JP6086269B2 - セラミック電子部品およびその製造方法 - Google Patents

セラミック電子部品およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6086269B2
JP6086269B2 JP2015500178A JP2015500178A JP6086269B2 JP 6086269 B2 JP6086269 B2 JP 6086269B2 JP 2015500178 A JP2015500178 A JP 2015500178A JP 2015500178 A JP2015500178 A JP 2015500178A JP 6086269 B2 JP6086269 B2 JP 6086269B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
internal electrode
ceramic
electrode
ceramic layer
reaching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015500178A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2014125930A1 (ja
Inventor
尚大 平尾
尚大 平尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of JPWO2014125930A1 publication Critical patent/JPWO2014125930A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6086269B2 publication Critical patent/JP6086269B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/012Form of non-self-supporting electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Description

本発明は、セラミック電子部品およびその製造方法に関し、詳しくは、セラミック層と内部電極が交互に積層された領域を備えたセラミック電子部品およびその製造方法に関する。
例えば、積層セラミックコンデンサおよび積層圧電素子などの積層セラミック電子部品は、セラミック層と内部電極が交互に積層された構造領域を備えている。
このような積層セラミック電子部品の製造方法として、特許文献1に記載されているような方法が提案されている。
この特許文献1の積層セラミック電子部品の製造方法について以下に簡単に説明する。この方法によれば、まず、図26に示すように、インクジェットプリンタにより導電性インクを、セラミック焼成体を生成するグリーンシート118に印刷して電極塗膜120を形成する。
それから、電極塗膜120を乾燥させ、導電性インクによる電極塗膜120が印刷されたグリーンシート118を所定枚数積層し、得られる未焼成セラミック積層体119を、500〜1400℃で中性もしくは還元雰囲気で焼成する。これにより、セラミック誘電体層112を介して内部電極114が積層された構造を有するセラミック素体121を得る。
その後、セラミック素体に外部電極116を形成する。これにより、積層セラミック電子部品(積層セラミックコンデンサ)110が得られる。
しかしながら、上記従来の積層セラミック電子部品の製造方法の場合、以下のような問題点がある。
(1)小型化が困難である。すなわち、チップサイズのグリーンシートを作製するには、加工上の限界があり、長さ0.4mm、幅0.2mm以下の寸法にまで小型化することは困難である。
(2)ハンドリングが困難である。上記(1)で述べたような小型サイズ(長さ0.4mm、幅0.2mm以下)のチップをハンドリングするには、精密なハンドリング機構が必要となり、設備コストの増大や、生産性の低下を招くおそれがある。
(3)チップにコーナー部があるため、欠けが発生しやすい。そのため、不良率の上昇を招くおそれがある。
特開2009−283627号公報
本発明は、上記課題を解決するものであり、小型化が容易で、ハンドリングに困難性が少なく、チップの欠けが発生しにくいセラミック電子部品およびその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と
を備えていることを特徴としている。
なお、本発明において、「平面形状が円形のセラミック層」、平面形状が円形の内部電極」というときの円形とは、文字どおりの真円形状のものに限られるものではなく、真円に近い円形のものを含む概念である。
また、本発明の他のセラミック電子部品の製造方法は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と
を備えていることを特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出された構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と、
前記積層体に、前記第1内部電極に達する第1ビアホールと、前記第2内部電極に達する第2ビアホールを形成する工程と、
前記第1ビアホールおよび第2ビアホールに導体を充填する工程と
を備えていることを特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出された構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と、
前記積層体に、前記第1内部電極に達する第1ビアホールと、前記第2内部電極に達する第2ビアホールを形成する工程と、
前記第1ビアホールおよび第2ビアホールに導体を充填する工程と
を備えていることを特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されたセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と
を備えていることを特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品の製造方法は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されたセラミック電子部品の製造方法であって、
セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と
を備えていることを特徴としている。
なお、本発明のセラミック電子部品の製造方法においては、焼成後に、外部と導通しない浮遊内部電極となる、未焼成浮遊内部電極パターンを形成する工程を備えていることが好ましい。
前記セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段および、前記電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段が、インクジェットプリンタであることが好ましい。
