JP4466544B2 - 光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、光情報媒体に欠陥が存在するか否かを検査する光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置に関するものである。

この種の光情報媒体の検査方法として、特開平９−１３８９７９号公報に開示された光情報媒体の検査方法が知られている。この光情報媒体の検査方法では、光情報媒体を光処理（例えば初期化）する際に、この光処理のための処理光を利用して、具体的には処理光を受光した光ディテクタから出力される信号を演算処理して生成されるフォーカスエラー信号を利用して、光情報媒体の欠陥を検出している。したがって、この光情報媒体の検査方法によれば、初期化等の光処理と実質的に同時に光情報媒体の基板の局部的変形やハードコート層のすじ状欠陥等の局部的な欠陥を、確実にかつ精度よく検出することができる。また、光処理と同時に欠陥検出を行うことができるので、装置、工程を簡略化することができる。
特開平９−１３８９７９号公報（第４−５頁、第１図）

ところが、上記の光情報媒体の検査方法について検討した結果、以下の問題点があることを発見した。すなわち、この光情報媒体の検査方法では、光ピックアップから出力されたレーザー光の照射位置が光情報媒体の気泡や異物などの欠陥の上を通過したときには、フォーカスエラー信号の電圧が大きく変化するため、光情報媒体の欠陥を検出することができるものの、レーザー光の照射位置が欠陥上を外れて通過したときには、フォーカスエラー信号に生じる電圧の変化が非常に小さくなる。したがって、この光情報媒体の検査方法には、例えば、欠陥がトラックの中心から外れた位置に存在する光情報媒体では、その欠陥を検出できないおそれがあるという問題点が存在している。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、光情報媒体の欠陥をより高い確率で検出し得る光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る光情報媒体の検査方法は、スピンコート法によって光透過層が形成された光情報媒体の当該光透過層中に存在する欠陥の有無を検査する際に、光ピックアップで受光した前記光情報媒体からの戻り光に基づいて生成されるトラッキング誤差信号の電圧と予め設定された基準値とを比較して、当該トラッキング誤差信号の電圧が前記光透過層中における前記欠陥の周囲に位置する変位部位の厚みの変化に起因して前記基準値以上となっているときに当該光透過層中に当該欠陥が存在すると判別する。

この場合、前記トラッキング誤差信号を利用した前記欠陥の検査を所定トラック毎に実行することができる。

また、光学的欠陥検査装置による検査を実行した前記光情報媒体に対して、前記トラッキング誤差信号を利用した前記欠陥の検査を実行することもできる。

また、本発明に係る光情報媒体検査装置は、スピンコート法によって光透過層が形成された光情報媒体の当該光透過層中に存在する欠陥の有無を検査する光情報媒体検査装置であって、前記光情報媒体からの戻り光を受光してトラッキング誤差信号を生成する光ピックアップと、前記トラッキング誤差信号の電圧と予め設定された基準値とを比較して、当該トラッキング誤差信号の電圧が前記光透過層中における前記欠陥の周囲に位置する変位部位の厚みの変化に起因して前記基準値以上となっているときに当該光透過層中に当該欠陥が存在すると判別する演算制御部とを備えている。

この場合、前記光情報媒体の半径方向に沿って前記光ピックアップを移動させる送り機構を備え、前記演算制御部が前記送り機構を制御して前記光ピックアップを前記半径方向に沿って移動させつつ所定トラック毎に前記欠陥の存在を判別する構成を採用することができる。

本発明に係る光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置によれば、光ピックアップで受光した光情報媒体からの戻り光に基づいて生成されるトラッキング誤差信号の電圧が基準値以上のときに、光情報媒体に気泡や異物などの欠陥が存在していると判別することにより、スピンコート法によって光透過層が形成されている光情報媒体における光透過層中の気泡や異物上またはそれらの近傍をレーザー光が通過せずに気泡や異物の周囲に存在している変形部位上をレーザー光が通過したとしても、気泡や異物などの欠陥を確実に検出することができる結果、光情報媒体に対する検査精度を格段に向上させることができる。

