CN1321417C - 磁盘用悬架的偏歪角测定方法及测定装置 - Google Patents

Abstract

一种磁盘用悬架的偏歪角测定方法，包括：安装步骤，把磁盘用悬架的基准面加压固定在夹具上，该夹具具有被设定了已知偏歪角的平滑基准平面；和测定步骤，测定被固定在所述夹具上的所述悬架的滑动器承载面相对所述基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角。

Description

磁盘用悬架的偏歪角测定方法及测定装置

技术领域

本发明涉及一种用于测定硬盘驱动器等的磁盘装置中的悬架偏歪角(横倾方向和纵倾方向的偏歪角)的测定方法及测定装置。

背景技术

在测定磁盘用悬架的横倾方向和纵倾方向的偏歪角(以下称为横倾角和纵倾角)时，通常测定相对悬架基准面的滑动器悬浮面的偏歪角，或者承载滑动器的滑动器承载面的偏歪角。此时，采用使用激光测位仪的测定装置、自动准直仪、或光干涉方法等，在基准面和滑动器承载面的两处测定角度，并获取其差量，由此获得测定值。

另外，一般也使用下述方法，使前端为球面形状的负载销点接触悬架，测定使悬架处于模拟悬浮状态(模拟了磁头对磁盘进行实际读取时的悬浮状态)时的偏歪角。

图5是说明以往的悬架偏歪角测定步骤的一例流程图。图10表示成为测定对象的磁盘用悬架的一例。

如图10所示，悬架1在安装于磁盘装置一侧(图10中的右侧)的下面具有测定基准面2，在相反侧(图10中的左侧)的前端部具有用于承载滑动器的滑动器承载面。并且，在该悬架1上，预先确定有在测定偏歪角时与前端为球面形状的负载销8接触的位置。以下，把该位置称为负载销的规定位置。

在图5的偏歪角测定步骤中，测定夹具被设置成可以安装规定数量的悬架(1批)，假定测定夹具上的各悬架的横倾方向和纵倾方向的偏歪角被连续测定的情况。

如图5所示，在步骤S11，把规定数量的悬架(1批)安装在测定夹具上。在测定夹具上形成水平的基准平面，多个悬架被安装在基准平面上。

在步骤S12，移动设在偏歪角测定装置上的XY载物台、Z载物台。也移动这些载物台上的测定夹具和多个悬架。

在步骤S13，判定测定对象的悬架向横倾角、纵倾角的测定位置的移动是否已完成。在尚未完成移动的情况下，返回上述步骤S12的控制。

在完成向测定位置的移动时，在步骤S14，利用CCD图像确认负载销和悬架的相对位置。

在步骤S15，使负载销向悬架的规定位置移动。

在步骤S16，判定负载销是否已移动到悬架的规定位置。在负载销的移动尚未完成的情况下，返回上述步骤S14和S15，再次向悬架的规定位置移动负载销。

在负载销的移动完成时，在步骤S17，使用角度测定器测定该悬架的滑动器承载面相对基准面的横倾角θr和纵倾角θp，把该测定数据存储在控制部(计算机)的存储器中。

在该步骤S17，在进行固定在夹具上的悬架基准面2的角度测定的同时，进行悬架1的滑动器承载面的角度测定，算出其差分作为偏歪角。因此，在测定多个悬架的偏歪角时，需要对每个悬架进行使负载销向规定位置移动的定位调整，并且进行上述基准面2的角度测定和滑动器承载面的角度测定。

在步骤S18，在控制部的显示器上显示横倾角的测定数据θr和纵倾角的测定数据θp。

在步骤S19，判定是否已完成夹具上的所有悬架的偏歪角测定。在完成时转入下一步骤S21的控制。在未完成时，在步骤S20，转入测定下一悬架的偏歪角的控制，反复上述步骤S12以后的测定步骤。

在步骤S21，从测定夹具上卸下规定数量的悬架(1批)。

在步骤S22，判定是否已完成所有批次的悬架的偏歪角测定。在完成时，结束图5的测定步骤。在未完成时，在步骤S23，转入测定下一批悬架的偏歪角的控制，反复上述步骤S11以后的测定步骤。

