JP2002074630A - ディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、ディスク駆動装置用
のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿
勢角度修正システムは、磁気ヘッドのディスクに対する
角度姿勢の測定と、測定に基づく対象物の修正作業と
が、別の場所で行われるのみならず、修正の結果の確認
を、装置に再度組み込んで測定して行うものであり、短
時間での結果を求められる生産現場には対応しきれない
ものであった。 【解決手段】 サスペンション１を治具２
４に固定した状態で、フレキシャーヘッド部等の静的姿
勢角度を測定ヘッド３０で測定すると共に、その測定結
果に応じて前記フレキシャー本体の修正支持部に加工ヘ
ッド３１で熱変位を与えて、フレキシャーヘッド部の姿
勢角度を修正するようにしたディスク駆動装置用のサス
ペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度
修正システム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ディスク駆動装
置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等
の姿勢角度修正システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータに内蔵される情報記憶装置
であるハードディスク駆動装置においては、高速回転し
ているディスク上に微少間隔を保ちながら浮上して、デ
ィスクの情報を読み書きする磁気ヘッドがサスペンショ
ンと言う支持部材の先端部に保持されている。

【０００３】サスペンションは、ベースプレートに基部
を固定された板ばね状のロードビームの先端部に設けた
突起部に、更に薄い板ばね状のフレキシャー本体に修正
支持部を介して設けたフレキシャーヘッド部を、姿勢修
正することができるように傾動可能に当接して、前記ロ
ードビームに前記フレキシャー本体を固定した構成から
なり、前記フレキシャーヘッド部に磁気ヘッドを有する
エア・ベアリング・スライダ（以下スライダと称す
る。）を固定することによって、磁気ヘッドをサスペン
ションの先端部に支持するように構成してある。

【０００４】磁気ヘッドのディスクに対する角度姿勢が
許容範囲内にない場合には、ディスク上に適正な微少間
隔を保ちながら浮上して、ディスクの情報を読み書きす
ることができなくなるため、従来から、特開平３−１９
２５８６号に記載のように、ハードディスク駆動装置の
高速回転するディスクに装着したサスペンションの磁気
ヘッドの浮上量を測定し、測定後にハードディスク駆動
装置からサスペンションを取り外して、測定データに基
づく修正を施してから、再度、装置に装着して、浮上量
を測定する装置が知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】。然るに、この従来方
法では、磁気ヘッドのディスクに対する角度姿勢の測定
と、測定に基づく対象物の修正作業とが、別の場所で行
われるのみならず、修正の結果の確認を、装置に再度組
み込んでヘッドの浮上量を測定して行うものであり、短
時間での結果を求められる生産現場には対応しきれない
ものであった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、特許
請求の範囲の請求項１に記載のように、ロードビームの
先端部に設けた突起部に、フレキシャー本体に修正支持
部を介して設けたフレキシャーヘッド部を、姿勢修正す
ることができるように傾動可能に当接して、前記ロード
ビームに前記フレキシャー本体を固定してなるディスク
駆動装置用のサスペンションにおいて、サスペンション
を治具に固定した状態で、フレキシャーヘッド部の静的
姿勢角度を測定すると共に、その測定結果に応じて前記
フレキシャー本体の修正支持部に熱変位を与えて、フレ
キシャーヘッド部の姿勢角度を修正するようにしたディ
スク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャー
ヘッド部等の姿勢角度修正システムを提供するものであ
る。

【０００７】本発明によれば、サスペンションを治具に
固定した状態を維持したままで、フレキシャーヘッド部
の静的姿勢角度を測定すると共に、その測定結果に応じ
て前記フレキシャー本体の修正支持部に熱変位を与え
て、フレキシャーヘッド部の姿勢角度を修正することが
できるから、一度治具にサスペンションを取り付けれ
ば、これを取り外すことなく測定と修正を行うかとがで
き、また、短時間でフレキシャーヘッド部の姿勢角度が
適正な範囲内にあることの確認もできる。

【０００８】なお、フレキシャーヘッド部に磁気ヘッド
を有するスライダを固定した状態においては、フレキシ
ャーヘッド部の姿勢角度はスライダの角度姿勢となるか
ら、本発明においてフレキシャーヘッド部の姿勢角度と
言う場合には、フレキシャーヘッド部に装着した磁気ヘ
ッドを有するスライダの姿勢角度を包含することは勿論
である。

【０００９】また、本発明は、請求項２に記載のよう
に、請求項１に記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角
度修正システムにおいて、フレキシャー本体の修正支持
部がフレキシャーヘッド部の後端部側を自由端として先
端部側において支持するようにしたディスク駆動装置用
のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿
勢角度修正システムを提供するものである。本発明によ
れば、フレキシャー本体の修正支持部が、フレキシャー
ヘッド部を、その後端部側を自由端として先端部側にお
いて支持することから、修正支持部に熱変位を与えやす
いと共に、熱変位を与えてフレキシャーヘッド部に傾動
変位を与えやすくすることができる。

【００１０】また、本発明は、請求項３に記載のよう
に、請求項１又は２に記載のフレキシャーヘッド部等の
姿勢角度修正システムにおいて、ロードビームの先端部
に設けた突起部にフレキシャーヘッド部のほぼ中心部が
当接して傾動可能にしたディスク駆動装置用のサスペン
ションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正
システムを提供するものである。本発明によれば、突起
部にフレキシャーヘッド部のほぼ中心部が当接して傾動
することにより、修正支持部に熱変位を加えてフレキシ
ャーヘッド部をバランス良く修正することができる。

【００１１】また、本発明は、請求項４に記載のよう
に、請求項１乃至３のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部等の姿勢角度をピッチ角とロール角の角度成
分で計測し、フレキシャーヘッド部等の姿勢角度のピッ
チ角とロール角を個別に各々プラス方向及びマイナス方
向に調整することからなるディスク駆動装置用のサスペ
ンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修
正システムを提供するものである。

