JP6094105B2 - アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ - Google Patents

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015087444A (ja) 2013-10-29 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6550207B2 (ja) 2013-10-29 2019-07-24 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
US20160124214A1 (en) * 2014-10-31 2016-05-05 Intel Corporation Electromagnetic mems device
DE102015217935A1 (de) * 2015-09-18 2017-03-23 Robert Bosch Gmbh Mikromechanische Aktorvorrichtung und Verfahren zum Verkippen einer mikromechanischen Aktorvorrichtung
US9664897B1 (en) 2015-10-14 2017-05-30 Intel Corporation Apparatus with a rotatable MEMS device
WO2021106488A1 (ja) * 2019-11-27 2021-06-03 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 光制御システム及び光学反射素子
KR20220157568A (ko) 2021-05-21 2022-11-29 정남수 산업용 제품 평탄화 교정장치
KR20220157566A (ko) 2021-05-21 2022-11-29 정남수 산업용 제품 평탄화 교정방법

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2987750B2 (ja) * 1995-05-26 1999-12-06 日本信号株式会社 プレーナ型電磁アクチュエータ
WO1997033186A1 (fr) * 1996-03-08 1997-09-12 Nihon Shingo Kabushiki Kaisha Barriere optique
US6188504B1 (en) * 1996-06-28 2001-02-13 Olympus Optical Co., Ltd. Optical scanner
US6108118A (en) * 1998-07-09 2000-08-22 Olympus Optical Co., Ltd. Optical deflector
US6989614B2 (en) * 2002-08-21 2006-01-24 Canon Kabushiki Kaisha Oscillating device
US6844951B2 (en) * 2002-12-23 2005-01-18 Lexmark International, Inc. Stationary coil oscillator scanning system
JP4376527B2 (ja) * 2003-03-03 2009-12-02 日本信号株式会社 光走査装置
JP2004266150A (ja) * 2003-03-03 2004-09-24 Miyota Kk プレーナ型電磁アクチュエータ
KR100644896B1 (ko) * 2005-01-19 2006-11-14 엘지전자 주식회사 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러 및 이를 사용한광스캐닝 장치
JP2008040353A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Seiko Epson Corp 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置
JP4251206B2 (ja) * 2006-09-20 2009-04-08 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP4329831B2 (ja) * 2007-03-12 2009-09-09 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
JP2009042579A (ja) * 2007-08-10 2009-02-26 Canon Inc 光偏向装置、及び揺動体のジッタ抑制方法
JP2009069339A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Seiko Epson Corp アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナ、および画像形成装置
JP2010181586A (ja) * 2009-02-05 2010-08-19 Toyota Central R&D Labs Inc 光学装置
JP5402124B2 (ja) 2009-03-18 2014-01-29 セイコーエプソン株式会社 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置
CN201654329U (zh) * 2009-12-04 2010-11-24 刘晓华 微型自锁定双轴光开关
JP5630015B2 (ja) * 2009-12-28 2014-11-26 株式会社ニコン 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法
JP5447272B2 (ja) * 2010-08-05 2014-03-19 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーおよび画像形成装置
JP5829391B2 (ja) * 2010-09-22 2015-12-09 日本信号株式会社 光走査装置及びこれを用いた光測距装置

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