また、本発明に係る光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置によれば、光透過層中の気泡や異物の周囲に変位部位が広い範囲で存在している光情報媒体では、この変位部位についても精度良く検出できるため、この変位部位の大きさの範囲内において間引いた所定間隔のトラックだけの検査で欠陥を確実に検出することができる。したがって、この光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置によれば、変位部位の大きさの範囲内の間隔で設定した所定トラック毎に欠陥の存在を判別するだけで光情報媒体の全領域に亘る欠陥検査を実行することができる結果、検査効率を大幅に向上させることができる。

また、本発明に係る光情報媒体の検査方法によれば、光学的欠陥検査装置による検査を実行した光情報媒体に対して、トラッキング誤差信号を利用した欠陥の検査を実行することにより、このトラッキング誤差信号を利用した欠陥の検査が必要とされる光情報媒体に対してのみ実行することで、欠陥検査の効率を一層向上させることができる。

以下、本発明に係る光情報媒体の検査方法および光情報媒体検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、光情報媒体検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。なお、一例として、スピンコート法によって光透過層が形成されている光情報媒体を検査対象として、その光透過層中に存在している気泡や異物などの欠陥を検査する光情報媒体検査装置１について説明する。

図１に示す光情報媒体検査装置１は、光ピックアップ２、サーボ制御部３、Ａ／Ｄ変換部４、送り機構５、スピンドルモータ６、演算制御部７、記憶部８および出力部９を備えている。

光ピックアップ２は、図１に示すように、レーザーダイオード２１、回折格子２２、ビームスプリッタ２３、対物レンズ２４、２軸アクチュエータ２５、収束レンズ２６および信号生成部２７を備え、光情報媒体１０にレーザー光を照射すると共に光情報媒体１０からの戻り光を受光して、この戻り光に基づいて、光情報媒体１０に記録されている情報を再生するための情報信号Ｓ３（図２参照）、フォーカス誤差信号Ｓ１およびトラッキング誤差信号Ｓ２を生成可能に構成されている。この場合、回折格子２２は、レーザーダイオード２１から出射されたレーザー光を３ビーム（メインビームおよび２つのサブビーム）に分割してビームスプリッタ２３に出力する。また、ビームスプリッタ２３から出力されたメインビームおよび２つのサブビームは、対物レンズ２４を介して光情報媒体１０上に照射される。また、１つのサブビーム、メインビームおよび他の１つのサブビームの各照射位置は、光情報媒体１０のトラック方向とほぼ直交する方向（光情報媒体１０の径方向）に沿ってこの順で並ぶように設定されている。２軸アクチュエータ２５は、公知の機構（軸摺回動型やヒンジ構造型）で構成されて、入力しているフォーカス制御信号Ｓ４に基づいて対物レンズ２４をその光軸方向に沿って移動させる機能と、入力しているトラッキング制御信号Ｓ５に基づいて対物レンズ２４を光情報媒体１０のトラック方向とほぼ直交する方向に移動させる機能とを備えている。

信号生成部２７は、図２に示すように、光ディテクタ２７ａおよび信号処理回路２７ｂを備えている。具体的には、光ディテクタ２７ａは、一例として、４個の受光素子（本例では一例としてフォトダイオード）Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄを備えている。この４個のフォトダイオードＰａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄは、同図に示すように、仮想正方形の四隅に配設されている。この場合、この仮想正方形における２つのフォトダイオードＰａ，Ｐｂが配置されている一辺は、光情報媒体１０のトラック方向とほぼ直交する方向と平行になり、かつ２つのフォトダイオードＰａ，Ｐｄが配置されている一辺は、光情報媒体１０のトラック方向とほぼ平行になっている。このように構成された４個のフォトダイオードＰａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄは、メインビームの戻り光をそれぞれ受光可能に構成されている。また、このうちの２つのフォトダイオードＰａ，Ｐｄは、２つのサブビームの各戻り光のうちの対応する１つの戻り光をそれぞれ受光可能となっている。また、他の２つのフォトダイオードＰｂ，Ｐｃは、２つのサブビームの各戻り光のうちの対応する他の１つの戻り光をそれぞれ受光可能となっている。また、各フォトダイオードＰａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄは、受光している光の強度に応じた量の電流Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄをそれぞれ出力する。信号処理回路２７ｂは、各フォトダイオードＰａ〜Ｐｄから出力される各電流Ｉａ〜Ｉｄを入力すると共に、これら電流Ｉａ〜Ｉｄに基づいてフォーカス誤差信号Ｓ１、トラッキング誤差信号Ｓ２および情報信号Ｓ３を生成する。具体的には、電流Ｉａ，Ｉｂ，Ｉｃ，Ｉｄの各電流量を、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄとしたときに、信号処理回路２７ｂは、一例として、（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）との演算を行うことによってフォーカス誤差信号Ｓ１を生成し、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）との演算を行うことによってトラッキング誤差信号Ｓ２を生成し、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）との演算を行うことによって情報信号Ｓ３を生成する。