印刷手段としてインクジェットプリンタを用いることにより、効率よく、形状精度の高い未焼成セラミックパターンおよび未焼成内部電極パターンを形成することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
なお、本発明においては、非接触式の印刷手段として、インクジェットプリンタ以外にも、微量のインクを供給することが可能なノズルディスペンサなどのマイクロディスペンサを用いることも可能であり、本発明の効果が損なわれない範囲において、さらに他の印刷手段を用いることも可能である。
本発明のセラミック電子部品の製造方法においては、前記セラミック電子部品が、前記第1内部電極と前記第2内部電極の少なくとも一部が、前記セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在している、積層型セラミック電子部品であることが好ましい。
本発明は、第1内部電極と第2内部電極の少なくとも一部が、セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在する積層型セラミック電子部品を製造する場合に特に有意義であり、セラミック層や内部電極が薄層化され、小型で高性能なセラミック電子部品を提供することができる。
また、本発明のセラミック電子部品は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有していること
を特徴としている。
また、本発明の他のセラミック電子部品は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部にまで達し、
長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部にまで達し、
前記第1内部電極の、前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
前記第2内部電極の、前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有し、かつ、
前記第1内部電極の両端部の、前記略半円形状部分の半径よりも、前記セラミック層の両端部の前記略半円形状部分の半径の方が大きく、前記第2内部電極の両端部の、前記略半円形状部分の半径よりも、前記セラミック層の両端部の前記略半円形状部分の半径の方が大きいこと
を特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、
前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出されていること
を特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、
前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出されていること
を特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品は、
平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されていること
を特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品は、
両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されていること
を特徴としている。
また、本発明のセラミック電子部品においては、前記セラミック電子部品が、前記第1内部電極と前記第2内部電極の少なくとも一部が、前記セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在している、積層型セラミック電子部品であることが好ましい。
本発明は、第1内部電極と第2内部電極の少なくとも一部が、セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在する積層型セラミック電子部品にも適用することが可能であり、そのような積層型にすることにより、小型で高性能なセラミック電子部品を提供することが可能になる。
また、前記第1および第2外部電極と導通しない浮遊内部電極を備えた構成とすることも可能である。
本発明のセラミック電子部品の製造方法は、上述のような構成を備えており、セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後にセラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、内部電極用材料を含む電極ペーストを、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程とを備えているので、円形のセラミック層および、同じく円形の第1、第2内部電極を、スクリーン印刷やグラビア印刷などの印刷版を用いる接触式の印刷方法、あるいは、マスクやレジストパターンを必要とする塗布方法などを用いることなく、効率よく形成することが可能になるとともに、内部電極やセラミック層の薄型化を図ることが可能になる。また、セラミック層や内部電極層を積層するための積層機が不要になり、セラミック電子部品を生産性よく製造することが可能になる。
また、上述のように薄いセラミックグリーンシートを取り扱ういわゆる積層工法を用いることが不要で、積層チップの状態でハンドリングすることができるため、ハンドリング性に優れている。
また、本発明の他のセラミック電子部品の製造方法は、セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状のセラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、内部電極用材料を含む電極ペーストを、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程とを備えているので、長円形状のセラミック層および、同じく長円形状の第1および第2内部電極を、スクリーン印刷やグラビア印刷などの印刷版を用いる接触式の印刷方法、あるいは、マスクやレジストパターンを必要とする塗布方法などを用いることなく、効率よく形成することが可能になるとともに、内部電極やセラミック層の薄型化を図ることが可能になる。
また、セラミック層や内部電極層を積層するための積層機が不要になり、セラミック電子部品を生産性よく製造することが可能になる。
また、本発明のセラミック電子部品は、上述のような構成を備えており、セラミック層、第1および第2内部電極が平面形状が円形であることから、チップも平面形状が円形となり、角がないため、欠けが発生しにくく、信頼性の高いセラミック電子部品を提供することができる。また、フィーダーなどで供給する際に、引っかかって搬送が妨げられることがなく、取り扱い性にも優れている。
また、上述の円形の内部電極は、セラミック層、第1および第2内部電極は、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用いて印刷形成するのに適しており、例えばインクジェットプリンタを用いた印刷方法を適用した場合、セラミック層、第1および第2内部電極の薄型化を図ることが可能になるとともに、直径数十μm程度の小型のセラミック電子部品を効率よく得ることができる。