【００１２】本発明によれば、フレキシャーヘッド部等
の姿勢角度のピッチ角とロール角を個別に各々プラス方
向及びマイナス方向に調整することができるから、例え
ば、ピッチ角を許容範囲内に修正するとロール角が許容
範囲外になると言うようなことが無くなり、容易に正確
に修正することができる。

【００１３】また、本発明は、請求項５に記載のよう
に、請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、前記熱変位
はレーザを照射しフレキシャー本体の修正支持部の残留
応力の除去を行うことからなるディスク駆動装置用のサ
スペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角
度修正システムを提供するものである。本発明によれ
ば、レーザを照射して修正することにより熱変形を短時
間に行うことができると共に、修正支持部の残留応力の
除去による形状変化のために経時的変化が無く、安定し
た製品の提供ができる。

【００１４】また、本発明は、請求項６に記載のよう
に、請求項１乃至５のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の静的姿勢角度をレーザ変位計により測定す
ることからなるディスク駆動装置用のサスペンションに
おけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システム
を提供するものである。本発明によれば、フレキシャー
ヘッド部の表面の３点以上にレーザ変位計のレーザーを
照射して、これら３点以上の測定点を含む回帰平面を演
算してフレキシャーヘッド部の姿勢角度を迅速に確実に
測定することができる。

【００１５】また、本発明は、請求項７に記載のよう
に、請求項１乃至６のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度をロードビーム及びフレキシャー
本体のバネ圧力・共振周波数特性に影響なく修正するデ
ィスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャ
ーヘッド部等の姿勢角度修正システムを提供するもので
ある。本発明のよれば、フレキシャーヘッド部の姿勢角
度をロードビーム及びフレキシャー本体のバネ圧力・共
振周波数特性に影響なく修正することができるから、修
正によりディスク駆動装置にサスペンションの影響を与
えることがない。

【００１６】また、本発明は、請求項８に記載のよう
に、請求項１乃至７のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度の測定手段と修正手段とを隣接し
て設けてなるディスク駆動装置用のサスペンションにお
けるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システムを
提供するものである。本発明によれば、フレキシャーヘ
ッド部の姿勢角度の測定手段と修正手段とを隣接して設
けることにより、測定と修正とを交互に容易に行うこと
ができる。

【００１７】また、本発明は、請求項９に記載のよう
に、請求項１乃至８のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度の測定手段と修正手段とに対し
て、サスペンション側が移動するように設けてなるディ
スク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャー
ヘッド部等の姿勢角度修正システムを提供するものであ
る。本発明によれば、測定手段と修正手段を固定した状
態で、サスペンション側を移動することにより、フレキ
シャーヘッド部の姿勢角度の測定と修正を交互に容易に
行うことができる。

【００１８】また、本発明は、請求項１０に記載のよう
に、請求項１乃至９のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度の測定手段であるレーザーと修正
手段であるレーザーが、サスペンション側が移動中に照
射されるようにしてなるディスク駆動装置用のサスペン
ションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正
システムを提供するものである。本発明によれば、フレ
キシャーヘッド部の姿勢角度の測定手段であるレーザー
と修正手段であるレーザーが、サスペンション側が移動
中に照射されるから、多数のサスペンションのフレキシ
ャーヘッド部を迅速な測定と修正を行うことができると
共に、移動中に測定するため検出面の表面荒さを移動平
均化することができる。

【００１９】また、本発明は、請求項１１に記載のよう
に、請求項１乃至１０のいずれかに記載のフレキシャー
ヘッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシ
ャーヘッド部の姿勢角度の修正手段であるレーザの照射
位置及びエネルギー量が、フレキシャーヘッド部の姿勢
角度の測定結果に基づいて自動的に校正されるディスク
駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッ
ド部等の姿勢角度修正システムを提供するものである。
本発明によれば、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の修
正手段であるレーザの照射位置及びエネルギー量が、フ
レキシャーヘッド部の姿勢角度の測定結果に基づいて自
動的に校正されるから、測定結果の異なる個々のフレキ
シャーヘッド部の姿勢角度を修正する度に、レーザの照
射位置及びエネルギー量を手動で設定する必要が無く、
迅速な作業が容易にできる。

【００２０】即ち、フレキシャーヘッド部の姿勢角度
が、修正支持部のどの部位にどの程度のエネルギー量で
加えると、どのように変化するかを本発明システムが記
憶しているから、その記憶に基づいて、個々のフレキシ
ャーヘッド部の姿勢角度を測定すれば、修正支持部のど
の部位にどの程度のエネルギー量で加えれば、修正する
ことができるかを自動的に校正することができ、機械的
に自動的に修正レシピが作成でき、熟練を要さずに、容
易に姿勢角度の修正を行うことができるのである。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下図示する実施例により、本発
明の実施の形態を説明する。図１において、１は、コン
ピュータに内蔵される情報記憶装置であるハードディス
ク駆動装置用のサスペンションである。サスペンション
１は、図２の分解図で示す通り、ハードディスク駆動装
置にサスペンション１を装着する際の装着基部となるベ
ースプレート２と、ベースプレート２に密着して溶着さ
れる基部３と基部３から屈曲して先端部の突起部５に向
かって鋭角状に突出する支持板部４とからなるロードビ
ーム６と、ロードビーム６の突起部５に姿勢角度修正す
ることができるように傾動可能に当接するフレキシャー
ヘッド部７を先端部に具備しロードビーム６の支持板部
４上面に溶着されるフレキシャー本体８とからなる。