近年来，硬盘驱动器的记录密度提高，随之对悬架加工精度的要求也更高。因此，产生了(1)测定处理能力低、(2)模拟悬浮状态下的测定中的测定误差大的问题。

关于测定处理能力，此前采用抽样精度检查可以保证悬架的偏歪角度的质量，但是，现在产生了必须进行全数检查，必须大幅提高测定装置的处理能力的问题。

另外，关于模拟悬浮状态下的测定中的测定精度，在悬架的偏歪角测定中，利用负载销形成模拟悬浮状态时，如果负载销接触悬架的指定位置(X、Y、Z坐标)而不固定，则悬架处于和原有的悬浮状态的姿势不同的状态，因此偏歪角与本应测出的值之间产生误差。在该情况下，一般方法是在调整负载销和悬架的相对位置关系后进行测定，但是由于该调整花费时间，所以将导致测定处理效率的恶化。

发明内容

本发明就是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，在磁盘用悬架的偏歪角测定方法和测定装置中，提高测定处理的效率，并且降低模拟悬浮状态下的测定误差。

为了解决上述问题，本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法，其特征在于，包括：安装步骤，通过把磁盘用悬架的基准面加压固定在夹具上，该夹具具有被设定了已知的横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的平滑基准平面，从而将所述悬架的基准面配置成与所述基准平面的所述偏歪角对齐；测定步骤，测定被固定在所述夹具上的所述悬架的滑动器承载面相对所述基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角。

所述偏歪角测定方法也可以构成为包括：通过使前端为球面形状的负载销在规定的位置点接触被固定在所述夹具上的所述悬架，使所述悬架成为模拟悬浮状态的步骤；第1计算步骤，计算出在使所述悬架和所述负载销的相对位置变化时的、根据通过所述测定步骤获取的所述悬架在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的变化量而得到的关系式。

所述偏歪角测定方法也可以构成为包括第2计算步骤，即，在所述悬架与所述负载销的相对位置的变化量为已知的情况下，不移动所述负载销进行所述测定步骤，根据实际得到的偏歪角的测定值和在所述第1计算步骤得到的所述关系式，近似计算出在所述规定位置上的偏歪角的测定值。

另外，为了解决上述问题，本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定装置，测定磁盘用悬架的滑动器承载面相对基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角，其特征在于，包括：夹具，具有被设定了已知的横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的平滑基准平面；安装机构，通过把所述悬架的基准面加压固定在所述夹具的所述基准平面上，从而将所述悬架的基准面配置成与所述基准平面的所述偏歪角对齐；测定单元，测定被固定在所述夹具上的所述悬架的滑动器承载面相对所述基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角；前端为球面形状的负载销；负载销移动单元，为了把所述悬架设定为模拟悬浮状态，移动所述负载销，使其在规定位置与所述悬架点接触；第1计算单元，计算出在使所述悬架与所述负载销的相对位置变化时的、根据所述测定单元获取的所述悬架在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的变化量而得到的关系式。

所述偏歪角测定装置也可以构成为具有第2计算单元，即，在所述悬架与所述负载销的相对位置的变化量为已知的情况下，不移动所述负载销进行偏歪角的测定，根据实际得到的偏歪角的测定值和所述关系式，近似计算出在所述规定位置的偏歪角的测定值。

根据本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法和测定装置，使悬架的基准面抵接设有具有已知横倾角和纵倾角的基准平面的夹具，由此悬架的基准面的横倾角和纵倾角与夹具的基准平面的横倾角和纵倾角一致，不需要再测定。因此，不需要以往的测定方法中进行的悬架基准面的角度测定，可以缩短每个悬架的测定数据获取时间。

并且，如果已知固定在夹具上时的悬架和负载销的相对位置关系，而且已知起因于负载销位置偏差的悬架的横倾角和纵倾角的变化量，则不需要在每次测定时进行悬架和负载销的定位。通过导入基于偏歪角相对负载销位移而变化的关系式的校正值，可以求出实际的悬架的横倾角和纵倾角。

