JP4619171B2 - 角度測定装置 - Google Patents
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Description
この種の角度測定装置では、計測を誤差なく正確に行うためには、撮像面上における集光中心の位置を正確に特定することが必要であるため、撮像面上の全画素に関する受光量情報から集光中心を検出することとしている。
まず、撮像面5上において、各反射光の受光スポットを取り囲むように受光領域1、2をそれぞれ決定する。次に得られた各受光領域2、3内の全画素に基づいて各反射光の集光中心(受光スポットSの中心位置)C1、C2をそれぞれ算出する(図12参照)。
受光スポット同士が互いに重なるような場合であっても、誤差を最小限に留めることが可能な度測定装置を提供することを目的とする。
このような構成であれば、撮像面上に形成される受光スポットの一部が互いに重なるような場合であっても、限られた領域内の画素に基づいて受光スポットの集光中心を決定するから重複による誤差を最小限に留めることが可能となり、これにより、各測定対象物に関し正確な傾角の測定が可能となる。
集光中心の位置を重心法により算出してやれば、各画素の受光分布を考慮(例えば、サブピクセル法など、最大受光量の画素の位置を集光中心とするものは受光分布を考慮することが出来ない)することが可能となり一層正確な測定が可能となる。
本実施形態の角度測定装置10は、被測定対象物としてのワークに光(検出光)を照射し、ワーク上で反射した反射光の集光位置に基づいて同ワークの傾角を測定するものである。そして、本実施形態の角度測定装置10には単面測定モード、2面測定モード(多面測定モード)の2つのモードが設けられており、測定に先立って、設定手段に設けられる操作部による切り替え操作によってモードの切り替えを行うことができるようになっている。尚、単面測定モードとは、被測定対象物が複数ある場合に、測定を時分割で個別に行うものである。一方、2面測定モードは、複数の測定対象物に同時に光を照射し、各被測定対象物の角度を同時に測定するものである。
図1に示す符号11は検出光を出射する投光素子(本発明の角度測定用投光手段に相当)、符号12はコリメータレンズ、符号13はハーフミラー、符号14は収束レンズ、符号15は撮像素子(本発明の角度測定用撮像手段に相当)である。撮像素子15は複数の画素がマトリクス状に配されて2次元の撮像面15Aを備えてなる。以下の説明において、図2における横方向をX軸、縦方向をY軸とする座標系を撮像面15Aに設定するものとし、同撮像面15Aの中央を原点Oと規定する。また、符号16はメモリ、符号17は制御部、符号18は設定手段である。メモリ16には撮像素子15の撮像面15Aにおける1フレーム分の情報を記憶するための領域が確保されている。
尚、制御部17は、本発明における受光量分布決定手段、極大点決定手段、画素抽出領域決定手段、集光位置決定手段、角度決定手段、閾値設定手段として機能する。
両反射光はその後、ハーフミラー13を透過し、収束レンズ14によって収束されて撮像素子15の撮像面15A上に集光する。これにより、撮像面15A上にはワークW1からの反射光による受光スポットS1及びワークW2からの反射光による受光スポットS2がそれぞれ形成されることとなる(図2参照)。
撮像面15A上に各ワークW1、W2からの反射光が入光し、受光スポットS1、S2が形成されると、光の入光があった各画素(撮像素子)からは受光量に応じたレベルの撮像信号Saが信号線を通じて送信され、同撮像信号Saは一旦、メモリ16に記憶される。
処理が開始されると、ステップ21で制御部17によって投影処理が行われる。ここで行われる投影処理はまず、Y軸方向に延びる列(例えば、J1)についてラインデータの取得、すなわち同じ列J1内の各画素の受光量データをそれぞれメモリ16から読み出す処理を行い、その後、取得されたラインデータJ1中の最大受光量レベルの画素をサンプリングする。そして、このラインデータの読み出し、最大受光量レベルのサンプリング処理を、図5における左端の列J1から右端の列Jnまで順に行うものである。これにより、同図の(a)に示すように、X軸方向に関する受光量分布Bxが得られる。