また、本発明の他のセラミック電子部品は、第1内部電極および第2内部電極が長円形状を有し、かつ、セラミック層も長円形状を有しているとともに、第1内部電極の第1領域にまで達した部分において、第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、第2内部電極の第2領域にまで達した部分において、第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有しており、この構成のセラミック電子部品も、セラミック層、第1および第2内部電極の形成には、インクジェットプリンタなどの非接触式の印刷手段を用いて印刷形成する方法を適用することが可能であり、その場合には、第1および第2内部電極の薄型化を図ることが可能になるとともに、幅が数十μm程度の小型のセラミック電子部品を効率よく得ることができる。
また、セラミック層および内部電極を長円形状(帯状)に形成することにより、内部電極および誘電体の面積の大きい積層体とすることができるため、取得できる静電容量の大きい積層セラミックコンデンサを得ることができる。また、内部電極および圧電体の面積の大きい積層体とすることができるため、変位量の大きい積層圧電体を得ることができる。
さらに、内部電極および誘電体の面積を容易に増やすことができることから、同一容量の丸型の積層セラミックコンデンサまたは積層圧電体と比べて、薄型化が可能になる。
なお、本発明のセラミック電子部品においては、内部電極をビアホール導体を介して外部に引き出すようにすることも可能である。
その場合、構造や製造方法の自由度を向上させることが可能になるとともに、積層体の側面に第1内部電極および第2内部電極を露出させる必要がなくなることから、耐湿性を向上させることが可能になる。
また、本発明のセラミック電子部品においては、内部電極の露出した部分をそのまま外部電極として機能させるようにすることも可能である。
(a)は本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図、(b)は正面断面図である。 (a)は実施形態1の積層セラミックコンデンサを構成する第1内部電極の配設態様を示す平面図、(b)は第2内部電極の配設態様を示す平面図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態1にかかる積層セラミックコンデンサの製造工程で作製した未焼成の積層体を示す正面断面図である。 (a)は本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図、(b)は正面断面図である。 (a)は実施形態2の積層セラミックコンデンサを構成する第1内部電極の配設態様を示す平面図、(b)は第2内部電極の配設態様を示す平面図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態2にかかる積層セラミックコンデンサの製造工程で作製した未焼成の積層体を示す正面断面図である。 (a)は本発明のさらに他の実施形態(実施形態3)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図、(b)は正面断面図である。 本発明の実施形態3にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための平面図である。 (a)は本発明のさらに他の実施形態(実施形態4)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図、(b)は正面断面図である。 本発明のさらに他の実施形態(実施形態5)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図である。 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 本発明の実施形態5にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図である。 従来の積層セラミック電子部品の製造方法を示す図である。
以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
[実施形態1]
図1(a)は本発明の一実施形態(実施形態1)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図であり、図1(b)は正面断面図である。また、図2(a)は積層セラミックコンデンサを構成する第1内部電極の配設態様を示す平面図、図2(b)は第2内部電極の配設態様を示す平面図である。
この実施形態1のセラミック電子部品は、図1(a),(b)に示すように、 平面形状が円形の積層セラミックコンデンサである。そして、この積層セラミックコンデンサは、複数の第1内部電極1および第2内部電極2が、平面形状が円形のセラミック層3を介して互いに対向するように配設された構造を有する、平面形状が円形の積層体(チップ)4を備えており、積層体4の互いに対向する領域には、側面から上下面に回り込むように配設された第1外部電極5a、第2外部電極5bを備えている。
第1内部電極1は、図2(a)に示すように、所定の周縁部1aが、セラミック層3の周縁部所定領域である第1領域3aにまで達しており、また、図2(b)に示すように、第2内部電極2は、所定の周縁部2aが、セラミック層3の周縁部所定領域である第2領域3bにまで達している。
そして、第1内部電極1の、上記第1領域3aにまで達した部分(積層体4の外周面に露出している部分)において、第1内部電極1と導通するように第1外部電極5aが配設され、第2内部電極2の、上記第2領域3bにまで達した部分において、第2内部電極2と導通するように第2外部電極5bが配設されている。
次に、この積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
(1)図3に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、上記積層体4(図1)の形状に対応する円形のパターンとなるように印刷する。
それから、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる平面形状が円形の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(2)次に、図4に示すように、円形のセラミックパターン13上に、インクジェットプリンタを用いて、内部電極用材料を含む電極ペーストを、平面形状が円形のパターンとなるように印刷する。
そして、印刷された電極ペーストを乾燥させる。これにより焼成後に第1内部電極1となる平面形状が円形の未焼成内部電極パターン11が形成される。
(3)図5に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン11を覆うように、かつ、1層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(4)次に、図6に示すように、上記(3)の工程で形成したセラミックパターン13上に、インクジェットプリンタを用いて、内部電極用材料を含む電極ペーストを、平面形状が円形のパターンとなるように印刷する。
