JP6080941B2 - 2次元フォトニック結晶面発光レーザ - Google Patents
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Description
該2次元フォトニック結晶層において各異屈折率領域が、2次元定在波を形成することによって前記波長λLの光の共振状態を形成し且つ該波長λLの光を外部に出射させないように定められる周期性を持つ基本2次元格子の各格子点において変調して配置されており、
前記各格子点における変調位相Ψが、前記2次元フォトニック結晶層内における前記波長λLの光の波数ベクトルk↑=(kx, ky)、前記2次元フォトニック結晶層の有効屈折率neff、及び前記基本2次元格子の所定の基準線からの方位角φを用いて表される逆格子ベクトルG'↑=(g'x, g'y)=(kx±|k↑|(sinθcosφ)/neff, ky±|k↑|(sinθsinφ)/neff)と、前記各格子点の位置ベクトルr↑とを用いて、Ψ=r↑・G'↑で表されることを特徴とする。
また、本発明に係る2次元フォトニック結晶面発光レーザは、上記活性層及び上記2次元フォトニック結晶層の他に、クラッド層やスペーサ層等を有していてもよい。
前記波長λLは、真空中における波長で定義する。波長λLの光は、2次元フォトニック結晶層内では波長(以下、「結晶層内波長λPC」とする)がλPC=λL/neffとなる。ここで、neffは、上記各層が積層した構造において2次元フォトニック結晶層に分布する光の電界強度の割合、及び母材に対する異屈折率領域の充填率を考慮した有効屈折率である。
基本2次元格子、すなわち波長λLの光の共振状態を形成し且つ該波長λLの光を外部に出射させない2次元格子は、従来より知られているものである。基本2次元格子の例の1つとして、格子定数aが
a=2-1/2λL/neff=2-1/2λPC
である正方格子が挙げられる。また、格子定数a1及びa2が
(1/2)×(a1 -2+a2 -2)1/2=1/λPC
の関係式を満たす長方格子(面心長方格子を含む)や、格子定数aが
a=(2/3)λPC
である三角格子も、前記基本2次元格子の例として挙げられる。
上記のように、異屈折率領域は各格子点において変調して配置されている。本発明において「変調」とは、基本2次元格子の各格子点に同じ形態の異屈折率領域が配置された状態に対して、基本2次元格子の周期とは別個の空間的な周期(変調周期)で周期的変化が与えられていることをいう。この周期的変化は、例えば各格子点において異屈折率領域を該格子点から位置をずらして配置し、そのずれの方向又は/及び大きさを変調周期で周期的に変化させることにより形成することができる。あるいは、この周期的変化は、異屈折率領域の面積を変調周期で周期的に変化させることにより形成することもできる。
(ii)各格子点において、異屈折率領域が該格子点から同一方向にずれて配置されており、該ずれの距離dの絶対値がゼロと最大値dmaxの間で、変調位相Ψで変調されているもの。具体的には、d=dmaxsinΨと表される。
(iii)異屈折率領域は各格子点に配置されており、各異屈折率領域の面積Sが最小値(S0-S')と最大値(S0+S')の間で、変調位相Ψで変調されているもの。具体的には、S=S0+S'sinΨと表される。
…(1)
である。従って、この場合の各格子点の変調位相Ψ=r↑・G'↑は
…(2)
である。
…(3)、
各格子点の変調位相Ψ=r↑・G'↑は
…(4)
となる。
…(5)
または
…(6)
のいずれかの組み合わせを用いることができる。各格子点の変調位相Ψ=r↑・G'↑は、G↑が前者の場合には
…(7)、
後者の場合には
…(8)
となる。
本発明に係る2次元フォトニック結晶面発光レーザの動作を説明する。活性層に電流が注入されると、波長λLの光が生じ、該光が2次元フォトニック結晶層において基本2次元格子の周期性によって定在波が形成される。それにより、位相が揃った波長λLの光が増幅される。このように増幅された光は、変調位相Ψで変調された屈折率分布により、逆格子ベクトルG'↑を回折ベクトルとする光の回折が生じ、光が2次元フォトニック結晶層の法線に対して傾斜して出射される。この出射光は、波長及び位相が揃ったレーザビームとなる。
