ｂ）成分以外に、１分子内に０．３個以上の二重結合を有するオレフィン系重合体（Ｃ）、シラン系化合物（Ｄ）、及び白金系触媒（Ｅ）を含んでもよく、さらに本発明の効果を損なわない範囲において、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、樹脂安定剤、充填剤、顔料、増量剤等のその他の添加剤を含んでもよい。
ただし、粘着シートの耐溶剤性及び耐熱性を共に向上させる観点から、当該粘着性組成物は、実質的にポリイソブチレン系樹脂（Ａ）及び粘着付与樹脂（Ｂ）のみからなることが好ましい。
以下、本発明の粘着シートの粘着剤層を形成する粘着性組成物中に含まれる各成分について説明する。

＜ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）＞
本発明で用いる粘着性組成物は、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）（以下、単に「樹脂（Ａ）」ともいう）を含む。
ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）の構造は、主鎖又は側鎖にポリイソブチレン骨格を有する樹脂であり、下記構成単位（ａ）を有する樹脂である。

樹脂（Ａ）としては、例えば、イソブチレンの単独重合体であるポリイソブチレン、イソブチレンとイソプレンの共重合体、イソブチレンとｎ−ブテンの共重合体、イソブチレンとブタジエンの共重合体、及びこれらの単独重合体又は共重合体を臭素化又は塩素化等したハロゲン化ブチルゴム等が挙げられる。
これらの樹脂（Ａ）は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
なお、樹脂（Ａ）が共重合体である場合、イソブチレンからなる構成単位が、全モノマー成分の中で一番多く含まれているものとする。
イソブチレンからなる構成単位の含有量は、樹脂（Ａ）に含まれる全構成単位に対して、好ましくは８０〜１００質量％、より好ましくは９０〜１００質量％、更に好ましくは９５〜１００質量％、より更に好ましくは実質的に１００質量％である。

なお、本発明で用いる樹脂（Ａ）は、末端に重合性二重結合を有するポリイソブチレン系樹脂であってもよいが、高耐久性及び耐溶剤性に優れた粘着シートを得る観点から、重合した際に密な分子構造を有し、主鎖及び側鎖に重合性二重結合を残さないイソブチレンからなる構成単位を含むポリイソブチレン系樹脂が好ましい。
このような主鎖及び側鎖に重合性二重結合を残さないイソブチレンからなる構成単位の含有量は、樹脂（Ａ）に含まれる全構成単位に対して、好ましくは８０〜１００質量％、より好ましくは９０〜１００質量％、更に好ましくは９５〜１００質量％、より更に好ましくは実質的に１００質量％である。

樹脂（Ａ）の合成方法としては、塩化アルミニウム、三フッ化ホウ素等のルイス酸触媒の存在下で、イソブチレン等のモノマー成分を重合する方法が挙げられる。また、樹脂（Ａ）としては、合成品だけでなく、市販品も使用することもできる。
市販品としては、Ｖｉｓｔａｎｅｘ（ＥｘｘｏｎＣｈｅｍｉｃａｌＣｏ．製）、Ｈｙｃａｒ（Ｇｏｏｄｒｉｃｈ社製）、Ｏｐｐａｎｏｌ（ＢＡＳＦ社製）等が挙げられる。

樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは３万〜９０万、より好ましくは５万〜７０万、更に好ましくは８万〜５５万、より更に好ましくは１０万〜４８万である。

粘着性組成物中の樹脂（Ａ）の含有量は、粘着シートの耐溶剤性及び耐熱性を共に向上させる観点から、粘着剤組成物の全量に対して、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは６０〜９５質量％、更に好ましくは７０〜９０質量％、より更に好ましくは７５〜８７質量％である。

また、本発明において、粘着性組成物中に含まれる樹脂（Ａ）は、重量平均分子量の異なる２種以上のポリイソブチレン系樹脂を含むことが好ましく、重量平均分子量が２７万〜４８万であるポリイソブチレン系樹脂（Ａ１）、及び重量平均分子量が１０万〜２５万のポリイソブチレン系樹脂（Ａ２）を含むことがより好ましい。
ポリイソブチレン系樹脂（Ａ１）（以下、「樹脂（Ａ１）」ともいう）を含有することで、粘着性組成物の凝集力を向上させ、得られる粘着シートの易剥離性を向上させることができる。一方、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ２）（以下、「樹脂（Ａ２）」ともいう）を含有することで、樹脂（Ａ１）と良好に相溶し、適度に樹脂（Ａ１）を可塑化させることで、仮固定するための適度な粘着力を有する粘着シートとすることができる。

樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、２７万〜４８万であるが、好ましくは３０万〜４５万、より好ましくは３２万〜４０万、より更に好ましくは３４万〜３７万である。
樹脂（Ａ１）の重量平均分子量が２７万以上であれば、適度な凝集力が得られ、得られる粘着シートの易剥離性を向上させることができる。また、樹脂（Ａ１）の重量平均分子量が４８万以下であれば、被着体に対するぬれ性を向上させることができ、仮固定に適度な粘着力を得ることができる。

樹脂（Ａ２）の重量平均分子量は、１０万〜２５万であるが、好ましくは１２万〜２３万、より好ましくは１５万〜２２万、更に好ましくは１８万〜２１万である。
樹脂（Ａ２）の重量平均分子量が１０万以上であれば、樹脂（Ａ２）が低分子成分として分離し、被着体が汚染されてしまう現象や、物性に悪影響を及ぼす恐れを抑制することができる。一方、樹脂（Ａ２）の重量平均分子量が２５万以下であれば、樹脂（Ａ１）を十分に可塑化させることができ、仮固定するための適度な粘着力を得ることができる。