そして、印刷された電極ペーストを乾燥させる。これにより焼成後に第2内部電極2となる平面形状が円形の未焼成内部電極パターン12が形成される。
(5)それから、図7に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン12を覆うように、かつ、2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる3層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(6)その後、上記(2)〜(5)の工程を繰り返して、所定の積層数を有する未焼成の積層体14(図8)を形成する。
(7)次に、上記(6)で作製した未焼成の積層体14を焼成することにより焼成済みの積層体(チップ)4(図1参照)を得る。
(8)それから、積層体(チップ)4の外周面の、上記第1内部電極1が露出した領域(セラミック層3の周縁部所定領域でもある第1領域3a)と、上記第2内部電極2が露出した領域(セラミック層3の周縁部所定領域でもある第2領域3b)を覆うように、第1外部電極5a、第2外部電極5b(図1参照)を形成する。
なお、第1、第2外部電極5a、5bは例えば導電性ペーストを塗布して焼き付けることにより形成することができる。
この実施形態1の方法によれば、セラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて所定の位置に印刷することにより、焼成後にセラミック層3となる円形の未焼成セラミックパターン13を形成するとともに、電極ペーストを、インクジェットプリンタを用いて所定の位置に印刷することにより、焼成後に第1内部電極1、第2内部電極2となる円形の未焼成内部電極パターン11,12を形成するようにしているので、スクリーン印刷やグラビア印刷などの印刷版を用いる接触式の印刷方法、あるいは、マスクやレジストパターンを必要とする塗布方法などを用いることなく、効率よく第1、第2内部電極1,2およびセラミック層3を形成することが可能になるとともに、第1、第2内部電極1,2やセラミック層3の薄型化を図ることが可能になる。
また、内部電極が印刷されたセラミックグリーンシートを積層するための積層機が不要で、積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)を生産性よく、経済的に製造することができる。
また、上述のように薄いセラミックグリーンシートを取り扱う積層工法を用いることが不要で、積層チップの状態でハンドリングすることができるため、ハンドリング性の面からも生産性を向上させることができる。
なお、この実施形態1では、インクジェットを同じ位置に噴射することにより、一つの円形の内部電極パターンやセラミックパターンを形成するようにしているが、インクジェットを異なる位置に噴射することにより、より広い面積で巨視的に見て平面形状が円形の一つの内部電極や、一つのセラミックパターンを形成することも可能である。
[実施形態2]
図9(a)は本発明の他の実施形態(実施形態2)にかかる積層セラミックコンデンサ(セラミック電子部品)の構成を示す平面図であり、図9(b)は正面断面図である。また、図10(a)は積層セラミックコンデンサを構成する第1内部電極の配設態様を示す平面図、図10(b)は第2内部電極の配設態様を示す平面図である。
この実施形態2にかかるセラミック電子部品は、図9(a),(b)に示すように、平面形状が長円形状(帯状で両端部が丸みを有する形状)の積層セラミックコンデンサである。
そして、この積層セラミックコンデンサは、平面形状が長円形状(帯状)の複数の第1内部電極1および第2内部電極2が、同じく平面形状が長円形状(帯状)のセラミック層3を介して互いに対向するように配設された構造を有する、平面形状が長円形状の積層体(チップ)4を備えており、積層体(チップ)4の互いに対向する端部(長手方向両端部)には、側面から上下面に回り込むように配設された第1,第2外部電極5a、5bを備えている。
また、図10(a)に示すように、長円形状の第1内部電極1は、一方側端部(所定の周縁部)(第1領域)1aが、長円形状のセラミック層3の一方側端部である第1領域3aにまで達し、同じく長円形状の第2内部電極2は、一方側端部(所定の周縁部)(第2領域)2aが、長円形状のセラミック層3の他方側端部である第2領域3bにまで達している。
そして、図9(a),(b)に示すように、第1内部電極1の、セラミック層3の一方側端部3aにまで達した部分において、第1内部電極1と導通するように第1外部電極5aが配設され、第2内部電極2の、セラミック層3の他方側端部3bにまで達した部分において、第2内部電極2と導通するように第2外部電極5bが配設されている。
次に、この積セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
(1)図11に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、位置をずらして複数回印刷し、上記積層体の形状に対応する長円形状(帯状)の印刷パターンを形成する。
それから、印刷されたセラミックスラリー(印刷パターン)を乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる、平面形状が長円形状の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(2)次に、図12に示すように、内部電極用材料を含む電極ペーストを、円形のセラミックパターン13上に、インクジェットプリンタを用いて、位置をずらして複数回印刷し、長円形状(帯状)の内部電極パターンを形成する。
そして、印刷された電極ペースト(内部電極パターン)を乾燥させる。これにより焼成後に第1内部電極1となる、平面形状が長円形状(帯状)の未焼成内部電極パターン11が形成される。
(3)図13に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン11を覆うように、かつ、1層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように、位置をずらして複数回印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる、平面形状が長円形状の2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(4)次に、図14に示すように、上記(3)の工程で形成したセラミックパターン13上に、内部電極用材料を含む電極ペーストを、インクジェットプリンタを用いて、位置をずらして複数回印刷し、平面形状が長円形状のパターンとなるように印刷する。
そして、印刷された電極ペーストを乾燥させる。これにより焼成後に第2内部電極2となる平面形状が長円形状の未焼成内部電極パターン12が形成される。