サーボ制御部３は、フォーカス誤差信号Ｓ１およびトラッキング誤差信号Ｓ２を入力して、フォーカス誤差信号Ｓ１に基づいてフォーカス制御信号Ｓ４を生成すると共に、トラッキング誤差信号Ｓ２に基づいてトラッキング制御信号Ｓ５を生成する。Ａ／Ｄ変換部４は、トラッキング誤差信号Ｓ２を入力して、その電圧値を示す誤差データＤ１に変換する。送り機構５は、演算制御部７の制御下で、光ピックアップ２を光情報媒体１０の径方向に沿って移動させる。スピンドルモータ６は、演算制御部７の制御下で、光情報媒体１０を回転させる。

演算制御部７は、ＣＰＵを備えて構成されて、Ａ／Ｄ変換部４から入力した誤差データＤ１に基づく光情報媒体１０についての欠陥検査処理と、光ピックアップ２、送り機構５およびスピンドルモータ６に対する制御とを実行する。この欠陥検査処理では、演算制御部７は、光情報媒体１０に対して、その径方向に沿って所定間隔（例えば、５００μｍ）で欠陥の存在（存否）を検査する。この場合、演算制御部７は、誤差データＤ１で示されるトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１が記憶部８に記憶されている基準値Ｖｒ以上になったときに、光情報媒体１０の光透過層中に気泡や異物などの欠陥が存在していると判別する。これは本願発明者が、鋭意研究した結果見出した下記の事実に基づくものである。

すなわち、本願発明者の研究結果によれば、この光情報媒体検査装置１で検査対象としている光情報媒体１０（特にスピンコート法によって光透過層が形成されている光情報媒体１０）では、光透過層中に気泡や異物が存在しているときには、この気泡や異物の周囲に光透過層が変形している部位（以下、「変形部位」ともいう）が必ず存在する。これは、光透過層を形成するための樹脂中に混在している気泡や異物がスピンコートする際に樹脂と共に流されたときに、気泡や異物の周囲において樹脂の流れが乱されて、この流れの乱された樹脂が変形してこの変形部位を形成すると考えられるからである。また、この変形部位は、気泡や異物の大きさの約１０〜２０倍程度の大きさとなり、またその厚みが気泡や異物に近づくに従い徐々に厚くなっている。また、トラッキング誤差信号Ｓ２は、常態（気泡や異物などのない光透過層からの戻り光に基づいて生成されている状態）では、電圧値がほぼフラットな電圧波形であるが、この変位部位からの戻り光に基づいて生成されたときには、気泡や異物からの戻り光に基づいて生成されたときと同様にして、電圧値が大きく変動する。このトラッキング誤差信号Ｓ２の変動時の電圧Ｖ１は気泡および異物の寸法（例えば直径）が大きくなるに従って大きくなり、一般的には、変動時のトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１がトラックジャンプ時にトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧のピーク値Ｖｐに達したとき（つまり、トラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１がピーク値Ｖｐに対して１００％となるとき）には、一般的な記録再生装置では、トラッキングサーボが外れて記録・再生動作に支障をきたすことがある。研究結果によれば、気泡および異物の寸法（例えば直径）が４０μｍ以下のときには、トラッキングサーボが外れない範囲に収まる（Ｖ１＜Ｖｐとなる）。また、気泡および異物の寸法が光情報媒体１０の径方向の長さが４０μｍのときの変位部位の寸法は同じ方向に対して通常５００μｍ程度となる。