そして、ピーク点が2つ現れている場合には、ステップ23へ移行する。尚、極大点の個数について判定を行うのは、図9に示すように、2つの受光スポットがY軸方向に沿って上下に重なった場合を考慮するためである。
尚、X方向第一領域dx1、X方向第二領域dx2が本発明の所定幅の範囲に相当するものであり、座標値Xp1、Xp2が本発明の各極大点をとる位置に相当するものである。
次に、Y軸方向の受光量処理について、図6並びに図7を参照して説明する。
まず、ステップ41において、Y軸に平行でX座標がXp1であるラインQ1上の各画素の受光量データ(以下、受光ラインデータとする)をメモリ16から読み出す。これにより、図7の(a)に示す、Y軸方向に関する受光スポットS1の受光量分布By1が取得される。
尚、Y方向第一領域dy1、Y方向第二領域dy2が本発明の所定幅の範囲に相当するものであり、座標値Yp1、Yp2が本発明の各極大点をとる位置に相当するものである。
領域指定処理は、撮像面15A上の領域を第一の指定領域(受光スポットS1の集光中心を取り囲む領域であって、かつ受光量レベルが高い画素群よりなる領域)♯1と、第二の指定領域(受光スポットS2の集光中心を取り囲む領域であって、かつ受光量レベルが高い画素群よりなる領域)♯2と、それ以外の受光量レベルが低い領域に分けるものであり、具体的には図8に示すように、第一の指定領域♯1であれば、ステップ24で算出されたX方向第一領域dx1を一辺とし、ステップ44で算出されたY方向第一領域dy1をもう1辺とする長方形領域とされる。一方、第二の指定領域♯2は、ステップ26で算出されたX方向第二領域dx2を一辺とし、ステップ47で算出されたY方向第二領域dy2をもう一辺とする長方形領域とされる。
尚、この第一の指定領域♯1と、第二の指定領域♯2との両領域が、本発明の二つの閉じた領域に相当する。
かくして、第一の指定領域♯1、第二の指定領域♯2がそれぞれ決定されると、各指定領域♯1、♯2ごとに、以下の演算式に従って、受光スポットS1、S2の集光中心C1、C2の位置が算出され、その後、傾角検出処理に移行する。
体積重心位置(集光中心の位置)={Σ(mI)/Σm}
I:各指定領域内における、各画素の位置ベクトル
m:各指定領域内の各画素の受光量レベルに応じた係数
傾角検出処理は周知のオートコリメーション法に基づいて行われる。すなわち、各受光スポットS1、S2の集光中心C1、C2の位置と、撮像面15Aにおける基準位置(例えば、撮像面の中央位置)との位置関係に基づいて傾きの方向並びに傾き角をそれぞれ算出する。これにより、ワークW1の傾角、ワークW2の傾角をそれぞれ個別に算出することが出来る。
また、上記算出処理に続いて、今度は、2つの受光スポットS1、S2の集光中心C1、C2のうち一方の集光中心(例えば、C1)を基準とし、これに対する他方の集光中心C2との位置関係を算出する。これにより両集光中心の位置関係から、ワークW1に対するワークW2の傾き(平行度)を算出することが出来る。
[面積重心位置の重心算出式]
面積重心位置={Σ(MI)/ΣM}
I:各指定領域内における、各画素の位置ベクトル
M:上記各画素の受光量レベルが所定レベル以上であるときには例えば1、そうでないときには0
次に、本発明の実施形態2について図12を参照して説明する。
このものは、角度測定装置10を、DVD等のディスク100を回転させる回転機構110と読み取り機構120の相対的な位置関係が正規状態にあるか、否か、より具体的に言えば、回転機構110の基準軸L1と、読み取り機構120の基準軸L2のなす角度が直交した状態にあるか、否かを検査する検査装置に適用したものである。