(5)それから、図15に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン12を覆うように、かつ、2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように、位置をずらして複数回印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる、平面形状が長円形状の3層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13が形成される。
(6)その後、上記(2)〜(5)の工程を繰り返して、所定の積層数を有する未焼成の積層体14(図16)を形成する。
(7)次に、上記(6)で作製した未焼成の積層体14を焼成することにより焼成済みの積層体(チップ)4(図9参照)を得る。
(8)それから、積層体(チップ)4の外周面の、上記第1内部電極1が露出した領域(セラミック層3の周縁部所定領域でもある第1領域3a)と、上記第2内部電極2が露出した領域(セラミック層3の周縁部所定領域でもある第2領域3b)を覆うように、第1外部電極5a、第2外部電極5b(図9参照)を形成する。
なお、第1、第2外部電極5a,5bは例えば導電性ペーストを塗布して焼き付けることにより形成することができる。
この実施形態2の積層セラミックコンデンサのように、セラミック層および内部電極を長円形状(帯状)に形成することにより、平面面積が大きく、内部電極および誘電体の面積の大きい積層体を形成することが可能になり、取得できる静電容量の大きい積層セラミックコンデンサを得ることができる。
また、内部電極および誘電体の面積を容易に増やすことができることから、同一容量の丸型の積層セラミックコンデンサと比べて、薄型化が可能になる。
なお、この実施形態2では、インクジェットプリンタにより、位置をずらして、一列に並ぶように電極ペーストやセラミックスラリーを噴射することにより、長円形状の内部電極パターンやセラミックパターンを形成するようにしているが、複数列に並ぶように印刷して、最終的に長円形状(帯状)のパターンが形成されるように構成することも可能である。
[実施形態3]
図17(a)は本願発明のさらに他の実施形態にかかる積層セラミックコンデンサを示す平面図、図17(b)は正面断面図、図18は図17(a),(b)に示した積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための平面図である。
この実施形態3の積層セラミックコンデンサは、第1、第2外部電極5a、5bと導通しない浮遊内部電極30を備えていることを除いて、上述実施形態1の積層セラミックコンデンサと同様の構成を備えている。
この積層セラミックコンデンサを製造する場合、浮遊内部電極30を形成するにあたっては、図18に示すように、内部電極ペーストを、未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13の周縁部に達しないように印刷して、浮遊内部電極形成用の未焼成内部電極パターン22を形成する(すなわち、未焼成セラミックパターンよりも直径の小さい未焼成内部電極パターン22を形成する)ことにより、積層体4の側面から露出させないよう内部電極パターン(浮遊内部電極30)を形成するだけで、上記実施形態1の場合に準じる方法で製造することができる。
[実施形態4]
図19(a)は本願発明のさらに他の実施形態にかかる積層セラミックコンデンサを示す平面図、図19(b)は正面断面図である。
この積層セラミックコンデンサは、第1内部電極1および第2内部電極2は積層体4の側面に露出しておらず、第1ビアホール導体31a、第2ビアホール導体31a,31bにより外部に引き出されている。
この構成の積層セラミックコンデンサの場合、積層体4の側面に第1内部電極1および第2内部電極2を露出させなくてよいので、耐湿性を向上させることができる。
また、積層体の側面に露出した内部電極と導通するように外部電極を形成するようにした場合には、未焼成の積層体の段階では露出していた内部電極が、焼成時に焼結収縮により側面から後退し外部電極との接続が不十分になるおそれがあるが、この実施形態4の構成とすることによりそのようなおそれを低減することができる。
また、積層体の側面に露出した内部電極と導通するように外部電極を形成する場合にあっては、バレル研磨などの方法で内部電極を積層体の側面に露出させて、十分な導通信頼性を確保することが可能であるが、この実施形態4の構成とした場合、それも不要にすることができる。
なお、第1ビアホール導体31a,第2ビアホール導体31bは、積層体(チップ)4を成形後、レーザー加工などでビアホールを形成後、導体を充填する方法などにより形成することができる。
また、この実施形態4の構成とした場合、実施形態1〜3の場合よりも外部電極形成用の電極ペーストの使用量を低減することが可能になり、コストの低減を図ることができる。
また、めっき処理をする場合に、表面に露出したビア部分にだけ処理をすればよく、めっき金属材料の使用量を抑えることができる点でも有利である。
[実施形態5]
図20は本願発明のさらに他の実施形態にかかる積層セラミックコンデンサを示す平面図である。
この積層セラミックコンデンサは、第1内部電極1および第2内部電極2は、それぞれ、そのいずれか一方側の一端側が積層体4の側面から突出するように構成されており、突出した部分が第1,第2外部電極5a,5bとして機能するように構成されている。
次に、この積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
(1)図21に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、上記積層体の形状に対応する円形のパターンとなるように印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させる。これにより焼成後にセラミック層3となる平面形状が円形の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13を形成する。
(2)次に、図22に示すように、円形のセラミックパターン13上に、インクジェットプリンタを用いて、内部電極用材料を含む電極ペーストを、一部が円形のセラミックパターン13上からはみ出すような態様で円形に印刷する。それから印刷した電極ペーストを乾燥させることにより、焼成後に主要部が第1内部電極1となり、はみ出した部分が第1外部電極5aを構成する部分となる円形の未焼成内部電極パターン11を形成する。
(3)図23に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン11の主要部を覆うように、かつ、1層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させることにより、焼成後にセラミック層3となる2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13を形成する。