【００２２】ベースプレート２には、図２の（ａ）
（ｂ）に記載のように、突起９が設けてあり、この突起
９に、図２の（ｃ）（ｄ）に記載のロードビーム６の基
部３に設けた嵌合孔１０が嵌合するように構成してあ
る。フレキシャーヘッド部７は、図２の（ｅ）（ｆ）に
記載のように、フレキシャー本体８の先端部に、周囲を
中空部１１に囲まれた形で、その両側と先端の修正支持
部１２，１３，１４により、フレキシャーヘッド部７の
後端部側を自由端として先端部側１５において支持する
ように構成してある。

【００２３】図３は、フレキシャーヘッド部７の一実施
例の詳細な図面を示し、例えば、フレキシャーヘッド部
７の横幅は７００μ、その両側の中空部１１の幅はそれ
ぞれ１００μ、その両側の修正支持部１２，１３の幅は
それぞれ２５０μで、フレキシャー本体８の先端部の幅
は１．４ｍｍ程度であり、フレキシャーヘッド部７の支
持された先端部側から自由端である後端部側までの縦幅
は１ｍｍ程度である。フレキシャーヘッド部７の先端部
側１５には、複数の出力端子１６が設けてあり、フレキ
シャー本体８に沿って導電線１７がベースプレート２の
側縁部に取り付けられる端末の接続端子１８にまで延設
してある。

【００２４】また、フレキシャーヘッド部７のほぼ中央
には、ロードビーム６の先端部に設けた半球状の突起部
５に当接する当接部位１９が設けてあり、図１の（ｂ）
に記載のように、突起部５を傾動支点としてフレキシャ
ーヘッド部７を、横方向のロール角方向、及び、縦方向
のピッチ角方向に円滑に傾動し得るように構成してあ
る。図１又は図４の(ａ)において、符号２０により黒点
で示した部位は、ロードビーム６の支持板部４にフレキ
シャー本体８を溶着した位置を示し、符号２１により黒
点で示した部位は、ベースプレート２にロードビーム６
の基部３を溶接した位置を示すものである。

【００２５】図４は、図１のサスペンション１のフレキ
シャーヘッド部７に、ディスクの情報を読み書きする磁
気ヘッド２２を有するスライダ２３を装着したヘッド・
ジンバル・アセンブリー（以下ＨＧＡと称す）を示し、
サスペンション１との違いはフレキシャーヘッド部７に
スライダ２３が有るか無いかの違いだけである。また、
ベースプレート２の厚さは２００乃至３００μ、ロード
ビーム６の厚さは７０μ、フレキシャー本体８の厚さは
２５乃至３０μでばねの作用を有するものである。

【００２６】スライダ２３を装着したフレキシャーヘッ
ド部７は、ディスクが回転すると通常の状態より浮上
し、突起部５によってピッチ方向およびロール方向に自
由に傾動することができる構造になっている。このピッ
チ方向の角度をピッチ角およびロール方向の角度をロー
ル角とよんでおり、この角度がフレキシャーヘッド部７
の浮上量と大いに関係がある。

【００２７】回転するディスクに対してフレキシャーヘ
ッド部７に装着したスライダ２３の磁気ヘッド２２が許
容範囲以上の角度を持つようになると、ディスクと磁気
ヘッド２２の関係が悪くなり、正確なデータの読み取り
あるいは書き込みが行われ難くなる。また、ディスクに
磁気ヘッド２２又はスライダ２３が衝突する畏れもあ
る。この理由により、磁気ヘッド２２を支えるＨＧＡひ
いてはサスペンション１にも反りや傾きがないことが好
ましい。

【００２８】サスペンション１はステンレス製のものが
多いが、その製造過程ですでに反りや傾きが発生してい
るものもあり、この状態自体が正確なデータ読み取りあ
るいは書き込みを妨げる原因になっている。このような
状況の中で、サスペンション１の状態を迅速に測定し修
正する方法が望まれていた。

【００２９】図５に概略して示す実施例において、ＨＧ
Ａ又はサスペンション１は、一平面上で直行するＸ軸方
向２５及びＹ軸方向２６にコンピュータ制御によりＸＹ
駆動されるＸＹステージ２７に治具２４を介して固定さ
れ、また、フレキシャーヘッド部７又はスライダ２３の
姿勢角度をレーザー変位計で計測する測定ヘッド３０
と、熱変位により姿勢角度を修正するレーザを発する加
工ヘッド３１とは、隣接して、前記ＸＹステージ２７の
ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向２８にコンピュータ制御によ
り駆動されるＺステージ２９に装着してある。３２はＺ
ステージ２９のＺ軸方向案内部である。

【００３０】レーザー変位計３３は、図６に記載のよう
に、半導体レーザー３４から反射鏡３５、投光レンズ３
６を介して、レーザースポット４０に照射され、その反
射光を受光レンズ３７，反射鏡３８を介して受光素子か
らなる位置センサ３９で受光して、レーザースポット４
０の高さを測定することができる。図７において、計測
すべきフレキシャーヘッド部７を有するサスペンション
１及びフレキシャー本体８の形状は、予めＣＡＤデータ
等によりコンピュータのデータ処理部４１に読み込まれ
ているから、ＸＹ座標４２上において、ＸＹステージを
ＸＹ方向に、ＺステージをＺ方向にモーターコントロー
ル部４３により駆動して、図３に記載のフレキシャーヘ
ッド部７の任意の位置の（ＸＹＺ）座標を読み取り、姿
勢角度を計測することができると共に、修正支持部１
２，１３，１４の修正可能領域を設定することができ
る。

【００３１】本発明に係るフレキシャーヘッド部等の姿
勢角度修正システムは、図８のフローチャート図に示す
処理手順を具備している。処理手順は、先ず、ステップ
ＡからＥの５段階の補正パラメータ設定段階４６と、ス
テップＦからＮの９段階のワーク補正段階４７と、ステ
ップＯの計測結果処理段階とからなる。補正パラメータ
設定段階４６のステップＡのワーク補正領域設定では、
補正対象物であるＨＧＡ、フレキシャーヘッド部７及び
修正保持部１２，１３，１４等からなるワーク５０の原
点位置を設定し、図９に記載のように、レーザー照射可
能なワーク照射可能領域４８をデータ処理部４１に読み
込み、レーザーを直線に沿って照射する関係上、ワーク
補正領域を矩形又は平行四辺形からなる近似領域４９で
近似し、各補正領域４８を、領域番号、矩形又は平行四
辺形の位置（ｘ、ｙ）、幅、高さ、傾斜角度により特定
した補正領域テーブルを設定する。