一例として、直径が約４３μｍの気泡上およびこの気泡を挟んで光情報媒体１０の内周側と外周側とにそれぞれ変位させた位置からの戻り光を光ピックアップ２で受光したときにトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧Ｖ１の変動の様子を、トラックジャンプ時にトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧のピーク値Ｖｐに対する比率として表したものを図３に示す。なお、同図における横軸は気泡のセンターからの変位量（距離）を示している。同図に示すように、トラッキング誤差信号Ｓ２については、その電圧Ｖ１が、気泡を含む６００μｍ〜６５０μｍという広い範囲に亘ってピーク値Ｖｐの２０％以上になる。また、トラッキング誤差信号Ｓ２の電圧は、気泡のセンター近傍において最大となり、ピーク値Ｖｐを若干超える値となっている（上記の比率が１０５％程度になっている）。また、図示はしないが、直径が約４０μｍの気泡については、この気泡上からの戻り光を光ピックアップ２で受光したときにトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧Ｖ１のピーク値Ｖｐに対する上記の比率はほぼ１００％となり、気泡を含む約５１０μｍ〜５５０μｍという範囲でその比率が２０％以上になることが確認されている。したがって、光情報媒体１０の欠陥検査に際して、トラックジャンプ時にトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧変動のピーク値Ｖｐの２０％の電圧を基準値Ｖｒとして、誤差データＤ１で示されるトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１がこの基準値Ｖｒ以上になっているか否かを判別することにより、光情報媒体１０の径方向に沿って所定間隔（５００μｍ）で、いわゆる間引き検査を行いつつ、欠陥と扱われる大きさが４０μｍ以上の気泡や異物の有無を確実に検査することができる。

なお、図３には図示していないが、気泡等の欠陥からの戻り光を光ピックアップ２で受光したときには、フォーカス誤差信号Ｓ１もその電圧が変動する。しかしながら、フォーカス誤差信号Ｓ１は、気泡上およびその近傍でしか大きく変動せずに、レーザー光の照射位置が気泡等から光情報媒体１０の内周側や外周側に移動するに従い、その変動の電圧が急激に低下する。このようにトラッキング誤差信号Ｓ２の方がフォーカス誤差信号Ｓ１よりも広い範囲に亘って大きく変動する理由についてその概要を説明する。まず、フォーカス誤差信号Ｓ１は、上記したように仮想正方形の対角位置に配設された２つのフォトダイオードＰａ，Ｐｃの電流量Ａ，Ｃの和と、他の対角位置に配設された他の２つのフォトダイオードＰｂ，Ｐｄの電流量Ｂ，Ｄの和との差を示すものであり、光情報媒体１０のトラック方向とほぼ直交する方向（光情報媒体１０の径方向）に沿って発生する光量の差が打ち消される方向の演算によって生成される。このため、気泡や異物の周囲に位置する変形部位上を通過した際に、変形部位での厚みの変化（変形部位の傾き）に起因して、各フォトダイオードＰａ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐｄのうちのトラックに対して同一側（外周側または内周側）に位置する各フォトダイオードＰａ，Ｐｄの各電流量Ａ，Ｄが他のフォトダイオードＰｂ，Ｐｃの各電流量Ｂ，Ｃに対して、大きくまたは小さくなったときであっても、（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）との演算によって生成されるフォーカス誤差信号Ｓ１は、大きく変動しない。これに対して、トラッキング誤差信号Ｓ２は、光情報媒体１０のトラックに対して同一側（内周側または外周側）に配設された２つのフォトダイオードＰａ，Ｐｄの電流量Ａ，Ｄの和と、他の２つのフォトダイオードＰｂ，Ｐｃの電流量Ｂ，Ｃの和との差を示すものであるため、光情報媒体１０のトラック方向とほぼ直交する方向に沿って発生する光量の差が拡大される方向の演算によって生成される。このため、気泡や異物の周囲に位置する変形部位上を通過した際に、変形部位での厚みの変化（変形部位の傾き）に起因して、各フォトダイオードＰａ〜Ｐｄの各電流量Ａ〜Ｄが上記のように変化したときには、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）との演算によって生成されるトラッキング誤差信号Ｓ２は大きく変動する。また、このレーザー光の照射位置が気泡等の欠陥の近傍を通過したときにトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる変動は、上記したように気泡や異物の周囲に位置する変形部位での厚みの変化（変形部位の傾き）に起因するものであるため、光情報媒体１０が傾いているときに現れる変動と類似している。この光情報媒体１０の傾きに起因するトラッキング誤差信号Ｓ２の変動は、通常、光情報媒体１０を光情報媒体検査装置１にセットしたときに自動的に補正される。しかしながら、光情報媒体１０の傾きに対する補正は、光情報媒体１０全体に対する補正であり、気泡等のような局所的な欠陥に対する補正ではない。このため、光情報媒体１０の傾きに対する補正が行われている状況下においても、レーザー光の照射位置が変形部位上を通過したときには、その変形部位を検出可能なレベルの変動がトラッキング誤差信号Ｓ２に生じることになる。