また、本発明に係る2次元フォトニック結晶面発光レーザは、各格子点において、前記異屈折率領域が該格子点から同一方向にずれて配置されており、該ずれの距離dの絶対値がゼロと最大値dmaxの間で、変調位相Ψで変調されている、という構成を取ることもできる。このように異屈折率領域を同一方向にずらすことにより、当該ずれの方向に垂直な方向の直線偏光を有する出射光が得られる。
前記活性層中に電流を注入する位置(電流注入位置)を制御する電流注入位置制御手段を有し、
前記電流注入位置からの発光が増幅される領域である、前記2次元フォトニック結晶層における変調領域毎に、各格子点の変調位相Ψが異なるように形成されている
ことにより、出射方向可変2次元フォトニック結晶面発光レーザが得られる。すなわち、この出射方向可変2次元フォトニック結晶面発光レーザでは、電流注入位置制御手段により活性層中の一部の領域(異屈折率領域とは異なる)に電流を注入することにより発生する光が、その領域に対応した2次元フォトニック結晶層の一部分に導入される。そして、光が導入された2次元フォトニック結晶層の位置における変調位相Ψにより定まる傾斜角θ、及び方位角φに傾斜ビームが出射される。
図2は、第1実施例の2次元フォトニック結晶面発光レーザ(以下、「フォトニック結晶レーザ」とする)10の斜視図である。このフォトニック結晶レーザ10は、下部電極151と、下部基板141と、第1クラッド層131と、2次元フォトニック結晶層11と、活性層12と、第2クラッド層132と、上部基板142と、上部電極152とを、この順に積層したものである。本実施例のフォトニック結晶レーザ10では、レーザビームは、上部電極152の中央部に設けられた窓(空洞)1521を通って、2次元フォトニック結晶層11の法線から出射角θだけ傾斜した方向に出射される。上部電極152には、窓1521を有するものの代わりに、ITO(インジウム錫酸化物)等から成る透明電極を用いてもよい。なお、2次元フォトニック結晶層11と、活性層12の順番は上記のものとは逆であってもよい。また、本願では便宜上、「上」及び「下」という語を用いるが、これらの語は実際にフォトニック結晶レーザを使用する際の向き(上下)を規定するものではない。また、活性層と2次元フォトニック結晶の間には、スペーサ等の部材が挿入されていてもよい。
x方向を基準線の方向とし、傾斜ビームの設計値を傾斜角θ=36.2°、方位角φ=0°とした。変調位相、すなわちずれの方向と前記基準線との成す角度(以下、「ずれ方位角」とする)Ψは、(2)式に複号(「±」)があるため4つの値が得られるが、そのうちここでは
Ψ≡Ψθ=36.2°=(3/4)πmx+πmy
を用いた。この場合、x方向に隣接する2個の格子点同士でのずれ方位角Ψの差(以下、"δΨx"とする)は、(3/4)π、すなわち135°である。また、y方向に隣接する2個の格子点同士でのずれ方位角Ψの差(以下、"δΨy"とする)はπ、すなわち180°である。また、有効屈折率はneff=3.4とした。
次に、第2実施例として、出射方向可変2次元フォトニック結晶面発光レーザ(以下、「出射方向可変フォトニック結晶レーザ」とする)20の実施例を説明する。図10(a)は、第2実施例の出射方向可変フォトニック結晶レーザ20の縦断面図である。ここでは、第1実施例のフォトニック結晶レーザ10と同様の構成要素には、第1実施例と同じ符号を付し、詳細な説明を省略する。出射方向可変フォトニック結晶レーザ20は、下部電極251と、下部基板141と、第1クラッド層131と、2次元フォトニック結晶層21と、活性層12と、第2クラッド層132と、上部基板142と、上部電極252とを、この順に積層したものである。上部電極252は、本実施例では上部基板142の全体を覆う透明電極を用いている。
第3実施例では、フォトニック結晶層の基本2次元格子の各格子点において、空孔(異屈折率領域)が格子点から同一方向にずれ、そのずれの距離が変調されている例を示す。以下では、フォトニック結晶層以外の構成は第1実施例と同様であるため説明を省略し、フォトニック結晶層の構成について説明する。