【００３２】ステップＢのレーザー照射条件設定では、
熱変位用のレーザーの強度の設定、直線に沿ったリニア
補正を行うときのレーザーショット点の間隔であるレー
ザーショット間隔（５０μ乃至５００μ）の設定、レー
ザーショット回数の設定を行う。レーザーショット間隔
はレーザービーム径以下の値となり、レーザーショット
開始位置からの１ラインに沿ったレーザーショット回数
とレーザーショット間隔を掛けた値が、リニア補正時の
１ラインの補正長になる。ステップＣは、フレキシャー
ヘッド部の補正範囲及び補正許容範囲の設定を行う段階
で、ピッチング角０°〜３°、ローリング角−１．５°
〜１.５°のように、補正可能な範囲の上下限を設定す
る。

【００３３】図１０において、大型の補正許容範囲５１
又は小型の補正許容範囲５２においても、Ｙ軸５３を中
心とするローリング角度はマイナスｘ座標で最も遠い点
が最小角度で、プラスのｘ座標で最も遠い点が最大角度
になり、Ｘ軸５４を中心とするピッチング角度はマイナ
スｙ座標で最も遠い点が最小角度で、プラスのｙ座標で
最も遠い点が最大角度になる。また、ステップＣでは、
補正後の許容範囲もピッチング角０．１°、ローリング
角０．１°のように設定し、補正分解能も、ピッチング
角０．０１°、ローリング角０．０５°のように設定す
る。

【００３４】ステップＤでは、長方形又は平行四辺形の
補正領域を長い辺を基準に、図１１に記載のように、Ｎ
ｏ．１〜３のようなリニア補正ラインに分割して、ライ
ン番号、ライン始点（ｘ、ｙ）ライン角度等からなるリ
ニア補正テーブルを作成する。ステップＥの補正角測定
の段階では、実際の補正すべきワーク５０のサンプルを
前記のリニア補正テーブルに従って補正ライン毎に動か
しながらレーザーショットを行い、実際に変形したピッ
チング角、ローリング角を測定する。このときのワーク
移動速度は、ショット間隔／（レーザー冷却時間＋ショ
ット時間＋α）であり、ワーク移動速度は、ｒｏｏｔ
（Ｖｘ２＋Ｖｙ２）により、計算することができる。

【００３５】この所定のワーク５０に対して実際のレー
ザーショットを行った結果は、種々のライン番号、ライ
ン始点（ｘ、ｙ）、ライン角、レーザー強度、ショット
間隔、ショット回数に対し、実際のピッチ補正角、ロー
ル補正角を測定して、データ処理部に、ピッチ補正角ｐ
θ、ロール補正角ｒθが、図１２に記載の（ｐθ，ｒ
θ）座標において、（−，−）の１象限（１）、（＋，
−）の２象限（２）、（−，＋）の３象限、（＋，＋）
の４象限毎に蓄積して、リニア補正テーブルを完成し、
補正パラメータ設定４６が完了する。

【００３６】次ぎに、ステップＦからＮの９段階からな
るワーク補正段階４７において、先ずステップＦのワー
ク角度測定段階では、ＸＹステージに、補正すべきスラ
イダ又はフレキシャーヘッド部７を有するＨＧＡ又はサ
スペンション１を設置して、レーザー変位計により、図
１３又は図１４に記載のように、フレキシャーヘッド部
７の所定の４点の測定点５６、５７のＸＹＺ座標を測定
し、フレキシャーヘッド部７の姿勢角度であるピッチ角
とロール角を測定し、補正角度を決定する。このとき、
補正角度が補正可能範囲を越えている場合は補正しな
い。

【００３７】次に、ステップＧにおいて、最小距離法又
は象限優先法等からなる補正アルゴリズムを選択して補
正レピシを作成する。最小距離法では、例えば、図１２
において、リニア補正テーブルを検索して測定角度５８
から補正後に目標角５５に最も近くなる補正ラインを探
し、次いで、補正後の角度５９に対して更に目標角に最
も近くなる補正ラインを探し、次いで補正後の角度６０
に対して更に目標角に最も近くなる補正ラインを探し
て、目標角５５の範囲内に入る補正角度６１が得られる
ように、補正レシピを作成して、補正レシピの作成は完
了する。

【００３８】また、象限優先法では、図２において、リ
ニア補正テーブルを検索して測定角度５８の属する象限
（１）と補正後の角度６２が同じ象限に属する補正ライ
ン中で目標角５５に最も近くなる補正ラインを探し、次
いで、補正後の角度６２に対して更に同じ象限（１）に
属する補正ライン中で目標角に最も近くなる前記以外の
補正ラインを探し、次いで補正後の角度６３に対して更
に同じ象限（３）に属する補正ライン中で目標角に最も
近くなる補正ラインを探して、更に、補正後の角度６４
に対して更に同じ象限（３）に属する補正ライン中で目
標角に最も近くなる補正ラインを探して、目標角５５の
範囲内に入る補正角度６５が得られるように、補正レシ
ピを作成して、補正レシピの作成は完了する。