粘着性組成物中の樹脂（Ａ１）と樹脂（Ａ２）の含有割合については、粘着力と凝集力のバランスを得る観点から、樹脂（Ａ２）の含有量を、樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、１〜５５質量部、好ましくは３〜４０質量部、より好ましくは５〜３０質量部、更に好ましくは８〜２０質量部となるように調整することが好ましい。

＜粘着付与樹脂（Ｂ）＞
粘着性組成物は、粘着力を向上させる観点から、さらに粘着付与樹脂（Ｂ）を含むことが好ましい。
粘着付与樹脂（Ｂ）としては、ロジン系樹脂、水素化ロジン樹脂、テルペン系樹脂、水素化テルペン系樹脂、及び水素化石油樹脂から選ばれる１種以上が好ましく、樹脂（Ａ）との相溶性が高い観点から水素化石油樹脂がより好ましい。
なお、これらの粘着付与樹脂（Ｂ）は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ロジン系樹脂としては、例えば、ロジン樹脂、ロジンフェノール樹脂、及びそれらのエステル化合物等が挙げられ、水素化ロジン系樹脂としては、これらのロジン系樹脂を水素化した完全水素化樹脂又は部分水素化樹脂が挙げられる。
テルペン系樹脂としては、例えば、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、芳香族変性テルペン樹脂等が挙げられ、水素化テルペン系樹脂としては、これらのテルペン系樹脂を水素化した完全水素化樹脂又は部分水素化樹脂が挙げられる。

水素化石油樹脂とは、石油樹脂を水素化したものを意味し、完全水素化樹脂だけでなく、水素化率を異にする部分水素化樹脂も含まれる。
また、石油樹脂とは、石油由来の樹脂であることを特徴とし、上述のロジン系樹脂、水素化ロジン系樹脂、テルペン系樹脂、及び水素化テルペン系樹脂等の生体由来の樹脂を除く概念である。
具体的な水素化石油樹脂としては、Ｃ５留分を共重合して得られるＣ５系石油樹脂の水素化樹脂、Ｃ９留分を共重合して得られるＣ９系石油樹脂の水素化樹脂、及びＣ５留分とＣ９留分の共重合石油樹脂の水素化樹脂からなる群より選択される１種以上が好ましい。
Ｃ５系石油樹脂の水素化樹脂としては、水素化ジシクロペンタジエン系樹脂又は部分水素化芳香族変性ジシクロペンタジエン系樹脂等が挙げられる。
なお、上記の「Ｃ５留分」とは、石油ナフサの熱分解で生成する、ペンテン、イソプレン、ピペリン、１．３−ペンタジエン等の炭素数５の不飽和炭化水素を意味し、「Ｃ５系石油樹脂」とは、このＣ５留分を共重合して得られ、Ｃ５留分を主成分（少なくとも２０質量％以上含む）とする樹脂を意味する。
また、上記の「Ｃ９留分」とは、石油ナフサの熱分解で生成する、インデン、ビニルトルエン、α又はβ−メチルスチレン等の炭素数９の不飽和炭化水素を意味し、「Ｃ９系石油樹脂」とは、このＣ９留分を共重合して得られ、Ｃ９留分を主成分（少なくとも２０質量％以上含む）とする樹脂を意味する。

粘着付与樹脂（Ｂ）の軟化点は、粘着力の向上、及び易剥離性の向上の観点から、好ましくは７０〜１５０℃、より好ましくは８０〜１４０℃、更に好ましくは９０〜１３５℃、より更に好ましくは１００〜１３０℃である。
当該軟化点が７０℃以上であれば、粘着性組成物の凝集力が向上し、粘着力を向上させることができる。一方、当該軟化点が１５０℃以下であれば、粘着シートを剥離する際のジッピングの発生を抑制することができ、易剥離性を向上させることができる。
また、軟化点の異なる粘着付与樹脂（Ｂ）を２種以上組み合わせて、粘着力の向上を図ることもできる。
なお、本発明において、粘着付与樹脂（Ｂ）の「軟化点」は、ＪＩＳＫ２５３１に準拠して測定した値であり、具体的には実施例に記載の方法により測定した値を意味する。

粘着性組成物中の粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量は、粘着シートの粘着力を向上させると共に、耐溶剤性及び耐熱性を向上させる観点から、（Ａ）成分１００質量部に対して、好ましくは３〜５０質量部、より好ましくは５〜４０質量部、更に好ましくは７〜３０質量部、より更に好ましくは８〜２５質量部である。
当該含有量が３質量部以上であれば、処理対象物の仮固定用の粘着シートとして要求される粘着力を発現させることができる。一方、当該含有量が５０質量部以下であれば、粘着シートの耐溶剤性及び耐熱性を向上させることができる。
また、粘着剤組成物の全量に対する粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量は、上記観点から、好ましくは２〜５０質量％、より好ましくは４〜３５質量％、更に好ましくは６〜２５質量％である。

また、粘着性組成物中のポリイソブチレン系樹脂（Ａ）と粘着付与樹脂（Ｂ）の合計含有量は、粘着シートの粘着力、耐溶剤性及び耐熱性を向上させる観点から、粘着剤組成物の全量に対して、好ましくは７０〜１００質量％、より好ましくは７５〜１００質量％、更に好ましくは８０〜１００質量％、より更に好ましくは８３〜１００質量％である。