本发明的其他目的、特征和优点，通过参照以下的结合附图对本发明内容的详细说明，将更加明确。

附图说明

图1是表示本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法中使用的磁盘用悬架和夹具的图。

图2A是表示从图1所示箭头A方向观看的磁盘用悬架和夹具的图。

图2B是表示从图1所示箭头B方向观看的磁盘用悬架和夹具的图。

图3是表示在图1的测定方法中使用的负载销和角度测定器的图。

图4是说明本发明涉及的磁盘用悬架的偏歪角测定方法的原理的图。

图5是说明以往的悬架偏歪角测定方法的一例的流程图。

图6A、图6B和图6C是说明本发明的一实施例的磁盘用悬架的偏歪角测定方法的测定步骤的流程图。

图7是表示本发明的一实施例涉及的磁盘用悬架的偏歪角测定装置的结构图。

图8是表示本发明的一实施例涉及的磁盘用悬架的偏歪角测定装置的立体图。

图9是表示图8所示偏歪角测定装置的夹具的结构图。

图10是表示成为测定对象的磁盘用悬架的一例图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

图1表示本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法中使用的磁盘用悬架和夹具。

图2A表示从图1所示箭头A方向观看的磁盘用悬架1和夹具3。图2B表示从图1所示箭头B方向观看的磁盘用悬架1和夹具3。图3表示在图1的测定方法中使用的负载销8和角度测定器11。

如图1、图2A和图2B所示，成为测定对象的磁盘用悬架1的测定基准面2被按压在夹具3上，该夹具3具有被设定为已知横倾角(θr0)和纵倾角(θp0)的平滑基准平面。通过这样地把悬架1固定在夹具3上，使悬架1的基准面2与夹具3的基准平面的已知横倾角和纵倾角相同。

如图3所示，在把悬架1固定在夹具3上时，通过使用负载销8加压，使悬架1成为模拟悬浮状态的姿势。在此时的负载销8的规定位置(X0、Y0、Z0)，使用角度测定器11测定悬架1的滑动器承载面的横倾角和纵倾角。以下，把该偏歪角测定称为第1测定。

使负载销8从上述规定位置在X、Y、Z坐标上分别仅移动规定的距离(ΔX、ΔY、ΔZ)，然后使用角度测定器11再次测定悬架1的滑动器承载面的横倾角和纵倾角。以下，把该偏歪角测定称为第2测定。

根据第1测定和第2测定的结果，可以算出成为测定对象的悬架1对应负载销8的移动距离(ΔX、ΔY、ΔZ)的横倾角变化量(Δθr)和纵倾角变化量(Δθp)。在本发明的偏歪角测定方法中，根据该横倾角和纵倾角的变化量的算出值，确定关系式f和g。以下，使用图4说明该关系式f和g。

图4是说明本发明的一实施例的磁盘用悬架的偏歪角测定方法的原理的图。

首先，把负载销8的规定位置的坐标设为(X0、Y0、Z0)，一般，把使负载销8相对悬架1从规定位置移动时的位置坐标(Xn、Yn、Zn)表示如下。

Xn：X0、X1、X2、…、Xp    (p+1)个

Yn：Y0、Y1、Y2、…、Yq    (q+1)个

Zn：Z0、Z1、Z2、…、Zr    (r+1)个

因此，需要测定偏歪角的位置坐标的数量为合计(p+1)×(q+1)×(r+1)个。

假定X、Y、Z为独立的变量，则悬架的横倾角θr的关系式f可以用下式表示。

θr＝f(X、Y、Z)＝a(X-α)ⁿ+b(Y-β)^m+c(Z-γ)¹

其中，a、b、c、α、β、γ、n、m、1为任意的实数。

在X、Y、Z的变化量为足够小于悬架1的外形尺寸的值时，可以利用下述的一次方程式使上述关系式f近似。

θr＝f(X、Y、Z)＝aX+bY+cZ+d            (1)

上述算式(1)的系数(a、b、c、d)中，系数a可以根据(p+1)个测定数据，系数b可以根据(q+1)个测定数据，系数c可以根据(r+1)个测定数据，分别利用最小平方法求出。

同样，可以利用下述的一次方程式使悬架1的纵倾角θp的关系式g近似。

θp＝g(X、Y、Z)＝hX+iY+jZ+k            (2)

上述算式(2)的系数(h、i、j、k)中，系数h可以根据(p+1)个测定数据，系数i可以根据(q+1)个测定数据，系数j可以根据(r+1)个测定数据，分别利用最小平方法求出。

因此，如上所述，根据悬架1的横倾角和纵倾角的测定结果，可以算出对应负载销8的移动距离(ΔX、ΔY、ΔZ)的横倾角变化量(Δθr)和纵倾角变化量(Δθp)。根据该横倾角和纵倾角变化量的算出值，可以使用最小平方法求出上述算式(1)和算式(2)的关系式f和g中的各个系数值，可以确定悬架1的横倾角和纵倾角的关系式f和g。