【００３９】なお、象限優先法で適当な補正ラインがな
い場合には、最小距離法により補正レピシを作成する。
また、レシピ作成中に、補正許容範囲を越える場合に
は、補正不可エラーとして、レシピ作成を中断する。ス
テップＨにおいて、ステップＧで作成した補正レシピに
従ってレーザー照射を行い、ステップＩにおいて、レー
ザー変位計により補正後の姿勢角度を測定して、ステッ
プＪにおいて、補正後の測定値が補正目標角度範囲にな
い場合には、ステップＫに記載の如く、再度未使用の補
正ラインを使用してレシピを作成し直し、ワーク補正を
行う。２回の補正によって補正許容範囲内に入っていな
ければステップＬのごとく補正エラーとしてそのワーク
を除去し、補正許容範囲内に入っていれば、ステップＭ
において、残りの全ワークについてステップＮの如く、
同様のワーク補正段階４７を施し、その終了後にステッ
プＯの如く、計測結果処理を行って、修正作業は完了す
る。

【００４０】図１５はこのシステムの運転の流れを要約
して説明した図である。まず，Ａ）の姿勢角度測定工程
において、測定基準面に対するＨＧＡ又はサスペンショ
ンのスライダ又はフレキシャーヘッド部の姿勢角度を測
定してから、Ｂ）の修正角度決定工程において、あらか
じめ設定してある値と測定された角度との差を計算して
修正すべき角度値を割り出す。次に、Ｃ）の照射条件算
定工程において、レーザ照射条件の算出をした後に、
Ｄ）のレーザー照射工程において、フレキシャーの修正
支持部表面にレーザを照射してスライダ又はフレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度を修正する。最後に、Ｅ）の姿勢
角度再測定工程において、確認のためＡ）姿勢角度測定
工程において測定した姿勢角度を再測定するという順の
工程となる。

【００４１】Ａ）工程では、ＸＹステージを駆動してＨ
ＧＡまたはサスペンションの位置決めを行い、測定ヘッ
ド、Ｚステージを使用して、測定基準面に対するＨＧＡ
又はサスペンションのスライダ又はフレキシャーヘッド
部の姿勢角度の測定を行う。ＸＹステージを駆動してあ
らかじめコンピュータに設定した位置へＨＧＡまたはサ
スペンションを移動させる。この位置で、ＨＧＡの場合
はスライダに、サスペンションの場合はフレキシャーヘ
ッド部にレーザ変位計のレーザを照射し、その反射を変
位計で受けてスライダ又はフレキシャー面と変位計の距
離を測定する。この測定により得られた値より、３次元
座標系のＺ座標値を導き出す。

【００４２】ＸＹステージを制御するコンピュータがこ
のときのＸＹ座標値を把握しているため、先に導き出さ
れたＺ座標値と合わせることによって、スライダ又はフ
レキシャー面上の測定点の３次元座標系におけるＸＹＺ
座標値を算出することができる。また、ＸＹステージ移
動中に測定を行うため検出面の表面粗さを移動平均化す
ることができる。３回以上の測定を行うことにより３点
以上の測定点が得られ、平面は３点以上あれば形成でき
るため、これらの測定点を含む回帰平面を演算する。演
算された回帰平面のＸＹ平面対する角度差を計算する
と、これがスライダ又はフレキシャーヘッド部の姿勢角
度、ピッチ角又はロール角となる。

【００４３】なお、この装置ではレーザ変位計のレーザ
を照射する位置をＸ，Ｙの座標値を用いて任意に設定す
ることができるため、例えば、図１３の５６、図１４の
５７に示すように、形状の違うフレキシャーヘッド部７
の表面をその形状に合った位置の測定点５６、５７で測
定することができる。 Ｂ）工程では、Ａ）工程で得られた測定値（ピッチ角又
はロール角）とあらかじめ設定したピッチ角基準値又は
ロール角基準値との差をコンピュータで計算し、変形す
べき角度値を割り出す。 Ｃ）工程では、Ｂ）工程で算出された角度値にもとづき
レーザの照射条件をコンピュータにより導き出す。

【００４４】先に述べたようにフレキシャーヘッド部７
は突起部５によってピッチ方向およびロール方向に自由
に動くことができる構造になっているため、フレキシャ
ー本体の修正支持部面に角度変形分に対応する熱変位を
レーザにて与えると、ピッチ角及びロール角を各々個別
にプラス方向及びマイナス方向に両方変化させることが
できる。レーザ照射による修正支持部への熱変形は比較
的短時間ですむため、効率が求められる生産現場におい
ては実用的なものとなり、また残留応力除去による形状
変化のため経時変化がなく製品として安定する。なお、
ロードビームにレーザを照射していないため、バネ圧
力、共振周波数特性に影響が出ない。

【００４５】レーザの照射条件は、自動運転を始める前
にあらかじめコンピュータに設定する。この設定は、装
置を用いて収集した基礎データにもとづき、対象となる
サスペンション毎のピッチ角、ロール角それぞれにおい
て、任意に照射位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ座標値）、照射エネル
ギー、照射パルスレート、照射ショット数、およびこれ
らの条件を選ぶときの角度範囲（上限値、下限値）を複
数個のグループとして登録するものである。

【００４６】例えば、Ｂ）工程で算出されたピッチ角又
はロール角の値が上記に示すある角度範囲内にあると
き、コンピュータはその角度範囲を持つグループを選択
し、レーザー照射条件を導きだすことになる。 なお、
Ｚステージを使用して加工ヘッドの位置を変えることに
より、レーザスポットの直径を調節することができる。
レーザスポットの直径を調節することにより加工強度を
変えられるため、これによっても変形程度を調節するこ
とができる。

【００４７】この装置ではピッチ角、ロール角それぞれ
において照射条件を設定することができるため、ピッチ
角を重視するヘッド又はロール角を重視するヘッドのい
ずれにもまた、両方にも対応できる。例えば、サイドエ
レメント形式のヘッドでは図１６に示すようにスライダ
２３の端の位置に磁気ヘッド２２があるため、ロール方
向４５の姿勢角度がヘッドの能力発揮に大いに関係し、
この場合はロール角を重視して修正する。

