JP6068195B2 - 気体搬送される粉体の湿式溶解装置 - Google Patents

気体搬送される粉体の湿式溶解装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6068195B2
JP6068195B2 JP2013040281A JP2013040281A JP6068195B2 JP 6068195 B2 JP6068195 B2 JP 6068195B2 JP 2013040281 A JP2013040281 A JP 2013040281A JP 2013040281 A JP2013040281 A JP 2013040281A JP 6068195 B2 JP6068195 B2 JP 6068195B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
solution
gas
mixing chamber
iron chloride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013040281A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014168725A (ja
Inventor
道明 堤
道明 堤
泰成 古賀
泰成 古賀
富永 健一
健一 富永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
JP Steel Plantech Co
Original Assignee
JFE Steel Corp
JP Steel Plantech Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JFE Steel Corp, JP Steel Plantech Co filed Critical JFE Steel Corp
Priority to JP2013040281A priority Critical patent/JP6068195B2/ja
Publication of JP2014168725A publication Critical patent/JP2014168725A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6068195B2 publication Critical patent/JP6068195B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明は、吸湿性粉体の連続溶解設備に関するもので、例えば高珪素鋼帯を製造する際に生成される塩化鉄等の粉体の湿式溶解装置に関する。
気体搬送される吸湿性粉体の溶解装置の例としては、例えばSiCl4を原料ガスとしてCVD法により高珪素鋼帯を製造する過程において発生する塩化鉄粉の湿式溶解装置が挙げられる。
この製造過程では、SiCl4と鋼帯の化学反応により副生成物としてFeCl2が生成する。このFeCl2は反応生成ガスとして排ガスに混合され、排ガスを冷却することにより塩化鉄粉として析出し、排ガス中から分離回収される。この塩化鉄粉は溶解槽まで気体搬送され、溶解後に中和処理される。
分離回収された塩化鉄粉は、吸湿による搬送路内での固着、閉塞を防ぐため、十分に露点を下げた気体により搬送し、溶解液をいれた槽へ供給され溶解される。ここで塩化鉄粉が完全に溶解しないと、未溶解塩化鉄粉が溶解槽の圧力抜き口等から搬送気体とともに外気に放散されることになる。放散された塩化鉄粉は大気中の水分を吸湿し塩化水素を生成し、周囲の設備を腐蝕させるだけでなく健康上も悪影響を及ぼす。
そこで、連続的に気体搬送される塩化鉄粉をいかに効率よく完全に溶解槽の液体に溶解させるかが重要となる。
このような、塩化鉄粉の溶解方法としては、例えば特許文献1に開示された「塩化鉄粉の湿式回収方法」に開示がある。
特許文献1に開示された「塩化鉄粉の湿式回収方法」においては、「塩化鉄粉を非酸化性ガスにより溶解槽に気送して、溶解槽内で非酸化性ガスをバブリングさせ、塩化鉄粉を液中に溶解させることを特徴とする」ものである。
特開平8−188418号公報