＜１分子内に０．３個以上の二重結合を有するオレフィン系重合体（Ｃ）＞
粘着性組成物には、（Ａ）及び（Ｂ）成分以外の成分として、１分子内に０．３個以上の二重結合を有するオレフィン系重合体（Ｃ）（以下、「重合体（Ｃ）」ともいう）を含有してもよい。
重合体（Ｃ）が有する一分子内の二重結合の数は、０．３個以上であるが、好ましくは０．３個以上３．０個未満、より好ましくは０．５個以上３．０個未満、更に好ましくは０．７個以上２．５個未満、より更に好ましくは１．１個以上２．２個未満である。
重合体（Ｃ）は、後述のシラン系化合物（Ｄ）と架橋して、樹脂（Ａ）の高分子量の重合体間に、擬似的な架橋構造を形成すると考えられる。
つまり、本発明の粘着性組成物においては、従来は可塑剤的に使用していた低分子量の重合体である（Ｃ）成分が、（Ｄ）成分と化学的に架橋し、三次元網目構造を形成し、その三次元網目構造に、樹脂（Ａ）の複数の高分子量の重合体を挿入させることで、高分子量の重合体同士を拘束し、樹脂（Ａ）の高分子量の重合体間に擬似的な架橋構造を形成するものと考えられる。このようにして得られた粘着性組成物は凝集力が向上し、形成される粘着剤層の粘着力及び保持力が向上すると考えられる。

重合体（Ｃ）の数平均分子量は、好ましくは３００〜４０，０００、より好ましくは５００〜２０，０００、更に好ましくは１，０００〜１０，０００、より更に好ましくは２，０００〜５，０００である。

粘着性組成物中の重合体（Ｃ）の含有量は、粘着シートの粘着力及び保持力の向上の観点から、（Ａ）成分１００質量部に対して、好ましくは３〜１００質量部、より好ましくは５〜５０質量部、更に好ましくは７〜３５質量部である。
また、粘着剤組成物の全量に対する重合体（Ｃ）の含有量は、好ましくは０．１〜２５質量％、より好ましくは１〜２０質量％、更に好ましくは５〜１６質量％である。

重合体（Ｃ）としては、エチレン、プロピレン、及び下記式（Ｉ）又は（II）で表されるノルボルネン化合物由来の構成単位を有する共重合体（Ｃ１）が好ましい。

上記式（Ｉ）中、Ｒ¹は、水素原子又は置換基を有してもよい炭素数１〜５のアルキル基であり、Ｒ²〜Ｒ⁴は、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有してもよい炭素数１〜１０のアルキル基であり、ｐは０〜１０の整数である。また、上記式（II）中、Ｒ⁵〜Ｒ⁷は、それぞれ独立して、水素原子、置換基を有してもよい炭素数１〜１０のアルキル基である。

Ｒ²〜Ｒ⁷が示す炭素数１〜１０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｔ−ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、イソヘキシル基、へプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられる。
また、Ｒ¹が示す炭素数１〜５のアルキル基としては、上記Ｒ²〜Ｒ⁷の具体例のうち、炭素原子数１〜５のアルキル基が挙げられる。
なお、Ｒ¹〜Ｒ⁷がアルキル基である場合、当該アルキル基が有してもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、メチル基、エチル基等が挙げられる。

上記一般式（Ｉ）及び（II）で表されるノルボルネン化合物としては、例えば、５−メチレン−２−ノルボルネン、５−ビニル−２−ノルボルネン、５−（２−プロペニル）−２−ノルボルネン、５−（３−ブテニル）−２−ノルボルネン、５−（１−メチル−２−プロペニル）−２−ノルボルネン、５−（４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−（１−メチル−３−ブテニル）−２−ノルボルネン、５−（５−ヘキセニル）−２−ノルボルネン、５−（１−メチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−（２，３−ジメチル−３−ブテニル）−２−ノルボルネン、５−（２−エチル−３−ブテニル）−２−ノルボルネン、５−（６−ヘプテニル）−２−ノルボルネン、５−（３−メチル−５−ヘキセニル）−２−ノルボルネン、５−（３，４−ジメチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−（３−エチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−（７−オクテニル）−２−ノルボルネン、５−（２−メチル−６−ヘプテニル）−２−ノルボルネン、５−（１，２−ジメチル−５−ヘキセシル）−２−ノルボルネン、５−（５−エチル−５−ヘキセニル）−２−ノルボルネン、５−（１，２，３−トリメチル−４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−エチリデン−２−ノルボルネン等が挙げられる。
これらの化合物は、単独で又は２種以上組み合わせて用いることができる。

また、上記一般式（Ｉ）中のＲ²又はＲ³とＲ⁴とが互いに結合して二重結合を有する環を形成してもよく、同様に、上記一般式（II）中のＲ⁵又はＲ⁶とＲ⁷とが互いに結合して二重結合を有する環を形成してもよい。このような二重結合を有する環が形成されたノルボルネン化合物としては、下記式（ｉ）〜（viii）で表される化合物等が挙げられる。なお、下記式（ｉ）〜（viii）で表される化合物は、ハロゲン原子、メチル基、エチル基等の置換基を有していてもよい。