【００４８】また、センターエレメント形式のヘッドで
は図１７に示すようにスライダ２３の中央の位置に磁気
ヘッド２２があるため、ロール方向４５よりもピッチ方
向４４の角度姿勢がヘッドの能力発揮に大いに関係し、
この場合はピッチ角を重視する。 Ｄ）工程では、ＸＹステージを駆動してサスペンション
の位置決めを行い、修正用レーザヘッドを使用して、修
正が必要なサスペンションのフレキシャー本体の修正支
持部にレーザを照射し、熱変位を与えてフレキシャーヘ
ッド部の姿勢角度を修正する。

【００４９】また、照射位置はコンピュータにより監視
されＸＹステージ移動中にレーザ照射を行えるため高速
な修正が行える。 Ｅ）工程では、ＸＹステージを駆動してＡ）工程と同じ
位置にＨＧＡ又はサスペンションの位置決めを行い、
Ａ）工程と同じ測定を再度行う。再測定した結果、あら
かじめ設定したピッチ角基準値又はロール角基準値の範
囲内にあることを確認して修正工程を完了する。このと
き、ピッチ角基準値又はロール角基準値の範囲を超える
ＨＧＡ又はサスペンションについては、不良品として扱
う表示をコンピュータディスプレイ上に行う。

【００５０】なお、本発明は、次の（１）乃至（１４）
の実施の形態を含むものである。 （１） ディスク駆動装置用のロードビ
ームの先端部に設けた突起部に、フレキシャー本体に修
正支持部を介して設けたフレキシャーヘッド部を、姿勢
修正することができるように傾動可能に当接して、前記
ロードビームに前記フレキシャー本体を固定してなるデ
ィスク駆動装置用のサスペンションにおいて、サスペン
ションを治具に固定した状態で、フレキシャーヘッド部
の静的姿勢角度を測定すると共に、その測定結果に応じ
て前記フレキシャー本体の修正支持部に熱変位を与え
て、フレキシャーヘッド部の姿勢角度を修正するように
したディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレ
キシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。

【００５１】（２） 実施の形態（１）
に記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法に
おいて、フレキシャー本体の修正支持部がフレキシャー
ヘッド部の後端部側を自由端として先端部側において支
持するようにしたディスク駆動装置用のサスペンション
におけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。 （３） 実施の形態（１）又は（２）に
記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法にお
いて、ロードビームの先端部に設けた突起部に当接する
フレキシャーヘッド部に当接部位を設けて傾動可能にし
たディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキ
シャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。

【００５２】（４） 実施の形態
（１）、（２）又は（３）に記載のフレキシャーヘッド
部等の姿勢角度修正方法において、ロードビームの先端
部に設けた突起部にフレキシャーヘッド部のほぼ中心部
が当接して傾動可能にしたディスク駆動装置用のサスペ
ンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修
正方法。 （５） 実施の形態（１）乃至（４）の
いずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修
正方法において、フレキシャーヘッド部等の姿勢角度を
ピッチ角とロール角の角度成分で計測し、フレキシャー
ヘッド部等の姿勢角度のピッチ角とロール角を個別に各
々プラス方向及びマイナス方向に調整することからなる
ディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシ
ャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。

【００５３】（６） 実施の形態（１）
乃至（５）のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等
の姿勢角度修正方法において、前記熱変位はレーザを照
射しフレキシャー本体の修正支持部の残留応力の除去を
行うことからなるディスク駆動装置用のサスペンション
におけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。 （７） 実施の形態（１）乃至（６）
のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度
修正方法において、フレキシャー本体がステンレス材か
らなるディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフ
レキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。 （８） 実施の形態（１）乃至（７）の
いずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修
正方法において、フレキシャーヘッド部の静的姿勢角度
をレーザ変位計により測定することからなるディスク駆
動装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド
部等の姿勢角度修正方法。

【００５４】（９） 実施の形態（１）
乃至（８）のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等
の姿勢角度修正方法において、フレキシャーヘッド部の
姿勢角度をロードビーム及びフレキシャー本体のバネ圧
力・共振周波数特性に影響なく修正するディスク駆動装
置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等
の姿勢角度修正方法。 （１０） 実施の形態（１）乃至（９）
のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度
修正方法において、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の
測定手段と修正手段とを隣接して設けてなるディスク駆
動装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド
部等の姿勢角度修正方法。 （１１） 実施の形態（１）乃至（１
０）のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢
角度修正方法において、フレキシャーヘッド部の姿勢角
度の測定手段と修正手段とに対して、サスペンション側
が移動するように設けてなるディスク駆動装置用のサス
ペンションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度
修正方法。

【００５５】（１２） 実施の形態
（１）乃至（１１）のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正方法において、フレキシャーヘ
ッド部の姿勢角度の測定手段であるレーザーと修正手段
であるレーザーは、サスペンション側が移動中に照射さ
れるようにしてなるディスク駆動装置用のサスペンショ
ンにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方
法。 （１３） 実施の形態（１）乃至（１
２）のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢
角度修正方法において、フレキシャーヘッド部の姿勢角
度の測定手段であるレーザーと修正手段であるレーザー
は、サスペンション側が移動中に照射されるようにして
なるディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレ
キシャーヘッド部等の姿勢角度修正方法。 （１４） 実施の形態（１）乃至（１
３）のいずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢
角度修正方法において、フレキシャーヘッド部の姿勢角
度の修正手段であるレーザの照射位置及びエネルギー量
が自動的に校正されるディスク駆動装置用のサスペンシ
ョンにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正方
法。