特許文献1においては、溶解槽内で搬送ガスをバブリングさせることで、塩化鉄粉を液中に溶解させるようにしている。
しかしながら、気送ガス中に塩化鉄粉が混入しているため、液中でバブリングする気泡に塩化鉄粉が封入され、気泡内の塩化鉄粉は液体と接触することなく気泡に運ばれ、液面まで上昇する。そして、上昇した気泡が液面で破裂することで、塩化鉄粉は液と接触のないまま液面上で飛散し、飛散した塩化鉄粉が溶解槽の圧力抜き口等から外気に放出されるという問題がある。
この点、特許文献1においては、バブリングさせる気泡を微細にすることで、塩化鉄粉と液体との接触の可能性を高めるようにしているが、塩化鉄粉は数ミクロン〜数十ミクロンの微粒のため、気泡を微細化しても液体内を上昇する気泡内に塩化鉄粉が封入されるという現象は完全には避けられないので、未溶解の塩化鉄粉の飛散防止には限界があった。
本発明はかかる課題を解決するためになされたものであり、吸湿性があり大気放散させられない粉体を、回収タンクから気体搬送した後に、効率よく確実に液体に溶解させる湿式溶解装置を提供することを目的としている。
(1)本発明に係る湿式溶解装置は、気体搬送される粉体を溶解液中に溶解させるためのものであって、
前記粉体を溶解した前記溶解液を貯留する液槽と、該液槽の上方に設けられて気体搬送された前記粉体が搬送気体と共に供給される混合室と、該混合室内に前記搬送気体と共に供給された前記粉体に霧状の前記溶解液を噴霧する液体噴霧ノズルと、前記混合室と前記液槽との間に設けられて前記混合室に供給された前記搬送気体と噴霧された前記溶解液が通過する通過室を有し、
該通過室には前記搬送気体及び前記溶解液の通過時に前記溶解液と前記粉体との接触面積を大きくするための充填材が充填されており、前記搬送気体と前記粉体とが前記混合室内で一時的に滞留するとともに、前記通過室内の前記充填材の隙間を通過した前記溶解液前記液槽に貯留されるようにしたことを特徴とするものである。
(2)また、上記(1)に記載のものにおいて、前記混合室は、上部から下部に向かって拡径する円錐台形状をしており、前記液体噴霧ノズルを前記混合室の上部に設けたことを特徴とするものである。
(3)また、上記(1)または(2)に記載のものにおいて、前記液槽の前記溶解液を前記液体噴霧ノズルに供給する循環ラインを設けたことを特徴とするものである。
本発明においては、混合室において、搬送気体に含有される粉体と噴霧される液体の直接接触が行われ、さらに通過室の充填物の間隙を通過する際にも粉体と液体との接触が行われるので、粉体と液体との接触が確実に行われ、粉体の液体への溶解を確実に行うことができる。
本発明の実施の形態に係る気体搬送される粉体の湿式溶解装置を、高珪素鋼板製造用CVD処理設備の排ガス処理ラインに適用した場合の説明図である。 本発明の実施の形態に係る気体搬送される粉体の湿式溶解装置の要部を説明する説明図である。
本発明の気送搬送される粉体の湿式溶解装置の一実施の形態として、SiCl4を原料ガスとして鋼帯を浸珪処理することにより高珪素鋼帯を製造する過程において発生する塩化鉄粉の湿式溶解装置を例に挙げて説明する。
図1は、本実施の形態の湿式溶解装置1を適用した高珪素鋼板製造用CVD処理設備の排ガス処理フローの説明図である。
図において、3は連続処理炉3であり、SiCl4を原料ガスとして鋼帯5に連続CVD処理する。
連続処理炉3には、排ガスを冷却する排ガス冷却装置9が設置されている。排ガス冷却装置9の下流側には塩化鉄分離装置11が設けられており、その下流は図示しない排ガス処理装置へと接続している。
排ガス中の塩化鉄は排ガス冷却装置9による急冷により粉体として析出し、塩化鉄分離装置11によって排ガスから分離され、粉体払出管21を介して気送管23に送られ、低露点の搬送ガス(例えばNガス)によって気体搬送されて湿式溶解装置1に送られる。
以下、湿式溶解装置1について図1、図2に基づいて詳細に説明する。
本実施の形態の湿式溶解装置1は、液槽25の上方に設けられて気体搬送された塩化鉄粉を低露点搬送ガスと共に供給する混合室27と、混合室27内に搬送ガスと共に供給された塩化鉄粉に溶解液を噴霧する液体噴霧ノズル29と、混合室27と液槽25との間に設けられて混合室27に噴射された気体と噴霧された液体が通過する通過室31を有している。
以下、各構成を詳細に説明する。
<液槽>