これらの中でも、比較的剛直な骨格を有し、粘着性組成物の凝集力を向上する観点から、５−ビニル−２−ノルボルネン、５−メチレン−２−ノルボルネン、５−（２−プロペニル）−２−ノルボルネン、５−（３−ブテニル）−２−ノルボルネン、５−（４−ペンテニル）−２−ノルボルネン、５−（５−ヘキセニル）−２−ノルボルネン、５−（６−ヘプテニル）−２−ノルボルネン、５−（７−オクテニル）−２−ノルボルネン、５−エチリデン−２−ノルボルネン、及び上記式（ｉ）及び（ii）で表される化合物が好ましく、５−ビニル−２−ノルボルネンがより好ましい。

共重合体（Ｃ１）中のエチレン由来の構成単位の含有割合としては、共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００モル％に対して、好ましくは１０〜９０モル％、より好ましくは２０〜９０モル％、より好ましくは２５〜８７モル％、より好ましくは３０〜８５モル％、更に好ましくは３５〜８３モル％、更に好ましくは４０〜８０モル％、より更に好ましくは５０〜７５モル％である。
共重合体（Ｃ１）中のプロピレン由来の構成単位の含有割合としては、共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００モル％に対して、好ましくは１０〜７５モル％、より好ましくは１０〜６５モル％、より好ましくは２０〜６０モル％、更に好ましくは２０〜５５モル％、更に好ましくは３０〜５０モル％、より更に好ましくは３０〜４５モル％である。
共重合体（Ｃ１）中の一般式（Ｉ）又は（II）で表されるノルボルネン化合物由来の構成単位の含有割合としては、共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００モル％に対して、好ましくは０．３〜３５モル％、より好ましくは０．４〜３０モル％、より好ましくは０．５〜２５モル％、より好ましくは０．６〜２０モル％、更に好ましくは０．７〜１５モル％、更に好ましくは０．８〜１２モル％、より更に好ましくは１〜５モル％である。
また、共重合体（Ｃ１）には、エチレン、プロピレン、及び一般式（Ｉ）又は（II）で表されるノルボルネン化合物以外の化合物由来の構成単位を有していてもよい。

共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００質量部に対する、共重合体（Ｃ１）中のエチレン由来の構成単位の含有割合は、好ましくは１０〜９０質量％、より好ましくは２５〜７０質量％、更に好ましくは３５〜６０質量％である。
共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００質量部に対する、共重合体（Ｃ１）中のプロピレン由来の構成単位の含有割合は、好ましくは１０〜７５質量％、より好ましくは２０〜６０質量％、更に好ましくは３０〜５０質量％である。
共重合体（Ｃ１）の全構成単位１００質量部に対する、共重合体（Ｃ１）中の一般式（Ｉ）又は（II）で表されるノルボルネン化合物由来の構成単位の含有割合は、好ましくは１〜３０質量％、より好ましくは２〜２０質量％、更に好ましくは３〜１２質量％である。

なお、共重合体（Ｃ１）は、ブロック共重合体、交互共重合体、ランダム共重合体のいずれであってもよい。
また、共重合体（Ｃ１）の数平均分子量（Ｍｎ）としては、樹脂（Ａ）の重合体間に擬似的な架橋構造を形成し、架橋密度を高めて、粘着性組成物の凝集力を向上させる観点から、好ましくは３００〜４０，０００、より好ましくは５００〜２０，０００、更に好ましくは１，０００〜１０，０００、より更に好ましくは２，０００〜５，０００である。

本発明で用いられる共重合体（Ｃ１）は、例えば、公知のバナジウム化合物及び有機アルミニウム化合物を主成分として含有する触媒の存在下に、重合温度３０〜６０℃、重合圧力４〜１２ｋｇｆ／ｃｍ²の条件で、エチレン、プロピレン、及び上記一般式（Ｉ）又は（II）で表わされるノルボルネン化合物とを共重合することにより得られる。共重合は、炭化水素媒体中で行うことで製造することができる。

＜シラン系化合物（Ｄ）＞
粘着性組成物には、上記（Ｃ）成分と共に、１分子中に複数のヒドロシリル基（ＳｉＨ基）を有するシラン系化合物（Ｄ）を含有してもよい。シラン系化合物（Ｄ）は、オレフィン系重合体（Ｃ）中の二重結合と反応し、架橋剤として作用する。
このシラン系化合物（Ｄ）は、その分子構造に特に制限はなく、線状、環状、分岐状構造、又は三次元網目状構造の樹脂状物等も使用可能であるが、１分子中に複数のケイ素原子に直結した水素原子、すなわちＳｉＨ基を含んでいる。

１分子中のＳｉＨ基の数は、架橋によるネットワークの形成し粘着力を向上させる観点、並びに保持力を向上させる観点から、好ましくは２〜６個、より好ましくは２〜３個、更に好ましくは２個である。

シラン系化合物（Ｄ）としては、上記観点から、下記一般式（１）〜（９）で表わされる化合物が好ましい。

上記一般式（１）〜（９）中のＲは、それぞれ独立して、炭素数１〜１０（好ましくは炭素数１〜８、より好ましくは炭素数１〜６）の置換又は非置換の１価炭化水素基（但し、脂肪族不飽和結合を有するものを除く）である。置換基としては、ハロゲン原子、メチル基、エチル基等が挙げられる。
この１価炭化水素基としては、例えば、前記のＲ²〜Ｒ⁷が示す炭素数１〜１０のアルキル基として列挙した基の他に、フェニル基、トリフロロプロピル基等のハロゲン置換のアルキル基等が挙げられる。
これらの１価炭化水素の中でも、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基、トリフロロプロピル基が好ましく、メチル基、フェニル基がより好ましく、Ｒの一部又は全部がフェニル基であることが更に好ましい。