在实际测定中，在把多个悬架并列放置在夹具上时，需要对每个部位预先测定出负载销8前端的球面部顶点的位置坐标(X、Y、Z)，或者使用图像识别等方法，通过获得悬架1和负载销8的相对位置关系，由此预先求出与负载销原本应接触、加载的位置坐标的偏差(ΔX、ΔY、ΔZ)。

只要确定了悬架1的横倾角和纵倾角的关系式f和g，便可在不移动负载销8的情况下，通过进行和上述第1测定步骤相同的步骤，连续地自动测定出多个悬架的各个滑动器承载面的横倾角和纵倾角。

通过对按照上述步骤测定的横倾角和纵倾角，加上作为校正值的相当于预先求出的偏差(ΔX、ΔY、ΔZ)的横倾角和纵倾角，算出位于负载销原本应接触、加载的位置坐标的横倾角和纵倾角。从所校正的偏歪角即横倾角和纵倾角减去夹具3的基准平面4的已知横倾角和纵倾角(θr0、θp0)，由此求出滑动器承载面相对悬架测定基准面的横倾角和纵倾角。

图6A、图6B和图6C是说明本发明的一实施例的磁盘用悬架的偏歪角测定方法的测定步骤的流程图。

图6A和图6B表示用于确定测定对象的悬架的特性值(关系式)的测定步骤，图6C表示用于实际测定多个悬架的横倾角、纵倾角的偏歪角测定步骤。针对测定对象的悬架的各个测定步骤，通过设在本发明的测定装置的控制部12(在后面的图7中叙述)来执行。

在图6A所示的用于确定悬架特性值的测定步骤中，首先，在步骤S31，把测定对象的悬架1安装在夹具3上。

在步骤S32，使用负载销8加压(安装)，使悬架1成为模拟悬浮状态。

在步骤S33，移动XY载物台，调整悬架1和负载销8的相对位置。

在步骤S34，判定负载销8的位置是否移动到悬架1的规定位置(X0、Y0、Z0)。在负载销8尚未完成移动时，返回上述步骤S33的控制。

在负载销8完成移动时，在步骤S35，移动XY载物台和Z载物台，判定负载销8的位置是否移动到目标位置(Xn、Yn、Zn)。在负载销8尚未完成向目标位置的移动时，再次执行上述步骤S35。

在负载销8完成向目标位置的移动时，在步骤S36，使用角度测定器11，测定悬架1的滑动器承载面的横倾角θr(Xn、Yn、Zn)和纵倾角θp(Xn、Yn、Zn)，把该测定结果的数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S37，判定是否已完成预先指定的负载销8的所有目标位置的横倾角和纵倾角的测定数据的存储。在尚未完成测定数据的存储时，在步骤S38，使负载销8向下一目标位置移动。并且，反复上述步骤S35以后的步骤。

在步骤S39，根据悬架1的横倾角θr的变化量的测定数据和负载销8的位置坐标的数据，进行使用最小平方法的运算，确定上述算式(1)的关系式θr＝f(X、Y、Z)的系数值a、b、c、d。

在步骤S40，把在上述步骤S39确定的上述算式(1)的关系式f的系数值a、b、c、d的数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S41，根据悬架1的纵倾角θp的变化量的测定数据和负载销8的位置坐标的数据，进行使用最小平方法的运算，确定上述算式(2)的关系式θp＝g(X、Y、Z)的系数值h、i、j、k。

在步骤S42，把在上述步骤S41确定的上述算式(2)的关系式g的系数值h、i、j、k的数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S42结束时，转入图6B的测定步骤S43的控制。

在图6B的负载销位置测定步骤中，在步骤S43，移动XY载物台使夹具3上的负载销8进入CCD摄像机的视场内。

在步骤S44，判定是否已完成XY载物台的移动。在完成移动时，转入后面的步骤S45的控制。在未完成移动时，返回上述步骤S43的控制。

在步骤S45，控制CCD摄像机，获取负载销8的图像，把图像数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S46，控制位移仪，测定负载销8的高度，把高度测定数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S47，把负载销8的位置偏移量(ΔX、ΔY、ΔZ)的数据存储在控制部12的存储器中。其中，X方向、Y方向的位置偏移量(ΔX、ΔY)根据XY载物台的位移数据和控制部12对CCD图像进行的图像处理数据算出。Z方向的位置偏移量ΔZ直接利用位移仪测定。

