JP7393353B2 - 物体を処理する方法及びその方法を実施するための装置 - Google Patents
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- H01L31/186—Particular post-treatment for the devices, e.g. annealing, impurity gettering, short-circuit elimination, recrystallisation
Description
-処理対象の物体が、搬送装置によって溶液槽(basin)を通過するように搬送され、
-処理溶液が上向き出口開口部が設けられた少なくとも1つの供給デバイスによって前記溶液槽に導入され、前記処理溶液が処理溶液ジェットの構成を有する前記上向き出口開口部によってここで上向きに噴霧され、
-前記物体が、前記上向き出口開口部の上方で前記溶液槽を通過するように搬送され、
-前記溶液槽を通じた前記物体の搬送中に、前記物体の下向き表面が前記処理溶液ジェットに接触させられる、
ことが提供される。
-処理溶液が配置され得る溶液槽と、
-それによって処理対象の物体が前記溶液槽を通過するように搬送方向に搬送され得る搬送装置と、
-前記溶液槽に配置され、それによって処理溶液が前記溶液槽に導入され得る少なくとも1つの供給デバイスと、を備え、
-前記少なくとも1つの供給デバイスは、前記処理溶液を上向きに噴霧する上向き出口開口部を有する。
2 物体
3 溶液槽
4 処理溶液
5 搬送装置
6 搬送方向
7 軌道
8 搬送ローラー
9 供給デバイス
10 直線区間
11 外管
12 内管
13 上向き出口開口部
14 下向き出口開口部
15 投入デバイス
16 投入ライン
17 コネクタユニット
18 脱気装置
19 排出ライン
20 コネクタユニット
21 溶液槽縁
22 搬送面
23 下向き表面
24 処理溶液ジェット
25 長手延在方向
26 スペーサ素子
L 長さ
Claims (13)
- 物体(2)を処理する方法であって、
処理対象の物体(2)が搬送装置(5)によって溶液槽(3)を通過するように搬送され、
処理溶液(4)が上向き出口開口部(13)を設けられた少なくとも1つの供給デバイス(9)によって溶液槽(3)に導入され、処理溶液(4)が処理溶液ジェット(24)の構成を有する上向き出口開口部(13)によってここで上向きに噴霧され、
物体(2)が、上向き出口開口部(13)の上方で溶液槽(3)を通過するように搬送され、
溶液槽(3)を通じた物体(2)の搬送中に、物体(2)の下向き表面(23)が処理溶液ジェット(24)に接触し、
溶液槽(3)を通過した後に物体(2)の下向き表面(23)の各点が処理溶液ジェット(24)で均等な長さの時間で処理されているように、溶液槽(3)を通じた物体(2)の搬送の間、物体(2)の下向き表面(23)の各点が処理溶液ジェット(24)に接触させられることを特徴とする、方法。 - 処理が片面処理であって、物体(2)の下向き表面(23)が処理溶液(4)で処理されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 処理溶液ジェット(24)は、溶液槽(3)に既に含まれている処理溶液(4)において構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 少なくとも1つの供給デバイス(9)は、外管(11)及び該外管(11)内に配置された内管(12)を有するチューブインチューブシステムとして構成され、処理溶液(4)は、内管(12)の下向き出口開口部(14)を介して外管(11)に導入されており、処理溶液ジェット(24)は、外管(11)から上向きに溶液槽(3)に噴霧されていることを特徴とする、請求項1~3の何れか一項に記載の方法。
- 請求項1~4の何れか一項に記載の方法を実施する処理装置(1)であって、
処理溶液(4)が配置され得る溶液槽(3)と、
処理対象の物体(2)が溶液槽(3)を通過するように搬送方向(6)に搬送され得る搬送装置(5)と、
溶液槽(3)に配置され、処理溶液(4)が溶液槽(3)に導入され得る少なくとも1つの供給デバイス(9)と、
を備え、
少なくとも1つの供給デバイス(9)は処理溶液(4)を上向きに噴霧する上向き出口開口部(13)を有し、
処理装置(1)は、処理対象の物体(2)を搬送方向(6)に沿って相互に隣接する複数の軌道(7)で搬送するように設置され、少なくとも1つの供給デバイス(9)は複数の供給デバイス(9)のうちの1つであり、処理装置(1)は、各軌道(7)に対して専用の供給デバイス(9)を有していることを特徴とする、処理装置(1)。 - 少なくとも1つの供給デバイス(9)は、搬送方向(6)に対して非平行に、少なくとも部分的に、溶液槽(3)において延在することを特徴とする請求項5に記載の処理装置(1)。
- 少なくとも部分的に、少なくとも1つの供給デバイス(9)は、搬送方向(6)に対して傾斜して配向された直線区間(10)を有することを特徴とする請求項5または6に記載の処理装置(1)。
- 直線区間(10)は、少なくとも1つの供給デバイス(9)の全長(L)にわたって延在し、円錐状に広がる処理溶液ジェット(24)が、少なくとも1つの供給デバイス(9)の上向き出口開口部(13)によって構成可能であり、直線区間(10)は、搬送方向(6)に対して角度αで配向され、その角度αについて、それは少なくともおよそα=arcsin((B-2R)/L))であり、Lは少なくとも1つの供給デバイス(9)の長さであり、Bは処理対象の物体(2)の幅であり、Rは搬送装置(5)の搬送面(22)の高さでの処理溶液ジェット(24)の半径であることを特徴とする、請求項7に記載の処理装置(1)。
- 少なくとも1つの供給デバイス(9)は、少なくとも1つの供給デバイス(9)の長手延在方向(25)に相互に離れて配置される複数の上向き出口開口部(13)を有することを特徴とする、請求項5~8の何れか一項に記載の処理装置(1)。
- 少なくとも1つの供給デバイス(9)は、外管(11)及び該外管(11)内に配置された内管(12)を有するチューブインチューブシステムとして構成され、外管(11)は、処理溶液(4)を上向きに噴霧する上向き出口開口部(13)を有し、内管(12)は、処理溶液(4)がそれを介して外管(12)に導入され得る下向き出口開口部(14)を有することを特徴とする、請求項5~9の何れか一項に記載の処理装置(1)。
- 少なくとも1つの供給デバイスは、処理溶液(4)を上向きに噴霧するための搬送方向(6)に対して斜方又は垂直に相互に隣接して配置される複数の上向き出口開口部(13)を有することを特徴とする、請求項5~10の何れか一項に記載の処理装置(1)。
- 搬送装置(5)は、搬送方向(6)に相互に続いて配置される複数の搬送ローラー(8)を有し、少なくとも1つの供給デバイス(9)は、搬送ローラー(8)の下方に配置され、少なくとも1つの供給デバイス(9)の上向き出口開口部(13)は、搬送方向(6)に関連して搬送ローラー(8)の位置に配置されることを特徴とする、請求項5~11の何れか一項に記載の処理装置(1)。
- 少なくとも1つの供給デバイス(9)からの気泡及び/又は気泡に富む処理溶液(4)の除去のための脱気装置(18)を有し、脱気装置(18)は少なくとも1つの供給デバイス(9)に接続される排出ライン(19)を有することを特徴とする、請求項5~12の何れか一項に記載の処理装置(1)。
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