JP2014056132A5 - - Google Patents
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012201300A JP6094105B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
| CN201310406472.2A CN103676139B (zh) | 2012-09-13 | 2013-09-09 | 致动器、光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器 |
| KR1020130109669A KR20140035278A (ko) | 2012-09-13 | 2013-09-12 | 액츄에이터, 광 스캐너, 화상 표시 장치, 헤드 마운트 디스플레이 |
| US14/026,365 US9423609B2 (en) | 2012-09-13 | 2013-09-13 | Actuator, light scanner, image display device, and head mount display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012201300A JP6094105B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014056132A JP2014056132A (ja) | 2014-03-27 |
| JP2014056132A5 true JP2014056132A5 (enExample) | 2015-10-15 |
| JP6094105B2 JP6094105B2 (ja) | 2017-03-15 |
Family
ID=50233034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012201300A Expired - Fee Related JP6094105B2 (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | アクチュエーター、光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9423609B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6094105B2 (enExample) |
| KR (1) | KR20140035278A (enExample) |
| CN (1) | CN103676139B (enExample) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015087444A (ja) | 2013-10-29 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| JP6550207B2 (ja) | 2013-10-29 | 2019-07-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ |
| US20160124214A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Intel Corporation | Electromagnetic mems device |
| DE102015217935A1 (de) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Aktorvorrichtung und Verfahren zum Verkippen einer mikromechanischen Aktorvorrichtung |
| US9664897B1 (en) | 2015-10-14 | 2017-05-30 | Intel Corporation | Apparatus with a rotatable MEMS device |
| WO2021106488A1 (ja) * | 2019-11-27 | 2021-06-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光制御システム及び光学反射素子 |
| KR20220157568A (ko) | 2021-05-21 | 2022-11-29 | 정남수 | 산업용 제품 평탄화 교정장치 |
| KR20220157566A (ko) | 2021-05-21 | 2022-11-29 | 정남수 | 산업용 제품 평탄화 교정방법 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2987750B2 (ja) * | 1995-05-26 | 1999-12-06 | 日本信号株式会社 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
| WO1997033186A1 (fr) * | 1996-03-08 | 1997-09-12 | Nihon Shingo Kabushiki Kaisha | Barriere optique |
| US6188504B1 (en) * | 1996-06-28 | 2001-02-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical scanner |
| US6108118A (en) * | 1998-07-09 | 2000-08-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical deflector |
| US6989614B2 (en) * | 2002-08-21 | 2006-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Oscillating device |
| US6844951B2 (en) * | 2002-12-23 | 2005-01-18 | Lexmark International, Inc. | Stationary coil oscillator scanning system |
| JP4376527B2 (ja) * | 2003-03-03 | 2009-12-02 | 日本信号株式会社 | 光走査装置 |
| JP2004266150A (ja) * | 2003-03-03 | 2004-09-24 | Miyota Kk | プレーナ型電磁アクチュエータ |
| KR100644896B1 (ko) * | 2005-01-19 | 2006-11-14 | 엘지전자 주식회사 | 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러 및 이를 사용한광스캐닝 장치 |
| JP2008040353A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置 |
| JP4251206B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2009-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
| JP4329831B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
| JP2009042579A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Canon Inc | 光偏向装置、及び揺動体のジッタ抑制方法 |
| JP2009069339A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナ、および画像形成装置 |
| JP2010181586A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光学装置 |
| JP5402124B2 (ja) | 2009-03-18 | 2014-01-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置 |
| CN201654329U (zh) * | 2009-12-04 | 2010-11-24 | 刘晓华 | 微型自锁定双轴光开关 |
| JP5630015B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-11-26 | 株式会社ニコン | 空間光変調器、露光装置およびそれらの製造方法 |
| JP5447272B2 (ja) * | 2010-08-05 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
| JP5829391B2 (ja) * | 2010-09-22 | 2015-12-09 | 日本信号株式会社 | 光走査装置及びこれを用いた光測距装置 |
-
2012
- 2012-09-13 JP JP2012201300A patent/JP6094105B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-09-09 CN CN201310406472.2A patent/CN103676139B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-09-12 KR KR1020130109669A patent/KR20140035278A/ko not_active Withdrawn
- 2013-09-13 US US14/026,365 patent/US9423609B2/en not_active Expired - Fee Related