液槽25は、塩化鉄粉を溶解した溶解液を貯留するものであり、図1に示すように、液槽25の下部から液体を抜き出して溶液循環ポンプ33によって液体噴霧ノズル29に供給する循環ラインが設けられている。
また、液槽25の上部には気送に用いられた搬送ガスを排出するための排気管35が設けられている。
<混合室>
混合室27は、液槽25の上方に設けられて、気体搬送された塩化鉄粉と液体噴霧ノズル29から噴霧される溶解液を混合する室である。
気体搬送された塩化鉄粉は、搬送気体と共に供給されて混合室27で一時的に滞留するが、この滞留した塩化鉄粉に液体噴霧ノズル29から溶解液が噴霧されることで、溶解液が塩化鉄粉に効率よく接触して混合される。
混合室27は、上部から下部に向かって拡径する円錐台形状をしており、ポリ塩化ビニル樹脂(PVC)などの耐酸素材によって形成されている。
<液体噴霧ノズル>
液体噴霧ノズル29は、混合室27内に気体と共に供給された塩化鉄粉に溶解液を噴霧する。液体噴霧ノズル29は混合室27の上部に複数設けられ、混合室27に供給される気体搬送された塩化鉄粉に向けて液体を微細霧状にしてスプレー状に噴霧する。
液体噴霧ノズルは、溶解液が塩化鉄粉と接触しやすくするため混合室上部の供給口近傍に複数設置し、スプレーが混合室の円錐状空間を可能な限り満たすようにフルコーンタイプの噴霧形状とし、所望のスプレー拡がり角とノズル個数を選定する。
<通過室>
通過室31は、混合室27と液槽25との間に設けられ、混合室27に供給された搬送ガスと噴霧された液体が通過する室である。
通過室31には、充填材37が充填されている。充填材37としては、溶液と塩化鉄の接触面積が大きくとれ、溶液の流下を容易にする形状・大きさのものとする。例えば、テフロン(登録商標)などの耐酸素材の細い管を短く切断した小さい短管を多数入れるのが好ましい。
以上のように構成された本実施の形態の湿式溶解装置1の動作を説明する。
連続処理炉3は、SiCl4を原料ガスとして鋼帯5を連続CVD処理する設備で、CVD反応生成物として塩化鉄ガスが連続処理炉3内で生成し、生成塩化鉄ガスは炉排ガスと共に排出口から連続的に排出される。この際、排ガス冷却装置9によって排ガスは塩化鉄融点以下に急冷され、排ガス中には塩化鉄の微粉が生じる。この排ガスを塩化鉄分離装置11に通し、粉体の塩化鉄を分離・除去する。
分離・除去された塩化鉄微粉は吸湿性が高いため、外気との接触させないようにして粉体払出管21を介し気送管23に供給される。気送管23に供給された塩化鉄粉は、気送管内に付着して管を閉塞させないようにするため、十分に低い露点を有し、かつスムーズな流動を確保できる流量の気体により搬送し、湿式溶解装置1に送られる。
湿式溶解装置1に送られた塩化鉄粉は、図2に示すように、混合室27に搬送ガスと共に供給される。
混合室27では、循環ポンプ33によって加圧された液槽25の溶解液が噴霧ノズル29から流入ガスにスプレー状に噴霧される。ミスト状になった噴霧液は塩化鉄粉と直接接触して混合され塩化鉄粉を溶解させる。
混合室27に供給されたガスは、通過室31に充填された充填物の空隙を噴霧液と接触しながら流下し液槽25に送られ、液槽25に設けられた排気管35から排気される。
混合室27において、霧状の液体が噴霧された塩化鉄粉は、液に溶解し、搬送ガスと共に通過室31を通過する。混合室27で溶解液のミストと接触を免れた塩化鉄粉は搬送ガス流れにのって通過室31に入る。ここは充填材37が充填されており、この充填材37通過中に隙間をともに流下する溶解液と接触し、通過室31を通過した後では、塩化鉄粉は液体に完全に溶液に溶けた状態となって、液槽25に供給される。
以上のように、本実施の形態の湿式溶解装置1によれば、連続的に気体搬送される塩化鉄粉を効率よく液体と接触させることができ、塩化鉄粉を確実に回収することができ、粉の状態の塩化鉄粉が外部に排出されることがない。
なお、本発明は、具体的に説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて適宜変更することが可能である。
1 湿式溶解装置
3 連続処理炉
5 鋼帯
9 排ガス冷却装置
11 塩化鉄分離装置
21 粉体払出管
23 気送管
25 液槽
27 混合室
29 液体噴霧ノズル
31 通過室
33 溶液循環ポンプ
35 排気管
37 充填材