記憶部８には、欠陥検査処理を実行する複数の目標トラックについての位置情報と、欠陥検査処理において使用される基準値Ｖｒとが予め記憶されている。本例では、直径が約４０μｍの気泡等の欠陥の有無を検査するため、上記した研究結果に基づき、欠陥検査を実行する目標トラックの各位置は、所定間隔（５００μｍ）に設定されている。また、記憶部８には、欠陥検査処理の検査結果を示すデータＤ２が演算制御部７によって記憶される。出力部９は、一例として表示装置で構成されて、演算制御部７から入力したデータＤ２に基づいて、欠陥検査処理の結果を表示する。

次に、光情報媒体検査装置１による光情報媒体１０についての検査動作について各図を参照して説明する。

まず、光情報媒体１０の検査に際して、図１に示すように、光情報媒体１０を光情報媒体検査装置１に装着する。これにより、光情報媒体１０がスピンドルモータ６によって回転させ得る状態となる。

次いで、光情報媒体検査装置１の起動状態において、演算制御部７が、まず、スピンドルモータ６を作動させて光情報媒体１０の回転を開始させる。次いで、演算制御部７は、光ピックアップ２を制御してレーザーダイオード２１を作動させる。これにより、レーザーダイオード２１がレーザー光の出射を開始し、出射されたレーザー光は、回折格子２２、ビームスプリッタ２３および対物レンズ２４を介して光情報媒体１０に照射される。また、光情報媒体１０で反射されたレーザー光の一部は、対物レンズ２４、ビームスプリッタ２３および収束レンズ２６を介して信号生成部２７に戻り光として入光する。信号生成部２７では、光ディテクタ２７ａが戻り光を受光して電流Ｉａ〜Ｉｆの生成を開始し、信号処理回路２７ｂが、各電流Ｉａ〜Ｉｆに基づいてフォーカス誤差信号Ｓ１、トラッキング誤差信号Ｓ２および情報信号Ｓ３の生成を開始する。

続いて、演算制御部７が、図４に示す検査処理を実行する。この処理では、演算制御部７は、同図に示すように、記憶部８から欠陥検査を実行する最初の目標トラックの位置情報を読み出す（ステップ５１）。次いで、演算制御部７は、この位置情報に基づいて送り機構５を制御することにより、目標トラック上に光ピックアップ２を移動させる（ステップ５２）。この光ピックアップ２の移動に際しては、演算制御部７は、誤差データＤ１に基づいてトラックジャンプの発生回数をカウントすることにより、目標とするトラック上に光ピックアップ２を移動させる。この光ピックアップ２の移動が完了した時点で、サーボ制御部３は、光ピックアップ２から出力されているフォーカス誤差信号Ｓ１およびトラッキング誤差信号Ｓ２に基づいてフォーカス制御信号Ｓ４およびトラッキング制御信号Ｓ５を生成することにより、２軸アクチュエータ２５に対する制御を開始する。これにより、対物レンズ２４と光情報媒体１０との間の距離、および対物レンズ２４のトラックと直交する方向に沿った位置が２軸アクチュエータ２５によって微調されて、フォーカスおよびトラッキングが正常に行われている状態となる。