在步骤S48，利用控制部12运算与位置偏移量(ΔX、ΔY、ΔZ)相对应的横倾角校正量和纵倾角校正量，把该运算结果的数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S49，判定是否已完成夹具3上的所有悬架的负载销位置测定。在完成时，转入图6C的步骤S51的控制。在未完成时，在步骤S50，转入对下一悬架的负载销位置测定的控制，反复上述步骤S43以后的测定步骤。

图6C的偏歪角测定步骤是在下述假定情况下进行的，即，设置可以安装规定数量的悬架(1批)的夹具3，使负载销8相对各悬架不移动，一次进行1批的多个悬架的各个偏歪角的测定。

如图6C所示，在步骤S51，把规定数量的悬架(1批)安装在夹具3上。

在步骤S52，移动XY载物台和Z载物台。

在步骤S53，判定是否已完成测定对象的悬架向横倾角、纵倾角测定位置的移动。在未完成移动时，返回上述步骤S52的控制。

在完成向测定位置的移动时，在步骤S54，使用角度测定器11测定该悬架的横倾角θr和纵倾角θp，把该测定数据存储在控制部12的存储器中。

在步骤S55，对所测定位置的负载销8，进行从横倾角测定值θr减去横倾角校正值Δθr的运算(θr-Δθr)，把横倾角运算结果的数据θrr存储在控制部12的存储器中。

在步骤S56，对所测定位置的负载销8，进行从纵倾角测定值θp减去纵倾角校正值Δθp的运算(θp-Δθp)，把纵倾角运算结果的数据θpp存储在控制部12的存储器中。

在步骤S57，在控制部12的显示器上显示横倾角运算结果的数据θrr和纵倾角运算结果的数据θpp。

在步骤S58，判定是否已完成夹具3上的所有悬架的偏歪角测定。在完成时，转入下一步骤S60的控制。在未完成时，在步骤S59，转入对下一悬架的偏歪角的测定控制，反复上述步骤S52以后的测定步骤。

在步骤S60，从夹具3上卸下规定数量的悬架(1批)。

在步骤S61，判定是否已完成所有批次的悬架的偏歪角测定。在完成时，结束图6C的测定步骤。在未完成时，在步骤S62，转入对下一批次悬架的偏歪角的测定控制，反复上述步骤S51以后的测定步骤。

根据上述实施例的偏歪角测定方法，使悬架1的基准面2抵接设有具有已知横倾角和纵倾角的基准平面的夹具3，由此基准面2的横倾角和纵倾角与夹具3的基准平面的横倾角和纵倾角一致，不需要再测定。因此，不需要以往的测定方法中进行的悬架基准面2的角度测定，可以缩短每个悬架1的测定数据获取时间。

并且，如果已知固定在夹具3上时的悬架1和负载销8的相对位置关系，而且已知起因于负载销位置偏差的悬架的横倾角和纵倾角的变化量，则不需要在每次测定时进行悬架1和负载销8的定位。通过导入基于关系式f和g的校正值，可以求出实际的悬架的横倾角和纵倾角。

根据本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法，在把多个悬架并列在同一夹具上进行一起测定的情况下，不需要相对夹具3分别独立移动负载销8的机构，可以省略移动负载销的步骤，大幅度缩短偏歪角的测定时间，并且可以简化测定装置的结构。

图7是表示本发明的一实施例涉及的磁盘用悬架的偏歪角测定装置的结构图。图8是表示本发明的一实施例涉及的磁盘用悬架的偏歪角测定装置的立体图。图9是表示图8所示偏歪角测定装置的夹具的结构图。

如图7～图9所示，该实施例的偏歪角测定装置由以下部分构成：夹具3；定位销5；压缩弹簧6；安装部件7；负载销8；三轴方向的微驱动器9；XY载物台10；角度测定器11；用于执行图6A～图6C所示的偏歪角测定步骤的控制部12(个人计算机(PC)等)；Z载物台13；CCD摄像机和位移仪14。

成为测定对象的悬架1被放置成使其测定基准面2对准设在夹具3上的平滑基准平面4。此时，悬架1被设置成利用两个定位销5来约束在X、Y、θ方向上的移动。夹具3被分成上下两部分。悬架1通过内置于夹具3上部的压缩弹簧6，并利用安装部件7以一定压力加压。测定基准面2抵接基准平面4，悬架1被固定在夹具3上。另外，夹具3的上部和下部利用卡具被固定成一体。

在悬架1被固定在夹具3上时，负载销8抵接悬架1的规定位置，悬架1被设定为模拟悬浮状态。负载销8可以使用三轴方向的微驱动器9仅移动微小距离，该移动距离由控制部12控制。