Claims (3)

  1. 気体搬送される粉体を溶解液中に溶解させるための湿式溶解装置であって、
    前記粉体を溶解した前記溶解液を貯留する液槽と、該液槽の上方に設けられて気体搬送された前記粉体が搬送気体と共に供給される混合室と、該混合室内に前記搬送気体と共に供給された前記粉体に霧状の前記溶解液を噴霧する液体噴霧ノズルと、前記混合室と前記液槽との間に設けられて前記混合室に供給された前記搬送気体と噴霧された前記溶解液が通過する通過室を有し、
    該通過室には前記搬送気体及び前記溶解液の通過時に前記溶解液と前記粉体との接触面積を大きくするための充填材が充填されており、前記搬送気体と前記粉体とが前記混合室内で一時的に滞留するとともに、前記通過室内の前記充填材の隙間を通過した前記溶解液前記液槽に貯留されるようにしたことを特徴とする湿式溶解装置。
  2. 前記混合室は、上部から下部に向かって拡径する円錐台形状をしており、前記液体噴霧ノズルを前記混合室の上部に設けたことを特徴とする請求項1記載の湿式溶解装置。
  3. 前記液槽の前記溶解液を前記液体噴霧ノズルに供給する循環ラインを設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載の湿式溶解装置。
JP2013040281A 2013-03-01 2013-03-01 気体搬送される粉体の湿式溶解装置 Active JP6068195B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013040281A JP6068195B2 (ja) 2013-03-01 2013-03-01 気体搬送される粉体の湿式溶解装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013040281A JP6068195B2 (ja) 2013-03-01 2013-03-01 気体搬送される粉体の湿式溶解装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014168725A JP2014168725A (ja) 2014-09-18
JP6068195B2 true JP6068195B2 (ja) 2017-01-25

Family

ID=51691571

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013040281A Active JP6068195B2 (ja) 2013-03-01 2013-03-01 気体搬送される粉体の湿式溶解装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6068195B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7070518B2 (ja) * 2019-07-31 2022-05-18 Jfeスチール株式会社 塩化鉄粉の湿式回収方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5829246B2 (ja) * 1976-12-16 1983-06-21 三菱瓦斯化学株式会社 ハイドロサルフアイトの連続溶解装置
JPH0657004A (ja) * 1992-08-12 1994-03-01 Ohbayashi Corp 高分子吸水材料と水との混合方法及び混合装置
JP3106887B2 (ja) * 1994-12-29 2000-11-06 日本鋼管株式会社 塩化鉄粉の湿式回収方法
HU222031B1 (hu) * 1996-08-30 2003-03-28 Energiagazdálkodási Rt. Hidromechanikus keverőberendezés por vagy szemcsés halmazállapotú anyagból és folyadékból álló keverék előállítására
WO2004076042A1 (ja) * 2003-02-28 2004-09-10 Okutama Kogyo Co., Ltd. 混合装置およびスラリー化装置
US8567767B2 (en) * 2010-05-03 2013-10-29 Apiqe Inc Apparatuses, systems and methods for efficient solubilization of carbon dioxide in water using high energy impact

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014168725A (ja) 2014-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101664789B1 (ko) 과립외에 액체를 포함하는 탱크의 바닥으로부터 과립을 배출하기 위한 방법 및 장치
CN104936686A (zh) 高密度微细气泡液生成方法及高密度微细气泡液生成装置
TWM483123U (zh) 氣體溶解於液體的生成裝置及流體噴頭
JP2008080230A (ja) 基板処理装置および基板処理方法
WO2019142715A1 (ja) 排ガス処理方法および排ガス処理装置
JP6068195B2 (ja) 気体搬送される粉体の湿式溶解装置
JP5763100B2 (ja) 処理される材料の湿式化学処理のための方法およびデバイス
TWI729448B (zh) 電漿去除有害排氣的裝置
TW201143957A (en) Apparatus and method for providing an inerting gas during soldering
JP2018149489A (ja) 集塵装置の泡液供給機構
JP5377535B2 (ja) 絶縁電線の製造方法及び製造装置
KR101402369B1 (ko) 회전 분사 노즐을 이용한 고농도 기액 혼합장치
JP6854663B2 (ja) 排ガス処理方法及び排ガス処理装置
JP5424225B2 (ja) オゾン水生成装置
KR20160072348A (ko) 분말 공급장치
JP6243778B2 (ja) 微細気泡発生装置
JP7070518B2 (ja) 塩化鉄粉の湿式回収方法
CN206823515U (zh) 氯化氢气体吸收装置
JP6628683B2 (ja) 液体触媒製造方法および製造装置
TW201516390A (zh) 溶解氣體濃度測定裝置及溶解氣體濃度測定方法
JP2015077570A (ja) ガス溶解液製造システムにおいて使用するノズルの構造
KR101841024B1 (ko) 인쇄회로기판 습식 에칭 시스템
JP7393353B2 (ja) 物体を処理する方法及びその方法を実施するための装置
JP4322134B2 (ja) 気液交換方法
JP5795157B2 (ja) スクラバー

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151130

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160926

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161004

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161220

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161222

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6068195

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250