第4実施例では、空孔(異屈折率領域)は重心と格子点が一致するように各格子点に配置され、各空孔の面積が変調されている例を示す。この例においても、フォトニック結晶層以外の構成は第1実施例と同様であるため説明を省略し、フォトニック結晶層の構成について説明する。
11、21…2次元フォトニック結晶層
111…空孔
111V…仮想的な空孔
114…母材
12…活性層
131…第1クラッド層
132…第2クラッド層
141…下部基板
142…上部基板
151、251A、251B、251C、251XY(X=A、B、C…、Y=A、B、C…)…下部電極
152、252…上部電極
1521…上部電極の窓
19…傾斜ビーム
19S…傾斜ビームのスポット
20…出射方向可変フォトニック結晶レーザ
21A、21B、21C、21XY(X=A、B、C…、Y=A、B、C…)…2次元フォトニック結晶構造
29…電流注入位置制御部
90…基本2次元格子
91、911、912…基本2次元格子の格子点
Claims (6)
- 電流が注入されることにより波長λLの光を生じさせる活性層と、板状の母材に、該母材とは屈折率が異なる異屈折率領域が2次元的に配置されることにより屈折率分布が形成されて成る2次元フォトニック結晶層とが積層された構成を有し、該2次元フォトニック結晶層の法線から傾斜角θの方向にレーザビームを発振するレーザであって、
該2次元フォトニック結晶層において各異屈折率領域が、2次元定在波を形成することによって前記波長λLの光の共振状態を形成し且つ該波長λLの光を外部に出射させないように定められる周期性を持つ基本2次元格子の各格子点において変調して配置されており、
前記各格子点における変調位相Ψが、前記2次元フォトニック結晶層内における前記波長λLの光の波数ベクトルk↑=(kx, ky)、前記2次元フォトニック結晶層の有効屈折率neff、及び前記基本2次元格子の所定の基準線からの方位角φを用いて表される逆格子ベクトルG'↑=(g'x, g'y)=(kx±|k↑|(sinθcosφ)/neff, ky±|k↑|(sinθsinφ)/neff)と、前記各格子点の位置ベクトルr↑とを用いて、Ψ=r↑・G'↑で表されることを特徴とする2次元フォトニック結晶面発光レーザ。 - 各格子点において前記異屈折率領域が該格子点から同一の距離だけずれて配置されており、該ずれの方向を表す、基本2次元格子の所定の基準線との成す角度が前記変調位相Ψで変調されていることを特徴とする請求項1に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 各格子点において前記異屈折率領域が該格子点から同一方向にずれて配置されており、該ずれの距離dの絶対値がゼロと最大値dmaxの間で、変調位相Ψで変調されていることを特徴とする請求項1に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記異屈折率領域が各格子点に配置されており、各異屈折率領域の面積Sが最小値(S0-S')と最大値(S0+S')の間で、変調位相Ψで変調されていることを特徴とする請求項1に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
- 前記活性層中に電流を注入する電流注入位置を制御する電流注入位置制御手段を有し、
前記電流注入位置からの発光が増幅される領域である、前記2次元フォトニック結晶層における変調領域毎に、各格子点の変調位相Ψが異なる
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。 - 前記電流注入位置制御手段が、
前記活性層及び前記2次元フォトニック結晶層を挟むように対をなす電極であって、該対の電極の一方又は両方が該活性層及び該2次元フォトニック結晶層に平行に2次元状に複数配置された電極と、
該複数の電極のうち該活性層に電流を注入する電極を切り換える切替手段を備える
ことを特徴とする請求項5に記載の2次元フォトニック結晶面発光レーザ。
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