该驱动器9仅在求出各个悬架固有的、与负载销位移相对应的横倾角、纵倾角的变化量的关系式时，使负载销8移动。并且，利用控制部12控制CCD摄像机和位移仪14，可以获取负载销8和悬架1的图像，进行高度测定。

在该实施例中，多个负载销8按照各悬架1的设置间隔被配置在一个块体上。并且，在求出各个悬架1固有的、与负载销位移相对应的横倾角、纵倾角的变化量的关系式时，控制驱动器9，使各负载销8分别在X、Y、Z方向移动，由此可以在相同条件下连续获取所承载的所有悬架的多个测定数据。

用于固定多个悬架1的夹具3安装在XY载物台10上。通过移动XY载物台10，各悬架1在角度测定器11的测定区域移动，分别测定各个悬架的横倾角、纵倾角。另外，角度测定器11安装在用于调整与悬架1的距离的Z载物台13上。XY载物台10和Z载物台13的移动由控制部12控制。

控制部12从角度测定器11获取测定数据，根据表示预先测定的某悬架1和负载销8的相对位置的位置数据，算出对各个悬架进行校正的横倾角和纵倾角的校正值。控制部12进行向测定数据(实测值)加算校正值的运算，在对该结果进行了减去夹具3的基准平面4的横倾角和纵倾角的运算后，使显示器等输出装置显示真正的横倾角和纵倾角(即，负载销8点接触规定位置时的悬架1的实际偏歪角)。

如上所述，在以往的测定方法中，每次进行各个悬架的偏歪角测定时，进行负载销的定位，并进行基准面测定，与此相比，根据本发明的磁盘用悬架的偏歪角测定方法和测定装置，可以大幅度缩短测定时间，而且可以降低模拟悬浮状态下的测定误差。

以上，根据实施例说明了本发明，但本发明不限于上述实施例，可以在权利要求书记载的范围内进行各种变形。

Claims (5)

1.一种磁盘用悬架的偏歪角测定方法，其特征在于，包括：

安装步骤，通过把磁盘用悬架的基准面加压固定在夹具上，该夹具具有被设定了已知的横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的平滑基准平面，从而将所述悬架的基准面配置成与所述基准平面的所述偏歪角对齐；

测定步骤，测定被固定在所述夹具上的所述悬架的滑动器承载面相对所述基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角。

2.根据权利要求1所述的磁盘用悬架的偏歪角测定方法，其特征在于，包括：

通过使前端为球面形状的负载销在规定的位置点接触被固定在所述夹具上的所述悬架，使所述悬架成为模拟悬浮状态的步骤；

第1计算步骤，计算出在使所述悬架和所述负载销的相对位置变化时的、根据所述测定步骤获取的所述悬架在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的变化量而得到的关系式。

3.根据权利要求2所述的磁盘用悬架的偏歪角测定方法，其特征在于，包括第2计算步骤，即，在所述悬架与所述负载销的相对位置的变化量为已知的情况下，不移动所述负载销进行所述测定步骤，根据实际得到的偏歪角的测定值和在所述第1计算步骤得到的所述关系式，近似计算出在所述规定位置上的偏歪角的测定值。

4.一种磁盘用悬架的偏歪角测定装置，测定磁盘用悬架的滑动器承载面相对基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角，其特征在于，包括：

夹具，具有被设定了已知的横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的平滑基准平面；

安装机构，通过把所述悬架的基准面加压固定在所述夹具的所述基准平面上，从而将所述悬架的基准面配置成与所述基准平面的所述偏歪角对齐；

测定单元，测定被固定在所述夹具上的所述悬架的滑动器承载面相对基准面在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角；

前端为球面形状的负载销；

负载销移动单元，为了把所述悬架设定为模拟悬浮状态，移动所述负载销，使其在规定位置与所述悬架点接触；

第1计算单元，计算出在使所述悬架与所述负载销的相对位置变化时的、根据所述测定单元获取的所述悬架在横倾方向和纵倾方向上的偏歪角的变化量而得到的关系式。

5.根据权利要求4所述的磁盘用悬架的偏歪角测定装置，其特征在于，具有第2计算单元，即，在所述悬架与所述负载销的相对位置的变化量为已知的情况下，不移动所述负载销进行偏歪角的测定，根据实际得到的偏歪角的测定值和所述关系式，近似计算出在所述规定位置的偏歪角的测定值。

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