【００５６】

【発明の効果】以上の通り、本発明に係るディスク駆動
装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部
等の姿勢角度修正システムによれば、ロードビームの先
端部に設けた突起部に、フレキシャー本体に修正支持部
を介して設けたフレキシャーヘッド部を、姿勢修正する
ことができるように傾動可能に当接して、前記ロードビ
ームに前記フレキシャー本体を固定してなるディスク駆
動装置用のサスペンションにおいて、サスペンションを
治具に固定した状態で、フレキシャーヘッド部の静的姿
勢角度を測定すると共に、その測定結果に応じて前記フ
レキシャー本体の修正支持部に熱変位を与えて、フレキ
シャーヘッド部の姿勢角度を修正するようにした構成を
有することにより、サスペンションを治具に固定した状
態を維持したままで、フレキシャーヘッド部の静的姿勢
角度を測定すると共に、その測定結果に応じて前記フレ
キシャー本体の修正支持部に熱変位を与えて、フレキシ
ャーヘッド部の姿勢角度を修正することができるから、
一度治具にサスペンションを取り付ければ、これを取り
外すことなく高精度の測定と修正を交互に行うことがで
き、製品の信頼性を高める効果があると共に、短時間で
フレキシャーヘッド部の姿勢角度が適正な範囲内にある
ことを確認することができる効果がある。

【００５７】また、本発明は、請求項２に記載のよう
に、請求項１に記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角
度修正システムにおいて、フレキシャー本体の修正支持
部がフレキシャーヘッド部の後端部側を自由端として先
端部側において支持するようにした構成を有することに
より、修正支持部に熱変位を与えやすいと共に、熱変位
を与えてフレキシャーヘッド部に傾動変位を与えやすく
することができる効果がある。

【００５８】また、本発明は、請求項３に記載のよう
に、請求項１又は２に記載のフレキシャーヘッド部等の
姿勢角度修正システムにおいて、ロードビームの先端部
に設けた突起部にフレキシャーヘッド部のほぼ中心部が
当接して傾動可能にした構成を有することにより、修正
支持部に熱変位を加えてフレキシャーヘッド部をバラン
ス良く修正することができる効果がある。

【００５９】また、本発明は、請求項４に記載のよう
に、請求項１乃至３のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部等の姿勢角度をピッチ角とロール角の角度成
分で計測し、フレキシャーヘッド部等の姿勢角度のピッ
チ角とロール角を個別に各々プラス方向及びマイナス方
向に調整することからなる構成を有することにより、例
えば、ピッチ角を許容範囲内に修正するとロール角が許
容範囲外になると言うようなことが無くなり、容易に正
確に修正することができる効果がある。

【００６０】また、本発明は、請求項５に記載のよう
に、請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、前記熱変位
はレーザを照射しフレキシャー本体の修正支持部の残留
応力の除去を行うことからなる構成を有することによ
り、レーザを照射して修正することにより熱変形を短時
間に行うことができると共に、修正支持部の残留応力の
除去による形状変化のために経時的変化が無く、安定し
た製品の提供ができる効果がある。

【００６１】また、本発明は、請求項６に記載のよう
に、請求項１乃至５のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の静的姿勢角度をレーザ変位計により測定す
ることからなる構成を有することにより、フレキシャー
ヘッド部の表面の３点以上にレーザ変位計のレーザーを
照射して、これら３点以上の測定点を含む回帰平面を演
算してフレキシャーヘッド部の姿勢角度を迅速に確実に
測定することができる効果がある。

【００６２】また、本発明は、請求項７に記載のよう
に、請求項１乃至６のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度をロードビーム及びフレキシャー
本体のバネ圧力・共振周波数特性に影響なく修正する構
成を有することにより、精度の高いサスペンションを提
供することができる効果がある。また、本発明は、請求
項８に記載のように、請求項１乃至７のいずれかに記載
のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システムにお
いて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の測定手段と修
正手段とを隣接して設けてなる構成を有することによ
り、測定と修正とを交互に迅速に行うことができる効果
がある。

【００６３】また、本発明は、請求項９に記載のよう
に、請求項１乃至８のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度の測定手段と修正手段とに対し
て、サスペンション側が移動するように設けてなる構成
を有することにより、測定手段と修正手段を固定した状
態で、サスペンション側を移動することにより、フレキ
シャーヘッド部の姿勢角度の測定と修正を正確に円滑に
行うことができる効果がある。

【００６４】また、本発明は、請求項１０に記載のよう
に、請求項１乃至９のいずれかに記載のフレキシャーヘ
ッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキシャ
ーヘッド部の姿勢角度の測定手段であるレーザーと修正
手段であるレーザーが、サスペンション側が移動中に照
射されるようにしてなる構成を有することにより、多数
のサスペンションのフレキシャーヘッド部の迅速な測定
と修正を行うことができる効果があると共に、サスペン
ション側が移動中に測定することにより測定面の平滑化
が行われ、測定表面の粗さの影響を除去することができ
る効果がある。また、本発明は、請求項１１に記載のよ
うに、請求項１乃至１０のいずれかに記載のフレキシャ
ーヘッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フレキ
シャーヘッド部の姿勢角度の修正手段であるレーザの照
射位置及びエネルギー量が測定結果に基づいて自動的に
校正される構成を有することにより、測定結果の異なる
個々のフレキシャーヘッド部の姿勢角度を修正する度
に、レーザの照射位置及びエネルギー量を手動で設定す
る必要が無く、迅速な作業が容易にできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るサスペンションの一実施
例の概略模式図。