上記一般式（１）〜（９）中の、ａは２〜６の整数、ｂは１以上の整数、ｃは０〜４の整数である。ただ、ａは、好ましくは２〜３の整数、より好ましくは２であり、ｂは、好ましくは１〜５の整数、より好ましくは１〜３の整数であり、ｃは好ましくは０〜１の整数である。

上記一般式（１）〜（９）で表されるシラン系化合物（Ｄ）の中でも、粘着力と保持力のバランスの観点から、１分子中にＳｉＨ基を２つ有する化合物が好ましく、一般式（５）で表される化合物がより好ましい。

上記のシラン系化合物（Ｄ）は、公知の方法により製造することができる。例えば、上記式のＲがメチル基である場合、オクタメチルシクロテトラシロキサン及び／又はテトラメチルシクロテトラシロキサンと、末端基となる、ヘキサメチルジシロキサン、あるいは１，３−ジハイドロ−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン等のトリオルガノシリル基又はジオルガノハイドロジェンシロキシ基を含む化合物とを、硫酸、トリフルオロメタンスルホン酸、メタンスルホン酸等の触媒の存在下に、−１０℃〜＋４０℃程度の温度で平衡化させることによって容易に得ることができる。

粘着性組成物中のシラン系化合物（Ｄ）の含有量は、（Ｃ）成分の含有量に応じて適宜調整されるが、粘着力及び保持力を向上させる観点から、粘着剤組成物の全量に対して、好ましくは０．０５〜１０質量％、より好ましくは０．１〜５質量％、更に好ましくは０．５〜３質量％である。
また、（Ｃ）成分と（Ｄ）成分との質量比〔（Ｃ）／（Ｄ）〕としては、好ましくは６０／４０〜９８／２、より好ましくは７０／３０〜９５／５、更に好ましくは８０／２０〜９０／１０である。

＜白金系触媒（Ｅ）＞
粘着性組成物には、上記（Ｃ）及び（Ｄ）成分と共に、さらに白金系触媒（Ｅ）を含有することが好ましい。
粘着性組成物中に白金系触媒（Ｅ）を含有することで、（Ｃ）成分の化合物中に含まれる二重結合と（Ｄ）成分のヒドロシリル基との架橋反応を適度に促進させることができる。

白金系触媒としては、通常、付加硬化型の硬化に使用される公知のものを用いることができ、例えば、米国特許第２，９７０，１５０号明細書に記載の微粉末金属白金触媒、米国特許第２，８２３，２１８号明細書に記載の塩化白金酸触媒、米国特許第３，１５９，６０１号公報明細書及び米国特許第１５９，６６２号明細書に記載の白金と炭化水素との錯化合物、米国特許第３，５１６，９４６号明細書に記載の塩化白金酸とオレフィンとの錯化合物、米国特許第３，７７５，４５２号明細書及び米国特許第３，８１４，７８０号明細書に記載の白金とビニルシロキサンとの錯化合物等が挙げられる。
具体的には、白金の単体（白金黒）、塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−アルコール錯体、アルミナ、シリカ等の担体に白金を担持させたもの等が挙げられる。

粘着性組成物中の白金系触媒（Ｅ）の含有量は、（Ｃ）及び（Ｄ）成分の含有量に応じて適宜調整されるが、架橋反応を促進させ、架橋密度が適度で強度特性及び伸び特性に優れた重合体を得る観点から、粘着剤組成物の全量に対して、好ましくは０．００１〜５質量％、より好ましくは０．０１０〜３質量％、更に好ましくは０．０１５〜２質量％である。

＜その他の添加剤＞
粘着性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲において、更にその他の添加剤を含有してもよい。
その他の添加剤としては、例えば、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、樹脂安定剤、充填剤、顔料、増量剤等が挙げられる。これらの添加剤は、単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

光安定剤としては、例えば、ヒンダードアミン系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系の光安定剤等が挙げられる。
酸化防止剤としては、例えば、リン酸エステル系化合物等が挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール系化合物、オキサゾリックアシッドアミド化合物、ベンゾフェノン系化合物等が挙げられる。
樹脂安定剤としては、例えば、イミダゾール系樹脂安定剤、ジチオカルバミン酸塩系樹脂安定剤、リン系樹脂安定剤、硫黄エステル系樹脂安定剤等が挙げられる。

粘着性組成物中にこれらの添加剤を配合する場合、それぞれの添加剤の含有量は、粘着性組成物中、好ましくは０．０１〜８質量％、より好ましくは０．０２〜４質量％、更に好ましくは０．０３〜２質量％である。

また、粘着性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲において、上述の成分以外のその他の樹脂成分を含有してもよい。

〔剥離材〕
剥離材としては、剥離材用の基材の両面に剥離処理された剥離シートや、片面に剥離処理された剥離シート等が用いられ、剥離材用の基材上に剥離剤を塗布したもの等が挙げられる。
剥離材用の基材としては、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂等のポリエステル樹脂フィルム、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等のポリオレフィン樹脂フィルム等のプラスチックフィルム等が挙げられる。

剥離剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、オレフィン系樹脂、イソプレン系樹脂、ブタジエン系樹脂等のゴム系エラストマー、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等が挙げられる。