次いで、演算制御部７は、光ピックアップ２からのレーザー光が目標トラック上を照射しているときに、欠陥検査処理を実行する（ステップ５３）。この欠陥検査処理では、図５に示すように、演算制御部７は、まず、誤差データＤ１に基づいてトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１を算出する（ステップ６１）。次いで、演算制御部７は、記憶部８から基準値Ｖｒを読み出すと共に、算出したトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１が基準値Ｖｒ以上であるか否かを判別する（ステップ６２）。この判別の結果、算出したトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１が基準値Ｖｒ未満のときには、演算制御部７は、現在の目標トラックを含んだ径方向に対して５００μｍの範囲には、気泡等の欠陥が存在していないと判別して（ステップ６３）、その結果をこのトラックの位置情報と組にして検査結果を示すデータＤ２として記憶部８に記憶させる。他方、比較の結果、算出したトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１が基準値Ｖｒ以上のときには、演算制御部７は、現在のトラックを含んだ径方向に対して５００μｍの範囲に、気泡等の欠陥が存在していると判別して（ステップ６４）、その結果をトラックの位置情報と組にしたデータＤ２として記憶部８に記憶させる。演算制御部７は、各ステップ６３，６４のいずれかを処理して、この欠陥検査処理を終了する。

欠陥検査処理の終了後、演算制御部７は、図４に示すように、光情報媒体１０全域に亘る欠陥検査が終了したか否かを、例えば記憶部８に未検査の目標トラックが残存しているか否かに基づいて判別し（ステップ５４）、終了していないと判別したときには、次の目標トラックの位置情報を記憶部８から読み出して（ステップ５５）、上記したステップ５２に移行して光情報媒体１０に対する欠陥検査処理を続行する。演算制御部７は、上記したステップ５２〜５５を繰り返し実行することにより、記憶部８に記憶されているすべての目標トラックに対して欠陥検査を実行する。最後に、演算制御部７は、ステップ５４においてすべての目標トラックに対する欠陥検査が完了したと判別したときには、記憶部８から検査結果を示すデータＤ２を読み出して例えば出力部９に出力する（ステップ５６）。本例では、出力部９は表示部で構成されているため、出力部９は、入力したデータＤ２に基づいて、検査を実行した各目標トラックにおける検査結果を表示する。これにより、光情報媒体１０に対する欠陥検査が完了する。

このように、この光情報媒体検査装置１および光情報媒体の検査方法によれば、光ピックアップ２で受光した光情報媒体１０からの戻り光に基づいて生成されるトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧が予め設定された基準値Ｖｒ以上のときに、光情報媒体１０に気泡や異物などの欠陥が存在していると演算制御部７が判別することにより、スピンコート法によって光透過層が形成されている光情報媒体１０における光透過層中の気泡や異物上またはそれらの近傍をレーザー光が通過せずに気泡や異物の周囲に存在している変形部位上をレーザー光が通過したとしても、気泡や異物などの欠陥を確実に検出することができる結果、光情報媒体１０に対する検査精度を格段に向上させることができる。

また、光透過層中の気泡や異物の周囲に変位部位が広い範囲で存在している光情報媒体１０では、この変位部位についても精度良く検出できるトラッキング誤差信号Ｓ２を利用した光情報媒体検査装置１および光情報媒体の検査方法を用いることにより、この変位部位の大きさの範囲内において間引いた所定間隔のトラックだけの検査で欠陥を確実に検出することができる。したがって、この光情報媒体検査装置１および光情報媒体の検査方法によれば、変位部位の大きさの範囲内の間隔で設定した所定トラック毎に欠陥の存在を判別するだけで光情報媒体１０の全領域に亘る欠陥検査を実行することができる結果、検査効率を大幅に向上させることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の光情報媒体検査装置１を用いた光情報媒体１０の欠陥検査（トラッキング誤差信号Ｓ２を使用した欠陥検査）と、従来から一般的に使用されている光学的欠陥検査装置による光学的検査（一例として特開２００１−２４１９３１号に開示されている光学的欠陥検査装置を使用した検査）とを併用して、光情報媒体１０についての欠陥検査を実行することもできる。この構成では、まず、光学的欠陥検査装置による光学的検査を実行した後に、上記の光情報媒体検査装置１を用いた光情報媒体１０の欠陥検査を実行する。この順序で光情報媒体１０に対する欠陥検査を実行することにより、光学的欠陥検査装置によって大きな欠陥の存在する光情報媒体１０を予め排除することができる。この場合、トラッキング誤差信号Ｓ２を使用した欠陥検査では、一般的に、光情報媒体１０に対してフォーカスサーボやトラッキングサーボの処理を行って検査するために光学的欠陥検査装置と比較して時間を必要とするものの、より小さな欠陥についても正確に検査することができる。したがって、この光情報媒体検査装置１を使用した検査を、このような検査が必要とされる光情報媒体１０に対してのみ実行することで、欠陥検査の効率を一層向上させることができる。