【図２】 図１の実施例のサスペンションの分解
説明図。

【図３】 本発明に係るサスペンションの他の実
施例の部分拡大説明図。

【図４】 本発明に係るＨＧＡ（ヘッド・ジンバ
ル・アッセンブリ）の一実施例の概略模式図。

【図５】 本発明システムの一実施例の概略構成
説明図。

【図６】 本発明の一実施例の要部の概略構成説
明図。

【図７】 本発明システムの一実施例の概略構成
説明図。

【図８】 本発明システムの一実施例の流れを説
明したフローチャート図。

【図９】 本発明の一実施例の要部の説明図。

【図１０】 本発明システムの使用態様を概略し
て示す説明図。

【図１１】 本発明システムの使用態様を概略し
て示す説明図。

【図１２】 本発明システムの使用態様を概略し
て示す説明図。

【図１３】 本発明のフレキシャーヘッド部と測
定点を概略して示す説明図

【図１４】 本発明のフレキシャーヘッド部と測
定点を概略して示す説明図

【図１５】 本発明システムの一実施例の流れを
概略して説明したフローチャート図。

【図１６】 本発明に係わるサイドエレメント形
式の磁気ヘッドを説明した概略説明図

【図１７】 本発明に係るセンターエレメント
形式の磁気ヘッドを説明した概略説明図

【符号の説明】

１ サスペンション ２ ベースプレート ３ 基部 ４ 支持板部 ５ 突起部 ６ ロードビーム ７ フレキシャーヘッド部 ８ フレキシャー本体 ９ 突起 １０ 嵌合孔 １１ 中空部 １２ 修正支持部 １３ 修正支持部 １４ 修正支持部 １５ 先端部側 １６ 出力端子 １７ 導電線 １８ 接続端子 １９ 当接部位 ２０ 溶着位置 ２１ 溶着位置 ２２ 磁気ヘッド ２３ スライダ ２４ 治具 ２５ Ｘ軸方向 ２６ Ｙ軸方向 ２７ ＸＹステージ ２８ Ｚ軸方向 ２９ Ｚステージ ３０ 半導体レーザー ３１ 加工ヘッド ３２ Ｚ軸方向案内部 ３３ レーザー変位計 ３４ 半導体レーザー ３５ 反射鏡 ３６ 投光レンズ ３７ 受光レンズ ３８ 反射鏡 ３９ 位置センサ ４０ レーザースポット ４１ データ処理部 ４２ ＸＹ座標 ４３ モーターコントロール部 ４４ ピッチ方向 ４５ ロール方法 ４６ 補正パラメータ設定段階 ４７ ワーク補正段階 ４８ ワーク照射可能領域 ４９ 近似領域 ５０ ワーク ５１ 補正許容範囲 ５２ 補正許容範囲 ５３ Ｙ軸 ５４ Ｘ軸 ５５ 目標角 ５６ 測定点 ５７ 測定点 ５８ 測定角度 ５９ 補正後の角度 ６０ 補正後の角度 ６１ 補正後の角度 ６２ 補正後の角度 ６３ 補正後の角度 ６４ 補正後の角度 ６５ 補正角度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5D042 AA07 BA02 BA03 CA01 CA04 DA02 DA20 5D059 AA01 BA01 CA14 CA16 DA17 EA03

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロードビームの先端部に
   設けた突起部に、フレキシャー本体に修正支持部を介し
   て設けたフレキシャーヘッド部を、姿勢修正することが
   できるように傾動可能に当接して、前記ロードビームに
   前記フレキシャー本体を固定してなるディスク駆動装置
   用のサスペンションにおいて、サスペンションを治具に
   固定した状態で、フレキシャーヘッド部の静的姿勢角度
   を測定すると共に、その測定結果に応じて前記フレキシ
   ャー本体の修正支持部に熱変位を与えて、フレキシャー
   ヘッド部の姿勢角度を修正するようにしたディスク駆動
   装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部
   等の姿勢角度修正システム。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のフレキ
   シャーヘッド部等の姿勢角度修正システムにおいて、フ
   レキシャー本体の修正支持部がフレキシャーヘッド部の
   後端部側を自由端として先端部側において支持するよう
   にしたディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフ
   レキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システム。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の
   フレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システムにおい
   て、ロードビームの先端部に設けた突起部にフレキシャ
   ーヘッド部のほぼ中心部が当接して傾動可能にしたディ
   スク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャー
   ヘッド部等の姿勢角度修正システム。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、フレキシャーヘッド部等の姿勢角度をピ
   ッチ角とロール角の角度成分で計測し、フレキシャーヘ
   ッド部等の姿勢角度のピッチ角とロール角を個別に各々
   プラス方向及びマイナス方向に調整することからなるデ
   ィスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャ
   ーヘッド部等の姿勢角度修正システム。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、前記熱変位はレーザを照射しフレキシャ
   ー本体の修正支持部の残留応力の除去を行うことからな
   るディスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキ
   シャーヘッド部等の姿勢角度修正システム。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、フレキシャーヘッド部の静的姿勢角度を
   レーザ変位計により測定することからなるディスク駆動
   装置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部
   等の姿勢角度修正システム。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度をロー
   ドビーム及びフレキシャー本体のバネ圧力・共振周波数
   特性に影響なく修正するディスク駆動装置用のサスペン
   ションにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正
   システム。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の測定
   手段と修正手段とを隣接して設けてなるディスク駆動装
   置用のサスペンションにおけるフレキシャーヘッド部等
   の姿勢角度修正システム。
9. 【請求項９】 請求項１乃至８のいずれ
   かに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テムにおいて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の測定
   手段と修正手段とに対して、サスペンション側が移動す
   るように設けてなるディスク駆動装置用のサスペンショ
   ンにおけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シス
   テム。
10. 【請求項１０】 請求項１乃至９のいず
    れかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正シ
    ステムにおいて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の測
    定手段であるレーザーと修正手段であるレーザーは、サ
    スペンション側が移動中に照射されるようにしてなるデ
    ィスク駆動装置用のサスペンションにおけるフレキシャ
    ーヘッド部等の姿勢角度修正システム。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のい
    ずれかに記載のフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正
    システムにおいて、フレキシャーヘッド部の姿勢角度の
    修正手段であるレーザの照射位置及びエネルギー量が自
    動的に校正されるディスク駆動装置用のサスペンション
    におけるフレキシャーヘッド部等の姿勢角度修正システ
    ム。