〔本発明の仮固定用粘着シートの製造方法〕
本発明の粘着シートの製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法により製造することができる。
例えば、上述の粘着性組成物に有機溶媒を加えた粘着性組成物の溶液を、公知の塗布方法により、基材フィルムや剥離材の剥離処理面の面上に塗布して製造する方法が挙げられる。当該有機溶媒としては、例えば、トルエン、酢酸エチル、メチルエチルケトン等が挙げられる。
有機溶媒を配合した場合の粘着性組成物の溶液の固形分濃度は、好ましくは１０〜６０質量％、より好ましくは１０〜４５質量％、更に好ましくは１５〜３０質量％である。１０質量％以上であれば、有機溶媒の使用量としては十分であり、６０質量％以下であれば、適度な粘度となり、優れた塗布作業性を有する溶液となり得る。

塗布方法としては、例えば、スピンコート法、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等が挙げられる。

なお、基材フィルムや剥離材の剥離処理面の面上に、上記の粘着性組成物の溶液を塗布し、塗布膜を形成した後、溶剤や低沸点成分の残留を防ぐために、塗布膜に対して、８０〜１５０℃の温度で、３０秒〜５分間加熱することが好ましい。

具体的な製造方法としては、粘着シートの構成により以下の方法が挙げられる。
図１（ａ）、（ｂ）に示された、基材フィルムの片面に粘着剤層を有する粘着シートは、例えば、基材フィルム１１の一方の面上に、上述の粘着性組成物の溶液を直接塗布して粘着剤層１２を形成することで、粘着シート１を作製することができる。また、形成した粘着剤層１２上に、さらに剥離材１３を積層すれば、粘着シート１’とすることができる。
また、粘着シート１’は、剥離材１３の剥離処理が施された面上に、上述の粘着性組成物の溶液を直接塗布して粘着剤層１２を形成し、該粘着剤層１２と基材フィルム１１とを貼り合わせて作製することができる。そして、この粘着シート１’の剥離材１３を除去すれば、粘着シート１を得ることができる。

また、図１（ｃ）、（ｄ）に示された、基材フィルムの両面に粘着剤層を有する粘着シートは、例えば、基材フィルム１１の両面に、上述の粘着性組成物の溶液を直接塗布して粘着剤層１２ａ、１２ｂを形成することで、粘着シート２を作製することができる。また、形成した粘着剤層１２ａ、１２ｂ上に、さらに剥離材１３ａ、１３ｂを積層すれば、粘着シート２’とすることができる。
また、粘着シート２’は、剥離材１３の剥離処理が施された面上に、上述の粘着性組成物の溶液を直接塗布して粘着剤層を形成したものを２つ用意し、基材フィルム１１の両面に、それぞれ粘着剤層を貼り合わせて作製することができる。そして、この粘着シート２’の剥離材１３ａ、１３ｂを除去すれば、粘着シート２を得ることができる。

〔本発明の仮固定用粘着シートの用途〕
本発明の仮固定用粘着シートは、有機溶剤や水に対する耐溶剤性及び耐熱性に優れ、良好な易剥離性を有する。
そのため、本発明の仮固定用粘着シートは、エッチング処理、洗浄処理、熱処理、露光処理、エネルギー線照射処理のいずれか１つ以上の処理を含む電子材料の製造工程において、当該処理を行う対象である電子部品と基板とを仮固定するために用いられる粘着シートとして好適である。
上記処理の中でも、本発明の粘着シートの上記特性を鑑みると、エッチング処理、洗浄処理、熱処理の際に、電子材料と基板とを仮固定するための粘着シートとしてより好適である。
なお、電子材料としては、例えば、窒化ケイ素膜、酸化ケイ素膜等のガスバリア膜や導電膜を有する電子材料等が挙げられる。また、本発明の粘着シートを用いて、仮固定される基板としては、ガラス板等が挙げられる。

以下の実施例及び比較例で用いた各成分の物性値は、以下に示す方法により測定した値である。

＜重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）＞
ゲル浸透クロマトグラフ装置（東ソー株式会社製、製品名「ＨＬＣ−８０２０」）を用いて、下記の条件下で測定し、標準ポリスチレン換算にて測定した値を用いた。
（測定条件）
・カラム：「ＴＳＫｇｕａｒｄｃｏｌｕｍｎＨＸＬ−Ｈ」「ＴＳＫｇｅｌＧＭＨＸＬ（×２）」「ＴＳＫｇｅｌＧ２０００ＨＸＬ」（いずれも東ソー株式会社製）
・カラム温度：４０℃
・展開溶媒：テトラヒドロフラン
・流速：１．０ｍＬ／ｍｉｎ

＜軟化点＞
ＪＩＳＫ２５３１に準拠して測定した値を用いた。

［実施例１］
（１）粘着性組成物の溶液の調製
（Ａ１）成分として、「オパノールＢ５０（商品名、ＢＡＳＦ社製、重量平均分子量３４万）」を１００質量部（固形分比）、（Ａ２）成分として、「オパノールＢ３０（商品名、ＢＡＳＦ社製、重量平均分子量２０万）」を１０質量部（固形分比）、（Ｂ）成分として、「アルコンＰ−１２５（商品名、荒川化学工業社製、水素化石油樹脂、軟化点１２５℃）」を２０質量部（固形分比）配合して粘着性組成物（１）を得、トルエンで溶解して、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（１）の溶液を調製した。
（２）粘着シートの作製
次に、剥離フィルム（リンテック社製、製品名「ＳＰ−ＰＥＴ３８１０３１」、厚み３８μｍ、表面がシリコーン剥離処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム）の剥離処理面上に、調製した粘着性組成物（１）の溶液を乾燥後の膜厚が２０μｍになるように塗布し、１００℃で１分間乾燥させて粘着剤層を形成した。
そして、形成した粘着剤層の面上に、ポリエチレンナフタレートからなる厚さ１００μｍのポリエチレンナフタレートフィルム（帝人社製、商品名「テオネックスＱ６５ＦＡ」）を貼り合わせ、粘着シートを作製した。