(4)次に、図24に示すように、上記(3)の工程で形成したセラミックパターン13上に、インクジェットプリンタを用いて、内部電極用材料を含む電極ペーストを、一部が円形のセラミックパターン13上からはみ出すような態様で円形に印刷する。それから印刷した電極ペーストを乾燥させることにより、焼成後に主要部が第2内部電極2となり、はみ出した部分が第2外部電極5bを構成する部分となる円形の未焼成内部電極パターン12を形成する。
(5)図25に示すように、誘電体セラミック材料を含むセラミックスラリーを、インクジェットプリンタを用いて、未焼成内部電極パターン11の主要部を覆うように、かつ、2層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13と重なるように印刷する。
そして、印刷されたセラミックスラリーを乾燥させることにより、焼成後にセラミック層3となる3層目の未焼成セラミックパターン(セラミックシート)13を形成する。
そして、上記(2)〜(5)の工程を繰り返して、所定の積層数を有する未焼成の積層体を形成し、これを焼成することにより、図20に示すような積層セラミックコンデンサが得られる。
この積層セラミックコンデンサの場合、第1および第2内部電極の一部で外部電極を同時形成することができるため、製造工程を簡略化することが可能になる。また、外部電極形成用の導電性ペーストが不要になるためコストの削減を図ることが可能になる。
上記実施形態ではセラミック電子部品として、積層セラミックコンデンサを例にとって説明したが、本願発明は積層セラミックコンデンサに限らず、セラミック層と内部電極層が接するように配設された種々のセラミック電子部品に適用することが可能である。
また、上記実施形態では積層セラミック電子部品を示したが、本願発明は、例えば、単板型コンデンサなどにも適用することが可能である。
本発明はさらにその他の点においても上記実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることが可能である。
1 第1内部電極
2 第2内部電極
3 セラミック層
1a 第1内部電極の所定の周縁部
2a 第2内部電極の所定の周縁部
3a セラミック層の周縁部所定領域である第1領域
3b セラミック層の周縁部所定領域である第2領域
4 積層体(チップ)
5a 第1外部電極
5b 第2外部電極
11 第1内部電極となる未焼成内部電極パターン
12 第2内部電極となる未焼成内部電極パターン
13 未焼成セラミックパターン(セラミックシート)
14 未焼成の積層体
22 浮遊内部電極形成用の未焼成内部電極パターン
30 浮遊内部電極
31a 第1ビアホール導体
31b 第2ビアホール導体

Claims (17)

  1. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
    前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
    前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  2. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
    長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
    前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  3. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
    前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出された構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と、
    前記積層体に、前記第1内部電極に達する第1ビアホールと、前記第2内部電極に達する第2ビアホールを形成する工程と、
    前記第1ビアホールおよび第2ビアホールに導体を充填する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  4. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
    前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出された構造を有するセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と、
    前記積層体に、前記第1内部電極に達する第1ビアホールと、前記第2内部電極に達する第2ビアホールを形成する工程と、
    前記第1ビアホールおよび第2ビアホールに導体を充填する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  5. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
    前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
    前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されたセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記セラミック層となる、平面形状が円形の未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、所定の位置に1回または複数回繰り返して印刷することにより、焼成後に前記内部電極となる、平面形状が円形の未焼成内部電極パターンを形成する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  6. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
    長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
    前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されたセラミック電子部品の製造方法であって、
    セラミック材料を含むセラミックスラリーを、該セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記セラミック層となる未焼成セラミックパターンを形成する工程と、
    内部電極用材料を含む電極ペーストを、該電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段を用い、位置をずらせて、各位置に1回または複数回、平面形状が円形の印刷パターンを、各位置の印刷パターンがつながるように形成することにより、焼成後に長円形状の前記内部電極となる未焼成内部電極パターンを形成する工程と
    を備えていることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
  7. 焼成後に、外部と導通しない浮遊内部電極となる、未焼成浮遊内部電極パターンを形成する工程を備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。
