JP2014056132A5 - - Google Patents
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Description
この構成によれば、効率よく反射部が駆動するアクチュエーターが搭載されたヘッドマウントディスプレイ(HMD)を提供することできる。
[適用例12] 上記適用例にかかるアクチュエーターは、前記反対側の面は、前記可動板の前記反射部が固着される面に対向することを特徴とする。
[適用例12] 上記適用例にかかるアクチュエーターは、前記反対側の面は、前記可動板の前記反射部が固着される面に対向することを特徴とする。
Claims (12)
- 可動板と、
前記可動板を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動板に固着され、光を反射する反射面を有する反射部と、
前記反射部の前記反射面とは反対側の面に設けられたコイルと、を備えたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動板の板厚方向からの平面視において、前記反射部の面積が前記可動板の面積よりも大きいことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1または請求項2に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動板に設けられた導通接続部を備え、
前記導通接続部上に設けられ、前記コイルと前記導通接続部とを電気的に接続させるコンタクト部を有することを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第1軸部に、前記第1軸部に生じる応力を検出する第1検出部が設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動板の周囲に配置され、かつ、前記第1軸部が接続される可動枠と、
前記可動枠に接続され、かつ、前記第1軸に交差する第2軸周りに前記可動枠を揺動可能に支持する第2軸部と、を備えたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項4に記載のアクチュエーターにおいて、
前記可動枠に、さらにコイルが設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項5または請求項6に記載のアクチュエーターにおいて、
前記平面視において、前記反射部が前記可動枠を覆って設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 請求項5から請求項7のいずれか一項に記載のアクチュエーターにおいて、
前記第2軸部に、前記第2軸部に生じる応力を検出する第2検出部が設けられたことを特徴とするアクチュエーター。 - 可動板と、
前記可動板を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動板に固着され、光を反射する反射面を有する反射部と、
前記反射部の前記反射面とは反対側の面に設けられたコイルと、を備えたことを特徴とする光スキャナー。 - 可動板と、
前記可動板を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動板に固着され、光を反射する反射面を有する反射部と、
前記反射部の前記反射面とは反対側の面に設けられたコイルと、を有するアクチュエーターと、
前記アクチュエーターに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とする画像表示装置。 - 可動板と、
前記可動板を第1軸周りに揺動可能に支持する第1軸部と、
前記可動板に固着され、光を反射する反射面を有する反射部と、
前記反射部の前記反射面とは反対側の面に設けられたコイルと、を備えたアクチュエーターと、
前記アクチュエーターに対して光を照射する照射部と、を備えたことを特徴とするヘッドマウントディスプレイ。 - 請求項1に記載のアクチュエーターにおいて、
前記反対側の面は、前記可動板の前記反射部が固着される面に対向することを特徴とするアクチュエーター。
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KR100644896B1 (ko) * | 2005-01-19 | 2006-11-14 | 엘지전자 주식회사 | 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러 및 이를 사용한광스캐닝 장치 |
JP2008040353A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置 |
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JP2009042579A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Canon Inc | 光偏向装置、及び揺動体のジッタ抑制方法 |
JP2009069339A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、アクチュエータの製造方法、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2010181586A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Toyota Central R&D Labs Inc | 光学装置 |
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JP5447272B2 (ja) * | 2010-08-05 | 2014-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
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