［実施例２］
（Ａ１）成分として、「オパノールＢ５０（商品名、ＢＡＳＦ社製、重量平均分子量３４万）」を１００質量部（固形分比）、（Ａ２）成分として、「オパノールＢ３０（商品名、ＢＡＳＦ社製、重量平均分子量２０万）」を１０質量部（固形分比）、（Ｂ）成分として、「アルコンＰ−１２５（商品名、荒川化学工業社製、水素化石油樹脂、軟化点１２５℃）」を１０質量部（固形分比）、（Ｃ）成分として、「ＰＸ−０６２（商品名、三井化学製、エチレン／プロピレン／５−ビニル−２−ノルボルネン＝５０．０／４５．３／４．７（質量％）の共重合体、数平均分子量３１６０）」を２０質量部（固形分比）、（Ｄ）成分として、「Ｘ９３−１２６０（商品名、信越化学工業社製、１分子中にＳｉＨ基を２つ有するシラン系化合物（上記一般式（５）においてｂ＝１の場合の化合物））」を２．６質量部（固形分比）、及び（Ｅ）成分として、「Ｘ９３−１４１０（商品名、三井化学社製、白金系触媒）」を０．０８質量部（固形分比）配合して粘着性組成物（２）を得、トルエンで溶解して、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（２）の溶液を調製した。
そして、調製した粘着性組成物（２）の溶液を用いて、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

［比較例１］
ｎ−ブチルアクリレート３０質量部、２−エチルヘキシルアクリレート７０質量部、メチルメタクリレート７質量部、アクリル酸３質量部、及び２−ヒドロキシプロピルアクリレート０．９質量部を用いて合成して得られた、アクリル酸エステル共重合体（１）の酢酸エチル溶液（固形分濃度４５質量％、共重合体の重量平均分子量５０万）１００質量部（固形分）に対して、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートの酢酸エチル溶液、固形分７５質量％）を３質量部（固形分比）配合し、酢酸エチルを加え、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（３）の溶液を調製した。
そして、調製した粘着性組成物（３）の溶液を用いて、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

［比較例２］
ｎ−ブチルアクリレート９０質量部及びアクリル酸１０質量部を用いて合成して得られた、アクリル酸エステル共重合体（２）の酢酸エチル溶液（固形分濃度３０質量％、共重合体の重量平均分子量５０万）１００質量部（固形分）に対して、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートの酢酸エチル溶液、固形分７５質量％）を０．５質量部（固形分比）配合し、酢酸エチルを加え、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（４）の溶液を調製した。
そして、調製した粘着性組成物（４）の溶液を用いて、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

［比較例３］
ｎ−ブチルアクリレート６１質量部、メチルメタクリレート１８質量部、メチルアクリレート１２質量部、スチレン３．５質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５．０質量部、及びアクリル酸０．１５質量部を用いて合成して得られた、アクリル酸エステル共重合体（３）の酢酸エチル溶液（固形分濃度４０質量％、共重合体の重量平均分子量４５万）１００質量部（固形分）に対して、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートの酢酸エチル溶液、固形分７５質量％）４質量部（固形分比）、及び別のイソシアネート系架橋剤（武田薬品工業社製、商品名「Ｄ−１１０Ｎ」、固形分濃度７５質量％）３質量部（固形分比）を配合し、酢酸エチルを加え、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（５）の溶液を調製した。
そして、調製した粘着性組成物（５）の溶液を用いて、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

［比較例４］
ｎ−ブチルアクリレート９８質量部、及びアクリル酸２質量部を用いて合成して得られた、アクリル酸エステル共重合体（４）の酢酸エチル溶液（固形分濃度４０質量％、共重合体の重量平均分子量１００万）１００質量部（固形分）に対して、粘着付与樹脂として、「ハリエスターＴＦ（商品名、ハリマ化成社製、ロジンエステル系樹脂、軟化点７５〜８５℃）」５０質量部（固形分比）、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、製品名「コロネートＬ」、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートの酢酸エチル溶液、固形分７５質量％）０．７５質量部（固形分比）を配合し、酢酸エチルを加え、固形分濃度２０質量％の粘着性組成物（６）の溶液を調製した。
そして、調製した粘着性組成物（６）の溶液を用いて、実施例１と同様にして、粘着シートを作製した。

以上の実施例及び比較例で作製した粘着シートを用いて、下記の試験を行い、粘着シートの各種特性を評価した。その結果を表１に示す。

＜試験１：耐溶剤性（溶剤浸漬）＞
アセトン、イソプロピルアルコール（ＩＰＡ）及びエッチャントに対する耐溶剤性の試験に用いるガラス板上に、油性マジック（ゼブラ社製、商品名「マッキー極細」）で、縦４０ｍｍ×横２０ｍｍの枠内に、縦５ｍｍ及び横４ｍｍおきに４０個の格子を書き込み、剥離フィルムを剥がして粘着剤層を表出させた実施例及び比較例で作製した粘着シートを、油性マジックの書き込み部分のすべて覆われるように、粘着剤層をガラス板に貼付し、耐溶剤性試験板を作製した。
また、蒸留水に対する耐溶剤性の試験に用いるガラス板上には、縦４０ｍｍ×横２０ｍｍに裁断した薬包紙（博愛社社製、商品名「パラピン」）を載せ、その上から、剥離フィルムを剥がして粘着剤層を表出させた実施例及び比較例で作製した粘着シートを、薬包紙の全面が覆われるように、粘着剤層をガラス板に貼付し、耐溶剤性試験板を作製した。
そして、上記の耐溶剤性試験板を、アセトン、ＩＰＡ、エッチャント（関東化学社製、商品名「ＳＥＡ−１」）、及び蒸留水の各溶剤中に１時間浸漬後、試験板の油性マジックの書き込み部分のにじみ、もしくは薬包紙の濡れを、目視で観察し、以下の基準により、各溶剤中に浸漬した際の粘着シートの耐溶剤性を評価した。
Ａ：溶剤の浸入が見られなかった。
Ｂ：わずかに溶剤の浸入が見られたが、浮きや剥がれは見られなかった。
Ｃ：溶剤の浸入が見られ、浮きや剥がれが見られた。