  8. 前記セラミックスラリーを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段および、前記電極ペーストを吐出する吐出部が被印刷物に接触しないような印刷手段が、インクジェットプリンタであることを特徴とする1〜7のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。
  9. 前記セラミック電子部品が、前記第1内部電極と前記第2内部電極の少なくとも一部が、前記セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在している積層型セラミック電子部品であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。
  10. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
    前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
    前記第2内部電極の前記第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有していること
    を特徴とするセラミック電子部品。
  11. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部にまで達し、
    長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部にまで達し、
    前記第1内部電極の、前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達した部分において、前記第1内部電極と導通する第1外部電極を備え、
    前記第2内部電極の、前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達した部分において、前記第2内部電極と導通する第2外部電極を備えた構造を有し、かつ、
    前記第1内部電極の両端部の、前記略半円形状部分の半径よりも、前記セラミック層の両端部の前記略半円形状部分の半径の方が大きく、前記第2内部電極の両端部の、前記略半円形状部分の半径よりも、前記セラミック層の両端部の前記略半円形状部分の半径の方が大きいこと
    を特徴とするセラミック電子部品。
  12. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
    前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、
    前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出されていること
    を特徴とするセラミック電子部品。
  13. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設された積層体を備え、
    前記第1内部電極は、前記積層体に配設された第1ビアホール導体を介して外部に引き出され、
    前記第2内部電極は、前記積層体に配設された第2ビアホール導体を介して外部に引き出されていること
    を特徴とするセラミック電子部品。
  14. 平面形状が円形の第1内部電極および第2内部電極が、平面形状が円形のセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    前記第1内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域である第1領域にまで達し、
    前記第2内部電極は、所定の周縁部が、前記セラミック層の周縁部所定領域であり、前記第1領域とは異なる第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
    前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されていること
    を特徴とするセラミック電子部品。
  15. 両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有する第1内部電極および第2内部電極が、同じく両端部が略半円形状に丸みを帯びた長円形状を有するセラミック層を介して互いに対向するように配設され、かつ、
    長円形状の前記第1内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の一方側端部である第1領域にまで達し、
    長円形状の前記第2内部電極は、一方側端部が、長円形状の前記セラミック層の他方側端部である第2領域にまで達し、
    前記第1内部電極の前記第1領域に達した部分が露出しているとともに、前記第1内部電極の前記露出した部分が第1外部電極として機能し、
    前記第2内部電極の前記第2領域に達した部分が露出しているとともに、前記第2内部電極の前記露出した部分が第2外部電極として機能するように構成されていること
    を特徴とするセラミック電子部品。
  16. 前記セラミック電子部品が、前記第1内部電極と前記第2内部電極の少なくとも一部が、前記セラミック層を介して互いに対向するように配設された領域が積層方向に複数存在している積層型セラミック電子部品であることを特徴とする請求項10〜15のいずれかに記載のセラミック電子部品。
  17. 外部と導通しない浮遊内部電極を備えていることを特徴とする請求項10〜16のいずれかに記載のセラミック電子部品。
JP2015500178A 2013-02-14 2014-01-30 セラミック電子部品およびその製造方法 Active JP6086269B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013026364 2013-02-14
JP2013026364 2013-02-14
PCT/JP2014/052101 WO2014125930A1 (ja) 2013-02-14 2014-01-30 セラミック電子部品およびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2014125930A1 JPWO2014125930A1 (ja) 2017-02-02
JP6086269B2 true JP6086269B2 (ja) 2017-03-01

Family

ID=51353939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015500178A Active JP6086269B2 (ja) 2013-02-14 2014-01-30 セラミック電子部品およびその製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10354797B2 (ja)
JP (1) JP6086269B2 (ja)
CN (1) CN105074853A (ja)