一方、120は読み取り機構である。読み取り機構120はディスク100に光を照射して、その反射光に基づいてディスク100に書き込まれた情報の読み取りを行う読取部121と、これをディスク100の径方向に沿って進退させるスライド部120からなる。
これに対して、両基準軸L1、L2のなす角度が90度からずれている場合には、撮像面15A上には、二つの受光スポットが形成される。そのため、撮像面15A上に形成される受光スポットを監視することで、回転機構110と読み取り機構120の相対的な位置関係が正規状態にあるか、否かを検査することが出来る。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
11…投光素子(角度測定用投光手段)
15…撮像素子(角度測定用撮像手段)
15A…撮像面
17…制御部(受光量分布決定手段、極大点決定手段、画素抽出領域決定手段、集光位置決定手段、角度決定手段)
W1、W2…ワーク(被測定対象物)
Claims (2)
- 角度測定用投光手段からの平行光を被測定対象物に照射するとともに、前記被測定対象物からの正反射光(角度測定用正反射光)を複数の画素より構成された二次元の角度測定用撮像手段の撮像面に集光させ、前記撮像面上の集光位置に基づいて前記被測定対象物の傾角を測定する角度測定装置であって、
二つの被測定対象物にそれぞれ前記平行光を照射して、これら各被測定対象からの反射光をそれぞれ前記撮像面上に集光させ、二つの集光位置に基づいて前記二つの被測定対象物の各傾角をそれぞれ決定する2面測定モードが設けられたものにおいて、
前記撮像面上の各画素を対象として、縦方向、並びに横方向の各方向に関する受光量分布をそれぞれ決定する受光量分布決定手段と、
前記受光量分布決定手段により決定された前記各方向の受光量分布に基づいて、受光量の極大点を各方向ごとにそれぞれ決定する極大点決定手段と、
前記極大点決定手段により得られた極大点の受光量レベルより所定レベル下がったレベルで、極小点の受光量レベルよりも大きいレベルを閾値として設定する閾値設定を各方向の各極大点についてそれぞれ行う閾値設定手段と、
前記閾値設定手段により設定された閾値と、同閾値設定の対象となった極大点近傍の各画素の受光量レベルとを比較して、各画素のレベルが閾値以上となる領域を各方向の極大点ごとにそれぞれ決定し、この閾値以上となる領域に基づいて前記被測定対象物でそれぞれ反射した二つの反射光の集光中心をそれぞれ含む二つの閉じた領域を決定する画素抽出領域決定手段と、
前記画素抽出領域決定手段によって定められた各領域内にそれぞれ含まれる各画素の受光量レベルに基づいて前記反射光の集光中心の位置をそれぞれ決定する集光位置決定手段と、
前記集光位置決定手段によって決定された前記二つの集光中心の位置に基づいて、前記二つの被測定対象物の傾角をそれぞれ決定する角度決定手段と、を備え、
前記受光量分布決定手段が前記撮像面の縦方向或いは、横方向のいずれかの方向の各列について列内の全ての画素を対象として受光量レベルの比較を行って最大受光量を特定する投影処理を行うことで一方向の前記受光量分布を決定するとともに、
前記受光量分布決定手段が、次の方向の投影処理を開始するまでの間に、先に行われた方向の投影処理より得られる受光量分布の極大点から、前記一方向について前記極大点を含む所定幅の投影範囲を各極大点ごとにそれぞれ決定する投影範囲決定手段を有し、
前記受光量分布決定手段は、後に投影処理を行うときには、各列のうちの前記投影範囲決定手段によって決定された前記投影範囲内の画素のみを対象として受光量レベルの比較を行って最大受光量を特定することで他方向の前記受光量分布を決定することを特徴とする角度測定装置。 - 前記集光位置決定手段は、前記画素抽出領域決定手段によって定められた各領域について、各領域内の画素を対象として受光の重心位置をそれぞれ算出し、これを前記集光中心の位置とすることを特徴とする請求項1に記載の角度測定装置。
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