JP6006924B2 - 姿勢角測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
図1は、姿勢角測定装置及びその周辺装置を概念的に示すブロック図である。
[姿勢角測定方法]
図4は実施例1の姿勢角測定方法によるピッチ・ロール角の測定手順を示すフローチャート、図5はタング部でのレーザー光の照射及び反射を示す要部概念図、図6は反射光による撮像画像、図7はパッド反射成分によるパッド反射画像である。
[実施例1の効果]
本実施例の姿勢角測定方法では、ヘッド・サスペンション3の情報読み書き用のスライダが取り付けられる取付面19を有し、該取付面19上に絶縁層15を介してスライダに対する複数のパッド21が配設されたタング部5のピッチ・ロール角を測定する姿勢角測定方法であって、タング部5の取付面19に対し少なくとも二つのパッド21を含めた範囲に単一のコリメート光であるレーザー光Lを照射し、取付面19での反射光Rから各パッド21によるパッド反射成分Cを抽出し、該パッド反射成分Cに基づいてタング部5のピッチ・ロール角を測定する。
3 ヘッド・サスペンション
5 タング部
19 取付面
21 パッド(電極)
23 レーザー照射部(照射部)
25 レーザー受光部(受光部)
27 処理部
L レーザー光
R 反射光
C パッド反射成分(電極反射成分)
Claims (6)
- ヘッド・サスペンションの情報読み書き用のスライダが取り付けられる取付面を有し、該取付面上に絶縁層を介して前記スライダに対する複数の電極が配設されたタング部の姿勢角を前記スライダが取り付けられていない状態で測定する姿勢角測定方法であって、
前記タング部の取付面に対し少なくとも二つの電極を含めた範囲に単一のコリメート光を照射し、
前記取付面での反射光から各電極による電極反射成分を抽出し、
該電極反射成分に基づいて前記タング部の姿勢角を測定し、
前記電極反射成分に基づいた測定は、前記抽出した電極反射成分と予め用意した電極反射成分の位置及び姿勢角の相関とに基づいて行なう、
ことを特徴とする姿勢角測定方法。 - 請求項1記載の姿勢角測定方法であって、
前記各電極による電極反射成分から個別の姿勢角を測定し、
該個別の姿勢角の平均値を前記タング部の姿勢角の測定値とする、
ことを特徴とする姿勢角測定方法。 - 請求項1又は2記載の姿勢角測定方法であって、
前記電極反射成分の抽出は、前記反射光による撮像画像を形成し該撮像画像を画像処理することで行われる、
ことを特徴とする姿勢角測定方法。 - 請求項1〜3の何れかに記載の姿勢角測定方法であって、
前記ヘッド・サスペンションは、前記電極に接続されてカバー絶縁層で被覆された配線パターンを有し、
前記コリメート光の波長と前記カバー絶縁層の材質との選択により前記反射光の前記配線パターンでの反射を抑制する、
ことを特徴とする姿勢角測定方法。 - 請求項4記載の姿勢角測定方法であって、
前記カバー絶縁層は、ポリイミドからなり、
前記コリメート光は、青色又は紫色レーザー光である、
ことを特徴とする姿勢角測定方法。 - ヘッド・サスペンションの情報読み書き用のスライダが取り付けられる取付面を有し、該取付面上に絶縁層を介して前記スライダに対する複数の電極が配設されたタング部の姿勢角を前記スライダが取り付けられていない状態で測定する姿勢角測定装置であって、
コリメート光を前記タング部の取付面に照射する照射部と、
前記タング部からの反射光を受光する受光部と、
該受光部で受光した反射光から電極反射成分を抽出し、前記電極反射成分に基づいて前記タング部の姿勢角を測定する処理部とを備え、
前記処理部は、前記電極反射成分に基づいた測定を、前記抽出した電極反射成分と予め用意した電極反射成分の位置及び姿勢角の相関とに基づいて行なう、
ことを特徴とする姿勢角測定装置。
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