WO (1) WO2014125930A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013093362A (ja) * 2011-10-24 2013-05-16 Sony Corp 静電容量素子、及び共振回路
CN107415224B (zh) * 2017-05-11 2019-08-13 转录科技(深圳)有限公司 一种7d打印系统及其打印方法
JP7388088B2 (ja) * 2018-10-30 2023-11-29 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品とその製造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6127327U (ja) * 1984-07-25 1986-02-18 東北金属工業株式会社 積層セラミツク部品
JPH0695582B2 (ja) * 1986-06-07 1994-11-24 株式会社ト−キン 円筒状圧電アクチュエ−タの製造方法
JP3089956B2 (ja) * 1994-10-07 2000-09-18 松下電器産業株式会社 積層セラミックコンデンサ
JPH09232174A (ja) 1996-02-23 1997-09-05 Murata Mfg Co Ltd 積層型セラミック電子部品およびその製造方法
JP2000164451A (ja) * 1998-11-30 2000-06-16 Kyocera Corp 積層セラミックコンデンサ
JP3881833B2 (ja) * 2000-09-25 2007-02-14 Uht株式会社 セラミック積層体の製造装置
JP4035988B2 (ja) * 2001-12-06 2008-01-23 株式会社デンソー セラミック積層体及びその製造方法
US6816356B2 (en) * 2002-05-17 2004-11-09 Daniel Devoe Integrated broadband ceramic capacitor array
JP2005259772A (ja) * 2004-03-09 2005-09-22 Tdk Corp 積層セラミックコンデンサ
DE602006018521D1 (de) * 2005-12-23 2011-01-05 Murata Manufacturing Co Hren dafür
US20080026136A1 (en) * 2006-07-24 2008-01-31 Skamser Daniel J Process for manufacture of ceramic capacitors using ink jet printing
JP2009283627A (ja) * 2008-05-21 2009-12-03 Toyama Prefecture セラミック電子部品とその製造方法
JP5332475B2 (ja) * 2008-10-03 2013-11-06 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014125930A1 (ja) 2014-08-21
US20150348713A1 (en) 2015-12-03
JPWO2014125930A1 (ja) 2017-02-02
US10354797B2 (en) 2019-07-16
CN105074853A (zh) 2015-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5332475B2 (ja) 積層セラミック電子部品およびその製造方法
JP6834091B2 (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
US8542476B2 (en) Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same
JP4992523B2 (ja) 積層セラミック電子部品およびその製造方法
KR101486979B1 (ko) 적층 세라믹 전자부품의 제조방법
US20120229952A1 (en) Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same
JP2017152674A (ja) 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JP7234951B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP6191621B2 (ja) 積層セラミック電子部品及び該積層セラミック電子部品の製造方法
US9922767B2 (en) Ceramic electronic component and manufacturing method therefor
JP2014187216A (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP6855688B2 (ja) グラビア印刷版、グラビア印刷方法および電子部品の製造方法
JP2021174838A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2021174829A (ja) 積層セラミックコンデンサ
US20200058446A1 (en) Multilayer ceramic capacitor and method of manufacturing the same
JP6086269B2 (ja) セラミック電子部品およびその製造方法
JP2015154044A (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法及び積層セラミックコンデンサ
CN114255994B (zh) 层叠陶瓷电容器
JP7092052B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
KR20130072531A (ko) 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조 방법
JP2022073617A (ja) 積層セラミックコンデンサ
US20210098195A1 (en) Method for manufacturing multilayer ceramic electronic component, and multilayer ceramic electronic component
JP5879913B2 (ja) セラミック電子部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161018

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170118

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6086269

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150