＜試験２：耐溶剤性（超音波洗浄）＞
上記の試験１で作製した耐溶剤性試験板を、ＩＰＡもしくは蒸留水の各溶剤中に１時間浸漬後、超音波洗浄装置（ヤマト科学社製、商品名「５５１０Ｊ−ＤＴＨ」）にて試験片に超音波を１０分間かけた。この操作を３度行った後、試験板の油性マジックの書き込み部分のにじみ、もしくは薬包紙の濡れを、目視で観察し、以下の基準により、各溶剤中で超音波処理を行った際の粘着シートの耐溶剤性を評価した。
Ａ：溶剤の浸入が見られなかった。
Ｂ：わずかに溶剤の浸入が見られたが、浮きや剥がれは見られなかった。
Ｃ：溶剤の浸入が見られ、浮きや剥がれが見られた。

＜試験３：耐熱性＞
剥離フィルムを剥がして粘着剤層を表出させた実施例及び比較例で作製した粘着シートの粘着剤層をガラス板に貼付し、耐熱性試験板を作製した。
この耐熱性試験板を１５０℃で１時間加熱した後、試験板の外観を目視で観察し、以下の基準により、粘着シートの耐熱性を評価した。
Ａ：膨れが見られなかった。
Ｆ：膨れが見られた。

＜試験４：易剥離性＞
試験３終了後、室温（２５℃）まで冷却した耐熱性試験板に貼着している粘着シートを手で剥がし、ガラス板上の糊残りの有無を目視で観察し、以下の基準により、易剥離性を評価した。
Ａ：ガラス板上に糊残りが生じず、きれいに剥がせた。
Ｆ：ガラス板上に糊残りが生じた。

表１の結果より、実施例１及び２の粘着シートは、耐溶剤性及び耐熱性に優れ、易剥離性も良好であることが分かる。
一方、比較例１、２、４の粘着シートは、耐溶剤性は比較的良好であるものの、耐熱性が劣り、例えば、熱処理を伴う電子部品の製造工程においては不向きである。また、比較例３の粘着シートは、耐溶剤性が劣る結果となった。

本発明の仮固定用粘着シートは、電子部品の製造工程において、エッチング処理、洗浄処理、熱処理、露光処理、エネルギー線照射処理等の処理を行う前に、窒化ケイ素膜、酸化ケイ素膜等のガスバリア膜や導電膜を有する電子材料をガラス板や基板等に一時的に固定するための粘着シートとしての用途として好適である。

１、１’、２、２’ 粘着シート
１１基材フィルム
１２、１２ａ、１２ｂ粘着剤層
１３、１３ａ、１３ｂ剥離材

Claims

ポリイミド及びポリエチレンナフタレートの少なくとも一方を８０質量％以上含む基材フィルムの少なくとも一方の面上に、ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）、及び粘着付与樹脂（Ｂ）を含む粘着性組成物からなる粘着剤層を有し、エッチング処理、洗浄処理、熱処理、露光処理、エネルギー線照射処理のいずれか１つ以上の処理を含む電子部品の製造工程において、当該処理を行う対象である電子部品と基板とを仮固定するために用いられる、仮固定用両面粘着シート。
ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）が、重量平均分子量の異なる２種以上のポリイソブチレン系樹脂を含む、請求項１に記載の仮固定用両面粘着シート。
ポリイソブチレン系樹脂（Ａ）が、重量平均分子量２７万〜４８万のポリイソブチレン系樹脂（Ａ１）、及び重量平均分子量１０万〜２５万のポリイソブチレン樹脂（Ａ２）を含む、請求項１又は２に記載の仮固定用両面粘着シート。
前記粘着性組成物中のポリイソブチレン系樹脂（Ａ）の含有量が、粘着剤組成物の全量に対して、５０質量％以上である、請求項１〜３のいずれかに記載の仮固定用両面粘着シート。
前記粘着性組成物中の粘着付与樹脂（Ｂ）の含有量が、（Ａ）成分１００質量部に対して、３〜５０質量部である、請求項１〜４のいずれかに記載の仮固定用両面粘着シート。
前記粘着性組成物中のポリイソブチレン系樹脂（Ａ）及び粘着付与樹脂（Ｂ）の合計含有量が、粘着剤組成物の全量に対して、７０〜１００質量％である、請求項１〜５のいずれかに記載の仮固定用両面粘着シート。
粘着付与樹脂（Ｂ）が、ロジン系樹脂、水素化ロジン樹脂、テルペン系樹脂、水素化テルペン系樹脂、及び水素化石油樹脂から選ばれる１種以上である、請求項１〜６のいずれかに記載の仮固定用両面粘着シート。