また、一例として、外径が約４０μｍ以上の気泡等の欠陥を検査すべく、検査するトラックの所定間隔を５００μｍに設定した例について説明したが、図３に示したような外径が約４３μｍの気泡等の欠陥を検査するためには、検査するトラックの所定間隔を約６００μｍに拡げてもよい等、欠陥と扱うべき気泡等の寸法に応じて、検査するトラックの所定間隔を適宜設定することができるのは勿論である。

また、検査対象として、スピンコート法によって光透過層が形成されている光情報媒体１０を例に挙げて説明したが、スピンコート法以外の方法によって光透過層が形成されている光情報媒体についても、本発明に係る光情報媒体検査装置１および光情報媒体の検査方法を適用して、その光透過層中に存在する欠陥を検査することができる。

光情報媒体検査装置１のブロック図である。 信号生成部２７のブロック図である。 気泡等の欠陥から光情報媒体１０の内周側と外周側とにそれぞれ変位した位置をレーザー光で照射したときのトラッキング誤差信号Ｓ２の電圧Ｖ１を、トラックジャンプ時にトラッキング誤差信号Ｓ２に現れる電圧のピーク値Ｖｐに対する比率として表した特性図である。 光情報媒体検査装置１による検査処理を示すフローチャートである。 図４中の欠陥検査処理を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 光情報媒体検査装置
２ 光ピックアップ
５ 送り機構
７ 演算制御部
Ｓ２ トラッキング誤差信号
Ｖ１ トラッキング誤差信号の電圧
Ｖｒ 基準値

Claims (5)

1. スピンコート法によって光透過層が形成された光情報媒体の当該光透過層中に存在する欠陥の有無を検査する際に、
   光ピックアップで受光した前記光情報媒体からの戻り光に基づいて生成されるトラッキング誤差信号の電圧と予め設定された基準値とを比較して、当該トラッキング誤差信号の電圧が前記光透過層中における前記欠陥の周囲に位置する変位部位の厚みの変化に起因して前記基準値以上となっているときに当該光透過層中に当該欠陥が存在すると判別する光情報媒体の検査方法。
2. 前記トラッキング誤差信号を利用した前記欠陥の検査を所定トラック毎に実行する請求項１記載の光情報媒体の検査方法。
3. 光学的欠陥検査装置による検査を実行した前記光情報媒体に対して、前記トラッキング誤差信号を利用した前記欠陥の検査を実行する請求項１または２記載の光情報媒体の検査方法。
4. スピンコート法によって光透過層が形成された光情報媒体の当該光透過層中に存在する欠陥の有無を検査する光情報媒体検査装置であって、
   前記光情報媒体からの戻り光を受光してトラッキング誤差信号を生成する光ピックアップと、
   前記トラッキング誤差信号の電圧と予め設定された基準値とを比較して、当該トラッキング誤差信号の電圧が前記光透過層中における前記欠陥の周囲に位置する変位部位の厚みの変化に起因して前記基準値以上となっているときに当該光透過層中に当該欠陥が存在すると判別する演算制御部とを備えている光情報媒体検査装置。
5. 前記光情報媒体の半径方向に沿って前記光ピックアップを移動させる送り機構を備え、
   前記演算制御部は、前記送り機構を制御して前記光ピックアップを前記半径方向に沿って移動させつつ、所定トラック毎に前記欠陥の存在を判別する請求項４記載の光情報媒体検査装置。

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